JPH09292439A - 回路素子用検査装置 - Google Patents

回路素子用検査装置

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JPH09292439A
JPH09292439A JP9040934A JP4093497A JPH09292439A JP H09292439 A JPH09292439 A JP H09292439A JP 9040934 A JP9040934 A JP 9040934A JP 4093497 A JP4093497 A JP 4093497A JP H09292439 A JPH09292439 A JP H09292439A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 実使用環境での検査を手際良く容易にかつ正
確に行なえるようにする。 【解決手段】 被検査用IC100が交換自在に装着さ
れるソケット本体1をプリント配線基板10上の所定の
IC装着部位10aに浮上状態で位置決め支持可能にす
る。このプリント配線基板10のIC装着部位10aの
IC接続部に、前記ソケット本体1の各ピン4に接続さ
れたフレキシブルプリント板6を接続する。このフレキ
シブルプリント板6に複数条のスリット61を配線方向
Xに沿って形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、回路素子(以
下、ICと略記する)の検査装置に関し、特に、回路基
板(以下、プリント配線基板という)上のIC装着部位
に被検査用ICを実装するに用いられるソケット本体の
支持構造及び被検査用ICと電気的に接続されるソケッ
ト本体の各ピンとIC装着部位の接続部とのフレキシブ
ルプリント板による接続構造に工夫を施すことにより、
実使用環境、すなわち、他のICと共にプリント配線基
板に高密度に実装された状態、または、プリント配線基
板が筺体内に実装された状態における検査を手際良く容
易にかつ正確に行なえるようにしたものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、半導体デバイスは、出荷前のウ
エハ段階やパッケージング後に、部品単体として所期の
機能を果たすか否かが検査され、この検査に合格したも
のが良品として出荷されている。
【0003】ところが、被検査用ICが他のICと共に
プリント配線基板に高密度に実装された状態での実使用
環境においては、周辺回路との相性や相互干渉などの影
響により、正常に動作しないことがあるために、被検査
用ICあるいはプリント配線基板全体が実使用環境で正
常に動作するか否かを検査・解析することは非常に重要
になるばかりでなく、プリント配線基板としては正常に
動作するが、そのプリント配線基板が他のICや電源等
と共に筺体内に収納された状態ではどうか、などまで拡
張して検査する必要も生じる。
【0004】そこで従来、この種の回路素子用検査装置
においては、プリント配線基板上におけるIC装着部位
にソケットを設け、このソケットに被検査用ICを交換
可能に装着することにより、実使用環境での被検査用I
Cあるいはプリント配線基板全体の検査・解析を行なう
ようにしてなる構成を有するものがある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来構造の回路素子用検査装置にあっては、ピン・グ
リッド・アレイ(以下、PGAと略記する)型パッケー
ジのICのような多ピン化、狭ピッチ化に伴い、ソケッ
ト自体が大きくなり、プリント配線基板上に高密度に実
装することができないことから、検査用のプリント配線
基板を別途に製作し、この検査用プリント配線基板にの
みソケットの搭載スペースを確保し、実使用のプリント
配線基板では、ICが直付けできるだけの面積に縮小し
ているのが現状であるために、同一基板条件の下での厳
密な検査が行なえない。
【0006】しかも、検査用のプリント配線基板を別途
に製作する必要があるために、手間・費用が掛かり、検
査が手際良く行なえないばかりでなく、このような検査
用のプリント配線基板では、実使用のプリント配線基板
とは寸法が異なることがあるために、筺体内に収納され
た状態での検査が行なえない。
【0007】また従来、図12に示すように、例えばプ
リント配線基板A,Bの接続部間の接続に用られるフレ
キシブルプリント板Pは、例えばポリイミド樹脂、ポリ
エステル樹脂あるいはガラス耐熱性樹脂などをベースフ
ィルムとした屈曲性に優れた銅張板にパターン加工を施
