KR920006749A - 프로우브 장치 - Google Patents

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KR920006749A
KR920006749A KR1019910015124A KR910015124A KR920006749A KR 920006749 A KR920006749 A KR 920006749A KR 1019910015124 A KR1019910015124 A KR 1019910015124A KR 910015124 A KR910015124 A KR 910015124A KR 920006749 A KR920006749 A KR 920006749A
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KR
South Korea
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respect
quartz plate
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KR1019910015124A
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KR0138752B1 (ko
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토오루 이케다
테루오 이와타
잇세이 이마하시
Original Assignee
이노우에 아키라
도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/0735—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card arranged on a flexible frame or film

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Abstract

내용 없음

Description

프로우브 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 수정의 결정을 나타낸 개략도, 제3도는 본 발명의 수정 프로우브의 프로우브 본체의 1예를 나타내는 사시도,
제4도는 제3도에 나타낸 프로우브 본체의 일부 확대도,
제5도 (A) ~ (F)는 본 발명의 수정 프로우브를 제조공정을 설명하기 위한 단면도.

Claims (5)

  1. 피검사체의 전극배열에 대응하는 다수의 프로우브열을 가지는 복수수의 프로우브부와, 각 프로우브부에 각각 연이어 접속되는 리이드 패턴부(21)와, 이 모든 리이드 패턴부(21)를 지지하는 지지부로 구성되고, 수정판의 결정축(Z)과 직교하는 (Z)면을 에칭함으로서 이 프로우브(25)(60)(110)의 긴쪽방향이 이 수정판의 X축 또는 Y축에 대하여 기운 방향으로 되도록 형성된 수정 프로우브 본체와, 이 수정 프로우브 본체상에 형성된 금속 패턴층을 구비하는 수정 프로우브(91)와, 상기 피검사체를 검사하는 테스트기(7)와, 이 테스트기(7) 및 상기 수정 프로우브(91)를 장착하는 어댑터를 구비하는 프로우브 장치.
  2. 제1항에 있어서, 프로우브의 긴쪽방향이 수정판의 X축 또는 Y축에 대하여 30 ~60°로 기운방향인 프로우브 장치.
  3. 제1항에 있어서, 리이드 패턴부(21)가 지지부로부터 5~15° 경사하고 있는 프로우브 장치.
  4. 피검사체의 전극배열에 대응하는 다수의 프로우브를 가지는 복수의 프로우브부와, 이 프로우브에 각각 연이어 접속되는 리이드 패턴부(21)와, 이 모든 리이드 패턴부(21)를 지지하는 지지부로 구성되고, 수정판의 결정축(Z)과 직교하는 (Z)면을 에칭함으로써 이 프로우브의 긴쪽방향이 이 수정판의 X축 또는 Y축에 대하여 기운 방향으로 되도록 형성된 수정 프로우브 본체와, 이 수정 프로우브 본체상에 형성된 금속패턴층으로 이루어지는 수정 프로우브와, 이 수정 프로우브를 얹어놓는 머더 보오드를 구비하는 프로우브 카아드.
  5. 제4항에 있어서, 프로우브의 긴쪽방향이 수정판의 X축 또는 Y축에 대하여 30~60° 기운 방향인 프로우브 카아드.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910015124A 1990-09-03 1991-08-30 프로우브 장치 KR0138752B1 (ko)

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