JP2000006397A - インクジェット式記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
インクジェット式記録ヘッドおよびその製造方法Info
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- JP2000006397A JP2000006397A JP17788598A JP17788598A JP2000006397A JP 2000006397 A JP2000006397 A JP 2000006397A JP 17788598 A JP17788598 A JP 17788598A JP 17788598 A JP17788598 A JP 17788598A JP 2000006397 A JP2000006397 A JP 2000006397A
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- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14419—Manifold
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 共通インク室のサイズを変更することなくコ
ンプライアンスを高める。 【解決手段】 ノズルプレート９と、ノズルプレートの
一方の面に積層され、隔壁部によって区画することによ
り、共通インク室１３と複数の圧力室１４とインク供給
部１５とを形成した流路形成板８と、弾性シート１０と
を重ねて流路ユニット５を構成したインクジェット式記
録ヘッド２において、弾性シートの弾性体膜１９の共通
インク室に対応する部分に、塑性変形によって形成した
撓みを持たせた。
ンプライアンスを高める。 【解決手段】 ノズルプレート９と、ノズルプレートの
一方の面に積層され、隔壁部によって区画することによ
り、共通インク室１３と複数の圧力室１４とインク供給
部１５とを形成した流路形成板８と、弾性シート１０と
を重ねて流路ユニット５を構成したインクジェット式記
録ヘッド２において、弾性シートの弾性体膜１９の共通
インク室に対応する部分に、塑性変形によって形成した
撓みを持たせた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、記録媒体にインク
滴を吐出して記録画像を形成するインクジェット式記録
ヘッドおよびその製造方法に関するものである。
滴を吐出して記録画像を形成するインクジェット式記録
ヘッドおよびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のインクジェット式記録ヘッド、例
えば圧電振動子を加圧手段として用いたインクジェット
式記録ヘッドにおいては、複数のノズル開口部を有する
ノズルプレートの上に流路形成板と弾性板とを積層して
流路ユニットを構成し、この流路ユニットをケースに接
合する。すなわち、流路形成板には、ノズル開口部とぞ
れぞれ連通する圧力室と、各圧力室に供給するインクを
貯留する共通インク室と、共通インク室とそれぞれの圧
力室との間を連通するインク供給部などを隔壁部によっ
て区画することにより形成してあり、この流路形成板の
一方の面にノズルプレートを、他方の面に弾性板を接着
することにより流路ユニットを構成する。そして、圧力
室に対応させて圧電振動子をケース側に配置固定し、上
記流路ユニットをケースに取り付けることにより各圧電
振動子を対応した圧力室の弾性板に当接して固定する。
この様に構成されたヘッドは、共通インク室からインク
を各圧力室内に供給し、圧電振動子の作用により弾性板
を押圧して圧力室内を加圧し、この圧力によりノズルか
らインク滴を吐出する。
えば圧電振動子を加圧手段として用いたインクジェット
式記録ヘッドにおいては、複数のノズル開口部を有する
ノズルプレートの上に流路形成板と弾性板とを積層して
流路ユニットを構成し、この流路ユニットをケースに接
合する。すなわち、流路形成板には、ノズル開口部とぞ
れぞれ連通する圧力室と、各圧力室に供給するインクを
貯留する共通インク室と、共通インク室とそれぞれの圧
力室との間を連通するインク供給部などを隔壁部によっ
て区画することにより形成してあり、この流路形成板の
一方の面にノズルプレートを、他方の面に弾性板を接着
することにより流路ユニットを構成する。そして、圧力
室に対応させて圧電振動子をケース側に配置固定し、上
記流路ユニットをケースに取り付けることにより各圧電
振動子を対応した圧力室の弾性板に当接して固定する。
この様に構成されたヘッドは、共通インク室からインク
を各圧力室内に供給し、圧電振動子の作用により弾性板
を押圧して圧力室内を加圧し、この圧力によりノズルか
らインク滴を吐出する。
【０００３】ところで、前記弾性板は、厚さが２〜１０
μｍのＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイト）やポリイ
ミドなどの高分子膜と厚さが数十μｍのステンレス板と
の二重構造であり、ステンレス板をエッチング加工して
圧電振動子を当接固定するための厚肉部を形成するとと
もに、共通インク室に対応する部分のステンレス板を除
去する。共通インク室に対応する部分のステンレス板を
除去して高分子膜だけにする理由は、隣接ノズル間のク
ロストークを防止するとともに、印字濃淡の発生を防止
するためである。
μｍのＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイト）やポリイ
ミドなどの高分子膜と厚さが数十μｍのステンレス板と
の二重構造であり、ステンレス板をエッチング加工して
圧電振動子を当接固定するための厚肉部を形成するとと
もに、共通インク室に対応する部分のステンレス板を除
去する。共通インク室に対応する部分のステンレス板を
除去して高分子膜だけにする理由は、隣接ノズル間のク
ロストークを防止するとともに、印字濃淡の発生を防止
するためである。
【０００４】すなわち、圧電振動子の押圧により圧力室
内の圧力を高めるとノズル開口部からインク滴が吐出す
るだけでなく、圧力室と共通インク室とを連通している
インク供給部から共通インク室側にもインク噴流が流
れ、共通インク室内の圧力が変動し、これにより隣接し
たノズルの圧力室に圧力が伝播して吐出特性が変化して
しまい、クロストークが発生する。そこで、共通インク
室を弾性膜である高分子膜で封止して共通インク室のコ
ンプライアンスを大きくして、前記インク噴流による共
通インク室内の圧力変動を吸収し、これによりクロスト
ークの発生を防止しようとしている。
内の圧力を高めるとノズル開口部からインク滴が吐出す
るだけでなく、圧力室と共通インク室とを連通している
インク供給部から共通インク室側にもインク噴流が流
れ、共通インク室内の圧力が変動し、これにより隣接し