し、絶縁フィルムまたは液状レジストで被覆して使用し
ているものであるが、この種のフレキシブルプリント板
Pは、その屈曲性によりプリント配線基板A,B間の配
線方向Xに対する一方向の接続性には優れている反面、
図12に2点破線で示すように、プリント配線基板A,
Bの接続部間に配線方向Xと直交する横方向YとのX−
Y方向の同一平面(同一座標)上でずれがあると、接続
することができない。
【0008】このため、従来では、このようなプリント
配線基板A,Bの接続部間のずれによる不具合を解消す
るために、図13に示すように、フレキシブルプリント
板PをX−Y方向の同一平面(同一座標)上で折り曲げ
ることにより接続可能にしているものであるが、これに
よって、フレキシブルプリント板Pの折曲げ加工が必要
となり、しかも、フレキシブルプリント板Pの配線長が
長くなるために、コスト高になるという問題がある。
【0009】この発明の目的は、実使用環境での検査を
手際良く容易にかつ正確に行なうことができるようにし
た回路素子用検査装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、この発明は、回路基板の所定の回路素子装着部
位に、被検査用回路素子が交換自在に装着されるソケッ
ト本体を浮上状態で支持し、このソケット本体の前記被
検査用回路素子に電気的に接続される各ピンと前記回路
基板の回路素子装着部位の接続部とをフレキシブルプリ
ント板にて接続するとともに、このフレキシブルプリン
ト板にプリント配線方向に沿う複数条のスリットを形成
してなることを特徴とするものである。
【0011】この場合、前記フレキシブルプリント板に
設けた複数条のスリットの間隔を等間隔あるいは不規則
にしてなるものである。
【0012】また、前記ソケット本体は、前記回路基板
上にポスト、または、前記フレキシブルプリント板の弾
力、あるいは、前記回路基板上にポストにて浮上状態で
支持される載置基板上に載置することにより、浮上状態
で支持されるようになっているとともに、前記ソケット
本体の各ピンにフレキシブルプリント板が直接接続され
るようになっているか、または、前記載置基板を間に介
して間接的に接続されるようになっている。
【0013】さらに、この発明は、回路基板の所定の回
路素子装着部位に載置基板がポストにて浮上状態で支持
され、この載置基板上に被検査用回路素子が交換自在に
装着されるソケット本体を載置するとともに、このソケ
ット本体の前記被検査用回路素子に電気的に接続される
各ピンと電気的に接続可能な信号を端部に引出す信号線
が前記載置基板に印刷され、かつこの信号線と前記回路
基板の回路素子装着部位の接続部とをフレキシブルプリ
ント板にて接続してなる一方、このフレキシブルプリン
ト板にプリント配線方向に沿う複数条のスリットを形成
してなることを特徴とするものである。
【0014】この場合、前記載置基板に印刷された信号
線の端部とフレキシブルプリント板とは、コネクタにて
着脱可能に接続されるようになっている。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて詳細に説明すると、図1から図3はこの発
明に係る回路素子用検査装置の第1の実施の形態を示す
もので、図1に示すように、図中1は被検査用IC10
0が交換自在に装着されるソケット本体である。
【0016】このソケット本体1は、有底ケース2と、
この有底ケース2を開閉自在に施蓋するカバー3とから
なり、前記有底ケース2の内底面には、前記被検査用I
Cの各ピン(図示せず)が電気的に接続されるピン4が
配置されているとともに、これら各ピン4の先端部4a
を前記有底ケース2の外底面側に突出させてなる構成を
有する。
【0017】前記ソケット本体1は、図2に概略的に示
すように、実使用のプリント配線基板10上の所定のI
C装着部位10aにポスト5,5を介して浮上状態で位
置決め支持可能になっていて、このプリント配線基板1
0のIC装着部位10aの接続部には、前記ソケット本
体1の各ピン4に直接接続されたフレキシブルプリント
板6,6が接続可能になっている。
【0018】そして、このフレキシブルプリント板6に
は、図3に示すように、複数条のスリット61が配線方
向Xに沿って形成され、これらのスリット61のプリン
ト配線方向Xと直交する横方向Yの間隔を等間隔または
不規則にすることにより、図4に示すように、例えばプ
リント配線基板A,Bの接続部間を接続するにおいて、
X−Y方向の同一平面(同一座標)上での二方向の屈曲
変形、あるいは、図5に示すように、X−Y方向の同一
平面(同一座標)上から外れた軸Z廻りの捩じれ変形を
