JP1643627S - 基板保持リング - Google Patents
基板保持リングInfo
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 abstract 2
Abstract
本物品は、ウエハ等の基板の面を研磨するために用いる基板研磨装置に用いられる基板保持リングである。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018020936F JP1643627S (ja) | 2018-09-26 | 2018-09-26 | 基板保持リング |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018020936F JP1643627S (ja) | 2018-09-26 | 2018-09-26 | 基板保持リング |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP1643627S true JP1643627S (ja) | 2019-10-21 |
Family
ID=83460097
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018020936F Active JP1643627S (ja) | 2018-09-26 | 2018-09-26 | 基板保持リング |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP1643627S (ja) |
-
2018
- 2018-09-26 JP JP2018020936F patent/JP1643627S/ja active Active
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