JP2000039313A - リードフレーム検査機校正用１次標準器 - Google Patents
リードフレーム検査機校正用１次標準器Info
- Publication number
- JP2000039313A JP2000039313A JP10206398A JP20639898A JP2000039313A JP 2000039313 A JP2000039313 A JP 2000039313A JP 10206398 A JP10206398 A JP 10206398A JP 20639898 A JP20639898 A JP 20639898A JP 2000039313 A JP2000039313 A JP 2000039313A
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- inspection machine
- frame inspection
- scale
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- Pending
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】１つの1次標準器によって、リードフレーム検
査機のＸＹ方向とＺ方向の寸法検査のための校正が行え
るようにすることを課題とする。 【解決手段】リードフレーム検査機校正用の１次標準器
として、Ｘ方向の寸法目盛と、Ｘ方向と直交するＹ方向
の寸法目盛と、Ｘ及びY方向と直交するＺ方向に深さが
異なる複数の凹部とを具備している板を用いる。
査機のＸＹ方向とＺ方向の寸法検査のための校正が行え
るようにすることを課題とする。 【解決手段】リードフレーム検査機校正用の１次標準器
として、Ｘ方向の寸法目盛と、Ｘ方向と直交するＹ方向
の寸法目盛と、Ｘ及びY方向と直交するＺ方向に深さが
異なる複数の凹部とを具備している板を用いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、リードフレーム検
査機の校正に用いる１次標準器に関し、特にＸＹ方向と
Ｚ方向の寸法検査を共に行えるリードフレーム検査機を
校正するための１次標準器に関する。
査機の校正に用いる１次標準器に関し、特にＸＹ方向と
Ｚ方向の寸法検査を共に行えるリードフレーム検査機を
校正するための１次標準器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、リードフレーム検査機を校正する
とき、リードの巾や間隔などＸＹ（水平）方向の寸法を
検査するための校正に用いる１次標準器と、ディプレス
検査などＺ（深さ）方向の寸法を検査するための校正に
用いる１次標準器とは、別々であった。
とき、リードの巾や間隔などＸＹ（水平）方向の寸法を
検査するための校正に用いる１次標準器と、ディプレス
検査などＺ（深さ）方向の寸法を検査するための校正に
用いる１次標準器とは、別々であった。
【０００３】すなわち、ＸＹ方向の寸法を検査するため
の校正に用いる１次標準器は、寸法目盛の付いた互いに
直交するＸ軸とＹ軸があるガラス板であったのに対し
て、Ｚ方向の寸法を検査するための校正に用いる１次標
準器は、深さの異なる複数の凹部がある金属板であっ
た。
の校正に用いる１次標準器は、寸法目盛の付いた互いに
直交するＸ軸とＹ軸があるガラス板であったのに対し
て、Ｚ方向の寸法を検査するための校正に用いる１次標
準器は、深さの異なる複数の凹部がある金属板であっ
た。
【０００４】このため、ＸＹ方向とＺ方向の寸法検査を
共に行える多数のリードフレーム検査機の間で検査精度
を同一にするために校正をするとき、２枚の１次標準器
を取り替えつつ校正を行わなければならず、作業が煩雑
になっていた。
共に行える多数のリードフレーム検査機の間で検査精度
を同一にするために校正をするとき、２枚の１次標準器
を取り替えつつ校正を行わなければならず、作業が煩雑
になっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は係る従来技術
の欠点に鑑みてなされたもので、１つの１次標準器によ
って、リードフレーム検査機のＸＹ方向とＺ方向の寸法
検査のための校正が行えるようにすることを課題とす
る。
の欠点に鑑みてなされたもので、１つの１次標準器によ
って、リードフレーム検査機のＸＹ方向とＺ方向の寸法
検査のための校正が行えるようにすることを課題とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明において上記の課
題を達成するために、まず請求項１の発明では、Ｘ方向
の寸法目盛と、Ｘ方向と直交するＹ方向の寸法目盛と、
Ｘ及びＹ方向と直交するＺ方向に深さが異なる複数の凹
部とを具備している板であることを特徴とするリードフ
レーム検査機校正用１次標準器としたものである。
題を達成するために、まず請求項１の発明では、Ｘ方向
の寸法目盛と、Ｘ方向と直交するＹ方向の寸法目盛と、
Ｘ及びＹ方向と直交するＺ方向に深さが異なる複数の凹
