JP2000022228A - 積層型圧電アクチュエータ - Google Patents
積層型圧電アクチュエータInfo
- Publication number
- JP2000022228A JP2000022228A JP10183941A JP18394198A JP2000022228A JP 2000022228 A JP2000022228 A JP 2000022228A JP 10183941 A JP10183941 A JP 10183941A JP 18394198 A JP18394198 A JP 18394198A JP 2000022228 A JP2000022228 A JP 2000022228A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- plate
- piezoelectric
- piezoelectric actuator
- thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】高印加電圧での駆動や、高温雰囲気での駆動、
高荷重印加状態での駆動においても、圧電板と金属薄板
との剥離がなく、かつ変位量の低下を防止できる積層型
圧電アクチュエータを提供する。 【解決手段】複数の圧電板１１と複数の金属薄板１３と
を交互に積層し、圧電板１１と金属薄板１３とを金属と
ガラスを主成分とする導電性接着剤１４により加熱接合
してなるとともに、金属薄板１３を交互に電気的に接続
した積層型圧電アクチュエータにおいて、金属薄板１３
をＦｅとＮｉを主成分とする合金により形成し、金属薄
板１３と導電性接着剤１４との界面にＦｅとＳｉを含有
する複合酸化物からなる酸化防止膜１７を形成した。
高荷重印加状態での駆動においても、圧電板と金属薄板
との剥離がなく、かつ変位量の低下を防止できる積層型
圧電アクチュエータを提供する。 【解決手段】複数の圧電板１１と複数の金属薄板１３と
を交互に積層し、圧電板１１と金属薄板１３とを金属と
ガラスを主成分とする導電性接着剤１４により加熱接合
してなるとともに、金属薄板１３を交互に電気的に接続
した積層型圧電アクチュエータにおいて、金属薄板１３
をＦｅとＮｉを主成分とする合金により形成し、金属薄
板１３と導電性接着剤１４との界面にＦｅとＳｉを含有
する複合酸化物からなる酸化防止膜１７を形成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、積層型圧電アクチ
ュエータに係わり、例えば、光学装置等の精密位置決め
装置や振動防止用の駆動素子、自動車用エンジンの燃料
噴射用の駆動素子等に使用される積層型圧電アクチュエ
ータに関するものである。
ュエータに係わり、例えば、光学装置等の精密位置決め
装置や振動防止用の駆動素子、自動車用エンジンの燃料
噴射用の駆動素子等に使用される積層型圧電アクチュエ
ータに関するものである。
【０００２】
【従来技術】従来から、電極が形成された圧電板を複数
枚積層した積層型圧電アクチュエータが知られていた。
このような積層型圧電アクチュエータは、圧電板に電圧
を印加して逆圧電効果によって圧電板を数〜数十μｍ伸
長させ、アクチュエータの駆動力源とするものである。
枚積層した積層型圧電アクチュエータが知られていた。
このような積層型圧電アクチュエータは、圧電板に電圧
を印加して逆圧電効果によって圧電板を数〜数十μｍ伸
長させ、アクチュエータの駆動力源とするものである。
【０００３】そして、近年の積層型圧電アクチュエータ
では、大きな変位量を確保し、更により早い駆動を行う
ため、 高電圧を高周波数で印加することが行われてい
る。また、使用環境条件においては高温雰囲気や高荷重
状態で使用される積層型圧電アクチュエータが開発され
ている。
では、大きな変位量を確保し、更により早い駆動を行う
ため、 高電圧を高周波数で印加することが行われてい
る。また、使用環境条件においては高温雰囲気や高荷重
状態で使用される積層型圧電アクチュエータが開発され
ている。
【０００４】積層型圧電アクチュエータとしては同時焼
成タイプがあり、このような同時焼成タイプの積層型圧
電アクチュエータは、圧電板の厚みを薄く作製すること
が比較的容易であり、印加電界を高くできるために低電
圧高変位が可能であるが、圧電板材料（例えば、Ｐｂ
（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ3 等のセラミックスからなる）と同時
焼成を行なうための内部電極材料としては、ＰｄやＰｔ
等の貴金属を使用する必要があり、積層数が増すにした
がってコスト高になるという問題があった。
成タイプがあり、このような同時焼成タイプの積層型圧
電アクチュエータは、圧電板の厚みを薄く作製すること
が比較的容易であり、印加電界を高くできるために低電
圧高変位が可能であるが、圧電板材料（例えば、Ｐｂ
（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ3 等のセラミックスからなる）と同時
焼成を行なうための内部電極材料としては、ＰｄやＰｔ
等の貴金属を使用する必要があり、積層数が増すにした
がってコスト高になるという問題があった。
【０００５】そこで、従来、コスト低減を図るために、
両面にＡｇとガラスからなる金属電極を形成した圧電板
を複数積層するとともに、金属電極間に金属薄板を配置
し、圧電板同士を加熱接合し、これらの金属薄板の接続
用突起部を圧電板の外周面に対して所定の空隙を残すよ
うに軸方向に折り曲げ、同一極性の接続用突起部を重な
り合わせて導通させた積層型圧電アクチュエータが開発
されている。このような積層型圧電アクチュエータの金
属薄板の材料としては、Ａｇ、Ｎｉ、Ｃｕ、ＳＵＳなど
が用いられる。
両面にＡｇとガラスからなる金属電極を形成した圧電板
を複数積層するとともに、金属電極間に金属薄板を配置
し、圧電板同士を加熱接合し、これらの金属薄板の接続
用突起部を圧電板の外周面に対して所定の空隙を残すよ
うに軸方向に折り曲げ、同一極性の接続用突起部を重な
り合わせて導通させた積層型圧電アクチュエータが開発
されている。このような積層型圧電アクチュエータの金
属薄板の材料としては、Ａｇ、Ｎｉ、Ｃｕ、ＳＵＳなど
が用いられる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、金属薄
板としてＡｇを用いた場合には貴金属であるため、積層
型圧電アクチュエータ自体が高価になるという問題があ
った。
板としてＡｇを用いた場合には貴金属であるため、積層
型圧電アクチュエータ自体が高価になるという問題があ
った。
【０００７】また、金属薄板としてＮｉ、Ｃｕを用いた
