FR2783883A1 - Procede et dispositif pour eviter les depots dans une pompe turbomoleculaire a palier magnetique ou gazeux - Google Patents
Procede et dispositif pour eviter les depots dans une pompe turbomoleculaire a palier magnetique ou gazeux Download PDFInfo
- Publication number
- FR2783883A1 FR2783883A1 FR9811296A FR9811296A FR2783883A1 FR 2783883 A1 FR2783883 A1 FR 2783883A1 FR 9811296 A FR9811296 A FR 9811296A FR 9811296 A FR9811296 A FR 9811296A FR 2783883 A1 FR2783883 A1 FR 2783883A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- active gas
- turbomolecular pump
- rotor
- pump
- stator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 58
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 4
- 210000002381 plasma Anatomy 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- VUZPPFZMUPKLLV-UHFFFAOYSA-N methane;hydrate Chemical compound C.O VUZPPFZMUPKLLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/70—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/70—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning
- F04D29/701—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2260/00—Function
- F05D2260/60—Fluid transfer
- F05D2260/607—Preventing clogging or obstruction of flow paths by dirt, dust, or foreign particles
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Selon l'invention, on évite les dépôts perturbateurs des décharges électriques entre le rotor (2) et le stator (1) à l'intérieur d'une pompe turbomoléculaire à plusieurs étages sur paliers magnétiques ou gazeux (13, 14) en injectant, en au moins un emplacement approprié (21) à l'intérieur de la pompe, par au moins une canalisation d'entrée de gaz (20), un gaz actif qui réagit avec les molécules génératrices des dépôts et forme des composés gazeux évacués par la pompe. On évite ainsi les dépôts sans perturber la conductance de la pompe ni altérer l'atmosphère présente dans l'enceinte à laquelle est raccordée la pompe.
Description
PROCEDE ET DISPOSITIF POUR EVITER LES DEPOTS DANS UNE
POMPE TURBOMOLECULAIRE A PALIER MAGNETIQUE OU GAZEUX
La présente invention concerne les pompes turbomoléculaires qui, associées à des pompes primaires, permettent
de réaliser et de maintenir un vide poussé dans une enceinte.
Les pompes turbomoléculaires comportent généralement un rotor et un stator à plusieurs étages, le rotor étant porté par des paliers. En allant de l'intérieur de l'enceinte vers l'extérieur, la pression gazeuse augmente progressivement d'un étage à l'autre, et l'on considère que les étages proches de l'intérieur de l'enceinte sont les étages basse pression, tandis que les étages
proches de la sortie sont les étages haute pression.
Lorsqu'elles comportent des paliers magnétiques ou gazeux pour supporter le rotor, ces pompes turbomoléculaires ont la caractéristique d'avoir le rotor isolé physiquement et donc électriquement du stator et du corps de la pompe qui se trouve au
potentiel de référence c'est-à-dire à la masse de l'équipement.
Les pompes turbomoléculaires sont fréquemment utilisées dans les équipements de gravure ou de dépôt par plasma dans
l'industrie du semi-conducteur.
Au cours de l'utilisation de ces pompes turbomoléculaires dans les procédés de gravure ou de dépôt par plasma, on a déjà constaté qu'il tend à se former des dépôts de matériaux provenant des produits de réaction. Par exemple, dans le cas d'une pompe turbomoléculaire utilisée dans une machine de gravure plasma de matériaux semi- conducteurs, des résidus provenant de la gravure des masques de résine ont tendance à se déposer sur les surfaces intérieures du rotor et du stator, et de façon préférentielle dans
les étages haute pression de la pompe turbomoléculaire.
Par ailleurs, dans les procédés de gravure ou de dépôt par plasma, la pompe turbomoléculaire et en particulier le rotor se trouvent en contact direct avec le plasma. De ce fait, le rotor, qui est isolé électriquement, se porte à un potentiel différent de
la masse.