部とを具備している板であることを特徴とするリードフ
レーム検査機校正用１次標準器としたものである。
【０００７】また請求項２の発明では、Ｘ方向の寸法目
盛と、Ｘ方向と直交するＹ方向の寸法目盛と、Ｘ及びＹ
方向と直交するＺ方向に深さが０．００５ｍｍから２．
０００ｍｍの範囲にあり、深さの精度が±０．００５ｍ
ｍ以下であり、かつ底の平坦度が１μフラットネス以下
である複数の凹部とを具備するガラス板であることを特
徴とするリードフレーム検査機校正用１次標準器とした
ものである。
盛と、Ｘ方向と直交するＹ方向の寸法目盛と、Ｘ及びＹ
方向と直交するＺ方向に深さが０．００５ｍｍから２．
０００ｍｍの範囲にあり、深さの精度が±０．００５ｍ
ｍ以下であり、かつ底の平坦度が１μフラットネス以下
である複数の凹部とを具備するガラス板であることを特
徴とするリードフレーム検査機校正用１次標準器とした
ものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、図１及び
図２を用いて説明する。
図２を用いて説明する。
【０００９】本発明であるリードフレーム検査機校正用
１次標準器は板であって、その平面図を図１に示す。Ｙ
（縦）方向には寸法目盛１３があり、Ｘ（横）方向には
寸法目盛１４があり、寸法目盛１３と１４は互いに直交
している。そして、凹部１〜１２が一列に並んでおり、
それらの凹部は、図２に示すように、深さが異なってい
る。もちろん、凹部の数と深さは、必要に応じて様々に
選んで良い。また、凹部の形は、円錐形でなくとも良
い。
１次標準器は板であって、その平面図を図１に示す。Ｙ
（縦）方向には寸法目盛１３があり、Ｘ（横）方向には
寸法目盛１４があり、寸法目盛１３と１４は互いに直交
している。そして、凹部１〜１２が一列に並んでおり、
それらの凹部は、図２に示すように、深さが異なってい
る。もちろん、凹部の数と深さは、必要に応じて様々に
選んで良い。また、凹部の形は、円錐形でなくとも良
い。
【００１０】リードフレーム検査機で凹部１〜１２の深
さを検査したとき、凹部１〜１２の正しい深さを示すよ
うにリードフレーム検査機を調整することによって、リ
ードフレーム検査機のＺ方向の寸法検査のための校正が
なされる。また、リードフレーム検査機で寸法目盛１３
の目盛間隔を検査したとき、寸法目盛１３の正しい目盛
間隔を示すようにリードフレーム検査機を調整すること
によって、リードフレーム検査機のＹ方向の寸法検査の
ための校正がなされる。さらに、リードフレーム検査機
で寸法目盛１４の目盛間隔を検査したとき、寸法目盛１
４の正しい目盛間隔を示すようにリードフレーム検査機
を調整することによって、リードフレーム検査機のＸ方
向の寸法検査のための校正がなされる。このようにし
て、一つのリードフレーム検査機校正用1次標準器によ
って、リードフレーム検査機のＸＹＺ方向の寸法検査の
ための校正を行うことができる。
さを検査したとき、凹部１〜１２の正しい深さを示すよ
うにリードフレーム検査機を調整することによって、リ
ードフレーム検査機のＺ方向の寸法検査のための校正が
なされる。また、リードフレーム検査機で寸法目盛１３
の目盛間隔を検査したとき、寸法目盛１３の正しい目盛
間隔を示すようにリードフレーム検査機を調整すること
によって、リードフレーム検査機のＹ方向の寸法検査の
ための校正がなされる。さらに、リードフレーム検査機
で寸法目盛１４の目盛間隔を検査したとき、寸法目盛１
４の正しい目盛間隔を示すようにリードフレーム検査機
を調整することによって、リードフレーム検査機のＸ方
向の寸法検査のための校正がなされる。このようにし
て、一つのリードフレーム検査機校正用1次標準器によ
って、リードフレーム検査機のＸＹＺ方向の寸法検査の
ための校正を行うことができる。
【００１１】
【実施例】以下に、本発明のリードフレーム検査機校正
用１次標準器を、具体的な実施例に従って説明する。
用１次標準器を、具体的な実施例に従って説明する。
【００１２】リードフレーム検査機校正用１次標準器の
素材として、ガラス板を用いる。一つのリードフレーム
検査機校正用１次標準器の大きさは、縦５９．２６ｍ
ｍ、横１７７．８０ｍｍである。そして、ＸＹ方向共
に、寸法目盛の幅は５μｍ、寸法目盛の間隔は１ｍｍで
ある。
素材として、ガラス板を用いる。一つのリードフレーム
検査機校正用１次標準器の大きさは、縦５９．２６ｍ
ｍ、横１７７．８０ｍｍである。そして、ＸＹ方向共
に、寸法目盛の幅は５μｍ、寸法目盛の間隔は１ｍｍで
ある。
【００１３】Ｚ方向の校正用の凹部は、図１のように、
１２個あり、凹部１〜６又は凹部７〜１２における凹部
の隣同士の間隔は、１１ｍｍである。凹部それぞれの深
さ、直径、平坦度は、表１の通りである。
１２個あり、凹部１〜６又は凹部７〜１２における凹部
の隣同士の間隔は、１１ｍｍである。凹部それぞれの深
さ、直径、平坦度は、表１の通りである。
【００１４】 ［表１］番号 深さ（ｍｍ） 直径（ｍｍ） 平坦度 １ ０．００５±０．００５ ５．０±０．０５ １μフラットネス ２ ０．０１０±０．００５ ５．０±０．０５ １μフラットネス ３ ０．０２０±０．００５ ５．０±０．０５ １μフラットネス ４ ０．０３０±０．００５ ５．０±０．０５ １μフラットネス ５ ０．０４０±０．００５ ５．０±０．０５ １μフラットネス ６ ０．０５０±０．００５ ５．０±０．０５ １μフラットネス ７ ０．１００±０．００５ ５．０±０．０５ １μフラットネス ８ ０．１５０±０．００５ ５．０±０．０５ １μフラットネス ９ ０．２５０±０．００５ ５．０±０．０５ １μフラットネス １０ ０．５００±０．００５ ５．０±０．０５ １μフラットネス １１ １．０００±０．００５ ５．０±０．０５ １μフラットネス １２ ２．０００±０．００５ ５．０±０．０５ １μフラットネス
【００１５】本実施例では、図３に示すように、凹部の
底の縁に若干の丸みにあるけれども、校正は影響がな
い。
底の縁に若干の丸みにあるけれども、校正は影響がな
い。
【００１６】
【発明の効果】本発明は、上述したように、リードフレ
ーム検査機のＸＹＺ方向の寸法検査のための校正が、一
枚の１次標準器によってなされるので、それら校正の作
業効率が向上するという効果がある。
ーム検査機のＸＹＺ方向の寸法検査のための校正が、一
枚の１次標準器によってなされるので、それら校正の作
業効率が向上するという効果がある。
【図１】本発明のリードフレーム検査機校正用１次標準
器の平面図である。
器の平面図である。
【図２】本発明のリードフレーム検査機校正用１次標準
器における凹部の深さを説明する断面図である。
器における凹部の深さを説明する断面図である。
【図３】本発明の実施例において、凹部の底の縁にある
丸みを説明する断面図である。
丸みを説明する断面図である。
【符号の説明】 １…凹部 ２…凹部 ３…凹部 ４…凹部 ５…凹部 ６…凹部 ７…凹部 ８…凹部 ９…凹部 １１…凹部 １２…凹部 １３…寸法目盛 １４…寸法目盛 １５…リードフレーム検査機校正用１次標準器 Ｒ…丸み
Claims (2)
- 【請求項１】Ｘ方向の寸法目盛と、Ｘ方向と直交するＹ
方向の寸法目盛と、Ｘ及びＹ方向と直交するＺ方向に深
さが異なる複数の凹部とを具備している板であることを
特徴とするリードフレーム検査機校正用１次標準器。 - 【請求項２】Ｘ方向の寸法目盛と、Ｘ方向と直交するＹ
方向の寸法目盛と、Ｘ及びＹ方向と直交するＺ方向に深
さが０．００５ｍｍから２．０００ｍｍの範囲にあり、
深さの精度が±０．００５ｍｍ以下であり、かつ底の平
坦度が１μフラットネス以下である複数の凹部とを具備
する石英ガラス板であることを特徴とするリードフレー
ム検査機校正用１次標準器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10206398A JP2000039313A (ja) | 1998-07-22 | 1998-07-22 | リードフレーム検査機校正用１次標準器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10206398A JP2000039313A (ja) | 1998-07-22 | 1998-07-22 | リードフレーム検査機校正用１次標準器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000039313A true JP2000039313A (ja) | 2000-02-08 |
Family
ID=16522704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10206398A Pending JP2000039313A (ja) | 1998-07-22 | 1998-07-22 | リードフレーム検査機校正用１次標準器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000039313A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100956209B1 (ko) | 2008-12-09 | 2010-05-04 | 삼성전기주식회사 | 광학검사장치 교정용 멀티 스탠다드 스케일 |
-
1998
- 1998-07-22 JP JP10206398A patent/JP2000039313A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100956209B1 (ko) | 2008-12-09 | 2010-05-04 | 삼성전기주식회사 | 광학검사장치 교정용 멀티 스탠다드 스케일 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040712 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050105 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050511 |