場合には安価に積層型圧電アクチュエータを製造できる
ものの、圧電板と金属薄板とをＡｇとガラス（ＳｉＯ2
含有）からなる導電性接着剤により加熱接合すると、金
属薄板の表面層にＮｉＯやＣｕＯなどの酸化絶縁層が生
じ、このような酸化物は導電性接着剤との密着性が不十
分であり、金属薄板と圧電板とが剥離し易いという問題
があった。
場合には安価に積層型圧電アクチュエータを製造できる
ものの、圧電板と金属薄板とをＡｇとガラス（ＳｉＯ2
含有）からなる導電性接着剤により加熱接合すると、金
属薄板の表面層にＮｉＯやＣｕＯなどの酸化絶縁層が生
じ、このような酸化物は導電性接着剤との密着性が不十
分であり、金属薄板と圧電板とが剥離し易いという問題
があった。
【０００８】即ち、金属薄板の表面層にＮｉＯやＣｕＯ
が形成されると、加熱接合時においてガラス接合がしに
くくなり、導電性接着剤との密着性が不十分となり、金
属薄板と圧電板とが剥離しやすいという問題があった。
が形成されると、加熱接合時においてガラス接合がしに
くくなり、導電性接着剤との密着性が不十分となり、金
属薄板と圧電板とが剥離しやすいという問題があった。
【０００９】また、ＮｉＯやＣｕＯなどの酸化絶縁層は
温度に対して不安定であり保護性の皮膜を形成しないた
め、導電性接着剤中のＳｉＯ2 による金属薄板の酸化が
経時的に進行していき、圧電板と金属薄板との間に電気
的な導通不良を生じたり、電圧印加時に電圧降下が生じ
て変位量が低下するという問題があった。このような金
属薄板の酸化は高温雰囲気（２５〜２００℃）になると
さらに助長されるため、金属薄板の電気抵抗も高くな
り、駆動時の変位量が急激に低下するという問題があっ
た。
温度に対して不安定であり保護性の皮膜を形成しないた
め、導電性接着剤中のＳｉＯ2 による金属薄板の酸化が
経時的に進行していき、圧電板と金属薄板との間に電気
的な導通不良を生じたり、電圧印加時に電圧降下が生じ
て変位量が低下するという問題があった。このような金
属薄板の酸化は高温雰囲気（２５〜２００℃）になると
さらに助長されるため、金属薄板の電気抵抗も高くな
り、駆動時の変位量が急激に低下するという問題があっ
た。
【００１０】さらに、金属薄板としてＳＵＳ（Ｆｅ−Ｃ
ｒ−Ｎｉ）を用いた場合には安価に積層型圧電アクチュ
エータを製造できるものの、Ａｇとガラスからなる導電
性接着剤とＳＵＳとの熱膨張のミスマッチにより加熱接
合時に剥離が発生するという問題があった。
ｒ−Ｎｉ）を用いた場合には安価に積層型圧電アクチュ
エータを製造できるものの、Ａｇとガラスからなる導電
性接着剤とＳＵＳとの熱膨張のミスマッチにより加熱接
合時に剥離が発生するという問題があった。
【００１１】一方、上記問題を解決するため、特開平３
−７６１７５号では、Ａｇ電極を焼き付けた圧電板と、
Ｆｅ−Ｎｉ系合金の金属薄板とをエポキシ接着剤で接着
した圧電アクチュエータが開示されている。
−７６１７５号では、Ａｇ電極を焼き付けた圧電板と、
Ｆｅ−Ｎｉ系合金の金属薄板とをエポキシ接着剤で接着
した圧電アクチュエータが開示されている。
【００１２】しかしながら、このような積層型圧電アク
チュエータでは、エポキシ接着剤により圧電板と金属薄
板とを接合しているため、繰り返し電圧駆動していくと
圧電板と電極薄板とが剥離してしまうという問題があっ
た。また、エポキシ接着剤は、圧電板および金属薄板に
比べて剛性が低いため、高荷重を印加した場合の駆動や
温度が高い雰囲気での駆動においては変位量が低下して
しまうという問題があった。
チュエータでは、エポキシ接着剤により圧電板と金属薄
板とを接合しているため、繰り返し電圧駆動していくと
圧電板と電極薄板とが剥離してしまうという問題があっ
た。また、エポキシ接着剤は、圧電板および金属薄板に
比べて剛性が低いため、高荷重を印加した場合の駆動や
温度が高い雰囲気での駆動においては変位量が低下して
しまうという問題があった。
【００１３】本発明は、高印加電圧での駆動や、高温雰
囲気での駆動、高荷重印加状態での駆動においても、圧
電板と金属薄板との剥離がなく、かつ変位量の低下を防
止できる積層型圧電アクチュエータを提供することを目
的とする。
囲気での駆動、高荷重印加状態での駆動においても、圧
電板と金属薄板との剥離がなく、かつ変位量の低下を防
止できる積層型圧電アクチュエータを提供することを目
的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明の積層型圧電アク
チュエータは、複数の圧電板と複数の金属薄板とを交互
に積層し、前記圧電板と前記金属薄板とを金属とガラス
を主成分とする導電性接着剤により加熱接合してなると
ともに、前記金属薄板を交互に電気的に接続した積層型
圧電アクチュエータにおいて、前記金属薄板をＦｅとＮ
ｉを主成分とする合金により形成してなるものである。
金属薄板と導電性接着剤との界面にＦｅとＳｉを含有す
る複合酸化物からなる酸化防止膜が形成されている。
チュエータは、複数の圧電板と複数の金属薄板とを交互
に積層し、前記圧電板と前記金属薄板とを金属とガラス
を主成分とする導電性接着剤により加熱接合してなると
ともに、前記金属薄板を交互に電気的に接続した積層型
圧電アクチュエータにおいて、前記金属薄板をＦｅとＮ
ｉを主成分とする合金により形成してなるものである。
金属薄板と導電性接着剤との界面にＦｅとＳｉを含有す
る複合酸化物からなる酸化防止膜が形成されている。
【００１５】また、金属薄板の両面に金属メッキ膜が形
成されていても良い。この場合には、金属薄板と金属メ
ッキ膜との間に、前記金属薄板の金属元素と前記金属メ
ッキ膜の金属元素とを含有する複合酸化物からなる酸化
防止膜が形成されている。
成されていても良い。この場合には、金属薄板と金属メ
ッキ膜との間に、前記金属薄板の金属元素と前記金属メ
ッキ膜の金属元素とを含有する複合酸化物からなる酸化
防止膜が形成されている。
【００１６】
【作用】本発明の積層型圧電アクチュエータでは、Ｆｅ
とＮｉを主成分とする合金からなる金属薄板と、圧電板
とを、ガラスフリットを含有した金属ペースト（導電性
接着剤）を用いて一定条件で加熱接合すると、金属薄板
と導電性接着剤との界面に、それぞれの金属元素である
ＦｅとＳｉを含有する複合酸化物、例えばシリケート
（Ｆｅ2 ＳｉＯ4 ）からなる酸化防止膜が生成され、こ
の酸化防止膜は酸化に対して保護性の膜であるため、導
電性接着剤中のＳｉＯ2 による金属薄板の経時的な酸化
を抑制でき、変位量の低下が抑制されるとともに、酸化
防止膜により金属薄板と導電性接着剤との密着性が高く
なるため、高印加電圧での駆動や、高温雰囲気での駆
動、高荷重印加状態での駆動においても、圧電板と金属