たノズルの圧力室に圧力が伝播して吐出特性が変化して
しまい、クロストークが発生する。そこで、共通インク
室を弾性膜である高分子膜で封止して共通インク室のコ
ンプライアンスを大きくして、前記インク噴流による共
通インク室内の圧力変動を吸収し、これによりクロスト
ークの発生を防止しようとしている。
【０００５】また、吐出ノズル数や吐出周波数が急激に
変化した場合、インクの流量が急激に変化するためにイ
ンク供給管内に水撃作用による圧力波が発生する。この
圧力波は共通インク室からインク供給部を介して圧力室
内にも伝播するので、吐出特性にも影響を及ぼす。この
ため、前記圧力波の振動周期に応じて印字濃度の濃淡と
なって現れてしまう。そこで、共通インク室を弾性膜で
ある高分子膜で封止することにより共通インク室のコン
プライアンスを大きくして前記圧力波による共通インク
室内の圧力変動を吸収し、また流量変化を緩和し、これ
により印字濃度の濃淡の安定化を図ろうとしている。
変化した場合、インクの流量が急激に変化するためにイ
ンク供給管内に水撃作用による圧力波が発生する。この
圧力波は共通インク室からインク供給部を介して圧力室
内にも伝播するので、吐出特性にも影響を及ぼす。この
ため、前記圧力波の振動周期に応じて印字濃度の濃淡と
なって現れてしまう。そこで、共通インク室を弾性膜で
ある高分子膜で封止することにより共通インク室のコン
プライアンスを大きくして前記圧力波による共通インク
室内の圧力変動を吸収し、また流量変化を緩和し、これ
により印字濃度の濃淡の安定化を図ろうとしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
インクジェット式記録ヘッドにおいては、共通インク室
のコンプライアンスが実際にはまだ不足しており、クロ
ストークや印字濃度の濃淡を確実に防止することができ
なかった。
インクジェット式記録ヘッドにおいては、共通インク室
のコンプライアンスが実際にはまだ不足しており、クロ
ストークや印字濃度の濃淡を確実に防止することができ
なかった。
【０００７】金属板に比べて薄い膜を容易に作成可能で
あってコンプライアンスを大きくすることができる弾性
体膜としてＰＰＳ等の高分子膜を採用するが、この高分
子膜は、流路形成板を構成しているシリコンウエハーや
弾性板上に厚肉部を形成するステンレスと比較すると、
線膨張係数が大きい。このため、流路形成板と弾性板を
高温で接着した後、室温に戻ると高分子膜に張力が作用
してしまう。さらに、ほとんどの高分子膜は、ある温度
以上になると収縮し、温度が戻っても元の大きさに戻ら
ない特性がある。これらに起因して、接着した後の高分
子膜に張力が作用するとコンプライアンスが低下してし
まい、これがクロストークや印字濃度のむらの原因であ
ると推測される。このため、所定のコンプライアンスを
確保するためには共通インク室のサイズを大きくしなけ
ればならないと考えられていた。
あってコンプライアンスを大きくすることができる弾性
体膜としてＰＰＳ等の高分子膜を採用するが、この高分
子膜は、流路形成板を構成しているシリコンウエハーや
弾性板上に厚肉部を形成するステンレスと比較すると、
線膨張係数が大きい。このため、流路形成板と弾性板を
高温で接着した後、室温に戻ると高分子膜に張力が作用
してしまう。さらに、ほとんどの高分子膜は、ある温度
以上になると収縮し、温度が戻っても元の大きさに戻ら
ない特性がある。これらに起因して、接着した後の高分
子膜に張力が作用するとコンプライアンスが低下してし
まい、これがクロストークや印字濃度のむらの原因であ
ると推測される。このため、所定のコンプライアンスを
確保するためには共通インク室のサイズを大きくしなけ
ればならないと考えられていた。
【０００８】ところが、共通インク室のサイズをより大
きくすると、ヘッドが大型化して重くなってしまい、記
録の高速化、装置の小型化などに不都合が生じる。特
に、カラー印字用に各色に対応した多数のノズル列を有
するヘッドの場合、共通インク室の幅によってヘッド全
体の大きさが左右されてしまうので、共通インク室の大
型化は好ましくない。
きくすると、ヘッドが大型化して重くなってしまい、記
録の高速化、装置の小型化などに不都合が生じる。特
に、カラー印字用に各色に対応した多数のノズル列を有
するヘッドの場合、共通インク室の幅によってヘッド全
体の大きさが左右されてしまうので、共通インク室の大
型化は好ましくない。
【０００９】具体的に説明すると、接着工程を含む流路
ユニットの製造においては１００°Ｃ以上にも及ぶ工程
があり、この場合には高分子膜は約１％収縮する。
ユニットの製造においては１００°Ｃ以上にも及ぶ工程
があり、この場合には高分子膜は約１％収縮する。
【００１０】共通インク室内の最大許容圧力は印字濃淡
の発生を防止するためには２０００Ｐａ以下であるの
で、この２０００Ｐａ時のコンプライアンスを評価の基
準とするが、この２０００Ｐａ時に、高分子膜に１％の
収縮が発生しないとすればコンプライアンスが１％収縮
時の約１６倍となり、逆に、１％収縮した状態で１６倍
のコンプライアンスを確保しようとすると、コンプライ
アンスは幅の三乗に概ね比例するので、共通インク室の
幅を約２．５倍に増大しなければならない。
の発生を防止するためには２０００Ｐａ以下であるの
で、この２０００Ｐａ時のコンプライアンスを評価の基
準とするが、この２０００Ｐａ時に、高分子膜に１％の
収縮が発生しないとすればコンプライアンスが１％収縮
時の約１６倍となり、逆に、１％収縮した状態で１６倍
のコンプライアンスを確保しようとすると、コンプライ
アンスは幅の三乗に概ね比例するので、共通インク室の
幅を約２．５倍に増大しなければならない。
【００１１】本発明は、上記した問題点に鑑みなされた
ものであり、その目的は、共通インク室のサイズを変更
することなくコンプライアンスを高めることができ、隣
接ノズル間のクロストークを防止するとともに、印字濃
淡の発生を防止することができるインクジェット式記録
ヘッドを提供しようとするものである。
ものであり、その目的は、共通インク室のサイズを変更
することなくコンプライアンスを高めることができ、隣
接ノズル間のクロストークを防止するとともに、印字濃
淡の発生を防止することができるインクジェット式記録
ヘッドを提供しようとするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために提案されたもので、請求項１に記載のもの
は、複数のノズル開口部と、隔壁部によって区画するこ
とにより、共通インク室と、上記ノズル開口部とそれぞ
れ連通する複数の圧力室と、上記共通インク室と各圧力
室とをそれぞれ連通するインク供給部とを形成した流路
形成板と、少なくとも上記圧力室の一方の開口面を封止
する封止板と、少なくとも共通インク室の一方の開口面
を封止する弾性体膜と、圧力室のそれぞれに対応して設
けられて圧力室内の圧力を変化させる圧力発生手段と、
を備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、上記弾
性体膜に、塑性変形によって形成した撓みを持たせたこ
とを特徴とするインクジェット式記録ヘッドである。
するために提案されたもので、請求項１に記載のもの
は、複数のノズル開口部と、隔壁部によって区画するこ
とにより、共通インク室と、上記ノズル開口部とそれぞ
れ連通する複数の圧力室と、上記共通インク室と各圧力
室とをそれぞれ連通するインク供給部とを形成した流路
形成板と、少なくとも上記圧力室の一方の開口面を封止
する封止板と、少なくとも共通インク室の一方の開口面
を封止する弾性体膜と、圧力室のそれぞれに対応して設
けられて圧力室内の圧力を変化させる圧力発生手段と、
を備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、上記弾
性体膜に、塑性変形によって形成した撓みを持たせたこ
とを特徴とするインクジェット式記録ヘッドである。
【００１３】請求項２に記載のものは、前記封止板と弾
性体膜とを同一材により一連に構成したことを特徴とす
る請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッドであ
る。
性体膜とを同一材により一連に構成したことを特徴とす
る請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッドであ
る。
【００１４】請求項３に記載のものは、前記ノズル開口
部が開設されたノズルプレートと、ノズルプレートの一
方の面に積層された流路形成板と、ノズルプレートとは
反対側になる流路形成板の他方の面に積層された封止板
と、弾性体膜とを一体化して流路ユニットとし、この流
路ユニットを、インク供給管を有するケースに接合した
ことを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェ
ット式記録ヘッドである。
部が開設されたノズルプレートと、ノズルプレートの一
方の面に積層された流路形成板と、ノズルプレートとは
反対側になる流路形成板の他方の面に積層された封止板
と、弾性体膜とを一体化して流路ユニットとし、この流
路ユニットを、インク供給管を有するケースに接合した
ことを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェ
ット式記録ヘッドである。
【００１５】請求項４に記載のものは、共通インク室の
前記一方の開口面に対応する弾性体膜の一部を前記ケー
スに対して非固定状態とし、共通インク室の外周部分と
複数のインク供給部を区画分離している隔壁部を、弾性
体膜を介してケースに固定したことを特徴とする請求項
３に記載のインクジェット式記録ヘッドである。
前記一方の開口面に対応する弾性体膜の一部を前記ケー
スに対して非固定状態とし、共通インク室の外周部分と
複数のインク供給部を区画分離している隔壁部を、弾性
体膜を介してケースに固定したことを特徴とする請求項
３に記載のインクジェット式記録ヘッドである。
【００１６】請求項５に記載のものは、前記流路ユニッ
トを固定するケースの表面のうち、共通インク室に対応
した部分に凹部を形成して、この凹部側に弾性体膜が変
形できるようにしたことを特徴とする請求項３または４
に記載のインクジェット式記録ヘッドである。
トを固定するケースの表面のうち、共通インク室に対応
した部分に凹部を形成して、この凹部側に弾性体膜が変
形できるようにしたことを特徴とする請求項３または４
に記載のインクジェット式記録ヘッドである。
【００１７】請求項６に記載のものは、前記凹部とケー
ス外部をつなぎ、凹部を大気圧に開放する連通孔を有す
ることを特徴とする請求項５に記載のインクジェット式
記録ヘッドである。
ス外部をつなぎ、凹部を大気圧に開放する連通孔を有す
ることを特徴とする請求項５に記載のインクジェット式
記録ヘッドである。
【００１８】請求項７に記載のものは、前記弾性体膜が
高分子材料により構成されていることを特徴とする請求
項１から６のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘ
ッドである。
高分子材料により構成されていることを特徴とする請求
項１から６のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘ
ッドである。
【００１９】請求項８に記載のものは、前記圧力発生手
段が圧電振動子であることを特徴とする請求項１から７
のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッドであ
る。
段が圧電振動子であることを特徴とする請求項１から７
のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッドであ
る。
【００２０】請求項９に記載のものは、前記圧力発生手
段が発熱素子であることを特徴とする請求項１から７の
いずれかに記載のインクジェット式記録ヘッドである。
段が発熱素子であることを特徴とする請求項１から７の
いずれかに記載のインクジェット式記録ヘッドである。
【００２１】請求項１０に記載の製造方法は、複数のノ
ズル開口部と、隔壁部によって区画することにより、共
通インク室と、上記ノズル開口部とそれぞれ連通する複
数の圧力室と、上記共通インク室と各圧力室とをそれぞ
れ連通するインク供給部とを形成した流路形成板と、少
なくとも上記圧力室の一方の開口面を封止する封止板
と、少なくとも共通インク室の一方の開口面を封止する
弾性体膜と、圧力室のそれぞれに対応して設けられて圧
力室内の圧力を変化させる圧力発生手段と、を備えたイ
ンクジェット式記録ヘッドの製造方法において、前記流
路形成板と弾性体膜とを接合した後に、共通インク室に
対応する部分の弾性体膜に外力を加え、この外力による
塑性変形により弾性体膜に撓みを付与することを特徴と
するインクジェット式記録ヘッドの製造方法である。
ズル開口部と、隔壁部によって区画することにより、共
通インク室と、上記ノズル開口部とそれぞれ連通する複
数の圧力室と、上記共通インク室と各圧力室とをそれぞ
れ連通するインク供給部とを形成した流路形成板と、少
なくとも上記圧力室の一方の開口面を封止する封止板
と、少なくとも共通インク室の一方の開口面を封止する
弾性体膜と、圧力室のそれぞれに対応して設けられて圧
力室内の圧力を変化させる圧力発生手段と、を備えたイ
ンクジェット式記録ヘッドの製造方法において、前記流
路形成板と弾性体膜とを接合した後に、共通インク室に
対応する部分の弾性体膜に外力を加え、この外力による
塑性変形により弾性体膜に撓みを付与することを特徴と
するインクジェット式記録ヘッドの製造方法である。
【００２２】請求項１１に記載のものは、機械的スタン
プにより弾性体膜に外力を加えて塑性変形することを特
徴とする請求項１０に記載のインクジェット式記録ヘッ
ドの製造方法である。
プにより弾性体膜に外力を加えて塑性変形することを特
徴とする請求項１０に記載のインクジェット式記録ヘッ
ドの製造方法である。
【００２３】請求項１２に記載のものは、弾性体膜の一
方の面を真空吸引することにより外力を加えて塑性変形
することを特徴とする請求項１０に記載のインクジェッ
ト式記録ヘッドの製造方法である。
方の面を真空吸引することにより外力を加えて塑性変形
することを特徴とする請求項１０に記載のインクジェッ
ト式記録ヘッドの製造方法である。
【００２４】請求項１３に記載のものは、流路形成板と
弾性体膜とを接合することにより形成される流路内の圧
力を加圧して弾性体膜に外力を加えることを特徴とする
請求項１０に記載のインクジェット式記録ヘッドの製造
方法である。
弾性体膜とを接合することにより形成される流路内の圧
力を加圧して弾性体膜に外力を加えることを特徴とする
請求項１０に記載のインクジェット式記録ヘッドの製造
方法である。
【００２５】請求項１４に記載のものは、流路形成板と
弾性体膜とを接合することにより形成される流路内の圧
力を減圧して弾性体膜に外力を加えることを特徴とする
請求項１０に記載のインクジェット式記録ヘッドの製造
方法である。
弾性体膜とを接合することにより形成される流路内の圧
力を減圧して弾性体膜に外力を加えることを特徴とする
請求項１０に記載のインクジェット式記録ヘッドの製造
方法である。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００２７】図１は圧力発生手段として圧電振動子１を
用いたインクジェット式記録ヘッド２（以下、ヘッド２
という。）の一実施形態の断面図、図２は図１に示すヘ
ッド２の要部を示す拡大断面図である。
用いたインクジェット式記録ヘッド２（以下、ヘッド２
という。）の一実施形態の断面図、図２は図１に示すヘ
ッド２の要部を示す拡大断面図である。
【００２８】ヘッド２は、図１に示すように、例えばプ
ラスチックからなる箱体状のケース３の収納室４内に圧
電振動子１を一方の開口から挿入して櫛歯状先端１ａを
他方の開口に臨ませ、この開口側のケース３の表面（下
面）に流路ユニット５を接合するとともに、圧電振動子
１の櫛歯状先端１ａをそれぞれ流路ユニット５の所定部
位に当接固定することにより概略構成されている。な
お、図中、６はフレキシブルケーブル、７は固定基板で
ある。
ラスチックからなる箱体状のケース３の収納室４内に圧
電振動子１を一方の開口から挿入して櫛歯状先端１ａを
他方の開口に臨ませ、この開口側のケース３の表面（下
面）に流路ユニット５を接合するとともに、圧電振動子
１の櫛歯状先端１ａをそれぞれ流路ユニット５の所定部
位に当接固定することにより概略構成されている。な
お、図中、６はフレキシブルケーブル、７は固定基板で
ある。
【００２９】流路ユニット５は、流路形成板８を間に挟
んでノズルプレート９と弾性シート１０を両側に積層す
ることにより構成されている。
んでノズルプレート９と弾性シート１０を両側に積層す
ることにより構成されている。
【００３０】ノズルプレート９は、ドット形成密度に対
応したピッチで複数のノズル開口部１１を列状に開設し
たプレートである。
応したピッチで複数のノズル開口部１１を列状に開設し
たプレートである。
【００３１】このノズルプレート９の一方の面に積層す
る流路形成板８は、隔壁部１２によって区画することに
より細長い共通インク室１３と、上記ノズル開口部１１
とそれぞれ連通する複数の圧力室１４と、共通インク室
１３と各圧力室１４とをそれぞれ連通するインク供給部
１５とを形成した板材である。本実施形態では、図３に
示すように、シリコンウエハーをエッチング加工するこ
とにより細長い共通インク室１３を２本所定の間隔を空
けて形成し、各共通インク室１３の長手方向に沿って圧
力室１４をノズル開口部１１のピッチに合わせて形成
し、各圧力室１４と共通インク室１３との間に溝状のイ
ンク供給部１５を形成してある。なお、圧力室１４の一
端にインク供給部１５が接続し、このインク供給部１５
とは反対側の端部近傍でノズル開口部１１が位置するよ
うに配置してある。また、共通インク室１３の端部に
は、インク供給管１６との連通口１７を開設してある。
このインク供給管１６は、インクカートリッジに貯留さ
れたインクを共通インク室１３に供給するための流路で
ある。
る流路形成板８は、隔壁部１２によって区画することに
より細長い共通インク室１３と、上記ノズル開口部１１
とそれぞれ連通する複数の圧力室１４と、共通インク室
１３と各圧力室１４とをそれぞれ連通するインク供給部
１５とを形成した板材である。本実施形態では、図３に
示すように、シリコンウエハーをエッチング加工するこ
とにより細長い共通インク室１３を２本所定の間隔を空
けて形成し、各共通インク室１３の長手方向に沿って圧
力室１４をノズル開口部１１のピッチに合わせて形成
し、各圧力室１４と共通インク室１３との間に溝状のイ
ンク供給部１５を形成してある。なお、圧力室１４の一
端にインク供給部１５が接続し、このインク供給部１５
とは反対側の端部近傍でノズル開口部１１が位置するよ
うに配置してある。また、共通インク室１３の端部に
は、インク供給管１６との連通口１７を開設してある。
このインク供給管１６は、インクカートリッジに貯留さ
れたインクを共通インク室１３に供給するための流路で
ある。
【００３２】弾性シート１０は、本実施形態では、ノズ
ルプレート９とは反対側になる流路形成板８の他方の面
に積層され、少なくとも上記圧力室１４の一方の開口面
を封止する封止板と、同じく流路形成板８の他方の面に
積層され、少なくとも共通インク室１３の一方の開口面
を封止する弾性体膜とを兼ねており、ステンレス板１８
上にＰＰＳ等の高分子膜を弾性体膜１９としてラミネー
トした二重構造である。そして、同一材により封止板と
弾性体膜１９とを構成するので、封止板として機能する
部分、すなわち圧力室１４に対応した部分のステンレス
板１８をエッチング加工して圧電振動子１を当接固定す
るための厚肉部（アイランド部）２０を形成し、また、
弾性体膜１９として機能する部分、すなわち共通インク
室１３に対応する部分のステンレス板１８をエッチング
加工で除去して弾性体膜１９だけにする。
ルプレート９とは反対側になる流路形成板８の他方の面
に積層され、少なくとも上記圧力室１４の一方の開口面
を封止する封止板と、同じく流路形成板８の他方の面に
積層され、少なくとも共通インク室１３の一方の開口面
を封止する弾性体膜とを兼ねており、ステンレス板１８
上にＰＰＳ等の高分子膜を弾性体膜１９としてラミネー
トした二重構造である。そして、同一材により封止板と
弾性体膜１９とを構成するので、封止板として機能する
部分、すなわち圧力室１４に対応した部分のステンレス
板１８をエッチング加工して圧電振動子１を当接固定す
るための厚肉部（アイランド部）２０を形成し、また、
弾性体膜１９として機能する部分、すなわち共通インク
室１３に対応する部分のステンレス板１８をエッチング
加工で除去して弾性体膜１９だけにする。
【００３３】上記した構成からなるノズルプレート９、
流路形成板８、および弾性シート１０を積層して流路ユ
ニット５とする場合には、流路形成板８を間に挟んで、
ノズル開口部１１の小さい口が外側に向く状態でノズル
プレート９を流路形成板８の一方の面に接着するととも
に、ステンレス板１８が外側に位置する状態で弾性シー
ト１０を流路形成板８の他方の面に接着する。この様に
して流路ユニット５を組み立てると、流路形成板８の各
圧力室１４および共通インク室１３の一方の開口面がそ
れぞれ弾性体膜１９により封止されるとともに、溝状イ
ンク供給部１５の上面開口が弾性体膜１９で覆われ、ま
た、各圧力室１４および共通インク室１３の他方の開口
面がノズルプレート９により閉塞される。
流路形成板８、および弾性シート１０を積層して流路ユ
ニット５とする場合には、流路形成板８を間に挟んで、
ノズル開口部１１の小さい口が外側に向く状態でノズル
プレート９を流路形成板８の一方の面に接着するととも
に、ステンレス板１８が外側に位置する状態で弾性シー
ト１０を流路形成板８の他方の面に接着する。この様に
して流路ユニット５を組み立てると、流路形成板８の各
圧力室１４および共通インク室１３の一方の開口面がそ
れぞれ弾性体膜１９により封止されるとともに、溝状イ
ンク供給部１５の上面開口が弾性体膜１９で覆われ、ま
た、各圧力室１４および共通インク室１３の他方の開口
面がノズルプレート９により閉塞される。
【００３４】この様にして流路ユニット５を組み立てる
と、室温に戻っても弾性体膜１９に僅かな張力が作用し
ており、この張力が弾性体膜１９のコンプライアンスを
低下している。そこで、本発明では、流路ユニット５を
組み立てた後に共通インク室１３に対応した部分の弾性
体膜１９に外力を加え、この外力による塑性変形によっ
て形成した撓みを弾性体膜１９に持たせる。
と、室温に戻っても弾性体膜１９に僅かな張力が作用し
ており、この張力が弾性体膜１９のコンプライアンスを
低下している。そこで、本発明では、流路ユニット５を
組み立てた後に共通インク室１３に対応した部分の弾性
体膜１９に外力を加え、この外力による塑性変形によっ
て形成した撓みを弾性体膜１９に持たせる。
【００３５】次に、弾性体膜１９に撓みを持たせる加工
について説明する。
について説明する。
【００３６】図４は、機械的スタンプにより外力を加え
る第１の加工方法を説明する図である。この第１の加工
方法では、先端を丸めた円柱状のスタンプ治具２１を用
いている。そして、共通インク室１３に対応した部分の
弾性体膜１９にスタンプ治具２１の先端を、ノズルプレ
ート９とは反対側である封止板側から押し当てて、ノズ
ルプレート９側に押し込んで弾性体膜１９を塑性変形さ
せる。弾性体膜１９を塑性変形させたならば、スタンプ
治具２１から取り外す。この押し込み時における押圧力
は、弾性体膜１９が薄いので、弾性体膜１９の弾性限界
点を少し越えた圧力とすることが望ましい。これによ
り、スタンプ治具２１から外した状態においても弾性体
膜１９の塑性変形が維持され、元の形状に戻ることがな
い。したがって、共通インク室１３の壁面を構成してい
る弾性体膜１９に撓みが残り、これによりコンプライア
ンスが増大される。
る第１の加工方法を説明する図である。この第１の加工
方法では、先端を丸めた円柱状のスタンプ治具２１を用
いている。そして、共通インク室１３に対応した部分の
弾性体膜１９にスタンプ治具２１の先端を、ノズルプレ
ート９とは反対側である封止板側から押し当てて、ノズ
ルプレート９側に押し込んで弾性体膜１９を塑性変形さ
せる。弾性体膜１９を塑性変形させたならば、スタンプ
治具２１から取り外す。この押し込み時における押圧力
は、弾性体膜１９が薄いので、弾性体膜１９の弾性限界
点を少し越えた圧力とすることが望ましい。これによ
り、スタンプ治具２１から外した状態においても弾性体
膜１９の塑性変形が維持され、元の形状に戻ることがな
い。したがって、共通インク室１３の壁面を構成してい
る弾性体膜１９に撓みが残り、これによりコンプライア
ンスが増大される。
【００３７】なお、スタンプ治具２１は、先端を丸めた
角柱状のもの等、任意の形状のものを用いることができ
る。
角柱状のもの等、任意の形状のものを用いることができ
る。
【００３８】図５は、弾性体膜１９の一方の面を真空吸
引することにより外力を加える第２の加工方法を説明す
る図である。この第２の加工方法では、共通インク室１
３に対応した部分の弾性体膜１９の面積よりも少し小さ
い径の吸引パイプ２２を用い、この吸引パイプ２２の先
端を封止板側から押し当てて、吸引パイプ２２の基端側
に接続した真空吸引装置を作動させる。この真空吸引装
置の作動により吸引パイプ２２内が減圧され、弾性体膜
１９が吸引パイプ２２内に引き込まれて塑性変形する。
なお、この吸引時における吸引力もまた、弾性体膜１９
の弾性限界点を少し越えた程度の力にすることが望まし
く、例えば０．５気圧で１０秒間吸引する。また、吸引
パイプ２２は、円筒パイプや角パイプ等適当な形状のも
のを用いることができる。
引することにより外力を加える第２の加工方法を説明す
る図である。この第２の加工方法では、共通インク室１
３に対応した部分の弾性体膜１９の面積よりも少し小さ
い径の吸引パイプ２２を用い、この吸引パイプ２２の先
端を封止板側から押し当てて、吸引パイプ２２の基端側
に接続した真空吸引装置を作動させる。この真空吸引装
置の作動により吸引パイプ２２内が減圧され、弾性体膜
１９が吸引パイプ２２内に引き込まれて塑性変形する。
なお、この吸引時における吸引力もまた、弾性体膜１９
の弾性限界点を少し越えた程度の力にすることが望まし
く、例えば０．５気圧で１０秒間吸引する。また、吸引
パイプ２２は、円筒パイプや角パイプ等適当な形状のも
のを用いることができる。
【００３９】以上のようにして弾性体膜１９に撓みを持
たせたならば、続いて、この流路ユニット５をケース３
の表面に接合してヘッド２を組み立てる。この場合、弾
性シート１０の封止板とケース３の表面とを接着剤によ
り接合する。流路ユニット５を接合するケース３の表面
のうち、共通インク室１３に対応した部分に凹部２３を
形成して、弾性体膜１９の撓みを持たせた部分をケース
３に対して非固定状態とし、共通インク室１３の外周部
分と複数のインク供給部１５を区画分離している隔壁部
１２を、弾性体膜１９を介してケース３に固定する。な
お、凹部２３は弾性体膜１９が膨張側に変形した場合に
おける移動空間として機能する空部である。
たせたならば、続いて、この流路ユニット５をケース３
の表面に接合してヘッド２を組み立てる。この場合、弾
性シート１０の封止板とケース３の表面とを接着剤によ
り接合する。流路ユニット５を接合するケース３の表面
のうち、共通インク室１３に対応した部分に凹部２３を
形成して、弾性体膜１９の撓みを持たせた部分をケース
３に対して非固定状態とし、共通インク室１３の外周部
分と複数のインク供給部１５を区画分離している隔壁部
１２を、弾性体膜１９を介してケース３に固定する。な
お、凹部２３は弾性体膜１９が膨張側に変形した場合に
おける移動空間として機能する空部である。
【００４０】また、弾性体膜１９が変形するとき、凹部
２３が閉じられている場合は、凹部２３内の空気が圧縮
または膨張し、凹部２３内の空気もコンプライアンスと
して作用する。このとき、弾性体膜１９のコンプライア
ンスと凹部２３内の空気のコンプライアンスが直列接続
となりトータルのコンプライアンスを小さくしてしま
う。一方、凹部２３とケース３の外部をつなぐ連通孔２
４を有する場合は、凹部２３内の空気コンプライアンス
は無限大となり、弾性体膜１９のコンプライアンスを有
効に作用させることができる。
２３が閉じられている場合は、凹部２３内の空気が圧縮
または膨張し、凹部２３内の空気もコンプライアンスと
して作用する。このとき、弾性体膜１９のコンプライア
ンスと凹部２３内の空気のコンプライアンスが直列接続
となりトータルのコンプライアンスを小さくしてしま
う。一方、凹部２３とケース３の外部をつなぐ連通孔２
４を有する場合は、凹部２３内の空気コンプライアンス
は無限大となり、弾性体膜１９のコンプライアンスを有
効に作用させることができる。
【００４１】また、弾性体膜１９に撓みを持たせる加工
方法は、流路ユニット５をケース３に接合した後であっ
てもよい。例えば、図６に示す第３の加工方法は、流路
ユニット５の流路内を減圧して、弾性体膜１９に外力を
加える加工方法である。この第３の加工方法では、ま
ず、インク供給管１６側の流路乃至開口を閉塞し、ノズ
ルプレート９に吸引パイプの一端を押し付けて、全ての
ノズル開口部１１を吸引パイプの内径側に位置させる。
そして、この状態から吸引パイプの他端に接続した真空
吸引装置を作動させて吸引パイプ内を減圧する。吸引パ
イプ内の減圧に伴って流路ユニット５の流路の一部を構
成する共通インク室１３が減圧され、この共通インク室
１３に位置する弾性体膜１９がノズルプレート９側に引
き込まれて塑性変形する。そして、弾性体膜１９が塑性
変形したならば、真空吸引装置の作動を停止する。な
お、吸引は、例えば０．５気圧で１０秒間継続し、その
後で大気開放する。
方法は、流路ユニット５をケース３に接合した後であっ
てもよい。例えば、図６に示す第３の加工方法は、流路
ユニット５の流路内を減圧して、弾性体膜１９に外力を
加える加工方法である。この第３の加工方法では、ま
ず、インク供給管１６側の流路乃至開口を閉塞し、ノズ
ルプレート９に吸引パイプの一端を押し付けて、全ての
ノズル開口部１１を吸引パイプの内径側に位置させる。
そして、この状態から吸引パイプの他端に接続した真空
吸引装置を作動させて吸引パイプ内を減圧する。吸引パ
イプ内の減圧に伴って流路ユニット５の流路の一部を構
成する共通インク室１３が減圧され、この共通インク室
１３に位置する弾性体膜１９がノズルプレート９側に引
き込まれて塑性変形する。そして、弾性体膜１９が塑性
変形したならば、真空吸引装置の作動を停止する。な
お、吸引は、例えば０．５気圧で１０秒間継続し、その
後で大気開放する。
【００４２】図７は、流路ユニット５の流路内を加圧し
て弾性体膜１９に外力を加える第４の加工方法を説明す
る図である。この第４の加工方法では、まず、インク供
給管１６等を塞いだ状態で、ノズルプレート９に加圧パ
イプの一端を押し付けて、全てのノズル開口を加圧パイ
プの内径側に位置させる。そして、この状態から加圧パ
イプの他端に接続した加圧機構、例えば、加圧ポンプを
作動させて、ノズル開口から流路ユニット５の流路側に
向けて空気等の流体を圧送する。この圧送された加圧流
体によって共通インク室１３内の圧力が高められ、弾性
体膜１９がケース３の凹部２３側に膨張して塑性変形す
る。そして、弾性体膜１９が塑性変形したならば、加圧
ポンプの作動を停止して加圧を止める。なお、圧力が強
すぎるとインク供給管１６や流路ユニット５の各シール
部などを破損する虞れもあるので、弾性限界点を少し越
えた圧力、例えば１．２気圧で１分間加圧する。
て弾性体膜１９に外力を加える第４の加工方法を説明す
る図である。この第４の加工方法では、まず、インク供
給管１６等を塞いだ状態で、ノズルプレート９に加圧パ
イプの一端を押し付けて、全てのノズル開口を加圧パイ
プの内径側に位置させる。そして、この状態から加圧パ
イプの他端に接続した加圧機構、例えば、加圧ポンプを
作動させて、ノズル開口から流路ユニット５の流路側に
向けて空気等の流体を圧送する。この圧送された加圧流
体によって共通インク室１３内の圧力が高められ、弾性
体膜１９がケース３の凹部２３側に膨張して塑性変形す
る。そして、弾性体膜１９が塑性変形したならば、加圧
ポンプの作動を停止して加圧を止める。なお、圧力が強
すぎるとインク供給管１６や流路ユニット５の各シール
部などを破損する虞れもあるので、弾性限界点を少し越
えた圧力、例えば１．２気圧で１分間加圧する。
【００４３】以上のようにして弾性体膜１９に撓みを持
たせたヘッド２を備えたインクジェット式記録装置で
は、インクカートリッジに貯留されたインクは、インク
供給管１６を通じて共通インク室１３に流入する。この
共通インク室１３内のインクは、インク供給部１５を通
って各圧力室１４内に流入し、圧力室１４を満たす。
たせたヘッド２を備えたインクジェット式記録装置で
は、インクカートリッジに貯留されたインクは、インク
供給管１６を通じて共通インク室１３に流入する。この
共通インク室１３内のインクは、インク供給部１５を通
って各圧力室１４内に流入し、圧力室１４を満たす。
【００４４】そして、このヘッド２においては、共通イ
ンク室１３に対応する部分の弾性体膜１９が塑性変形に
よる撓みがあり、しかもケース３側には凹部２３が形成
されていて非固定なので、弾性体膜１９が容易に変形し
易い状態を維持することができ、これにより共通インク
室１３のサイズを変更しなくても、必要なコンプライア
ンスを確保することができる。このため、圧電振動子１
の押圧により圧力室１４内の圧力を高めてノズル開口部
１１からインク滴が吐出した際に、圧力室１４内のイン
クがインク供給部１５から共通インク室１３側に噴流し
たり上昇した圧力が共通インク室１３内に伝播しても、
共通インク室１３の壁面を構成している弾性体膜１９が
変形することにより圧力変動を吸収することができる。
したがって、隣接したノズルの圧力室１４に圧力が伝播
することを防止してクロストークの発生を確実に防止す
ることができる。
ンク室１３に対応する部分の弾性体膜１９が塑性変形に
よる撓みがあり、しかもケース３側には凹部２３が形成
されていて非固定なので、弾性体膜１９が容易に変形し
易い状態を維持することができ、これにより共通インク
室１３のサイズを変更しなくても、必要なコンプライア
ンスを確保することができる。このため、圧電振動子１
の押圧により圧力室１４内の圧力を高めてノズル開口部
１１からインク滴が吐出した際に、圧力室１４内のイン
クがインク供給部１５から共通インク室１３側に噴流し
たり上昇した圧力が共通インク室１３内に伝播しても、
共通インク室１３の壁面を構成している弾性体膜１９が
変形することにより圧力変動を吸収することができる。
したがって、隣接したノズルの圧力室１４に圧力が伝播
することを防止してクロストークの発生を確実に防止す
ることができる。
【００４５】また、吐出ノズルの数や吐出周波数が急激
に変化してインクの流量が急激に変化した場合にインク
供給管１６内に水撃作用による圧力波が発生することが
あるが、この圧力波が共通インク室１３内に伝播する
と、共通インク室１３の壁面を構成している弾性体膜１
９が容易に膨張乃至収縮変形することにより前記圧力波
による共通インク室１３内の圧力変動を吸収することが
でき、また流量変化を緩和する。したがって、これによ
り印字濃度の濃淡を安定化することができる。
に変化してインクの流量が急激に変化した場合にインク
供給管１６内に水撃作用による圧力波が発生することが
あるが、この圧力波が共通インク室１３内に伝播する
と、共通インク室１３の壁面を構成している弾性体膜１
９が容易に膨張乃至収縮変形することにより前記圧力波
による共通インク室１３内の圧力変動を吸収することが
でき、また流量変化を緩和する。したがって、これによ
り印字濃度の濃淡を安定化することができる。
【００４６】なお、前記した実施形態においては圧電振
動子１を用いて圧力室１４内の圧力を高めたが、本発明
における圧力発生手段はこれに限定されるものではな
く、例えば圧力室１４内のインクを加熱する発熱素子を
圧力室１４内に設けてもよい。この場合には、発熱素子
の熱により圧力室１４内に気泡が発生し、これにより圧
力室１４内の圧力が高められてノズル開口部１１からイ
ンク滴が吐出する。
動子１を用いて圧力室１４内の圧力を高めたが、本発明
における圧力発生手段はこれに限定されるものではな
く、例えば圧力室１４内のインクを加熱する発熱素子を
圧力室１４内に設けてもよい。この場合には、発熱素子
の熱により圧力室１４内に気泡が発生し、これにより圧
力室１４内の圧力が高められてノズル開口部１１からイ
ンク滴が吐出する。
【００４７】また、前記した実施形態においては、ノズ
ルプレート９、流路形成板８、弾性シート１０を積層し
て流路ユニット５を構成したが、ノズルプレートが流路
形成板の端面に接合されているものや、ノズル開口部が
直接流路形成板に形成されているインクジェット式記録
ヘッドにおいても、前記実施形態における効果と同様の
効果を奏する。
ルプレート９、流路形成板８、弾性シート１０を積層し
て流路ユニット５を構成したが、ノズルプレートが流路
形成板の端面に接合されているものや、ノズル開口部が
直接流路形成板に形成されているインクジェット式記録
ヘッドにおいても、前記実施形態における効果と同様の
効果を奏する。
【００４８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、以
下の効果を奏する。
下の効果を奏する。
【００４９】すなわち、請求項１および請求項１０の発
明によれば、共通インク室の壁面を構成している弾性体
膜に、塑性変形によって形成した撓みを持たせたので、
共通インク室のサイズを変えることなくコンプライアン
スを大きくすることができる。したがって、クロストー
クの発生を確実に防止することができ、また、印字濃度
の濃淡を確実に安定化させることができる。
明によれば、共通インク室の壁面を構成している弾性体
膜に、塑性変形によって形成した撓みを持たせたので、
共通インク室のサイズを変えることなくコンプライアン
スを大きくすることができる。したがって、クロストー
クの発生を確実に防止することができ、また、印字濃度
の濃淡を確実に安定化させることができる。
【００５０】請求項２の発明によれば、封止板と弾性体
膜とを同一材により一連に構成したので、製造工程の簡
略化を図ることができる。
膜とを同一材により一連に構成したので、製造工程の簡
略化を図ることができる。
【００５１】請求項３の発明によれば、ノズルプレート
と流路形成板と封止板と弾性体膜とを一体化して流路ユ
ニットとし、この流路ユニットを、インク供給管を有す
るケースに接合したので、製造工程のさらなる合理化を
図ることができる。
と流路形成板と封止板と弾性体膜とを一体化して流路ユ
ニットとし、この流路ユニットを、インク供給管を有す
るケースに接合したので、製造工程のさらなる合理化を
図ることができる。
【００５２】請求項４の発明によれば、共通インク室に
対応する弾性体膜の一部をケースに対して非固定状態と
し、共通インク室の外周部分と複数のインク供給部を区
画分離している隔壁部を、弾性体膜を介してケースに固
定したので、共通インク室の弾性体膜が変形し易くな
り、コンプライアンスを確実に大きくすることができ
る。
対応する弾性体膜の一部をケースに対して非固定状態と
し、共通インク室の外周部分と複数のインク供給部を区
画分離している隔壁部を、弾性体膜を介してケースに固
定したので、共通インク室の弾性体膜が変形し易くな
り、コンプライアンスを確実に大きくすることができ
る。
【００５３】請求項５の発明によれば、流路ユニットを
接合するケースの表面のうち、共通インク室に対応した
部分に凹部を形成し、請求項６の発明ではさらに凹部を
大気圧に開放する連通孔を設けたので、この凹部という
変形空間の確保により弾性体膜が一層変形し易くなり、
コンプライアンスを一層確実に大きくすることができ
る。
接合するケースの表面のうち、共通インク室に対応した
部分に凹部を形成し、請求項６の発明ではさらに凹部を
大気圧に開放する連通孔を設けたので、この凹部という
変形空間の確保により弾性体膜が一層変形し易くなり、
コンプライアンスを一層確実に大きくすることができ
る。
【００５４】請求項７の発明によれば、弾性体膜が高分
子材料により構成されているので、薄い膜を容易に作成
でき、また、塑性変形による撓みも付与し易い。したが
って、コンプライアンスを大きくすることも容易であ
る。
子材料により構成されているので、薄い膜を容易に作成
でき、また、塑性変形による撓みも付与し易い。したが
って、コンプライアンスを大きくすることも容易であ
る。
【００５５】請求項８の発明によれば、圧力発生手段が
圧電振動子であるので、応答性に優れたヘッドを提供す
ることができる。
圧電振動子であるので、応答性に優れたヘッドを提供す
ることができる。
【００５６】請求項９の発明によれば、圧力発生手段が
発熱素子であるので、構造の簡素化を図ることができ
る。
発熱素子であるので、構造の簡素化を図ることができ
る。
【００５７】請求項１１の発明によれば、機械的スタン
プにより弾性体膜に外力を加えて塑性変形するので、高
い精度で塑性変形させることができる。
プにより弾性体膜に外力を加えて塑性変形するので、高
い精度で塑性変形させることができる。
【００５８】請求項１２から請求項１４の発明によれ
ば、流体の圧力を利用して弾性体膜を塑性変形するの
で、外力の限界を制御し易い。
ば、流体の圧力を利用して弾性体膜を塑性変形するの
で、外力の限界を制御し易い。
【図１】インクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【図２】図１に示すヘッドの要部の拡大断面図である。
【図３】共通インク室および圧力室等の配置を示す説明
図である。
図である。
【図４】機械的スタンプにより弾性体膜を塑性変形する
第１の加工方法の概略説明図である。
第１の加工方法の概略説明図である。
【図５】弾性体膜の一方の面を真空吸引することにより
外力を加える第２の加工方法の説明図である。
外力を加える第２の加工方法の説明図である。
【図６】流路ユニットの流路内を減圧して弾性体膜に外
力を加える第３の加工方法の説明図である。
力を加える第３の加工方法の説明図である。
【図７】流路ユニットの流路内を加圧して弾性体膜に外
力を加える第４の加工方法の説明図である。
力を加える第４の加工方法の説明図である。
１ 圧電振動子 ２ インクジェット式記録ヘッド ３ ケース ４ 収納室 ５ 流路ユニット ６ フレキシブルケーブル ７ 固定基板 ８ 流路形成板 ９ ノズルプレート １０ 弾性シート １１ ノズル開口部 １２ 隔壁部 １３ 共通インク室 １４ 圧力室 １５ インク供給部 １６ インク供給管 １７ インク供給管との連通口 １８ ステンレス板 １９ 弾性体膜 ２０ 厚肉部 ２１ スタンプ治具 ２２ 吸引パイプ ２３ 凹部 ２４ 連通孔
Claims (14)
- 【請求項１】 複数のノズル開口部と、 隔壁部によって区画することにより、共通インク室と、
上記ノズル開口部とそれぞれ連通する複数の圧力室と、
上記共通インク室と各圧力室とをそれぞれ連通するイン
ク供給部とを形成した流路形成板と、 少なくとも上記圧力室の一方の開口面を封止する封止板
と、 少なくとも共通インク室の一方の開口面を封止する弾性
体膜と、 圧力室のそれぞれに対応して設けられて圧力室内の圧力
を変化させる圧力発生手段と、を備えたインクジェット
式記録ヘッドにおいて、 上記弾性体膜に、塑性変形によって形成した撓みを持た
せたことを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記封止板と弾性体膜とを同一材により
一連に構成したことを特徴とする請求項１に記載のイン
クジェット式記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記ノズル開口部が開設されたノズルプ
レートと、ノズルプレートの一方の面に積層された流路
形成板と、ノズルプレートとは反対側になる流路形成板
の他方の面に積層された封止板と、弾性体膜とを一体化
して流路ユニットとし、この流路ユニットを、インク供
給管を有するケースに接合したことを特徴とする請求項
１または２に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項４】 共通インク室の前記一方の開口面に対応
する弾性体膜の一部を前記ケースに対して非固定状態と
し、共通インク室の外周部分と複数のインク供給部を区
画分離している隔壁部を、弾性体膜を介してケースに固
定したことを特徴とする請求項３に記載のインクジェッ
ト式記録ヘッド。 - 【請求項５】 前記流路ユニットを接合するケースの表
面のうち、共通インク室に対応した部分に凹部を形成し
て、この凹部側に弾性体膜が変形できるようにしたこと
を特徴とする請求項３または４に記載のインクジェット
式記録ヘッド。 - 【請求項６】 前記凹部とケース外部をつなぎ、凹部を
大気圧に開放する連通孔を有することを特徴とする請求
項５に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項７】 前記弾性体膜が高分子材料により構成さ
れていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに
記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項８】 前記圧力発生手段が圧電振動子であるこ
とを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のイン
クジェット式記録ヘッド。 - 【請求項９】 前記圧力発生手段が発熱素子であること
を特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のインク
ジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１０】 複数のノズル開口部と、 隔壁部によって区画することにより、共通インク室と、
上記ノズル開口部とそれぞれ連通する複数の圧力室と、
上記共通インク室と各圧力室とをそれぞれ連通するイン
ク供給部とを形成した流路形成板と、 少なくとも上記圧力室の一方の開口面を封止する封止板
と、 少なくとも共通インク室の一方の開口面を封止する弾性
体膜と、 圧力室のそれぞれに対応して設けられて圧力室内の圧力
を変化させる圧力発生手段と、を備えたインクジェット
式記録ヘッドの製造方法において、 前記流路形成板と弾性体膜とを接合した後に、共通イン
ク室に対応する部分の弾性体膜に外力を加え、この外力
による塑性変形により弾性体膜に撓みを付与することを
特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項１１】 機械的スタンプにより弾性体膜に外力
を加えて塑性変形することを特徴とする請求項１０に記
載のインクジェット式記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項１２】 弾性体膜の一方の面を真空吸引するこ
とにより外力を加えて塑性変形することを特徴とする請
求項１０に記載のインクジェット式記録ヘッドの製造方
法。 - 【請求項１３】 流路形成板と弾性体膜とを接合するこ
とにより形成される流路内の圧力を加圧して弾性体膜に
外力を加えることを特徴とする請求項１０に記載のイン
クジェット式記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項１４】 流路形成板と弾性体膜とを接合するこ
とにより形成される流路内の圧力を減圧して弾性体膜に
外力を加えることを特徴とする請求項１０に記載のイン
クジェット式記録ヘッドの製造方法。
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