容易にして接続可能にし、これによって、前記ソケット
本体1を浮上状態で支持するポスト5,5を、プリント
配線基板10上の自由な位置に位置決め可能にしてい
る。
【0019】また、図6はこの発明に係る回路素子用検
査装置の第2の実施の形態を概略的に示すもので、筺体
20内にプリント配線基板10を収納した状態におい
て、この筺体20の前記プリント配線基板10のIC装
着部位10aに対応する上面に形成した開口部21に、
前記ソケット本体1がポスト5,5を介して浮上状態で
位置決め支持可能になっていて、前記ソケット本体1の
各ピン4に直接接続されたフレキシブルプリント板6,
6を、前記プリント配線基板10のIC装着部位10a
のIC接続部に接続可能にしてなる構成を有するもので
ある。
【0020】さらに、図7はこの発明に係る回路素子用
検査装置の第3の実施の形態を概略的に示すもので、前
記ソケット本体1をフレキシブルプリント板6,6の弾
力にて前記プリント配線基板10上のIC装着部位10
aに浮上状態で位置決め支持可能にしてなるとともに、
前記ソケット本体1の各ピン4にフレキシブルプリント
板6,6を直接接続してなる構成を有するものである。
【0021】さらにまた、図8はこの発明に係る回路素
子用検査装置の第4の実施の形態を概略的に示すもの
で、前記プリント配線基板10上のIC装着部位10a
に載置基板7をポスト5,5にて浮上状態で位置決め支
持可能にしてなるとともに、この載置基板7上に前記ソ
ケット本体1を載置し、前記ソケット本体1の各ピン4
にフレキシブルプリント板6,6を直接接続してなる構
成を有するものである。
【0022】図9はこの発明に係る回路素子用検査装置
の第5の実施の形態を概略的に示すもので、上記第4の
実施の形態において、前記ソケット本体1の各ピン4に
フレキシブルプリント板6,6を前記載置基板7を間に
介して間接的に接続してなる構成を有するものである。
【0023】また、図10はこの発明に係る回路素子用
検査装置の第6の実施の形態を概略的に示すもので、上
記第5の実施の形態において、前記載置基板7上にソケ
ット本体1の各ピン4と電気的に接続可能にして信号を
端部に引出す信号線8を印刷し、この信号線8の端部8
aと前記プリント配線基板10上のIC装着部位10a
の接続部との間をフレキシブルプリント板6,6にて接
続可能にしてなる構成を有するものである。
【0024】さらに、図11はこの発明に係る回路素子
用検査装置の第7の実施の形態を概略的に示すもので、
上記第6の実施の形態において、前記載置基板7に印刷
された信号線8の端部8aとフレキシブルプリント板
6,6とがコネクタ9,9にて着脱可能に接続してなる
構成を有するものである。
【0025】すなわち、この発明は、上記の構成を採用
することによって、被検査用のIC100が交換自在に
装着されるソケット本体1をプリント配線基板10上の
所定のIC装着部位10aに浮上状態で位置決め支持可
能になっているとともに、このプリント配線基板10の
IC装着部位10aのIC接続部に、前記ソケット本体
1の各ピン4に接続されたフレキシブルプリント板6,
6を接続するようになっているために、実使用のプリン
ト配線基板10がそのまま使用することが可能になる。
【0026】これによって、従前のような検査用のプリ
ント配線基板を別途に製作する手間が省けるために、実
使用環境での検査が容易にかつ正確に行なうことが可能
になる。
【0027】また、ソケット本体1をプリント配線基板
10上の所定のIC装着部位10aにポスト5,5を介
して浮上状態で位置決め支持することにより、検査が手
際良く行なえる。
【0028】さらに、ソケット本体1を載置基板7上に
載置することにより、ポスト5,5の位置が自由に決め
られるために、如何なる実装形態にも対応させることが
可能になる。
【0029】さらにまた、ソケット本体1が載置される
載置基板7に印刷された信号線8の端部8aとフレキシ
ブルプリント板6,6とをコネクタ9,9にて着脱可能
に接続することにより、ソケット本体1が載置基板7毎
そのまま交換することが可能になるために、ソケット本
体1の不良等にも容易に対応可能になる。
【0030】また、フレキシブルプリント板6に複数条
のスリット61をプリント配線方向Xに沿って形成する
とともに、これらのスリット61のプリント配線方向X
と直交する方向Yの間隔を等間隔または不規則にしてな
るために、従前のようなX−Y方向の同一平面での一方
向の変形に対して、二方向の屈曲変形あるいは捩じれ変
形が可能になり、これによって、フレキシブルプリント