薄板との剥離が抑制される。
とＮｉを主成分とする合金からなる金属薄板と、圧電板
とを、ガラスフリットを含有した金属ペースト（導電性
接着剤）を用いて一定条件で加熱接合すると、金属薄板
と導電性接着剤との界面に、それぞれの金属元素である
ＦｅとＳｉを含有する複合酸化物、例えばシリケート
（Ｆｅ2 ＳｉＯ4 ）からなる酸化防止膜が生成され、こ
の酸化防止膜は酸化に対して保護性の膜であるため、導
電性接着剤中のＳｉＯ2 による金属薄板の経時的な酸化
を抑制でき、変位量の低下が抑制されるとともに、酸化
防止膜により金属薄板と導電性接着剤との密着性が高く
なるため、高印加電圧での駆動や、高温雰囲気での駆
動、高荷重印加状態での駆動においても、圧電板と金属
薄板との剥離が抑制される。
【００１７】また、表面に、例えば、Ｃｒ、Ａｌなどの
金属メッキ膜が施されたＦｅとＮｉを主成分とする合金
からなる金属薄板と、圧電板とを、ガラスフリットを含
有した金属ペースト（導電性接着剤）を用いて一定条件
下で加熱接合すると、金属薄板と金属メッキ膜との界面
に、それぞれの金属であるＦｅおよび／またはＮｉと、
Ｃｒおよび／またはＡｌを含有する複合酸化物、例えば
ＦｅＣｒＯ4 や、ＮｉＣｒＯ4 からなる酸化防止膜が生
成され、この酸化防止膜は酸化に対して保護性の膜であ
るため、導電性接着剤中のＳｉＯ2 による金属薄板の経
時的な酸化を抑制でき、変位量の低下が抑制されるとと
もに、金属薄板と金属メッキ膜との密着性が高くなるた
め、高印加電圧での駆動や、高温雰囲気での駆動、高荷
重印加状態での駆動においても、圧電板と金属薄板との
剥離が抑制される。一方、金属メッキ膜と導電性接着剤
との界面にも、同様の化合物を生成するため、金属薄板
と圧電板との密着性をさらに向上できるとともに、変位
量の低下をさらに抑制できる。
金属メッキ膜が施されたＦｅとＮｉを主成分とする合金
からなる金属薄板と、圧電板とを、ガラスフリットを含
有した金属ペースト（導電性接着剤）を用いて一定条件
下で加熱接合すると、金属薄板と金属メッキ膜との界面
に、それぞれの金属であるＦｅおよび／またはＮｉと、
Ｃｒおよび／またはＡｌを含有する複合酸化物、例えば
ＦｅＣｒＯ4 や、ＮｉＣｒＯ4 からなる酸化防止膜が生
成され、この酸化防止膜は酸化に対して保護性の膜であ
るため、導電性接着剤中のＳｉＯ2 による金属薄板の経
時的な酸化を抑制でき、変位量の低下が抑制されるとと
もに、金属薄板と金属メッキ膜との密着性が高くなるた
め、高印加電圧での駆動や、高温雰囲気での駆動、高荷
重印加状態での駆動においても、圧電板と金属薄板との
剥離が抑制される。一方、金属メッキ膜と導電性接着剤
との界面にも、同様の化合物を生成するため、金属薄板
と圧電板との密着性をさらに向上できるとともに、変位
量の低下をさらに抑制できる。
【００１８】したがって、圧電板に電圧を十分に印加で
きるとともに、高温雰囲気および高荷重印加条件におい
ても、金属薄板と圧電板の剥離を防止でき、高い信頼性
を有し、且つ特性の安定した駆動が可能となるのであ
る。
きるとともに、高温雰囲気および高荷重印加条件におい
ても、金属薄板と圧電板の剥離を防止でき、高い信頼性
を有し、且つ特性の安定した駆動が可能となるのであ
る。
【００１９】
【発明の実施の形態】図１は本発明の積層型圧電アクチ
ュエータを示すもので、符号１は積層体を示している。
この積層体１は、図１および図２に示すように、複数の
圧電板１１と複数の金属薄板１３とが交互に積層され、
圧電板１１と金属薄板１３とが導電性接着剤１４により
接合されている。
ュエータを示すもので、符号１は積層体を示している。
この積層体１は、図１および図２に示すように、複数の
圧電板１１と複数の金属薄板１３とが交互に積層され、
圧電板１１と金属薄板１３とが導電性接着剤１４により
接合されている。
【００２０】圧電板１１はＰｂ（ＺｒＴｉ）Ｏ3 （以下
ＰＺＴと略す）を主成分とする焼結体である。圧電板１
１を構成する圧電材料は、例えば、チタン酸ジルコン酸
鉛を主成分とする圧電セラミックス材料などが使用され
るが、これに限定されるものではなく、圧電性を有する
セラミックスであれば何でも良い。この圧電板１１を構
成する圧電材料としては、圧電歪み定数ｄ33が高いもの
が望ましい。特に、金属成分としてＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、
Ｚｎ、Ｓｂ、Ｎｉ、Ｔｅと、ＳｒおよびＢａのうち少な
くとも一種を含む複合ペロブスカイト型化合物であっ
て、これらの金属元素のモル比による組成式を、Ｐｂ
1-x-y Ｓｒx Ｂａy （Ｚｎ1/3 Ｓｂ2/3 ）a （Ｎｉ1/2
Ｔｅ1/2 ）b ＺｒcＴｉ1-a-b-c Ｏ3 と表わした時、
ｘ，ｙ，ａ，ｂ，ｃのモル比が、０≦ｘ≦０．１２、０
≦ｙ≦０．１２、０＜ｘ＋ｙ、０．０５≦ａ≦０．１
２、０≦ｂ≦０．０１５、０．４３≦ｃ≦０．５２を満
足する基本成分１００重量部に対して、等モル比からな
るＰｂＯおよびＮｂ2 Ｏ5 を合量で０．２〜１．２重量
部添加含有してなる圧電磁器組成物が望ましい。
ＰＺＴと略す）を主成分とする焼結体である。圧電板１
１を構成する圧電材料は、例えば、チタン酸ジルコン酸
鉛を主成分とする圧電セラミックス材料などが使用され
るが、これに限定されるものではなく、圧電性を有する
セラミックスであれば何でも良い。この圧電板１１を構
成する圧電材料としては、圧電歪み定数ｄ33が高いもの
が望ましい。特に、金属成分としてＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、
Ｚｎ、Ｓｂ、Ｎｉ、Ｔｅと、ＳｒおよびＢａのうち少な
くとも一種を含む複合ペロブスカイト型化合物であっ
て、これらの金属元素のモル比による組成式を、Ｐｂ
1-x-y Ｓｒx Ｂａy （Ｚｎ1/3 Ｓｂ2/3 ）a （Ｎｉ1/2
Ｔｅ1/2 ）b ＺｒcＴｉ1-a-b-c Ｏ3 と表わした時、
ｘ，ｙ，ａ，ｂ，ｃのモル比が、０≦ｘ≦０．１２、０
≦ｙ≦０．１２、０＜ｘ＋ｙ、０．０５≦ａ≦０．１
２、０≦ｂ≦０．０１５、０．４３≦ｃ≦０．５２を満
足する基本成分１００重量部に対して、等モル比からな
るＰｂＯおよびＮｂ2 Ｏ5 を合量で０．２〜１．２重量
部添加含有してなる圧電磁器組成物が望ましい。
【００２１】この圧電板１１の厚みｔは、小型化および
高い電圧を印加するという点から、０．２〜０．６ｍｍ
であることが望ましい。
高い電圧を印加するという点から、０．２〜０．６ｍｍ
であることが望ましい。
【００２２】金属薄板１３の対向位置には、図３に示す
ように、接続用突起部１５がそれぞれ形成されており、
このような金属薄板１３および接続用突起部１５はＦｅ
