JPS604084Y2 - 変位変換器 - Google Patents

変位変換器

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Publication number
JPS604084Y2
JPS604084Y2 JP688480U JP688480U JPS604084Y2 JP S604084 Y2 JPS604084 Y2 JP S604084Y2 JP 688480 U JP688480 U JP 688480U JP 688480 U JP688480 U JP 688480U JP S604084 Y2 JPS604084 Y2 JP S604084Y2
Authority
JP
Japan
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flange
target
coil
temperature
displacement
Prior art date
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Expired
Application number
JP688480U
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English (en)
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JPS56109004U (ja
Inventor
重孝 三浦
仁 猪又
Original Assignee
株式会社横河電機製作所
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Publication date
Application filed by 株式会社横河電機製作所 filed Critical 株式会社横河電機製作所
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、渦電流損失原理で動作する変位変換器に関す
るものである。
本考案の目的は高温用に適したこの種の変換器を提供す
ることにある。
第1図は渦電流損失原理で動作する変位変換器で、この
図は本考案を説明するための、ものである。
第1図において、1は非磁性材のボビン、21はセンサ
用コイル、22はダミー用コイルで、これらのコイルは
ボビン1の外周に形成したスロットに配置されている。
ボビン1のダミーコイル22側には大径部11と小径部
12よりなる段部が形成され、小径部12にはねじが切
られている。
3は変位測定対象である導電性のターゲットで、センサ
用コイル21に対向するように受惑面81より距離Xだ
け隔ったところに配置されている。
4はターゲット3と同一材料で構成したフランジである
フランジ4は第2図にその半径部分だけを示したように
円板状をしており、その中央部に貫通孔41が形成され
、かつその縁部には取付用の穴42,43.44 (4
4は図示せず)が形成されている。
フランジ4はその貫通孔41が前記ボビン1の大径部1
1に嵌合され、そしてボビン1の小径部12に螺合され
るナツト5によってボビン1に固定されるようになって
いる。
6はケーブルで、その芯線はコイル21.22のリード
線61とa、 b、cの点において接続されている。
7は金属材で構成したカバー、8は絶縁材で構成したカ
バーで、カバー7はナツト5を覆うように、又、カバー
8はボビン1を覆うようにそれぞれフランジ4に取付け
られている。
コイル21と22のリード線61はケーブル6を介して
例えば第3図に示すようにブリッジ回路の互に隣り合う
辺に接続されており、このブリッジ回路はターゲット3
が基準位置Xより変位するとコイル21のインピーダン
スが変化し、このインピーダンス変化に基づく不平衡電
圧を検出する。
すなわち、ブリッジの電源端に発振器O3Cを接続し、
コイル21と22を励振させた状態においてターゲット
3をX位置より変化させると、コイル21による磁界の
作用によってターゲット3内の渦電流が変化する。
この渦電流による磁界がコイル21による磁界に相互作
用し、その結果コイル21のインピーダンスが変化する
このインピーダンスの変化の割合はコイル2とターゲツ
ト4との距離に対応するもので、第3図に示すブリッジ
回路の不平衡電圧E。
を求めることによりターゲット3の変位を測定すること
ができる。
ところで、第1図に示す変換器において、ターゲット3
の温度が変化すると、このターゲットの導電率、透磁率
などが変化する場合がある。
この特性変化はブリッジ回路の出力E。
に誤差を生じ、例えば本考案の変換器を常温から高温(
例えば400℃)までにわたる広い範囲で温度が変化す
る熱交換器等に使用する場合にその誤差は特に顕著とな
る。
第1図のフランジ4はこの変換器を固定部材に取付ける
役目と共に、上記のような温度による影響を取除く作用
を行なわせる為に設けたものである。
即ち、フランジ4はターゲット3と同一の材質のものが
用いられており、このフランジはセンサ用コイル21と
ターゲット3間の距離Xに対応してダミー用コイル22
から距離yだけ隔てた点に配置されている。
したがって、ターゲット3とフランジ4の特性変化はブ
リッジ回路上で相殺され、出力E。
には表われてこない。このような装置は本願出願人によ
って、本願出願と同時に出願している。
ここで、ターゲット3の温度による特性変化に起因する
測定誤差を最小にするには、フランジ4の材質がターゲ
ット3と同材質であること、又、測定変位Xがダミー用
コイル22からフランジ4の表面yまでの距離に対応す
ることが必要である。
しかし、フランジ4とターゲット3が同一材料である必
要があると、逆にフランジ4の材料が決まると、種々な
導電体を測定対象とすることができなくなる。
又、測定変位又は距離yによって一義的に決まってしま
い、任意の測定変位で温度誤差を最小とすることができ
ない。
本考案はこのような点にかんがみてなされたもので、第
4図にその実施例を示す。
第4図において第1図と同一素子は第1図と同一符号を
付してその再説明は省略する。
第4図において、4′はフランジで、このフランジはダ
ミー用コイル22から十分遠い距離2のところに位置し
、ダミー用コイル22からの磁界が影響しないようにな
っている。
9は温度補償板で、この温度補償板はターゲット3と同
一材料の金属板で構成されている。
温度補償板9は円板状をしており、中心に前記ケース8
がはまり合う大きさの貫通孔91が、また周辺に取付用
の穴92.93.94 (93,94は図示せず)が形
成されている。
このような構成の本考案の変換器においては、フランジ
4までを含めて変換器を完成したのち、温度補償板9を
その貫通孔91にボビン1を挿入してこの温度補償板を
ターゲット4′に取付けるようになっている。
そのため、温度補償板9をターゲット3と同一材質に選
定することができる。
又、測定距離Xが定まったのち、温度誤差が最小になる
ようにダミー用コイル22から温度補償板9の表面まで
の距離2′を決定し、ねじ等によって温度補償板9をフ
ランジ4′に取付けることにより、任意の測定変位に対
して最適の温度補償を行なうことができる。
以上説明したように、本考案によれば温度特性が優れ、
高温用に適した渦電流損失原理で動作する変位変換器を
極めて簡単な構成によって実現することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第3図はそれぞれ本考案を説明するための変
換器の構成図、第4図は本考案の変換器の一実施例を示
す縦断面図である。 、1・・・・・・ボビン、21・・・・・・センサ用コ
イル、22・・・・・・ダミー用コイル、3・・・・・
・ターゲット、4・・・・・・フランジ、9・・・・・
・温度補償板。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ブリッジ接続されると共に交流信号が与えられるセンサ
    用コイルとダミー用コイルを有し、前記センサ用コイル
    に対向して配置されたターゲットに生じる渦電流損失に
    基づく前記センサ用コイルのインピーダンス変化から前
    記ターゲットの変位を測定するようにした変換器にして
    、前記ダミー用コイル側にフランジを設けると共に、前
    記ターゲットと同一材質でかつ位置調整が可能な温度補
    償板を前記フランジに取付けるようにした変位変換器。
JP688480U 1980-01-23 1980-01-23 変位変換器 Expired JPS604084Y2 (ja)

Priority Applications (1)

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JP688480U JPS604084Y2 (ja) 1980-01-23 1980-01-23 変位変換器

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JP688480U JPS604084Y2 (ja) 1980-01-23 1980-01-23 変位変換器

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Publication Number Publication Date
JPS56109004U JPS56109004U (ja) 1981-08-24
JPS604084Y2 true JPS604084Y2 (ja) 1985-02-05

Family

ID=29603545

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JP688480U Expired JPS604084Y2 (ja) 1980-01-23 1980-01-23 変位変換器

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5028683B2 (ja) * 2007-03-30 2012-09-19 日本電産サンキョー株式会社 変位センサ

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JPS56109004U (ja) 1981-08-24

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