板6の接続・配線時の自由度が高められる。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように、この発明は、被検
査用ICが交換自在に装着されるソケット本体をプリン
ト配線基板上の所定のIC装着部位に浮上状態で位置決
め支持可能になっているとともに、このプリント配線基
板のIC装着部位のIC接続部に、ソケット本体の各ピ
ンに接続されるフレキシブルプリント板を接続するよう
になっていることから、実使用のプリント配線基板をそ
のまま使用することができ、従前のような検査用のプリ
ント配線基板を別途に製作する手間が省けるために、実
使用環境での検査を手際良く容易にかつ正確に行なうこ
とができる。
【0032】また、フレキシブルプリント板に複数条の
スリットをプリント配線方向に沿って形成してなるため
に、同一平面での二方向の屈曲変形あるいは捩じれ変形
が容易に行なえ、これによって、フレキシブルプリント
板の接続・配線時の自由度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明に係る回路素子用検査装置の第1の
実施の形態を示す外観図。
【図2】 同じく概略的説明図。
【図3】 同じくフレキシブルプリント板の説明図。
【図4】 同じくフレキシブルプリント板の接続状態の
説明図。
【図5】 同じくフレキシブルプリント板の接続状態の
説明図。
【図6】 この発明に係る第2の実施の形態を示す概略
的説明図。
【図7】 この発明に係る第3の実施の形態を示す概略
的説明図。
【図8】 この発明に係る第4の実施の形態を示す概略
的説明図。
【図9】 この発明に係る第5の実施の形態を示す概略
的説明図。
【図10】 この発明に係る第6の実施の形態を示す概
略的説明図。
【図11】 この発明に係る第7の実施の形態を示す概
略的説明図。
【図12】 従来のフレキシブルプリント板の接続状態
の説明図。
【図13】 同じく従来のフレキシブルプリント板の接
続状態の説明図。
【符号の説明】
1・・・ソケット本体、 4・・・ピン、 6・・・フレキシブルプリント板、 61・・・スリット、 9,9・・・コネクタ、 10・・・回路基板(プリント配線基板)、 10a・・・回路素子装着部位、 100・・・被検査用回路素子、 X・・・配線方向、 Y・・・配線方向と直交する横方向。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成9年4月15日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項1
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項2
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項3
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0010
【補正方法】変更
【補正内容】
【0010】
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、この発明は、回路基板の所定の回路素子装着部
位に、被検査用回路素子が交換自在に装着されるソケッ
ト本体を浮上状態で支持し、このソケット本体の前記被
検査用回路素子に電気的に接続される各ピンと前記回路
基板の回路素子装着部位の接続部とをフレキシブルプリ
ント板にて接続されていることを特徴とするものであ
る。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0011
【補正方法】変更
【補正内容】
【0011】この場合、前記フレキシブルプリント板に
プリント配線方向に沿う複数条のスリットを形成し、か
つこれら各々のスリットの間隔を等間隔あるいは不規則
にしてなるものである。

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回路基板の所定の回路素子装着部位に、
    被検査用回路素子が交換自在に装着されるソケット本体
    を浮上状態で支持し、かつこのソケット本体の前記被検
    査用回路素子に電気的に接続される各ピンと、前記回路
    基板の回路素子装着部位の接続部とをフレキシブルプリ
    ント板にて接続するとともに、このフレキシブルプリン
    ト板にプリント配線方向に沿う複数条のスリットを形成
    したことを特徴とする回路素子用検査装置。
  2. 【請求項2】 フレキシブルプリント板に形成したプリ
    ント配線方向に沿う複数条のスリットの間隔を等間隔に
    したことを特徴とする請求項1に記載の回路素子用検査
    装置。
  3. 【請求項3】 フレキシブルプリント板に形成したプリ
    ント配線方向に沿う複数条のスリットの間隔を不規則に
    したことを特徴とする請求項1に記載の回路素子用検査
    装置。
  4. 【請求項4】 ソケット本体の各ピンにフレキシブルプ
    リント板が直接接続され、かつ前記ソケット本体がポス
    トにて回路基板上に浮上状態で支持されていることを特
    徴とする請求項1,2または3に記載の回路素子用検査
    装置。
  5. 【請求項5】 ソケット本体の各ピンにフレキシブルプ
    リント板が直接接続され、かつ前記ソケット本体がフレ
    キシブルプリント板の弾力にて回路基板上に浮上状態で
    支持されていることを特徴とする請求項1,2または3
    に記載の回路素子用検査装置。
  6. 【請求項6】 ソケット本体の各ピンにフレキシブルプ
    リント板が直接接続され、かつ前記ソケット本体がポス
    トにて回路基板上に浮上状態で支持される載置基板上に
    載置されていることを特徴とする請求項1,2または3
    に記載の回路素子用検査装置。
  7. 【請求項7】 回路基板上にポストにて浮上状態で支持
    される載置基板上にソケット本体が載置され、この載置
    基板を間に介して前記ソケット本体の各ピンにフレキシ
    ブルプリント板が間接的に接続されていることを特徴と
    する請求項1,2または3に記載の回路素子用検査装
    置。
  8. 【請求項8】 回路基板の所定の回路素子装着部位に載
    置基板がポストにて浮上状態で支持され、この載置基板
    上に被検査用回路素子が交換自在に装着されるソケット
    本体を載置するとともに、このソケット本体の前記被検
    査用回路素子に電気的に接続される各ピンと電気的に接
    続可能な信号を端部に引出す信号線が前記載置基板に印
    刷され、かつこの信号線と前記回路基板の回路素子装着
    部位の接続部とをフレキシブルプリント板にて接続して
    なる一方、このフレキシブルプリント板にプリント配線
    方向に沿う複数条のスリットを形成したことを特徴とす
    る回路素子用検査装置。
  9. 【請求項9】 フレキシブルプリント板に形成したプリ
    ント配線方向に沿う複数条のスリットの間隔を等間隔に
    したことを特徴とする請求項8に記載の回路素子用検査
    装置。
  10. 【請求項10】 フレキシブルプリント板に形成したプ
    リント配線方向に沿う複数条のスリットの間隔を不規則
    にしたことを特徴とする請求項8に記載の回路素子用検
    査装置。
  11. 【請求項11】 載置基板に印刷された信号線の端部と
    フレキシブルプリント板とがコネクタにて着脱可能に接
    続されていることを特徴とする請求項8,9または10
    に記載の回路素子用検査装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001340593A (ja) * 2000-06-06 2001-12-11 Sanyo Product Co Ltd 遊技機
JP2008268124A (ja) * 2007-04-24 2008-11-06 Yokogawa Electric Corp テストヘッド
JP2010172736A (ja) * 2010-04-05 2010-08-12 Sanyo Product Co Ltd 遊技機
CN108982931A (zh) * 2018-09-21 2018-12-11 京东方科技集团股份有限公司 探针单元、探针治具

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001340593A (ja) * 2000-06-06 2001-12-11 Sanyo Product Co Ltd 遊技機
JP2008268124A (ja) * 2007-04-24 2008-11-06 Yokogawa Electric Corp テストヘッド
JP2010172736A (ja) * 2010-04-05 2010-08-12 Sanyo Product Co Ltd 遊技機
CN108982931A (zh) * 2018-09-21 2018-12-11 京东方科技集团股份有限公司 探针单元、探针治具

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