とＮｉを主成分とする合金、例えばコバール（５２Ｆｅ
−３１Ｎｉ−１７Ｃｏ）、４２アロイ（５８Ｆｅ−４２
Ｎｉ）等により形成されている。
ように、接続用突起部１５がそれぞれ形成されており、
このような金属薄板１３および接続用突起部１５はＦｅ
とＮｉを主成分とする合金、例えばコバール（５２Ｆｅ
−３１Ｎｉ−１７Ｃｏ）、４２アロイ（５８Ｆｅ−４２
Ｎｉ）等により形成されている。
【００２３】金属薄板１３の厚さは、変位量に寄与しな
いためにできるだけ薄いもの、例えば、２０〜１００μ
ｍのものが好ましい。また、金属薄板１３としては、他
の金属薄板１３との短絡や放電を防止するために、積層
体１の外周面に露出しないように、圧電板１１よりも小
さいことが望ましい。
いためにできるだけ薄いもの、例えば、２０〜１００μ
ｍのものが好ましい。また、金属薄板１３としては、他
の金属薄板１３との短絡や放電を防止するために、積層
体１の外周面に露出しないように、圧電板１１よりも小
さいことが望ましい。
【００２４】接続用突起部１５は、図１に示したよう
に、圧電板１１の径方向に突出して形成されており、接
続用突起部１５同士は交互に９０度の角度をなすよう
に、金属薄板１３が圧電板１１の間に介装されている。
に、圧電板１１の径方向に突出して形成されており、接
続用突起部１５同士は交互に９０度の角度をなすよう
に、金属薄板１３が圧電板１１の間に介装されている。
【００２５】これらの金属薄板１３は、その接続用突起
部１５の位置により正電極用金属薄板、もしくは負電極
用金属薄板とされている。そして、接続用突起部１５が
積層体１の軸方向に折曲され、正電極用金属薄板、負電
極用金属薄板にそれぞれ形成された接続用突起部１５同
士が半田や溶接により電気的に接続されている。
部１５の位置により正電極用金属薄板、もしくは負電極
用金属薄板とされている。そして、接続用突起部１５が
積層体１の軸方向に折曲され、正電極用金属薄板、負電
極用金属薄板にそれぞれ形成された接続用突起部１５同
士が半田や溶接により電気的に接続されている。
【００２６】圧電板１１と金属薄板１３とは金属、例え
ばＡｇとガラスを主成分とする導電性接着剤１４により
加熱接合されている。ガラスは少なくともＳｉＯ2 を含
有するものであれば良く、例えば、ＰｂＯ−ＳｉＯ2 −
Ｂ2 Ｏ3 からなることが望ましい。導電性接着剤１４
は、Ａｇを９０〜９７重量％と、ＰｂＯ−ＳｉＯ2 −Ｂ
2 Ｏ3 からなるガラス成分３〜１０重量％とからなるこ
とが望ましい。
ばＡｇとガラスを主成分とする導電性接着剤１４により
加熱接合されている。ガラスは少なくともＳｉＯ2 を含
有するものであれば良く、例えば、ＰｂＯ−ＳｉＯ2 −
Ｂ2 Ｏ3 からなることが望ましい。導電性接着剤１４
は、Ａｇを９０〜９７重量％と、ＰｂＯ−ＳｉＯ2 −Ｂ
2 Ｏ3 からなるガラス成分３〜１０重量％とからなるこ
とが望ましい。
【００２７】積層体１の上下面には、圧電的に不活性で
機械的エネルギーを伝達する不活性体１８が接合されて
いる。
機械的エネルギーを伝達する不活性体１８が接合されて
いる。
【００２８】そして、金属薄板１３と導電性接着剤１４
との界面には、図２に示すように、ＦｅとＳｉを含有す
る複合酸化物、例えば、シリケート（Ｆｅ2 ＳｉＯ4 ）
からなる酸化防止膜１７が形成されている。
との界面には、図２に示すように、ＦｅとＳｉを含有す
る複合酸化物、例えば、シリケート（Ｆｅ2 ＳｉＯ4 ）
からなる酸化防止膜１７が形成されている。
【００２９】尚、図示しないが、本発明の積層型圧電ア
クチュエータでは、圧電板１１および接続用突起部１５
の外周面を絶縁性樹脂で被覆し、また、圧電板１１外周
面と接続用突起部１５との間の空隙にも、絶縁性樹脂が
隙間がないように充填されている。
クチュエータでは、圧電板１１および接続用突起部１５
の外周面を絶縁性樹脂で被覆し、また、圧電板１１外周
面と接続用突起部１５との間の空隙にも、絶縁性樹脂が
隙間がないように充填されている。
【００３０】本発明の積層型圧電アクチュエータは、例
えば、先ず圧電板１１の上下面に、金属とＳｉＯ2 を含
有するガラスからなる金属ペーストを塗布し、４００〜
６００℃程度で焼き付ける。
えば、先ず圧電板１１の上下面に、金属とＳｉＯ2 を含
有するガラスからなる金属ペーストを塗布し、４００〜
６００℃程度で焼き付ける。
【００３１】この後、ＦｅとＮｉを主成分とする合金か
らなる金属薄板１３と圧電板１１とを交互に積層し、３
６０〜６５０℃に加熱し、金属薄板１３と圧電板１１と
を加熱接合し、積層体１を作製する。この加熱接合工程
において、金属薄板１３と導電性接着剤１４との間にＦ
ｅとＳｉを含有する複合酸化物、例えば、Ｆｅ2 ＳｉＯ
4 を形成する。このようなＦｅ2 ＳｉＯ4 からなる酸化
防止膜１７を形成するには、導電性接着１４中のＳｉＯ
2 フリットの軟化点付近で加熱接合することが重要であ
る。
らなる金属薄板１３と圧電板１１とを交互に積層し、３
６０〜６５０℃に加熱し、金属薄板１３と圧電板１１と
を加熱接合し、積層体１を作製する。この加熱接合工程
において、金属薄板１３と導電性接着剤１４との間にＦ
ｅとＳｉを含有する複合酸化物、例えば、Ｆｅ2 ＳｉＯ
4 を形成する。このようなＦｅ2 ＳｉＯ4 からなる酸化
防止膜１７を形成するには、導電性接着１４中のＳｉＯ
2 フリットの軟化点付近で加熱接合することが重要であ
る。
【００３２】この後、金属薄板１３に形成された接続用
突起部１５を積層体１の軸方向に折曲し、接続用突起部
１５同士を交互に接続し、また積層体１の表面に絶縁性
樹脂を被覆し、圧電板１１を分極することにより、本発
明の積層型圧電アクチュエータが作製される。
突起部１５を積層体１の軸方向に折曲し、接続用突起部
１５同士を交互に接続し、また積層体１の表面に絶縁性
樹脂を被覆し、圧電板１１を分極することにより、本発
明の積層型圧電アクチュエータが作製される。
【００３３】以上のように構成された積層型圧電アクチ
ュエータでは、ＦｅとＮｉを主成分とする合金からなる
金属薄板１３と圧電板１１とを、ガラスを含有した金属
ペーストを用いて一定条件下で加熱接合すると、金属薄
板１３と導電性接着剤１４との界面に、それぞれの金属
元素であるＦｅとＳｉを含有する複合酸化物、例えばシ
リケート（Ｆｅ2 ＳｉＯ4 ）からなる酸化防止膜１７が
形成され、この酸化防止膜１７は一旦形成後は酸化に対
して安定な保護性の膜であるため、導電性接着剤１４中
のＳｉＯ2 による金属薄板１３の経時的な酸化を抑制で
き、変位量の低下を抑制できるとともに、酸化防止膜１
７は金属薄板１３と導電性接着剤１４との密着性が高い
ため、高印加電圧での駆動や、高温雰囲気での駆動、高
荷重印加状態での駆動においても、圧電板１１と金属薄
板１３との剥離を抑制できる。
ュエータでは、ＦｅとＮｉを主成分とする合金からなる
金属薄板１３と圧電板１１とを、ガラスを含有した金属
ペーストを用いて一定条件下で加熱接合すると、金属薄
板１３と導電性接着剤１４との界面に、それぞれの金属
元素であるＦｅとＳｉを含有する複合酸化物、例えばシ
リケート（Ｆｅ2 ＳｉＯ4 ）からなる酸化防止膜１７が
形成され、この酸化防止膜１７は一旦形成後は酸化に対
して安定な保護性の膜であるため、導電性接着剤１４中
のＳｉＯ2 による金属薄板１３の経時的な酸化を抑制で
き、変位量の低下を抑制できるとともに、酸化防止膜１
７は金属薄板１３と導電性接着剤１４との密着性が高い
ため、高印加電圧での駆動や、高温雰囲気での駆動、高
荷重印加状態での駆動においても、圧電板１１と金属薄
板１３との剥離を抑制できる。
【００３４】従って、圧電板１１と電極薄板１３との導
通不良を生じることがなくなり、圧電板１１に十分な電
圧を印加できるとともに、高温雰囲気および高荷重印加
条件においても、圧電板１１と金属薄板１３との剥離を
防止でき、高い信頼性が得られるとともに、特性の安定
した駆動が可能となる。
通不良を生じることがなくなり、圧電板１１に十分な電
圧を印加できるとともに、高温雰囲気および高荷重印加
条件においても、圧電板１１と金属薄板１３との剥離を
防止でき、高い信頼性が得られるとともに、特性の安定
した駆動が可能となる。
【００３５】尚、図４に示すように、ＦｅとＮｉを主成
分とする合金からなる金属薄板１３の両面に金属メッキ
膜２１を形成し、圧電板１１と一定条件下で加熱接合す
ることにより積層体１を作製しても良い。この場合に
は、金属薄板１３と金属メッキ膜２１との間、および金
属メッキ膜２１と導電性接着剤１４との間に、金属薄膜
１３の金属元素と金属メッキ膜２１の金属元素との複合
酸化物からなる酸化防止膜２３が形成されている。金属
メッキ膜２１の金属材料としては、耐熱性良好な金属と
いう点からＣｒ，Ａｌが望ましい。
分とする合金からなる金属薄板１３の両面に金属メッキ
膜２１を形成し、圧電板１１と一定条件下で加熱接合す
ることにより積層体１を作製しても良い。この場合に
は、金属薄板１３と金属メッキ膜２１との間、および金
属メッキ膜２１と導電性接着剤１４との間に、金属薄膜
１３の金属元素と金属メッキ膜２１の金属元素との複合
酸化物からなる酸化防止膜２３が形成されている。金属
メッキ膜２１の金属材料としては、耐熱性良好な金属と
いう点からＣｒ，Ａｌが望ましい。
【００３６】このような積層型圧電アクチュエータで
は、金属薄板１３と金属メッキ膜２１との界面や金属メ
ッキ膜２１と導電性接着剤１４との界面に、金属メッキ
膜２１と金属薄板１３の金属元素であるＦｅおよび／ま
たはＮｉと、Ｃｒおよび／またはＡｌを含有する複合酸
化物、例えばＦｅＣｒＯ4 やＮｉＣｒＯ4 からなる酸化
防止膜２３が形成され、このような酸化防止膜２３は、
酸化に対して保護性の膜であり、導電性接着剤１４中の
ＳｉＯ2 による金属薄板１３の経時的な酸化をさらに抑
制でき、変位量の低下をさらに抑制できるとともに、酸
化防止膜２３の存在により圧電板１１と金属薄板１３と
の接合強度をさらに向上できる。
は、金属薄板１３と金属メッキ膜２１との界面や金属メ
ッキ膜２１と導電性接着剤１４との界面に、金属メッキ
膜２１と金属薄板１３の金属元素であるＦｅおよび／ま
たはＮｉと、Ｃｒおよび／またはＡｌを含有する複合酸
化物、例えばＦｅＣｒＯ4 やＮｉＣｒＯ4 からなる酸化
防止膜２３が形成され、このような酸化防止膜２３は、
酸化に対して保護性の膜であり、導電性接着剤１４中の
ＳｉＯ2 による金属薄板１３の経時的な酸化をさらに抑
制でき、変位量の低下をさらに抑制できるとともに、酸
化防止膜２３の存在により圧電板１１と金属薄板１３と
の接合強度をさらに向上できる。
【００３７】
【実施例】実施例１ Ｐｂ1-x-y Ｓｒx Ｂａy （Ｚｎ1/3 Ｓｂ2/3 ）a （Ｎｉ
1/2 Ｔｅ1/2 ）b Ｚｒc Ｔｉ1-a-b-c Ｏ3 と表わした
時、ｘ＝０．０４、ｙ＝０．０２、ａ＝０．０７５、ｂ
＝０．００５、ｃ＝０．４７を満足する基本成分１００
重量部に対して、等モル比からなるＰｂＯおよびＮｂ2
Ｏ5 を合量で０．５重量部添加含有したＰＺＴ焼結体の
両面を研磨して、直径２０ｍｍ、厚み０．５ｍｍの円板
状の圧電板１１を形成した。この圧電板１１の両主面
に、Ａｇ粉末９０重量％、ＰｂＯ−ＳｉＯ2 −Ｂ2 Ｏ3
を主成分とするガラス１０重量％の金属ペーストを１０
μｍの厚みになるように印刷した後、１００℃にて乾燥
し、５２０℃で焼き付けた。
1/2 Ｔｅ1/2 ）b Ｚｒc Ｔｉ1-a-b-c Ｏ3 と表わした
時、ｘ＝０．０４、ｙ＝０．０２、ａ＝０．０７５、ｂ
＝０．００５、ｃ＝０．４７を満足する基本成分１００
重量部に対して、等モル比からなるＰｂＯおよびＮｂ2
Ｏ5 を合量で０．５重量部添加含有したＰＺＴ焼結体の
両面を研磨して、直径２０ｍｍ、厚み０．５ｍｍの円板
状の圧電板１１を形成した。この圧電板１１の両主面
に、Ａｇ粉末９０重量％、ＰｂＯ−ＳｉＯ2 −Ｂ2 Ｏ3
を主成分とするガラス１０重量％の金属ペーストを１０
μｍの厚みになるように印刷した後、１００℃にて乾燥
し、５２０℃で焼き付けた。
【００３８】厚さ５０μｍのコバール製薄板を、図３に
示したような２ｍｍ×２ｍｍの突起を有する直径１９ｍ
ｍの円形に打ち抜き、接続用突起部１５が形成された金
属薄板１３を作製し、この金属薄板１３と圧電板１１と
を交互に積層し、圧電板１１を１００層積層し、上下端
の圧電板１１に上記金属ペーストのガラスによりＰＺＴ
からなる不活性体１８を接着し、位置ずれが生じないよ
うに軽く圧力を加えた後、上部に約３ｋｇの重りを乗せ
て、６００℃、１時間で加圧接合し、積層体１を作製し
た。尚、金属薄板１３の接続用突起部１５は一層おきに
同じ位置にくるように、交互に配置した。
示したような２ｍｍ×２ｍｍの突起を有する直径１９ｍ
ｍの円形に打ち抜き、接続用突起部１５が形成された金
属薄板１３を作製し、この金属薄板１３と圧電板１１と
を交互に積層し、圧電板１１を１００層積層し、上下端
の圧電板１１に上記金属ペーストのガラスによりＰＺＴ
からなる不活性体１８を接着し、位置ずれが生じないよ
うに軽く圧力を加えた後、上部に約３ｋｇの重りを乗せ
て、６００℃、１時間で加圧接合し、積層体１を作製し
た。尚、金属薄板１３の接続用突起部１５は一層おきに
同じ位置にくるように、交互に配置した。
【００３９】次に、図１に示したように、圧電板１１の
径方向に突出した接続用突起部１５の先端部を軸方向に
各々折曲げ、折り曲げた先端部をハンダで接続し正電極
用外部電極、および負電極用外部電極とした。また、絶
縁性を有するシリコンゴムで積層体１を被覆した。これ
を８０℃のシリコンオイル中で３ｋＶ／ｍｍの直流電圧
を３０分間印加して分極処理を行なった。
径方向に突出した接続用突起部１５の先端部を軸方向に
各々折曲げ、折り曲げた先端部をハンダで接続し正電極
用外部電極、および負電極用外部電極とした。また、絶
縁性を有するシリコンゴムで積層体１を被覆した。これ
を８０℃のシリコンオイル中で３ｋＶ／ｍｍの直流電圧
を３０分間印加して分極処理を行なった。
【００４０】得られた積層型圧電アクチュエータの導電
性接着剤１４と金属薄板１３の近傍を走査電子顕微鏡
（ＳＥＭ）により接合界面を観察した結果、ＦｅとＳｉ
の複合酸化物からなる酸化防止膜１７が形成されている
ことを確認した。
性接着剤１４と金属薄板１３の近傍を走査電子顕微鏡
（ＳＥＭ）により接合界面を観察した結果、ＦｅとＳｉ
の複合酸化物からなる酸化防止膜１７が形成されている
ことを確認した。
【００４１】そして、得られた積層型圧電アクチュエー
タに５００Ｖの直流電圧を印加した結果、４０μｍの変
位量が得られた。更にこのアクチュエータに０Ｖから＋
５００Ｖの直流電界を５０Ｈｚの周波数にて印加した
（パルス駆動）結果、印加回数１×１０8 回まで駆動を
行った場合でも金属薄板１３と圧電板１１との界面部の
破断、および変位量の低下は見られなかった。
タに５００Ｖの直流電圧を印加した結果、４０μｍの変
位量が得られた。更にこのアクチュエータに０Ｖから＋
５００Ｖの直流電界を５０Ｈｚの周波数にて印加した
（パルス駆動）結果、印加回数１×１０8 回まで駆動を
行った場合でも金属薄板１３と圧電板１１との界面部の
破断、および変位量の低下は見られなかった。
【００４２】また、６００ｋｇの荷重を印可しても変位
量は低下することがなく、高温雰囲気において（〜１５
０℃）駆動しても変位量は低下しなかった。
量は低下することがなく、高温雰囲気において（〜１５
０℃）駆動しても変位量は低下しなかった。
【００４３】実施例２ 金属薄板１３の両面に膜厚２μｍのＣｒメッキを施し、
上記と同様にして積層型圧電アクチュエータを作製し
た。
上記と同様にして積層型圧電アクチュエータを作製し
た。
【００４４】得られた積層型圧電アクチュエータでは、
金属メッキ膜２１と金属薄板１３との間、導電性接着剤
１４と金属メッキ膜２１との間を走査電子顕微鏡により
観察した結果、それぞれＦｅとＣｒの複合酸化物からな
る酸化防止膜２３が形成されていることを確認した。
金属メッキ膜２１と金属薄板１３との間、導電性接着剤
１４と金属メッキ膜２１との間を走査電子顕微鏡により
観察した結果、それぞれＦｅとＣｒの複合酸化物からな
る酸化防止膜２３が形成されていることを確認した。
【００４５】この積層型圧電アクチュエータでは、５０
０Ｖの直流電圧を印加した結果、４０μｍの変位量が得
られた。更にこのアクチュエータに０Ｖから＋５００Ｖ
の直流電界を５０Ｈｚの周波数にて印加した（パルス駆
動）結果、印加回数５×１０8 回まで駆動を行った場合
でも金属薄板１３と圧電板１１との界面部の破断および
変位量の低下は見られなかった。
０Ｖの直流電圧を印加した結果、４０μｍの変位量が得
られた。更にこのアクチュエータに０Ｖから＋５００Ｖ
の直流電界を５０Ｈｚの周波数にて印加した（パルス駆
動）結果、印加回数５×１０8 回まで駆動を行った場合
でも金属薄板１３と圧電板１１との界面部の破断および
変位量の低下は見られなかった。
【００４６】また、６００ｋｇの荷重印可しても変位量
は低下することがなく、高温雰囲気において（〜１５０
℃）駆動しても変位量は低下しなかった。
は低下することがなく、高温雰囲気において（〜１５０
℃）駆動しても変位量は低下しなかった。
【００４７】比較例 金属薄板１３として銅を用い、実施例１と同様にして積
層型圧電アクチュエータを作製した。
層型圧電アクチュエータを作製した。
【００４８】得られた積層型圧電アクチュエータでは、
導電性接着剤と金属薄板の間を走査電子顕微鏡により観
察した結果、導電性接着剤と金属薄体との間にＣｕＯか
らなる膜が形成されていることを確認した。
導電性接着剤と金属薄板の間を走査電子顕微鏡により観
察した結果、導電性接着剤と金属薄体との間にＣｕＯか
らなる膜が形成されていることを確認した。
【００４９】この積層型圧電アクチュエータでは、０Ｖ
から＋５００Ｖの直流電界を印加させたところ変位量が
３０μｍであった。また、６００ｋｇの荷重を印加した
状態で変位量を測定したところ２５μｍに低下した。雰
囲気温度１５０℃においても変位量は２７μｍに低下し
た。また、上記パルス駆動においても１×１０6 回印加
で金属薄板１３と圧電板１１の境界で破断した。
から＋５００Ｖの直流電界を印加させたところ変位量が
３０μｍであった。また、６００ｋｇの荷重を印加した
状態で変位量を測定したところ２５μｍに低下した。雰
囲気温度１５０℃においても変位量は２７μｍに低下し
た。また、上記パルス駆動においても１×１０6 回印加
で金属薄板１３と圧電板１１の境界で破断した。
【００５０】尚、変位量の測定は、試料を防振台上に固
定し、試料上面にアルミニウム箔を張り付けて、レーザ
ー変位計により、素子の中心部及び周囲部３箇所で測定
した値の平均値で評価した。
定し、試料上面にアルミニウム箔を張り付けて、レーザ
ー変位計により、素子の中心部及び周囲部３箇所で測定
した値の平均値で評価した。
【００５１】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の積層型圧電
アクチュエータでは、金属薄板が酸化防止膜により挟持
された状態となるため、金属薄板の導電性接着剤中のＳ
ｉＯ2による経時的な酸化が抑制され、圧電板と電極薄
板との電気的な導通不良を防止でき、圧電体に十分な電
圧を印加できるとともに、酸化防止膜が介在することに
より圧電板と金属薄板との接合強度が向上するため、圧
電板と金属薄板との間の剥離を防止でき、高温雰囲気お
よび高荷重印加条件においても、高い信頼性を有し、且
つ特性の安定した積層型圧電アクチュエータが得られ
る。
アクチュエータでは、金属薄板が酸化防止膜により挟持
された状態となるため、金属薄板の導電性接着剤中のＳ
ｉＯ2による経時的な酸化が抑制され、圧電板と電極薄
板との電気的な導通不良を防止でき、圧電体に十分な電
圧を印加できるとともに、酸化防止膜が介在することに
より圧電板と金属薄板との接合強度が向上するため、圧
電板と金属薄板との間の剥離を防止でき、高温雰囲気お
よび高荷重印加条件においても、高い信頼性を有し、且
つ特性の安定した積層型圧電アクチュエータが得られ
る。
【図１】本発明の積層型圧電アクチュエータの側面図で
ある。
ある。
