JP2002221513A - マイクロセンサ及びその用途 - Google Patents
マイクロセンサ及びその用途Info
- Publication number
- JP2002221513A JP2002221513A JP2001017396A JP2001017396A JP2002221513A JP 2002221513 A JP2002221513 A JP 2002221513A JP 2001017396 A JP2001017396 A JP 2001017396A JP 2001017396 A JP2001017396 A JP 2001017396A JP 2002221513 A JP2002221513 A JP 2002221513A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- electromotive force
- carbon fiber
- microsensor
- induced electromotive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
- Measuring Or Testing Involving Enzymes Or Micro-Organisms (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 微少な変動磁場を精度が高く検知することが
できるマイクロセンサ及びその用途を提供する。 【解決手段】 マイクロセンサは炭素繊維によりコイル
状に形成されたコイル状炭素繊維１４と、変動磁場に曝
されたコイル状炭素繊維１４の電磁誘導によって生じる
交流電圧である誘導起電力Ｖを測定可能なオシロスコー
プ１６とより構成されたものである。コイル状炭素繊維
１４は、その炭素繊維の直径が１ｎｍ〜１０μｍ、コイ
ルの直径が少なくとも２ｎｍ〜１００μｍのものであ
る。そして、マイクロセンサを変動磁場に配置すること
により、変動磁場に曝されたコイル状炭素繊維１４に電
磁誘導によって交流の誘導起電力Ｖが発生し、その誘導
起電力Ｖが交流信号としてオシロスコープ１６に表示さ
れる。
できるマイクロセンサ及びその用途を提供する。 【解決手段】 マイクロセンサは炭素繊維によりコイル
状に形成されたコイル状炭素繊維１４と、変動磁場に曝
されたコイル状炭素繊維１４の電磁誘導によって生じる
交流電圧である誘導起電力Ｖを測定可能なオシロスコー
プ１６とより構成されたものである。コイル状炭素繊維
１４は、その炭素繊維の直径が１ｎｍ〜１０μｍ、コイ
ルの直径が少なくとも２ｎｍ〜１００μｍのものであ
る。そして、マイクロセンサを変動磁場に配置すること
により、変動磁場に曝されたコイル状炭素繊維１４に電
磁誘導によって交流の誘導起電力Ｖが発生し、その誘導
起電力Ｖが交流信号としてオシロスコープ１６に表示さ
れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、微少な領域の変
動磁場センサ、マイクロマシンの方位センサ、フロッピ
ィディスクの読み取りのための磁気ヘッド等に使用され
るマイクロセンサ及びその用途に関するものである。
動磁場センサ、マイクロマシンの方位センサ、フロッピ
ィディスクの読み取りのための磁気ヘッド等に使用され
るマイクロセンサ及びその用途に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年になり、集積回路（ＩＣ）の集積技
術の進歩により、中央処理装置（ＣＰＵ）、メモリ等の
マイクロプロセッサやマイクロセンサを搭載したマイク
ロマシンが開発されるようになってきた。マイクロマシ
ンとしては例えば、マイクロモータの回転により移動可
能なマイクロ車が知られている。このマイクロ車には、
磁力により回転可能なマイクロモータ、そのマイクロモ
ータの変動磁場の磁束の向きや磁束密度の大きさを測定
するマイクロセンサ等が搭載されている。
術の進歩により、中央処理装置（ＣＰＵ）、メモリ等の
マイクロプロセッサやマイクロセンサを搭載したマイク
ロマシンが開発されるようになってきた。マイクロマシ
ンとしては例えば、マイクロモータの回転により移動可
能なマイクロ車が知られている。このマイクロ車には、
磁力により回転可能なマイクロモータ、そのマイクロモ
ータの変動磁場の磁束の向きや磁束密度の大きさを測定
するマイクロセンサ等が搭載されている。
【０００３】そして、マイクロ車では前記マイクロセン
サとしての磁気センサによって測定された値が電気信号
等に変換される。この電気信号等に依存してマイクロモ
ータの変動磁場の磁束密度等を変更することにより回転
速度等を変更して、マイクロ車の移動速度等を調節する
ことができる。
サとしての磁気センサによって測定された値が電気信号
等に変換される。この電気信号等に依存してマイクロモ
ータの変動磁場の磁束密度等を変更することにより回転
速度等を変更して、マイクロ車の移動速度等を調節する
ことができる。
【０００４】前記磁気センサとしては、コイルと、その
コイルの両端に接続したオシロスコープとより構成され
たものが知られている。このマイクロセンサを変動磁場
に配置することにより、変動磁場に曝されたコイルに電
磁誘導によって誘導起電力Ｖが発生し、その誘導起電力
Ｖが信号としてオシロスコープに表示される。
コイルの両端に接続したオシロスコープとより構成され
たものが知られている。このマイクロセンサを変動磁場
に配置することにより、変動磁場に曝されたコイルに電
磁誘導によって誘導起電力Ｖが発生し、その誘導起電力
Ｖが信号としてオシロスコープに表示される。
【０００５】また、その他の磁気センサとしてはホール
素子を使用したものが知られ、このホール素子はＮ形半
導体より形成されたものである。そして、このホール素
子に電源を接続し、電子により電流を流した状態で、ホ
ール素子の上下位置に磁極を配置すると、電子の流れが
直角方向に曲げられ、ホール素子に接続されたホール端
子間に前記磁極の磁界の強さに比例した電流が流れ、ホ
ール電圧が信号等に変換されて表示される。
素子を使用したものが知られ、このホール素子はＮ形半
導体より形成されたものである。そして、このホール素
子に電源を接続し、電子により電流を流した状態で、ホ
ール素子の上下位置に磁極を配置すると、電子の流れが
直角方向に曲げられ、ホール素子に接続されたホール端
子間に前記磁極の磁界の強さに比例した電流が流れ、ホ
ール電圧が信号等に変換されて表示される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
マイクロセンサにおいて、コイルを利用した磁気センサ
では、そのコイルのサイズを小さくするには限度があ
り、コイルによって検知可能な磁束密度の大きさ、即ち
検知可能な変動磁場の大きさには限度があり、その限界
値より小さい変動磁場では使用することができなくなる
という問題があった。
マイクロセンサにおいて、コイルを利用した磁気センサ
では、そのコイルのサイズを小さくするには限度があ
り、コイルによって検知可能な磁束密度の大きさ、即ち
検知可能な変動磁場の大きさには限度があり、その限界
値より小さい変動磁場では使用することができなくなる
という問題があった。
【０００７】また、ホール素子を利用した磁気センサに
おいては、ホール電圧は直流電圧であり、得られる信号
は直流信号である。そのため、地磁気等の外部環境の変
動磁場や測定回路からの磁気発生に基づくノイズが直流
信号に入り、磁気センサの精度が低くなるという問題が
あった。
おいては、ホール電圧は直流電圧であり、得られる信号
は直流信号である。そのため、地磁気等の外部環境の変
動磁場や測定回路からの磁気発生に基づくノイズが直流
信号に入り、磁気センサの精度が低くなるという問題が
あった。
【０００８】この発明は、このような従来技術に存在す
る問題点に着目してなされたものである。その目的とす
るところは、微少な変動磁場を精度が高く検知すること
ができるマイクロセンサ及びその用途を提供することに
ある。
る問題点に着目してなされたものである。その目的とす
るところは、微少な変動磁場を精度が高く検知すること
ができるマイクロセンサ及びその用途を提供することに
ある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明のマイクロセンサは、炭素
繊維によりコイル状に形成され、その炭素繊維の直径が
１ｎｍ〜１０μｍ、コイルの直径が２ｎｍ〜１００μｍ
のコイル状炭素繊維と、変動磁場に曝された前記コイル
状炭素繊維の電磁誘導によって生じる誘導起電力又は同
誘導起電力により発生する誘導電流を測定可能な測定器
とより構成され、前記誘導起電力又は誘導電流に基づい
て前記変動磁場を検知可能としたものである。
めに、請求項１に記載の発明のマイクロセンサは、炭素
繊維によりコイル状に形成され、その炭素繊維の直径が
１ｎｍ〜１０μｍ、コイルの直径が２ｎｍ〜１００μｍ
のコイル状炭素繊維と、変動磁場に曝された前記コイル
状炭素繊維の電磁誘導によって生じる誘導起電力又は同
誘導起電力により発生する誘導電流を測定可能な測定器
とより構成され、前記誘導起電力又は誘導電流に基づい
て前記変動磁場を検知可能としたものである。
【００１０】請求項２に記載の発明のマイクロセンサ
は、請求項１に記載の発明において、１ｎｍ2〜１０4μ
ｍ2の領域に形成された変動磁場を検知可能としたもの
である。
は、請求項１に記載の発明において、１ｎｍ2〜１０4μ
ｍ2の領域に形成された変動磁場を検知可能としたもの
である。
【００１１】請求項３に記載の発明のマイクロセンサ
は、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記
変動磁場の磁束密度は、予め測定された磁束密度と、そ
の磁束密度と比例関係にある誘導起電力とよりなる一次
式に、前記測定器により測定された誘導起電力を代入し
て算出可能としたものである。
は、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記
変動磁場の磁束密度は、予め測定された磁束密度と、そ
の磁束密度と比例関係にある誘導起電力とよりなる一次
式に、前記測定器により測定された誘導起電力を代入し
て算出可能としたものである。
【００１２】請求項４に記載の発明のマイクロセンサ
は、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の発明に
おいて、磁束密度が１０-5ｍＴ〜１０2Ｔの変動磁場を
検知可能としたものである。
は、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の発明に
おいて、磁束密度が１０-5ｍＴ〜１０2Ｔの変動磁場を
検知可能としたものである。
【００１３】請求項５に記載の発明のマイクロマシン
は、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載のマイク
ロセンサを方位センサとして使用したものである。請求
項６に記載の発明の微生物の生命活動モニタは、請求項
１〜請求項４のいずれか一項に記載のマイクロセンサを
使用して、微生物の変動磁場の有無を検知し、その微生
物の生命活動の有無を検知可能としたものである。
は、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載のマイク
ロセンサを方位センサとして使用したものである。請求
項６に記載の発明の微生物の生命活動モニタは、請求項
１〜請求項４のいずれか一項に記載のマイクロセンサを
使用して、微生物の変動磁場の有無を検知し、その微生
物の生命活動の有無を検知可能としたものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態を、図
面に基づいて詳細に説明する。マイクロセンサは炭素繊
維によりコイル状に形成されたコイル状炭素繊維と、変
動磁場に曝されたコイル状炭素繊維の電磁誘導によって
生じる交流電圧である誘導起電力Ｖ（ｍＶ）又は同誘導
起電力Ｖにより発生する誘導電流Ｉ（ｍＡ）を測定可能
な測定器とより構成されたものである。
面に基づいて詳細に説明する。マイクロセンサは炭素繊
維によりコイル状に形成されたコイル状炭素繊維と、変
動磁場に曝されたコイル状炭素繊維の電磁誘導によって
生じる交流電圧である誘導起電力Ｖ（ｍＶ）又は同誘導
起電力Ｖにより発生する誘導電流Ｉ（ｍＡ）を測定可能
な測定器とより構成されたものである。
【００１５】まず、前記コイル状炭素繊維について説明
すると、コイル状炭素繊維は、その炭素繊維の直径が１
ｎｍ〜１０μｍ、コイルの直径が少なくとも２ｎｍ〜１
００μｍのものである。なお、コイル状炭素繊維として
はコイルのピッチが０．０１〜５０μｍ及びコイルの長
さが３μm 〜１０ｍｍのものを使用するのが好ましい。
また、コイル状炭素繊維はほとんどがその繊維の中心部
分まで微細な炭素粒が詰まった状態で形成され、一部に
中空状に形成されたものも観察される。
すると、コイル状炭素繊維は、その炭素繊維の直径が１
ｎｍ〜１０μｍ、コイルの直径が少なくとも２ｎｍ〜１
００μｍのものである。なお、コイル状炭素繊維として
はコイルのピッチが０．０１〜５０μｍ及びコイルの長
さが３μm 〜１０ｍｍのものを使用するのが好ましい。
また、コイル状炭素繊維はほとんどがその繊維の中心部
分まで微細な炭素粒が詰まった状態で形成され、一部に
中空状に形成されたものも観察される。
【００１６】コイル状炭素繊維は螺旋構造を有し、その
螺旋構造には一重螺旋構造又は二重螺旋構造が含まれ、
コイルの螺旋の巻き方向として右巻きの螺旋構造を有す
るもの若しくは左巻きの螺旋構造を有するもの又はそれ
らの混合物が存在する。そして、コイル状炭素繊維は変
動磁場に曝されると、ファラデーの法則に従い電磁誘導
によりコイル内に誘導起電力Ｖが発生し、その誘導起電
力Ｖにより誘導電流Ｉが流れるものである。
螺旋構造には一重螺旋構造又は二重螺旋構造が含まれ、
コイルの螺旋の巻き方向として右巻きの螺旋構造を有す
るもの若しくは左巻きの螺旋構造を有するもの又はそれ
らの混合物が存在する。そして、コイル状炭素繊維は変
動磁場に曝されると、ファラデーの法則に従い電磁誘導
によりコイル内に誘導起電力Ｖが発生し、その誘導起電
力Ｖにより誘導電流Ｉが流れるものである。
【００１７】また、コイル状炭素繊維は、炭化水素又は
一酸化炭素を、金属触媒の存在下に６００〜３０００℃
に加熱し、気相で炭化水素又は一酸化炭素を分解反応さ
せることにより成長するものである。コイル状炭素繊維
は、触媒活性化ＣＶＤ（化学気相成長）法等により得る
ことができる。例えば、内部に金属触媒の存在する横型
熱化学気相合成装置（反応容器）内に基材を配置し、周
期律表の５Ｂ族又は６Ｂ族の化合物よりなる触媒ガス、
水素ガス及びシールガスを注入し、さらに、炭化水素又
は一酸化炭素を注入して所定温度で加熱分解したとき、
前記金属触媒から成長するものである。
一酸化炭素を、金属触媒の存在下に６００〜３０００℃
に加熱し、気相で炭化水素又は一酸化炭素を分解反応さ
せることにより成長するものである。コイル状炭素繊維
は、触媒活性化ＣＶＤ（化学気相成長）法等により得る
ことができる。例えば、内部に金属触媒の存在する横型
熱化学気相合成装置（反応容器）内に基材を配置し、周
期律表の５Ｂ族又は６Ｂ族の化合物よりなる触媒ガス、
水素ガス及びシールガスを注入し、さらに、炭化水素又
は一酸化炭素を注入して所定温度で加熱分解したとき、
前記金属触媒から成長するものである。
【００１８】前記測定器は、コイル状炭素繊維に接続さ
れ、そのコイル状炭素繊維に発生する誘導起電力Ｖを測
定する電圧計、前記誘導電流Ｉを測定する電流計、発生
した誘導起電力Ｖを波形信号として表示するオシロスコ
ープ等が挙げられる。そして、例えば、コイル状炭素繊
維の両端に接続した銅線とオシロスコープとを接続する
ことによりマイクロセンサが構成されている。なお、コ
イル状炭素繊維からの誘導起電力Ｖに基づく交流信号を
増幅器、ロックインアンプを経て測定するようにマイク
ロセンサを構成することもできる。
れ、そのコイル状炭素繊維に発生する誘導起電力Ｖを測
定する電圧計、前記誘導電流Ｉを測定する電流計、発生
した誘導起電力Ｖを波形信号として表示するオシロスコ
ープ等が挙げられる。そして、例えば、コイル状炭素繊
維の両端に接続した銅線とオシロスコープとを接続する
ことによりマイクロセンサが構成されている。なお、コ
イル状炭素繊維からの誘導起電力Ｖに基づく交流信号を
増幅器、ロックインアンプを経て測定するようにマイク
ロセンサを構成することもできる。
【００１９】そのマイクロセンサを変動磁場に配置する
ことにより、変動磁場に曝されたコイル状炭素繊維に電
磁誘導によって交流の誘導起電力Ｖが発生し、その誘導
起電力Ｖが交流信号としてオシロスコープに表示され
て、変動磁場の検知が可能となる。この交流信号に外部
からの変動磁場、例えば地磁気等によるノイズが入った
としても、交流信号の対称位置のノイズ同士で相殺さ
れ、オシロスコープに表示される交流信号のノイズが小
さくなる。さらに、交流電圧は、直流電圧と比較して増
幅しやすいため、微少な誘導起電力Ｖを増幅し、微少な
変動磁場の検知が可能となる。
ことにより、変動磁場に曝されたコイル状炭素繊維に電
磁誘導によって交流の誘導起電力Ｖが発生し、その誘導
起電力Ｖが交流信号としてオシロスコープに表示され
て、変動磁場の検知が可能となる。この交流信号に外部
からの変動磁場、例えば地磁気等によるノイズが入った
としても、交流信号の対称位置のノイズ同士で相殺さ
れ、オシロスコープに表示される交流信号のノイズが小
さくなる。さらに、交流電圧は、直流電圧と比較して増
幅しやすいため、微少な誘導起電力Ｖを増幅し、微少な
変動磁場の検知が可能となる。
【００２０】マイクロセンサを変動磁場に配置した状態
において、コイル状炭素繊維の巻数をＮ、コイル状炭素
繊維と鎖交する磁束をΦとし、前記磁束Φが時間ｔとと
もに変化したときの誘導起電力Ｖは Ｖ＝−Ｎ・ΔΦ／Δｔ…（１） （なお、ΔΦは時間ｔの変化Δｔにおける磁束Φの変化
量を示す。） 上記式（１）で示される。そのため、コイル状炭素繊維
の長さが長く、巻数Ｎが大きいほどコイル状炭素繊維に
発生する誘導起電力Ｖは大きくなる。また、変動磁場に
おける磁束密度Ｂは、同変動磁場の磁極からコイル状炭
素繊維までの距離ｒの二乗に反比例するため、コイル状
炭素繊維、即ちマイクロセンサを磁極から遠ざけるに連
れて測定される誘導起電力Ｖは小さくなる。
において、コイル状炭素繊維の巻数をＮ、コイル状炭素
繊維と鎖交する磁束をΦとし、前記磁束Φが時間ｔとと
もに変化したときの誘導起電力Ｖは Ｖ＝−Ｎ・ΔΦ／Δｔ…（１） （なお、ΔΦは時間ｔの変化Δｔにおける磁束Φの変化
量を示す。） 上記式（１）で示される。そのため、コイル状炭素繊維
の長さが長く、巻数Ｎが大きいほどコイル状炭素繊維に
発生する誘導起電力Ｖは大きくなる。また、変動磁場に
おける磁束密度Ｂは、同変動磁場の磁極からコイル状炭
素繊維までの距離ｒの二乗に反比例するため、コイル状
炭素繊維、即ちマイクロセンサを磁極から遠ざけるに連
れて測定される誘導起電力Ｖは小さくなる。
【００２１】さらに、磁束密度Ｂは誘導起電力Ｖと比例
関係にあり、定数をｋとした場合、磁束密度Ｂと誘導起
電力Ｖとは Ｂ＝ｋＶ…（２） 上記式（２）に示される一次式で表現することができ
る。そして、マイクロセンサにより測定された誘導起電
力Ｖを前記一次式に代入することにより、変動磁場の磁
束密度Ｂが算出されるようになっている。
関係にあり、定数をｋとした場合、磁束密度Ｂと誘導起
電力Ｖとは Ｂ＝ｋＶ…（２） 上記式（２）に示される一次式で表現することができ
る。そして、マイクロセンサにより測定された誘導起電
力Ｖを前記一次式に代入することにより、変動磁場の磁
束密度Ｂが算出されるようになっている。
【００２２】また、マイクロセンサは１ｎｍ2〜１０4μ
ｍ2の大きさの変動磁場に配置されても、コイル状炭素
繊維に誘導起電力Ｖが発生するため、その変動磁場を検
知し、その誘導起電力Ｖから磁束密度Ｂを算出すること
ができる。より微少な変動磁場を検知し、本実施形態の
マイクロセンサの効果を有効に発揮させるため、マイク
ロセンサを１ｎｍ2〜３００μｍ2の微少な変動磁場で使
用するのが好ましい。
ｍ2の大きさの変動磁場に配置されても、コイル状炭素
繊維に誘導起電力Ｖが発生するため、その変動磁場を検
知し、その誘導起電力Ｖから磁束密度Ｂを算出すること
ができる。より微少な変動磁場を検知し、本実施形態の
マイクロセンサの効果を有効に発揮させるため、マイク
ロセンサを１ｎｍ2〜３００μｍ2の微少な変動磁場で使
用するのが好ましい。
【００２３】さらに、マイクロセンサは磁束密度が１０
―5ｍＴ〜１０2Ｔの変動磁場においても、コイル状炭素
繊維に誘導起電力Ｖが発生するため、その変動磁場を検
知し、測定される誘導起電力Ｖから磁束密度Ｂを算出す
ることができる。より微少な変動磁場を検知し、本実施
形態のマイクロセンサの効果を有効に発揮させるため、
マイクロセンサを磁束密度が１０―5ｍＴ以上１０―3ｍ
Ｔ未満の微少な変動磁場で使用するのが好ましい。
―5ｍＴ〜１０2Ｔの変動磁場においても、コイル状炭素
繊維に誘導起電力Ｖが発生するため、その変動磁場を検
知し、測定される誘導起電力Ｖから磁束密度Ｂを算出す
ることができる。より微少な変動磁場を検知し、本実施
形態のマイクロセンサの効果を有効に発揮させるため、
マイクロセンサを磁束密度が１０―5ｍＴ以上１０―3ｍ
Ｔ未満の微少な変動磁場で使用するのが好ましい。
【００２４】上記構成のマイクロセンサを、図１に示す
マイクロマシンである自走型マイクロ車１１に搭載し、
そのマイクロ車１１における方位センサとして機能させ
てもよい。このマイクロ車１１にはマイクロモータ（図
示せず）が搭載され、方位センサにより測定された所定
の方向へ二次元又は三次元的に自走するものである。
マイクロマシンである自走型マイクロ車１１に搭載し、
そのマイクロ車１１における方位センサとして機能させ
てもよい。このマイクロ車１１にはマイクロモータ（図
示せず）が搭載され、方位センサにより測定された所定
の方向へ二次元又は三次元的に自走するものである。
【００２５】即ち、マイクロ車１１を、電磁コイル１２
により形成された変動磁場に配置すると、コイル状炭素
繊維１４に誘導起電力Ｖが発生する。そして、電磁コイ
ル１２の軸線とコイル状炭素繊維１４の軸線とが同軸線
上に位置したとき、コイル状炭素繊維１４には最大の誘
導起電力Ｖが生じる。そして、その誘導起電力Ｖが最大
となる方向がマイクロセンサ（図示せず）により検知さ
れると、マイクロ車１１はマイクロモータの回転により
その方向へ向かって自走する。このとき、マイクロ車１
１は電磁コイル１２の軸線に対して１０―5度のずれし
かなく、方位センサの方位精度を１／１０００００で保
証することが可能となる。
により形成された変動磁場に配置すると、コイル状炭素
繊維１４に誘導起電力Ｖが発生する。そして、電磁コイ
ル１２の軸線とコイル状炭素繊維１４の軸線とが同軸線
上に位置したとき、コイル状炭素繊維１４には最大の誘
導起電力Ｖが生じる。そして、その誘導起電力Ｖが最大
となる方向がマイクロセンサ（図示せず）により検知さ
れると、マイクロ車１１はマイクロモータの回転により
その方向へ向かって自走する。このとき、マイクロ車１
１は電磁コイル１２の軸線に対して１０―5度のずれし
かなく、方位センサの方位精度を１／１０００００で保
証することが可能となる。
【００２６】さらに、図２に示すように、マイクロセン
サを微生物の生命活動モニタ１３として応用してもよ
い。この生命活動モニタ１３において、コイル状炭素繊
維１４には増幅回路１５及びオシロスコープ１６が接続
されている。この生命活動モニタ１３は、微生物とし
て、例えば単細胞微生物１７の近傍位置に配置される
と、単細胞微生物１７が生命活動を行っている場合、そ
の生命活動の変動磁場によりコイル状炭素繊維１４に誘
導起電力Ｖが発生し、この誘導起電力Ｖが増幅回路１５
により増幅されてオシロスコープ１６に表示されるよう
に構成されている。
サを微生物の生命活動モニタ１３として応用してもよ
い。この生命活動モニタ１３において、コイル状炭素繊
維１４には増幅回路１５及びオシロスコープ１６が接続
されている。この生命活動モニタ１３は、微生物とし
て、例えば単細胞微生物１７の近傍位置に配置される
と、単細胞微生物１７が生命活動を行っている場合、そ
の生命活動の変動磁場によりコイル状炭素繊維１４に誘
導起電力Ｖが発生し、この誘導起電力Ｖが増幅回路１５
により増幅されてオシロスコープ１６に表示されるよう
に構成されている。
【００２７】前記の実施形態によって発揮される効果に
ついて、以下に記載する。 ・ コイル状炭素繊維はその炭素繊維の直径が１ｎｍ〜
１０μｍ、コイルの直径が少なくとも２ｎｍ〜１００μ
ｍのものである。そのため、そのコイル状炭素繊維を利
用することにより、従来のコイルを利用した磁気センサ
と比較して、マイクロセンサを小型化することができる
とともに、従来の磁気センサでは検知すことができない
微少な変動磁場を検知可能とすることができる。
ついて、以下に記載する。 ・ コイル状炭素繊維はその炭素繊維の直径が１ｎｍ〜
１０μｍ、コイルの直径が少なくとも２ｎｍ〜１００μ
ｍのものである。そのため、そのコイル状炭素繊維を利
用することにより、従来のコイルを利用した磁気センサ
と比較して、マイクロセンサを小型化することができる
とともに、従来の磁気センサでは検知すことができない
微少な変動磁場を検知可能とすることができる。
【００２８】・ コイル状炭素繊維から発生する誘導起
電力Ｖは交流電圧であるため、地磁気等の外部磁場や内
部回路からの磁気発生に伴うノイズの少ない交流信号を
得ることができる。従って、ホール素子を利用した従来
の磁気センサと異なり、ノイズの影響を少なくして変動
磁場を正確に検知することができる。また、直流信号と
比較して交流電圧は増幅しやすいため、微少な交流電圧
を増幅して交流信号とすることができ、マイクロセンサ
を高感度とすることができる。
電力Ｖは交流電圧であるため、地磁気等の外部磁場や内
部回路からの磁気発生に伴うノイズの少ない交流信号を
得ることができる。従って、ホール素子を利用した従来
の磁気センサと異なり、ノイズの影響を少なくして変動
磁場を正確に検知することができる。また、直流信号と
比較して交流電圧は増幅しやすいため、微少な交流電圧
を増幅して交流信号とすることができ、マイクロセンサ
を高感度とすることができる。
【００２９】・ コイル状炭素繊維は磁束密度１０―5
ｍＴ〜１０2Ｔの変動磁場で誘導起電力Ｖを発生させる
ことができ、特に１０―5ｍＴ以上１０―3ｍＴ未満の微
少な変動磁場においても誘導起電力Ｖを発生させること
ができる。従って、マイクロセンサにより微少な変動磁
場を検知することができる。また、測定された誘導起電
力Ｖに基づいて磁束密度Ｂを算出することにより、磁束
密度Ｂの小さい変動磁場の大きさを測定することができ
る。
ｍＴ〜１０2Ｔの変動磁場で誘導起電力Ｖを発生させる
ことができ、特に１０―5ｍＴ以上１０―3ｍＴ未満の微
少な変動磁場においても誘導起電力Ｖを発生させること
ができる。従って、マイクロセンサにより微少な変動磁
場を検知することができる。また、測定された誘導起電
力Ｖに基づいて磁束密度Ｂを算出することにより、磁束
密度Ｂの小さい変動磁場の大きさを測定することができ
る。
【００３０】・ また、マイクロセンサは１ｎｍ2〜１
０4μｍ2の変動磁場において誘導起電力Ｖを発生させる
ことができ、特に１ｎｍ2〜３００μｍ2の微少な変動磁
場においても誘導起電力Ｖを発生させることができる。
そのため、マイクロセンサをマイクロマシンに搭載する
ことができ、例えばマイクロマシンの電気回路部から発
生する電磁波等を測定し、その電気回路部の故障の有無
を調べたり、フロッピィディスクの情報読み取りのため
の磁気ヘッドに応用したりすることができる。
０4μｍ2の変動磁場において誘導起電力Ｖを発生させる
ことができ、特に１ｎｍ2〜３００μｍ2の微少な変動磁
場においても誘導起電力Ｖを発生させることができる。
そのため、マイクロセンサをマイクロマシンに搭載する
ことができ、例えばマイクロマシンの電気回路部から発
生する電磁波等を測定し、その電気回路部の故障の有無
を調べたり、フロッピィディスクの情報読み取りのため
の磁気ヘッドに応用したりすることができる。
【００３１】・ コイル状炭素繊維の長さを長く、巻数
Ｎを多くすることによりコイル状炭素繊維に流れる誘導
起電力Ｖを大きくすることができ、誘導起電力Ｖのモニ
タリングを容易に行うことができる。
Ｎを多くすることによりコイル状炭素繊維に流れる誘導
起電力Ｖを大きくすることができ、誘導起電力Ｖのモニ
タリングを容易に行うことができる。
【００３２】・ 磁束密度Ｂと誘導起電力Ｖとの関係
を、式（２）に示す一次式で表現することができる。そ
のため、マイクロセンサにより測定された誘導起電力Ｖ
を前記一次式に代入することにより、変動磁場の磁束密
度Ｂを容易に算出することができる。
を、式（２）に示す一次式で表現することができる。そ
のため、マイクロセンサにより測定された誘導起電力Ｖ
を前記一次式に代入することにより、変動磁場の磁束密
度Ｂを容易に算出することができる。
【００３３】・ コイル状炭素繊維は触媒活性化ＣＶＤ
（化学気相成長）法により容易にかつ安価に製造するこ
とができるため、マイクロセンサを容易かつ安価に製造
することができる。
（化学気相成長）法により容易にかつ安価に製造するこ
とができるため、マイクロセンサを容易かつ安価に製造
することができる。
【００３４】・ コイル状炭素繊維はその炭素繊維の直
径が１ｎｍ〜１０μｍ、コイルの直径が２ｎｍ〜１００
μｍのものである。そのため、マイクロセンサが使用さ
れる変動磁場の大きさに対応してコイル状炭素繊維の大
きさを対応させることができ、変動磁場の検知を的確に
行うことが可能となる。
径が１ｎｍ〜１０μｍ、コイルの直径が２ｎｍ〜１００
μｍのものである。そのため、マイクロセンサが使用さ
れる変動磁場の大きさに対応してコイル状炭素繊維の大
きさを対応させることができ、変動磁場の検知を的確に
行うことが可能となる。
【００３５】・ マイクロセンサを方位センサとして応
用した場合、従来の磁気センサを方位センサとして使用
した場合と比較して検知される方位の精度を向上するこ
とができる。
用した場合、従来の磁気センサを方位センサとして使用
した場合と比較して検知される方位の精度を向上するこ
とができる。
【００３６】・ マイクロセンサを微生物の生命活動モ
ニターとして応用することができる。その結果、オシロ
スコープ１６の表示の有無を確認することにより、単細
胞微生物１７が生命活動を続けているか否かを確認する
ことができる。
ニターとして応用することができる。その結果、オシロ
スコープ１６の表示の有無を確認することにより、単細
胞微生物１７が生命活動を続けているか否かを確認する
ことができる。
【００３７】
【実施例】以下、実施例により、前記実施形態をさらに
具体的に説明する。まず、図３に示すように、コイル状
炭素繊維１４とオシロスコープ１６とよりなるマイクロ
センサ１８をスライドグラス１９上に設置し、そのマイ
クロセンサ１８を地磁気や電波等の外部からの電磁波を
遮断するケース２０内に設置した。次いで、３００ＫＨ
ｚ、１．０Ｖの電圧を印加した電磁コイル１２の中心に
設置された磁極としての鉄心２１の先端（磁極からの距
離０ｍｍ）の磁束密度Ｂ（ｍＴ）を市販のガウスメータ
ーで測定した。
具体的に説明する。まず、図３に示すように、コイル状
炭素繊維１４とオシロスコープ１６とよりなるマイクロ
センサ１８をスライドグラス１９上に設置し、そのマイ
クロセンサ１８を地磁気や電波等の外部からの電磁波を
遮断するケース２０内に設置した。次いで、３００ＫＨ
ｚ、１．０Ｖの電圧を印加した電磁コイル１２の中心に
設置された磁極としての鉄心２１の先端（磁極からの距
離０ｍｍ）の磁束密度Ｂ（ｍＴ）を市販のガウスメータ
ーで測定した。
【００３８】続いて、前記ガウスメーターを使用して鉄
心２１の先端から１ｍｍ毎に１０ｍｍまでの磁束密度Ｂ
を測定した。また、前記マイクロセンサ１８のコイル状
炭素繊維１４を鉄心２１の先端に接近させ、鉄心２１の
先端から１ｍｍ毎に１０ｍｍまでの誘導起電力Ｖを測定
した。その結果を表１に示す。
心２１の先端から１ｍｍ毎に１０ｍｍまでの磁束密度Ｂ
を測定した。また、前記マイクロセンサ１８のコイル状
炭素繊維１４を鉄心２１の先端に接近させ、鉄心２１の
先端から１ｍｍ毎に１０ｍｍまでの誘導起電力Ｖを測定
した。その結果を表１に示す。
【００３９】
【表１】 そして、ガウスメーターにより測定された磁束密度Ｂ
と、マイクロセンサ１８により測定された誘導起電力Ｖ
とより、定数ｋを算出し、磁束密度Ｂと誘導起電力Ｖと
よりなる式（２）に示す一次式をたてた。続けて、鉄心
２１の先端から１０ｍｍの位置から１ｍｍづつ離れた位
置での誘導起電力Ｖを測定した。さらに、測定された誘
導起電力Ｖを前記一次式に代入して磁束密度Ｂを算出し
た。その結果を表２に示す。
と、マイクロセンサ１８により測定された誘導起電力Ｖ
とより、定数ｋを算出し、磁束密度Ｂと誘導起電力Ｖと
よりなる式（２）に示す一次式をたてた。続けて、鉄心
２１の先端から１０ｍｍの位置から１ｍｍづつ離れた位
置での誘導起電力Ｖを測定した。さらに、測定された誘
導起電力Ｖを前記一次式に代入して磁束密度Ｂを算出し
た。その結果を表２に示す。
【００４０】
【表２】 従って、表２に示すように、マイクロセンサ１８が磁束
密度Ｂが３×１０―5ｍＴという微少な変動磁場に配置
されても、誘導起電力Ｖを発生させて、その変動磁場を
検知することができることが示された。
密度Ｂが３×１０―5ｍＴという微少な変動磁場に配置
されても、誘導起電力Ｖを発生させて、その変動磁場を
検知することができることが示された。
【００４１】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発明の
マイクロセンサによれば、微少な変動磁場を精度が高く
検知することができる。
ば、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発明の
マイクロセンサによれば、微少な変動磁場を精度が高く
検知することができる。
【００４２】請求項２に記載の発明のマイクロセンサに
よれば、請求項１に記載の発明の効果に加えて、マイク
ロセンサを微少領域で応用することができる。請求項３
に記載の発明のマイクロセンサによれば、測定された誘
導起電力により磁束密度を算出することができる。
よれば、請求項１に記載の発明の効果に加えて、マイク
ロセンサを微少領域で応用することができる。請求項３
に記載の発明のマイクロセンサによれば、測定された誘
導起電力により磁束密度を算出することができる。
【００４３】請求項４に記載の発明のマイクロセンサに
よれば、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の発
明の効果に加えて、微少領域の変動磁場を検知すること
ができる。
よれば、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の発
明の効果に加えて、微少領域の変動磁場を検知すること
ができる。
【００４４】請求項５に記載の方位センサによれば、方
位精度を正確にすることができる。請求項６に記載の微
生物の生命活動モニタによれば、微生物の生命の有無を
確認することができる。
位精度を正確にすることができる。請求項６に記載の微
生物の生命活動モニタによれば、微生物の生命の有無を
確認することができる。
【図１】 実施形態のマイクロ車を示す模式図。
【図２】 実施形態の微生物の生命活動モニタを示す模
式図。
式図。
【図３】 マイクロセンサによる変動磁場の検知方法を
示す模式図。
示す模式図。
１１…マイクロマシンとしてのマイクロ車、１３…微生
物の生命活動モニタ、１４…コイル状炭素繊維、１６…
測定器としてのオシロスコープ、１７…微生物としての
単細胞微生物。
物の生命活動モニタ、１４…コイル状炭素繊維、１６…
測定器としてのオシロスコープ、１７…微生物としての
単細胞微生物。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 津田 孝雄 愛知県日進市香久山２丁目3102番地 (72)発明者 菱川 幸雄 岐阜県各務原市須衛町四丁目179番地の１ シーエムシー技術開発 株式会社内 Ｆターム(参考） 2G017 AA01 AB07 AC09 AD02 AD03 AD04 2G053 AA11 AA21 AB01 BA02 BA08 CA03 CA18 DA01 DA05 DB01 DB11 DB25 4B029 AA07 AA27 BB01 CC02 FA15 4B063 QA01 QA20 QQ05 QS39 QX01 QX05
Claims (6)
- 【請求項１】 炭素繊維によりコイル状に形成され、そ
の炭素繊維の直径が１ｎｍ〜１０μｍ、コイルの直径が
２ｎｍ〜１００μｍのコイル状炭素繊維と、変動磁場に
曝された前記コイル状炭素繊維の電磁誘導によって生じ
る誘導起電力又は同誘導起電力により発生する誘導電流
を測定可能な測定器とより構成され、前記誘導起電力又
は誘導電流に基づいて前記変動磁場を検知可能としたマ
イクロセンサ。 - 【請求項２】 １ｎｍ2〜１０4μｍ2の領域に形成され
た変動磁場を検知可能とした請求項１に記載のマイクロ
センサ。 - 【請求項３】 前記変動磁場の磁束密度は、予め測定さ
れた磁束密度と、その磁束密度と比例関係にある誘導起
電力とよりなる一次式に、前記測定器により測定された
誘導起電力を代入して算出可能とした請求項１又は請求
項２に記載のマイクロセンサ。 - 【請求項４】 磁束密度が１０-5ｍＴ〜１０2Ｔの変動
磁場を検知可能とした請求項１〜請求項３のいずれか一
項に記載のマイクロセンサ。 - 【請求項５】 請求項１〜請求項４のいずれか一項に記
載のマイクロセンサを方位センサとして使用したマイク
ロマシン。 - 【請求項６】 請求項１〜請求項４のいずれか一項に記
載のマイクロセンサを使用して、微生物の変動磁場の有
無を検知し、その微生物の生命活動の有無を検知可能と
した微生物の生命活動モニタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001017396A JP2002221513A (ja) | 2001-01-25 | 2001-01-25 | マイクロセンサ及びその用途 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001017396A JP2002221513A (ja) | 2001-01-25 | 2001-01-25 | マイクロセンサ及びその用途 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002221513A true JP2002221513A (ja) | 2002-08-09 |
Family
ID=18883613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001017396A Pending JP2002221513A (ja) | 2001-01-25 | 2001-01-25 | マイクロセンサ及びその用途 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002221513A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007069325A (ja) * | 2005-09-08 | 2007-03-22 | Japan Science & Technology Agency | 微小電磁装置の作製方法及びそれによって作製される微小電磁装置 |
| JP2011089894A (ja) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Nagoya Univ | 細胞組織評価装置 |
Citations (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03200083A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-02 | Mishima Taimu Ind:Kk | 磁場測定器 |
| JPH05197767A (ja) * | 1991-08-09 | 1993-08-06 | Fujitsu Ltd | 生体磁気計測装置 |
| JPH06337259A (ja) * | 1993-05-28 | 1994-12-06 | Mitsubishi Atom Power Ind Inc | 導電体の内部診断方法 |
| JPH09145677A (ja) * | 1995-11-17 | 1997-06-06 | Shimizu Corp | 鋼材の塑性化判別方法 |
| JPH10170355A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-06-26 | Kagaku Gijutsu Shinko Jigyodan | 高感度応力検出装置 |
| JPH1181051A (ja) * | 1997-09-01 | 1999-03-26 | Seiji Motojima | コイル状炭素繊維、その製造方法及びその製造装置 |
| JPH11121236A (ja) * | 1997-10-17 | 1999-04-30 | Matsushita Electric Works Ltd | コイルブロックとその製造方法 |
| JPH11124740A (ja) * | 1997-10-17 | 1999-05-11 | Noritake Co Ltd | カーボンマイクロコイル及びその製造方法 |
| JPH11281720A (ja) * | 1998-03-30 | 1999-10-15 | Ricoh Co Ltd | 近磁界プローブ |
| JP2000027072A (ja) * | 1998-07-10 | 2000-01-25 | Seiji Motojima | コイル状炭素繊維、その製造方法及び電磁波シールド材 |
| JP2000055994A (ja) * | 1998-08-03 | 2000-02-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 磁界検知装置 |
| JP2001318080A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-16 | Kaisei Engineer Kk | 検出コイルとこの検出コイルを用いた検査装置 |
| JP2002039810A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-06 | Nippon Lsi Card Co Ltd | 土木・建設構造物の状態検査方法及びそのシステム並びにそれに用いるセンサ一体型デバイス |
| JP2002094283A (ja) * | 2000-09-11 | 2002-03-29 | Seiji Motojima | コイル状炭素繊維、その製造方法及び電磁波吸収材 |
-
2001
- 2001-01-25 JP JP2001017396A patent/JP2002221513A/ja active Pending
Patent Citations (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03200083A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-02 | Mishima Taimu Ind:Kk | 磁場測定器 |
| JPH05197767A (ja) * | 1991-08-09 | 1993-08-06 | Fujitsu Ltd | 生体磁気計測装置 |
| JPH06337259A (ja) * | 1993-05-28 | 1994-12-06 | Mitsubishi Atom Power Ind Inc | 導電体の内部診断方法 |
| JPH09145677A (ja) * | 1995-11-17 | 1997-06-06 | Shimizu Corp | 鋼材の塑性化判別方法 |
| JPH10170355A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-06-26 | Kagaku Gijutsu Shinko Jigyodan | 高感度応力検出装置 |
| JPH1181051A (ja) * | 1997-09-01 | 1999-03-26 | Seiji Motojima | コイル状炭素繊維、その製造方法及びその製造装置 |
| JPH11121236A (ja) * | 1997-10-17 | 1999-04-30 | Matsushita Electric Works Ltd | コイルブロックとその製造方法 |
| JPH11124740A (ja) * | 1997-10-17 | 1999-05-11 | Noritake Co Ltd | カーボンマイクロコイル及びその製造方法 |
| JPH11281720A (ja) * | 1998-03-30 | 1999-10-15 | Ricoh Co Ltd | 近磁界プローブ |
| JP2000027072A (ja) * | 1998-07-10 | 2000-01-25 | Seiji Motojima | コイル状炭素繊維、その製造方法及び電磁波シールド材 |
| JP2000055994A (ja) * | 1998-08-03 | 2000-02-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 磁界検知装置 |
| JP2001318080A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-16 | Kaisei Engineer Kk | 検出コイルとこの検出コイルを用いた検査装置 |
| JP2002039810A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-06 | Nippon Lsi Card Co Ltd | 土木・建設構造物の状態検査方法及びそのシステム並びにそれに用いるセンサ一体型デバイス |
| JP2002094283A (ja) * | 2000-09-11 | 2002-03-29 | Seiji Motojima | コイル状炭素繊維、その製造方法及び電磁波吸収材 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007069325A (ja) * | 2005-09-08 | 2007-03-22 | Japan Science & Technology Agency | 微小電磁装置の作製方法及びそれによって作製される微小電磁装置 |
| JP2011089894A (ja) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Nagoya Univ | 細胞組織評価装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101532816B (zh) | 基于巨磁阻传感器和智能算法的多层厚度涡流检测装置 | |
| Zuo et al. | Detection of trace organophosphorus vapor with a self-assembled bilayer functionalized SiO2 microcantilever piezoresistive sensor | |
| JPH0742128Y2 (ja) | ガス中の酸素濃度測定用の酸素検出器 | |
| Bernieri et al. | Improving performance of GMR sensors | |
| CN102027361B (zh) | 利用gmr的氧浓度测量 | |
| JP2009250931A (ja) | 磁気センサおよびその動作方法、および磁気センサシステム | |
| Zhao et al. | Cantilever-based aptasensor for trace level detection of nerve agent simulant in aqueous matrices | |
| Alwarappan et al. | Evaluation of hydrogenated physically small carbon electrodes in resisting fouling during voltammetric detection of dopamine | |
| Das et al. | Detection of low-frequency magnetic fields down to sub-pT resolution with planar-Hall effect sensors | |
| Ferrari et al. | The influence of lateral flake size in graphene/graphite paste electrodes: an electroanalytical investigation | |
| EP3244217A2 (en) | Electric current measurement apparatus | |
| JP2002221513A (ja) | マイクロセンサ及びその用途 | |
| Butta et al. | Fluxgate effect in twisted magnetic wire | |
| Lany et al. | Superparamagnetic microbead inductive detector | |
| Yao et al. | High precision MI sensor with low energy consumption driven by low-frequency Wiegand pulse | |
| Bernieri et al. | Improving GMR magnetometer sensor uncertainty by implementing an automatic procedure for calibration and adjustment | |
| JP2008151534A (ja) | 磁束測定法及び磁気センサー | |
| Brizzolara et al. | A tunneling-tip magnetometer | |
| JP2002286824A (ja) | 磁場センサ及びその用途 | |
| Frauen et al. | Magnetothermoelectric power in Co/Pt layered structures: Interface versus bulk contributions | |
| Gomes et al. | Improved experimental setup to reach a broad frequency domain in local electrochemical impedance spectroscopy measurements | |
| Fernández-García et al. | Automatized and desktop AC-susceptometer for the in situ and real time monitoring of magnetic nanoparticles’ synthesis by coprecipitation | |
| CN114114109A (zh) | 基于反亥姆霍兹线圈测量微小形变的方法 | |
| Jing et al. | Calibration of the spring constant of AFM cantilever | |
| CN113156349A (zh) | 一种材料磁致机械特性的测量方法和装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20080118 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20100607 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100824 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20110104 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |