JP1643628S - 基板保持リング - Google Patents
基板保持リングInfo
- Publication number
- JP1643628S JP1643628S JP2018026882F JP2018026882F JP1643628S JP 1643628 S JP1643628 S JP 1643628S JP 2018026882 F JP2018026882 F JP 2018026882F JP 2018026882 F JP2018026882 F JP 2018026882F JP 1643628 S JP1643628 S JP 1643628S
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- retaining ring
- substrate retaining
- substrate
- polishing
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title abstract 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 abstract 2
Abstract
本物品は、ウエハ等の基板の面を研磨するために用いる基板研磨装置に用いられる基板保持リングである。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018026882F JP1643628S (ja) | 2018-12-10 | 2018-12-10 | 基板保持リング |
| TW108301321D01F TWD209109S (zh) | 2018-12-10 | 2019-03-08 | 基板保持環 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018026882F JP1643628S (ja) | 2018-12-10 | 2018-12-10 | 基板保持リング |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP1643628S true JP1643628S (ja) | 2019-10-21 |
Family
ID=83460095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018026882F Active JP1643628S (ja) | 2018-12-10 | 2018-12-10 | 基板保持リング |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP1643628S (ja) |
| TW (1) | TWD209109S (ja) |
-
2018
- 2018-12-10 JP JP2018026882F patent/JP1643628S/ja active Active
-
2019
- 2019-03-08 TW TW108301321D01F patent/TWD209109S/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWD209109S (zh) | 2021-01-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWD189313S (zh) | 用於半導體製造設備的承載器 | |
| TWD179672S (zh) | 基板保持環之部分 | |
| JP1643942S (ja) | 基板保持リング | |
| TWD187175S (zh) | 圖案化石英晶圓 | |
| TWD183002S (zh) | 圖案化石英晶圓 | |
| JP1639752S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1643626S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1645741S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1639761S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1639765S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1643944S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1643629S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1639762S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1643628S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1643945S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1647181S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1639766S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1643943S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1639764S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1639763S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1639759S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1639758S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1639755S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1643627S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1643940S (ja) | 基板保持リング |