【図２】図１の一部を拡大して示す断面図である。
【図３】図１の金属薄板を示す平面図である。
【図４】金属薄板と金属メッキ膜、金属メッキ膜と導電
性接着剤との間に酸化防止膜が形成された状態を示す断
面図である。
性接着剤との間に酸化防止膜が形成された状態を示す断
面図である。
１・・・積層体 １１・・・圧電板 １３・・・金属薄板 １４・・・導電性接着剤 １５・・・接続用突起部 １７、２３・・・酸化防止膜 １８・・・不活性体 ２１・・・金属メッキ膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 瀬戸口 剛 鹿児島県国分市山下町１番４号 京セラ株 式会社総合研究所内 (72)発明者 芦田 幸喜 鹿児島県国分市山下町１番４号 京セラ株 式会社総合研究所内 Ｆターム(参考） 3G066 AB02 BA46 CC05U CD04 CD21 CD30 CE27 CE30 CE31
Claims (4)
- 【請求項１】複数の圧電板と複数の金属薄板とを交互に
積層し、前記圧電板と前記金属薄板とを金属とガラスを
主成分とする導電性接着剤により加熱接合してなるとと
もに、前記金属薄板を交互に電気的に接続した積層型圧
電アクチュエータにおいて、前記金属薄板をＦｅとＮｉ
を主成分とする合金により形成してなることを特徴とす
る積層型圧電アクチュエータ。 - 【請求項２】金属薄板と導電性接着剤との界面にＦｅと
Ｓｉを含有する複合酸化物からなる酸化防止膜が形成さ
れていることを特徴とする請求項１記載の積層型圧電ア
クチュエータ。 - 【請求項３】金属薄板の両面に金属メッキ膜が形成され
ていることを特徴とする請求項１記載の積層型圧電アク
チュエータ。 - 【請求項４】金属薄板と金属メッキ膜との間に、前記金
属薄板の金属元素と前記金属メッキ膜の金属元素とを含
有する複合酸化物からなる酸化防止膜が形成されている
ことを特徴とする請求項３記載の積層型圧電アクチュエ
ータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18394198A JP3506609B2 (ja) | 1998-06-30 | 1998-06-30 | 積層型圧電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18394198A JP3506609B2 (ja) | 1998-06-30 | 1998-06-30 | 積層型圧電アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000022228A true JP2000022228A (ja) | 2000-01-21 |
| JP3506609B2 JP3506609B2 (ja) | 2004-03-15 |
Family
ID=16144498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18394198A Expired - Fee Related JP3506609B2 (ja) | 1998-06-30 | 1998-06-30 | 積層型圧電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3506609B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6333587B1 (en) * | 1998-12-11 | 2001-12-25 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelectric actuator |
| US6552472B1 (en) * | 1998-12-05 | 2003-04-22 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelectric actuator |
| WO2006135013A1 (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-21 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
| JP2007027692A (ja) * | 2005-06-15 | 2007-02-01 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
| JP2007043094A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-02-15 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
| JP2013080886A (ja) * | 2011-10-04 | 2013-05-02 | Fujifilm Corp | 圧電体素子及びその製造方法 |
| DE102013114016A1 (de) * | 2013-12-13 | 2015-06-18 | Bürkert Werke GmbH | Verfahren zur Herstellung eines Piezostapels |
| US9507688B2 (en) | 2009-03-16 | 2016-11-29 | Cypress Semiconductor Corporation | Execution history tracing method |
-
1998
- 1998-06-30 JP JP18394198A patent/JP3506609B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6552472B1 (en) * | 1998-12-05 | 2003-04-22 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelectric actuator |
| US6333587B1 (en) * | 1998-12-11 | 2001-12-25 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelectric actuator |
| WO2006135013A1 (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-21 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
| JP2007027692A (ja) * | 2005-06-15 | 2007-02-01 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
| US8441174B2 (en) | 2005-06-15 | 2013-05-14 | Kyocera Corporation | Multilayer piezoelectric element and injector using the same |
| US8648517B2 (en) | 2005-06-15 | 2014-02-11 | Kyocera Corporation | Multilayer piezoelectric element and injector using the same |
| JP2007043094A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-02-15 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
| US9507688B2 (en) | 2009-03-16 | 2016-11-29 | Cypress Semiconductor Corporation | Execution history tracing method |
| JP2013080886A (ja) * | 2011-10-04 | 2013-05-02 | Fujifilm Corp | 圧電体素子及びその製造方法 |
| DE102013114016A1 (de) * | 2013-12-13 | 2015-06-18 | Bürkert Werke GmbH | Verfahren zur Herstellung eines Piezostapels |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3506609B2 (ja) | 2004-03-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3506609B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH11186626A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH06232466A (ja) | 圧電積層体 | |
| JP2004095593A (ja) | 積層型圧電素子及び噴射装置 | |
| JP3881474B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP2001069771A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP2005072325A (ja) | 積層型圧電素子及び噴射装置 | |
| JP3506614B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH05218519A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP3894680B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP2003086853A (ja) | 積層型圧電素子及びその製法並びに噴射装置 | |
| JP3850163B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 | |
| JPH11340535A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP3506596B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP2892672B2 (ja) | 積層型変位素子 | |
| JP2705333B2 (ja) | 圧電効果素子および電歪効果素子並びにその製造方法 | |
| JPH1174576A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP3968408B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP2000049396A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP2001068750A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP3572208B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH1126828A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH11214759A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH11274589A (ja) | 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 | |
| JPH11238918A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20031209 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20031216 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081226 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091226 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101226 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101226 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111226 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111226 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121226 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131226 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |