JP1643626S - 基板保持リング - Google Patents
基板保持リングInfo
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title abstract 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 abstract 2
Abstract
本物品は、ウエハ等の基板の面を研磨するために用いる基板研磨装置に用いられる基板保持リングである。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018020935F JP1643626S (ja) | 2018-09-26 | 2018-09-26 | 基板保持リング |
TW108301318F TWD203974S (zh) | 2018-09-26 | 2019-03-08 | 基板保持環 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018020935F JP1643626S (ja) | 2018-09-26 | 2018-09-26 | 基板保持リング |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP1643626S true JP1643626S (ja) | 2019-10-21 |
Family
ID=83460098
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018020935F Active JP1643626S (ja) | 2018-09-26 | 2018-09-26 | 基板保持リング |
Country Status (2)
Country | Link |
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JP (1) | JP1643626S (ja) |
TW (1) | TWD203974S (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114216072A (zh) * | 2022-01-07 | 2022-03-22 | 珠海美光原科技股份有限公司 | 一种可保护光源且强散热的植物补光灯 |
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2018
- 2018-09-26 JP JP2018020935F patent/JP1643626S/ja active Active
-
2019
- 2019-03-08 TW TW108301318F patent/TWD203974S/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
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TWD203974S (zh) | 2020-04-11 |
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