Les conditions de pression dans la partie haute pression de la pompe turbomoléculaire, combinées avec la faible distance séparant le rotor et le stator et avec la différence de potentiel entre le rotor et le stator, font que des décharges électriques se produisent entre le rotor et le stator. Ces décharges, en l'absence de dépôts, sont uniformément réparties entre les surfaces du rotor et du stator et ne sont pas dommageables. Par contre, lorsque des dépôts se forment, ces dépôts perturbent les décharges en créant des chemins préférentiels, et il se crée des zones o se produisent des régimes d'arcs dans lesquels s'établissent de grandes densités de courant, provoquant la
dégradation rapide du rotor.
Dans l'art antérieur, on a déjà tenté de remédier à ce
problème, de différentes façons.
Selon une première solution, on a interposé, entre la pompe turbomoléculaire et le plasma dans l'enceinte, une grille reliée à la masse. Cependant, la densité élevée des plasmas utilisés exige des grilles dont le pas est très fin, pouvant être inférieur à 100 m. Dans ces conditions, la présence des grilles diminue considérablement la conductance de la pompe, et altère de façon sensible la vitesse de pompage. Par ailleurs, la grille à pas très fin est le siège de dépôts qui peuvent ensuite générer des particules néfastes au processus industriel effectué dans l'enceinte. Selon une autre solution, on a tenté d'éviter les dépôts en augmentant la température de la pompe turbomoléculaire pour éviter les dépôts par condensation. Cependant, compte-tenu de la nature des matériaux utilisés et de la vitesse élevée de rotation du rotor, on atteint rapidement des températures générant des phénomènes de fluage des matériaux, entraînant la destruction de la
pompe sans pour autant éviter efficacement les dépôts.
Le problème proposé par la présente invention est d'éviter la formation des dépôts perturbateurs des décharges électriques à l'intérieur d'une pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques ou gazeux reliée à une enceinte contenant un plasma, sans altérer de façon sensible la vitesse de pompage ou le processus industriel à
l'intérieur de l'enceinte.
Ainsi, l'invention vise à concevoir d'autres moyens qui, sans intervention d'une grille intermédiaire ni augmentation sensible de la température des matériaux, évite la formation des dépôts perturbateurs dans une pompe turbomoléculaire à paliers
magnétiques ou gazeux reliée à une enceinte à plasma.
Pour atteindre ces buts ainsi que d'autres, l'invention prévoit un procédé permettant d'éviter les dépôts perturbateurs des décharges électriques entre le rotor et le stator à l'intérieur d'une pompe turbomoléculaire à plusieurs étages sur paliers magnétiques ou gazeux; selon ce procédé, on injecte en au moins un emplacement approprié à l'intérieur de la pompe turbomoléculaire un gaz actif qui réagit avec les molécules génératrices des dépôts et
forme des composés gazeux évacués par la pompe turbomoléculaire.
Une excellente efficacité est obtenue en choisissant un gaz actif qui est dissocié et/ou activé sous l'action des décharges électriques entre le rotor et le stator pour réagir avec les
molécules génératrices des dépôts.
Selon le procédé, on injecte le gaz actif seulement dans
les étages o des dépôts sont susceptibles de se produire.
Généralement, il s'agit des étages haute pression de la pompe turbomoléculaire. En pratique, on peut injecter le gaz actif dans les derniers étages turbomoléculaires, et/ou dans l'étage Holweck
lorsque la pompe en est équipée.
Dans de nombreuses applications, le gaz actif injecté peut avantageusement être l'oxygène, ou contenir de l'oxygène. En effet, dissocié sous l'action des décharges électriques, le gaz oxygène donne naissance à des atomes d'oxygène hautement réactifs qui se combinent efficacement avec notamment les résidus organiques générés par les processus industriels pour former des molécules volatiles de type oxyde de carbone, gaz carbonique ou eau qui sont évacuées en même temps que les autres composés gazeux provenant de
l'enceinte à plasma.
Selon l'invention, on prévoit une pompe turbomoléculaire à rotor et stator à plusieurs étages sur paliers magnétiques ou gazeux pour la mise en oeuvre d'un tel procédé; la pompe turbomoléculaire comprend des moyens pour injecter, en au moins un emplacement approprié à l'intérieur de la pompe turbomoléculaire, un gaz actif qui réagit avec les molécules génératrices des dépôts
et forme des composés gazeux évacués par la pompe turbomoléculaire.
La pompe turbomoléculaire selon l'invention peut avantageusement comprendre au moins une canalisation d'entrée de gaz, positionnée pour amener le gaz actif entre le rotor et le stator dans le passage des flux gazeux dans les derniers étages turbomoléculaires, et/ou dans l'étage Holweck lorsque la pompe en
est équipée.
La pompe turbomoléculaire selon l'invention peut avantageusement être associée à une source extérieure de gaz actif et à des moyens de commande pour délivrer le gaz actif en quantité
suffisante pour éviter les dépôts.
D'autres objets, caractéristiques et avantages de la
présente invention ressortiront de la description suivante de modes
de réalisation particuliers, faite en relation avec la figure ci-
jointe illustrant schématiquement, en coupe longitudinale selon l'axe de rotation, une structure de pompe turbomoléculaire hybride
selon un mode de réalisation de la présente invention.
Dans le mode de réalisation illustré sur la figure 1, la pompe turbomoléculaire selon l'invention comprend une structure hybride traditionnelle, avec un stator 1 et un rotor 2 à plusieurs étages. Le stator 1 est ouvert vers le haut selon une entrée d'aspiration 3, et comporte un évidement intérieur conformé pour recevoir le rotor 2, avec un volume inférieur annulaire 4 de collecte des gaz pompés communiquant avec une sortie latérale
inférieure de refoulement 5.
Dans la réalisation illustrée sur la figure, le stator 1 comprend, à partir de l'entrée d'aspiration 3, plusieurs étages d'ailettes fixes tels que les étages 6 et 7, suivis d'un étage de stator de type Holweck 8 avec une partie tubulaire externe 9 de stator Holweck et une partie tubulaire interne 10 de stator Holweck coaxiales et réunies l'une à l'autre par le fond 11 pour former entre elles une cheminée annulaire communiquant avec le volume
inférieur annulaire 4.
Le rotor 2 est solidaire d'un arbre 12 porté par des paliers magnétiques ou gazeux 13 et 14 et sollicité en rotation axiale de façon connue par des bobines constituant les enroulements
de stator et de rotor d'un moteur électrique 15.
Le rotor 2 comprend plusieurs étages, dont plusieurs étages d'ailettes rotoriques 16, 17 et 18, suivis d'un rotor Holweck 19 de forme tubulaire engagé dans la cheminée annulaire entre la partie tubulaire externe 9 et la partie tubulaire interne 10 du stator Holweck 8. Les différents étages de la pompe turbomoléculaire de l'invention peuvent avoir des structures telles que celles
utilisées traditionnellement dans les pompes turbomoléculaires.
Dans une structure de pompe turbomoléculaire telle qu'illustrée sur la figure 1, on peut considérer que les premiers étages turbomoléculaires constitués par les ailettes de stator 6 et 7 et les ailettes de rotor 16 et 17 constituent des étages basse pression, et que l'étage turbomoléculaire à ailettes de stator 7 et de rotor 18 suivi de l'étage Holweck 8-10 et 19 constituent des étages haute pression. Dans les étages haute pression, les distances entre les surfaces en regard les unes des autres du stator 1 et du rotor 2 sont faibles, et les pressions gazeuses sont telles que les conditions sont réunies pour que des décharges électriques se produisent entre le rotor 2, isolé électriquement et
à un potentiel flottant, et le stator 1 qui est à la masse.
Parallèlement, des dépôts de matières solides tendent à se produire sur les surfaces en regard du stator 1 et du rotor 2, en particulier sur les surfaces de l'étage haute pression à ailettes 7 et 18, et sur l'étage Holweck 8-10 et 19. Notamment, des dépôts tendent à se produire à l'interface entre la partie tubulaire externe 9 du stator Holweck 8 et l'étage de rotor Holweck 19 de
forme tubulaire.
Selon l'invention, la pompe turbomoléculaire comprend en outre des moyens pour injecter, en au moins un emplacement approprié à l'intérieur de la pompe, un gaz actif susceptible de réagir avec les molécules génératrices des dépôts pour former des composés gazeux évacués par la pompe. Le gaz actif doit être présent dans les zones d'interface entre le stator 1 et le rotor 2
o les dépôts sont susceptibles de se produire.
Ainsi, comme illustré sur la figure 1, la pompe comprend au moins une canalisation d'entrée de gaz 20, positionnée pour amener le gaz actif entre le rotor 2 et le stator 1 dans les étages
haute pression de la pompe turbomoléculaire.
Selon un mode de réalisation avantageux, une canalisation d'entrée de gaz 20 amène le gaz actif dans les étages turbomoléculaires à haute pression, de façon que le gaz actif se
propage également dans l'étage Holweck qui suit.
Selon le mode de réalisation illustré en traits pleins sur la figure 1, une canalisation d'entrée de gaz 20 conduit le gaz actif à l'entrée 21 de l'étage Holweck, dans un volume supérieur
annulaire, par un embranchement 20a de canalisation.
La pompe turbomoléculaire illustrée sur la figure 1 est associée à une source extérieure de gaz actif 22 et à des moyens de commande 23 pour délivrer le gaz actif en quantité juste suffisante pour éviter les dépôts susceptibles de perturber les régimes de décharges électriques entre le stator 1 et le rotor 2. On peut notamment commander le débit de gaz actif par une vanne calibrée ou
une vanne microfuite, en fonctionnement permanent ou intermittent.
En alternative, on peut amener le gaz actif en une position intermédiaire le long de l'étage Holweck par un embranchement 20b de canalisation, ou dans le volume inférieur
annulaire 4 par un embranchement 20c de canalisation.
Selon les applications et les types de pompes turbomoléculaires, il pourra être avantageux d'introduire le ou les gaz actifs en plusieurs zones d'interface réparties le long du chemin des flux gazeux entre le rotor 2 et le stator 1. En cas d'injection de gaz actif en plusieurs zones d'interface, on utilisera de préférence, à partir d'une même source extérieure de gaz actif 22, une canalisation spécifique d'entrée de gaz actif munie de moyens de commande spécifiques pour chaque zone
d'interface.
En cours de fonctionnement, l'invention évite ainsi les dépôts perturbateurs des décharges électriques entre le rotor 2 et le stator 1 à l'intérieur de la pompe turbomoléculaire à plusieurs étages sur paliers magnétiques ou gazeux 13 et 14 en injectant en au moins un emplacement approprié 21 à l'intérieur de la pompe un gaz actif qui réagit avec les molécules génératrices des dépôts et
forme des composés gazeux évacués par la pompe.
A titre d'exemple, dans le cas d'une pompe turbomoléculaire utilisée sur une machine de gravure plasma de matériaux semi-conducteurs, on peut avantageusement introduire de l'oxygène. En pratique, on choisira un gaz actif spécifique ou un mélange gazeux actif spécifique adapté aux molécules générées par
le processus industriel se déroulant dans l'enceinte.
L'introduction d'un gaz dans les étages haute pression ne perturbe aucunement l'atmosphère régnant à l'intérieur de l'enceinte à plasma, et évite efficacement l'apparition des dépôts susceptibles de perturber les régimes de décharges électriques entre le stator 1 et le rotor 2. La vitesse de pompage du système
n'est pas perturbée, pas plus que la température de la pompe.
La présente invention n'est pas limitée aux modes de réalisation qui ont été explicitement décrits, mais elle en inclut les diverses variantes et généralisations qui sont à la portée de
l'homme du métier.
Claims (9)
1 - Procédé pour éviter les dépôts perturbateurs des décharges électriques entre le rotor (2) et le stator (1) à l'intérieur d'une pompe turbomoléculaire à plusieurs étages (6, 7, 16-18; 8-10, 19) sur paliers magnétiques ou gazeux (13, 14), caractérisé en ce qu'on injecte en au moins un emplacement approprié à l'intérieur de la pompe turbomoléculaire un gaz actif qui réagit avec les molécules génératrices des dépôts et forme des
composés gazeux évacués par la pompe turbomoléculaire.
2 - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on choisit un gaz actif qui est dissocié et/ou activé sous l'action des décharges électriques entre le rotor (2) et le stator
(1) pour réagir avec les molécules génératrices des dépôts.
3 - Procédé selon l'une des revendications 1 ou 2,
caractérisé en ce qu'on injecte le gaz actif dans les étages haute
pression (7, 18; 8-10, 19) de la pompe turbomoléculaire.
4 - Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'on injecte le gaz actif dans les derniers étages
turbomoléculaires (7, 18).
5 - Procédé selon l'une des revendications 3 ou 4,
caractérisé en ce qu'on injecte le gaz actif dans l'étage Holweck
(8-10, 19) lorsque la pompe en est équipée.
6 -. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à
, caractérisé en ce que le gaz actif injecté contient de
l'oxygène.
7 - Pompe turbomoléculaire à rotor (2) et stator (1) à plusieurs étages sur paliers magnétiques ou gazeux (13, 14) pour la mise en oeuvre d'un procédé selon l'une quelconque des
revendications 1 à 6, caractérisée en ce qu'elle comprend des
moyens (20) pour injecter, en au moins un emplacement approprié (21) à l'intérieur de la pompe turbomoléculaire, un gaz actif qui réagit avec les molécules génératrices des dépôts et forme des
composés gazeux évacués par la pompe turbomoléculaire.
8 - Pompe turbomoléculaire selon la revendication 7, caractérisée en ce qu'elle comprend au moins une canalisation d'entrée de gaz (20) positionnée pour amener le gaz actif entre le rotor (2) et le stator (1) dans les derniers étages turbomoléculaires (7, 18), et/ou dans l'étage Holweck (8-10, 19)
lorsque la pompe en est équipée.
9 - Pompe turbomoléculaire selon la revendication 8 munie d'un étage Holweck (8-10, 19), caractérisée en ce qu'une canalisation d'entrée de gaz (20) conduit le gaz actif à l'entrée
(21) de l'étage Holweck (8-10, 19).
- Pompe turbomoléculaire selon l'une quelconque des
revendications 7 à 9, caractérisée en ce qu'elle est associée à une
source extérieure de gaz actif (22) et à des moyens de commande (23) pour délivrer le gaz actif en quantité suffisante pour éviter
les dépôts entre le rotor (2) et le stator (1).
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9811296A FR2783883B1 (fr) | 1998-09-10 | 1998-09-10 | Procede et dispositif pour eviter les depots dans une pompe turbomoleculaire a palier magnetique ou gazeux |
| DE69927101T DE69927101T2 (de) | 1998-09-10 | 1999-08-26 | Verfahren und Anlage zur Verhinderung von Ablagerungen in eine Turbomolekularpumpe mit Magnet-oder Gaslager |
| AT99402125T ATE304123T1 (de) | 1998-09-10 | 1999-08-26 | Verfahren und anlage zur verhinderung von ablagerungen in eineturbomolekularpumpe mit magnet-oder gaslager |
| EP99402125A EP0985828B1 (fr) | 1998-09-10 | 1999-08-26 | Procédé et dispositif pour éviter les dépôts dans une pompe turbomoléculaire à palier magnétique ou gazeux |
| US09/392,586 US6224326B1 (en) | 1998-09-10 | 1999-09-09 | Method and apparatus for preventing deposits from forming in a turbomolecular pump having magnetic or gas bearings |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9811296A FR2783883B1 (fr) | 1998-09-10 | 1998-09-10 | Procede et dispositif pour eviter les depots dans une pompe turbomoleculaire a palier magnetique ou gazeux |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2783883A1 true FR2783883A1 (fr) | 2000-03-31 |
| FR2783883B1 FR2783883B1 (fr) | 2000-11-10 |
Family
ID=9530295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR9811296A Expired - Fee Related FR2783883B1 (fr) | 1998-09-10 | 1998-09-10 | Procede et dispositif pour eviter les depots dans une pompe turbomoleculaire a palier magnetique ou gazeux |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6224326B1 (fr) |
| EP (1) | EP0985828B1 (fr) |
| AT (1) | ATE304123T1 (fr) |
| DE (1) | DE69927101T2 (fr) |
| FR (1) | FR2783883B1 (fr) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1552152B1 (fr) * | 2002-10-14 | 2013-03-20 | Edwards Limited | Pompe a vide a piston rotatif pourvue d'un equipement de lavage |
| GB0229356D0 (en) * | 2002-12-17 | 2003-01-22 | Boc Group Plc | Vacuum pumping arrangement |
| US8047817B2 (en) * | 2003-09-23 | 2011-11-01 | Edwards Limited | Cleaning method of a rotary piston vacuum pump |
| US7404698B2 (en) * | 2005-08-16 | 2008-07-29 | Edwards Vacuum, Inc. | Turbomolecular pump with static charge control |
| GB0525136D0 (en) * | 2005-12-09 | 2006-01-18 | Boc Group Plc | Method of inhibiting a deflagration in a vacuum pump |
| DE102006039529A1 (de) | 2006-08-23 | 2008-03-06 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Verfahren zur Abreaktion selbstentzündlicher Stäube in einer Vakuumpumpvorrichtung |
| JP5190214B2 (ja) * | 2007-03-29 | 2013-04-24 | 東京エレクトロン株式会社 | ターボ分子ポンプ、基板処理装置、及びターボ分子ポンプの堆積物付着抑制方法 |
| GB0724717D0 (en) * | 2007-12-19 | 2008-01-30 | Edwards Ltd | Method of treating a gas stream |
| DE102008034948A1 (de) * | 2008-07-26 | 2010-01-28 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
| JP5207417B2 (ja) * | 2008-11-14 | 2013-06-12 | アルバック・クライオ株式会社 | 真空排気装置、真空処理装置及び真空処理方法 |
| DE102011119506A1 (de) * | 2011-11-26 | 2013-05-29 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Schnell drehender Rotor für eine Vakuumpumpe |
| JP6391171B2 (ja) * | 2015-09-07 | 2018-09-19 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体製造システムおよびその運転方法 |
| GB2569633A (en) * | 2017-12-21 | 2019-06-26 | Edwards Ltd | A vacuum pumping arrangement and method of cleaning the vacuum pumping arrangement |
| JP7224168B2 (ja) | 2017-12-27 | 2023-02-17 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプおよびこれに用いられる固定部品、排気ポート、制御手段 |
| FR3093544B1 (fr) * | 2019-03-05 | 2021-03-12 | Pfeiffer Vacuum | Pompe à vide turbomoléculaire et procédé de purge |
| JP7361640B2 (ja) * | 2020-03-09 | 2023-10-16 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| CN116018464A (zh) * | 2020-09-10 | 2023-04-25 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4512725A (en) * | 1982-02-16 | 1985-04-23 | Compagnie Industrielle Des Telecommunications Cit-Alcatel | Rotary vacuum pump |
| EP0408792A1 (fr) * | 1989-07-20 | 1991-01-23 | Leybold Aktiengesellschaft | Pompe à effet visqueux avec au moins un étage hélicoidal à côté du refoulement |
| EP0451708A2 (fr) * | 1990-04-06 | 1991-10-16 | Hitachi, Ltd. | Pompe à vide |
| EP0695873A1 (fr) * | 1994-08-01 | 1996-02-07 | Balzers-Pfeiffer GmbH | Système de purge pour pompes à vide à paliers magnétiques |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6419198A (en) * | 1987-07-15 | 1989-01-23 | Hitachi Ltd | Vacuum pump |
| US5443368A (en) * | 1993-07-16 | 1995-08-22 | Helix Technology Corporation | Turbomolecular pump with valves and integrated electronic controls |
| WO1994000694A1 (fr) * | 1992-06-19 | 1994-01-06 | Leybold Aktiengesellschaft | Pompe a vide a gaz et a friction |
| IT1281025B1 (it) * | 1995-11-10 | 1998-02-11 | Varian Spa | Pompa turbomolecolare. |
-
1998
- 1998-09-10 FR FR9811296A patent/FR2783883B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-08-26 DE DE69927101T patent/DE69927101T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1999-08-26 EP EP99402125A patent/EP0985828B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1999-08-26 AT AT99402125T patent/ATE304123T1/de not_active IP Right Cessation
- 1999-09-09 US US09/392,586 patent/US6224326B1/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4512725A (en) * | 1982-02-16 | 1985-04-23 | Compagnie Industrielle Des Telecommunications Cit-Alcatel | Rotary vacuum pump |
| EP0408792A1 (fr) * | 1989-07-20 | 1991-01-23 | Leybold Aktiengesellschaft | Pompe à effet visqueux avec au moins un étage hélicoidal à côté du refoulement |
| EP0451708A2 (fr) * | 1990-04-06 | 1991-10-16 | Hitachi, Ltd. | Pompe à vide |
| EP0695873A1 (fr) * | 1994-08-01 | 1996-02-07 | Balzers-Pfeiffer GmbH | Système de purge pour pompes à vide à paliers magnétiques |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69927101D1 (de) | 2005-10-13 |
| FR2783883B1 (fr) | 2000-11-10 |
| DE69927101T2 (de) | 2006-06-29 |
| EP0985828A1 (fr) | 2000-03-15 |
| EP0985828B1 (fr) | 2005-09-07 |
| ATE304123T1 (de) | 2005-09-15 |
| US6224326B1 (en) | 2001-05-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0985828B1 (fr) | Procédé et dispositif pour éviter les dépôts dans une pompe turbomoléculaire à palier magnétique ou gazeux | |
| EP1243795B1 (fr) | Pompe à vide à deux étages | |
| EP1669609B1 (fr) | Contrôle des pressions partielles de gaz pour optimisation de procédé | |
| JP5542440B2 (ja) | 廃棄流を搬送するための装置 | |
| JP4805515B2 (ja) | 動力学的なシール部材 | |
| EP0797689B1 (fr) | Dispositif d'extraction de gaz | |
| EP1737767A1 (fr) | Alimentation en solide de granulometrie variable d'un dispositif sous pression | |
| JPH09202973A (ja) | 成膜処理装置の排気システム構造 | |
| EP1190285A1 (fr) | Procede et dispositif de conditionnement de l'atmosphere dans une chambre de procedes | |
| JP2000316954A (ja) | プラズマ滅菌反応器を排気するための方法 | |
| EP3560015B1 (fr) | Système à pile à combustible, et procédé de pilotage associé | |
| WO2005094973A1 (fr) | Appareil de traitement d'effluents gazeux | |
| FR2691382A1 (fr) | Installation de pompage pour pomper une enceinte contenant des gaz mélangés à des particules solides ou susceptibles de générer des particules ou condensats solides. | |
| EP2769096B1 (fr) | Dispositif de pompage et de traitement des gaz | |
| EP1538656B1 (fr) | Système de traitement des gaz par plasma intégré dans une pompe à vide | |
| JPS5874898A (ja) | タ−ボ分子ポンプ | |
| US20020114695A1 (en) | Vacuum pump | |
| WO2003005427A1 (fr) | Systeme de traitement et procede de nettoyage | |
| JPH10122178A (ja) | 真空ポンプ及びそのパージ方法 | |
| US6500264B2 (en) | Continuous thermal evaporation system | |
| FR2601084A1 (fr) | Pompe centrifuge pour le refoulement de fluides contenant des gaz | |
| FR2672968A1 (fr) | Dispositif pour creer une atmosphere controlee dans une enceinte. | |
| WO2021014105A1 (fr) | Réacteur pour le dépôt d'un matériau sur une surface d'un substrat disposé à l'intérieur du réacteur, et procédé pour déposer le matériau sur un substrat, en protégeant la paroi du réacteur | |
| FR2764523A1 (fr) | Procede et dispositif de fourniture de plusieurs gaz de travail, et son application a une installation d'assemblage de composants electroniques | |
| EP1513603A1 (fr) | Traitement photochimique integre des gaz |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| CD | Change of name or company name | ||
| ST | Notification of lapse |
Effective date: 20090529 |