FR2503457A1 - SYSTEM OF SOLAR CELLS CONNECTED IN SERIES ON A SINGLE SUBSTRATE - Google Patents

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Abstract

ARRANGEMENT DE CELLULES SOLAIRES 10 COMPRENANT UNE PLURALITE DE CELLULES SOLAIRES ADJACENTES, CONNECTEES EN SERIE 12 SUR UN SUBSTRAT ISOLANT UNIQUE 14, DANS LEQUEL CHAQUE CELLULE SOLAIRE 12 EST CARACTERISEE EN CE QU'ELLE COMPREND: -UNE ELECTRODE 16 FORMEE SUR UNE PREMIERE SURFACE 18 DU SUBSTRAT 14; -UNE COUCHE SEMI-CONDUCTRICE 20 COMPORTANT AU MOINS UNE REGION INTRINSEQUE ET UNE REGION DE TYPE N; -UNE ELECTRODE SUPERIEURE 22; ET -DES MOYENS POUR CONNECTER ELECTRIQUEMENT L'ELECTRODE SUPERIEURE 22 D'UNE CELLULE SOLAIRE 12 A L'ELECTRODE INFERIEURE 16 DE LA CELLULE SOLAIRE ADJACENTE SUIVANTE 12 QUI COMPRENNENT UNE BANDE METALLIQUE 22 SUR LA SURFACE DE LA SECONDE PHOTOCELLULE ET UNE LIAISON INTER-ELECTRODE 26 ENTRE LA BANDE METALLIQUE 22 ET L'ELECTRODE INFERIEURE 16 DE LA CELLULE SOLAIRE ADJACENTE SUIVANTE, CETTE LIAISON INTER-ELECTRODE 26 ETANT UNE CONNEXION METALLIQUE EN POINTE.ARRANGEMENT OF SOLAR CELLS 10 INCLUDING A PLURALITY OF ADJACENT SOLAR CELLS, CONNECTED IN SERIES 12 ON A SINGLE INSULATING SUBSTRATE 14, IN WHICH EACH SOLAR CELL 12 IS CHARACTERIZED IN THAT IT INCLUDES: -AN ELECTRODE 16 FORMED ON A 18 OF THE FIRST SUBSTRATE 14; -A SEMI-CONDUCTIVE LAYER 20 CONTAINING AT LEAST ONE INTRINSIC REGION AND ONE TYPE N REGION; -A SUPERIOR ELECTRODE 22; AND - MEANS FOR ELECTRICALLY CONNECTING THE UPPER ELECTRODE 22 OF A SOLAR CELL 12 TO THE LOWER ELECTRODE 16 OF THE FOLLOWING ADJACENT SOLAR CELL 12 WHICH INCLUDE A METAL BAND 22 ON THE SURFACE OF THE SECOND PHOTOCELL AND AN INTER-ELECTRODE LINK 26 BETWEEN METAL BAND 22 AND LOWER ELECTRODE 16 OF THE FOLLOWING ADJACENT SOLAR CELL, THIS INTER-ELECTRODE LINK 26 BEING A TIP METAL CONNECTION.

Description

1 25034571 2503457

Cette invention est relative à des cellules solaires. Elle  This invention relates to solar cells. She

s'applique plus particulièrement à des cellules solaires au sili-  more particularly applies to silicon solar cells.

cium amorphe connectées en série qui sont formées sur un substrat unique. On sait que les cellules solaires sont utilisées pour trans- former l'énergie solaire en énergie électrique. De telles cellules  amorphous cium connected in series which are formed on a single substrate. Solar cells are known to convert solar energy into electrical energy. Such cells

peuvent 9tre réalisées à l'aide de divers matériaux semi-conduc-  can be made using various semiconductor materials.

teurs, tel que du silicium amorphe. Pour que les cellules solaires  such as amorphous silicon. For solar cells

soient disponibles pour une utilisation générale, il est néces-  available for general use, it is neces-

saire que les arrangements de cellules qui comprennent une plura-  that cell arrangements that include a

lité de cellules, puissent être réalisés à un prix relativement faible pour le consommateur. Etant donné qu'une cellule solaire typique au silicium amorphe produit environ un volt d'électricité  of cells, can be achieved at a relatively low price for the consumer. Since a typical amorphous silicon solar cell produces about one volt of electricity

lorsqu'elle est exposée au soleil, ces cellules doivent être re-  when exposed to the sun these cells should be

liées en série afin d'augmenter leur tension disponible pour que leurs sorties puissent être utilisées soit directement soit par transfert dans des dispositifs de stockage, tels que des batteries, pour une utilisation indirecte. La conception et la mise en oeuvre  linked in series to increase their available voltage so that their outputs can be used either directly or by transfer to storage devices, such as batteries, for indirect use. Design and implementation

de cellules solaires connectées en série peut constituer un tra-  of solar cells connected in series can be a

vail important. Il en résulte qu'un tel procédé est généralement  important. As a result, such a process is generally

très coûteux à mettre en oeuvre.very expensive to implement.

La présente invention concerne un procédé automatique de production de cellules solaires connectées en série, 'telles que  The present invention relates to an automatic method for producing solar cells connected in series, such as

des cellules solaires au silicium amorphe. Les cellules sont pro-  amorphous silicon solar cells. The cells are pro-

duites sous la forme d'arrangements connectés en série, en rai-  in the form of serially connected arrangements, in

son du procédé de fabrication. De tels arrangements p'euvent être réalisés de manière à présenter une tension de sortie désirée  sound of the manufacturing process. Such arrangements can be made to have a desired output voltage

sans exiger des efforts importants.without requiring significant effort.

Un arrangement de cellules solaires selon la présente inven-  An arrangement of solar cells according to the present invention

tion comprend une pluralité de cellules solaires adjacentes, con-  tion comprises a plurality of adjacent solar cells,

nectées en série sur un substrat isolant unique, les cellules  connected in series on a single insulating substrate, the cells

adjacentes étant reliées en série en implantant une liaison métal-  adjacent cells being connected in series by implanting a metal

lique interélectrode à partir de l'électrode sur le sommet d'une cellule au travers de la couche de silicium amorphe, jusqu'à  interelectrode from the electrode on the top of a cell through the amorphous silicon layer, up to

l'électrode située au fond de la cellule adjacente suivante.  the electrode located at the bottom of the next adjacent cell.

D'autres caractéristiques et avantages de cette invention  Other features and advantages of this invention

ressortiront de la description faite ci-après en référence aux  will emerge from the description given below with reference to

dessins annexés qui en illustrent divers exemples de réalisation dépourvus de tout caractère limitatif. Sur les dessins:: - la figure 1 illumtre un premier exemple de réalisation d'une cellule solaire selon la présente invention; - les figures 2 à 4 illustrent le procédé de fabrication de la cellule solaire selon la figure 1; - la figure 5 représente un second exemple de réalisation d'une cellule solaire selon l'invention, et - les figures 6 et 7 illustrent le procédé de fabrication de  attached drawings which illustrate various embodiments without any limiting character. In the drawings: - Figure 1 illuminates a first embodiment of a solar cell according to the present invention; - Figures 2 to 4 illustrate the manufacturing method of the solar cell according to Figure 1; FIG. 5 represents a second exemplary embodiment of a solar cell according to the invention, and FIGS. 6 and 7 illustrate the manufacturing process of FIG.

la cellule solaire selon la figure 5.  the solar cell according to FIG.

On se réfère en premier lieu à la figure 1 sur laquelle on  We first refer to Figure 1 on which we

voit un arrangement de cellule solaire 10 constituée d'une plura-  sees a solar cell arrangement 10 consisting of a plural

lité de cellules solaires. Les cellules solaires 12 sont formées sur un substrat 14, constitué de verre, ou d'un autrematériau transparent similaire selon le présent exemple de réalisation de l'invention. Une série d'électrodes métalliques 16, constituées de molybdène dans l'exemple de réalisation préféré de l'invention, est disposée sur une surface 18 du substrat de verre 14. On peut sans sortir du cadre de l'invention utiliser tout autre métal que le molybdène pour réaliser les électrodes 16. Des parties 20 des  solar cells. The solar cells 12 are formed on a substrate 14, made of glass, or another similar transparent material according to the present embodiment of the invention. A series of metal electrodes 16, made of molybdenum in the preferred embodiment of the invention, is disposed on a surface 18 of the glass substrate 14. It is within the scope of the invention to use any other metal than molybdenum to make the electrodes 16. Parts 20 of the

cellules 12 en silicium amorphe recouvrent les électrodes de mo-  amorphous silicon cells 12 cover the electrodes of

lybdène 16 sur le substrat de verre 14. Dans l'exemple de réali-  lybdenum 16 on the glass substrate 14. In the example of

sation préféré de l'invention, les parties semi-conductrices 20  preferred embodiment of the invention, the semiconductor parts 20

sont constituées de silicium amorphe. Une série d'électrodes mé-  are made of amorphous silicon. A series of electrodes

talliques 22, qui sont constituées d'un métal tel que l'aluminium, le cuivre ou l'or, recouvre à la fois la surface supérieur en silicium amorphe 20 d'une cellule 12 et une partie au moins de l'électrode 16 de la cellule adjacente suivante. Par dessus les électrodes 22 est disposé un matériau conducteur transparent, tel que de l'oxyde d'étain et d'indium 24, pour des raisons qui seront  22, which consist of a metal such as aluminum, copper or gold, covers both the amorphous silicon top surface 20 of a cell 12 and at least a portion of the electrode 16 of the next adjacent cell. Above the electrodes 22 is disposed a transparent conductive material, such as tin oxide and indium 24, for reasons which will be

expliquées ci-après.explained below.

On prévoit également des liaisons intec-électrodes 26, entre  Inter-electrode links 26 are also provided between

les électrodes 22 sur la surface supérieure des couch2es de sili-  the electrodes 22 on the upper surface of the silicone layers

cium amorphe 20 et les électrodes 16 sur le substrat de verre 14.  amorphous cium 20 and the electrodes 16 on the glass substrate 14.

On décrira ci-après le procédé de réalisation des liaisons 26.  The following will describe the method for producing the links 26.

Comme on peut le voir, il existe une liaison électrique en  As can be seen, there is an electrical connection in

série entre l'électrode à l'oxyde d'étain et d'indium 24, l'élec-  between the tin oxide and indium 24 electrode, the elec-

trode métallique supérieure 22, la liaison inter-électrodes 26 et l'électrode de molybdène 16. Par conséquent, chaque électrode à l'oxyde d'étain et dindium 24, sur le sommet d'une cellule 12, réalise le contact électrique vers l'électrode inférieure 16 de  upper metal trode 22, the inter-electrode link 26 and the molybdenum electrode 16. Therefore, each electrode with tin oxide and dindium 24, on the top of a cell 12, makes electrical contact with the lower electrode 16 of

la cellule adjacente 12, vers la droite de la cellule 12 sur la-  the adjacent cell 12, to the right of the cell 12 on the

quelle est située l'électrode à l'oxyde d'étain et d'indium. On notera cependant, que les parties 20 en silicium amorphe doivent présenter une conductivité faible, de manière que la liaison entre les électrodes 16, réalisée par la couche semi-conductrice  what is the electrode with tin oxide and indium. It will be noted, however, that the amorphous silicon parts 20 must have a low conductivity, so that the connection between the electrodes 16, made by the semiconductor layer

, puisse être ignorée., can be ignored.

Les parties en silicium amorphe 20 de chaque cellule 12 sont reliées en série de manière que la partie supérieure de chaque couche de silicium amorphe 20 fasse contact électrique avec la partie inférieure adjacen.te de silicium amorphe 20, vers sa droite  The amorphous silicon portions 20 of each cell 12 are connected in series so that the upper portion of each amorphous silicon layer 20 makes electrical contact with the adjacent lower portion of amorphous silicon 20, to its right.

en regardant la figure 1.looking at Figure 1.

Le nombre de cellules connectées en série 12 dans un arrange-  The number of cells connected in series 12 in an arrangement

ment particulier est déterminé par les exigences de tension d'une  particular is determined by the voltage requirements of a

application particulière.particular application.

On se réfère maintenant aux figures 2 à 4 pour expliquer le procédé de fabrication des cellules connectées en série selon la figure 1. Sur la figure 2, on voit qu'on part d'un substrat 14,  Referring now to FIGS. 2 to 4, the method of manufacturing the cells connected in series according to FIG. 1 is shown. FIG. 2 shows that starting from a substrate 14,

par exemple en verre, sur lequel est déposée une couche conduc-  for example glass, on which is deposited a conductive layer

trice 16, qui dans cet exemple de réalisation est constituée de molybdène. La couche conductrice 16 peut être appliquée par toute technique désirée, par exemple par évaporation. Après le dépôt de la couche conductrice 16 sur le substrat 14, la couche conductrice  trice 16, which in this embodiment is made of molybdenum. The conductive layer 16 may be applied by any desired technique, for example by evaporation. After the deposition of the conductive layer 16 on the substrate 14, the conductive layer

16 est gravée ou entaillée de façon à obtenir la surface discon-  16 is engraved or cut in such a way as to obtain the discon-

tinue représentée sur la figure 3. La gravure ou l'entaillage de  tinue shown in Figure 3. Engraving or notching

la couche conductrice 16 peut être réalisé par tout moyen appro-  the conductive layer 16 can be made by any suitable means

prié, par exemple à l'aide d'un laser, dans ce cas les lignes d'entaillage 28 peuvent s'étendre dans le substrat de verre 14 comme représenté sur le dessin. Après avoir entaillé la couche conductrice 16, on dépose une couche de silicium amorphe 20 sur  For example, using a laser, in this case the score lines 28 may extend into the glass substrate 14 as shown in the drawing. After notching the conductive layer 16, an amorphous silicon layer 20 is deposited on

la surface de la couche métallique entaillée 16.  the surface of the notched metal layer 16.

Comme connu, la couche de silicium amorphe 20 est constituée de façon typique par une structure en trois parties comportant un matériau semiconducteur de type P, I et N. Cependant, selon la  As is known, the amorphous silicon layer 20 is typically constituted by a three-part structure comprising a P, I and N type semiconductor material.

présente invention la couche de silicium amorphe 20 peut présen-  In the present invention, the amorphous silicon layer 20 can

ter seulement un matériau semi-conducteur de type I et N et une barrière de Schottky. Compte tenu du fait que soit le matériau de type P soit le matériau de type N peut être sur la surface de la couche de silicium amorphe 20 qui est exposée au rayonnement  ter only a type I and N semiconductor material and a Schottky barrier. In view of the fact that either the P type material or the N type material can be on the surface of the amorphous silicon layer 20 which is exposed to radiation

incident, la couche de silicium amorphe 20 sera désignée simple-  incidentally, the amorphous silicon layer 20 will be referred to simply as

ment par le terme "couche" dans la description de l'invention.  by the term "layer" in the description of the invention.

Cependant l'homme de l'art doit reconnaître que le procédé de fa-  However, those skilled in the art must recognize that the method of

brication de ces structures est bien connu et décrit notamment dans les brevets américains n0 4 064 521, 4 142 195, 4 162 505 et 4 163 677. On se référera à ces brevets pour expliquer la façon selon laquelle la couche de silicium amorphe 20 peut être fabriquée  These structures are well known and are described in US Pat. Nos. 4,064,521, 4,142,195, 4,162,505 and 4,163,677. Reference will be made to these patents to explain how the amorphous silicon layer 20 can be used. to be manufactured

et pour décrire la composition de la couche de silicium amorphe 20.  and to describe the composition of the amorphous silicon layer 20.

On se réfère maintenant à la figure 3. Des bandes 22 d'un mé-  Reference is now made to FIG. 3. Strips 22 of a

tal conducteur sont appliquées sur la surface de la couche de si-  conductor are applied to the surface of the

licium amorphe 20 par toute technique appropriée. Par conséquent, les bandes métalliques 22 peuvent être évaporées sur la surface  amorphous silicon by any suitable technique. Therefore, the metal strips 22 can be evaporated on the surface

de la couche de silicium amorphe 20 par l'intermédiaire d'un mas-  of the amorphous silicon layer 20 by means of a mas-

que. En variante, les bandes 22 peuvent être formées en utilisant un procédé photolithographique du type communément connu dans la technique dite "dép8t par peinture et enlèvement" qui sera décrit en détail ciaprès. Les bandes métalliques 22 sont constituées d'un métal tel que l'aluminium, le cuivre ou l'or qui peut être  than. Alternatively, the strips 22 may be formed using a photolithographic process of the type commonly known in the so-called "paint removal and removal" technique which will be described in detail below. The metal strips 22 are made of a metal such as aluminum, copper or gold which can be

implanté au travers de la couche de silicium amorphe 20 de la ma-  implanted through the amorphous silicon layer 20 of the

nière expliquée ci-après.explained below.

Après application des bandes métalliques 22, on dépose une couche conductrice 24 sur la surface du dispositif. La couche conductrice 24 doit être constituée d'un matériau choisi de manière  After application of the metal strips 22, a conductive layer 24 is deposited on the surface of the device. The conductive layer 24 must consist of a material chosen so

à tre transparent au rayonnement incident si la surface supé-  to be transparent to incident radiation if the top surface

rieure de la couche de silicium amorphe 20 doit recevoir la lu-  of the amorphous silicon layer 20 should receive light

mière. Par conséquent, un matériau tel que l'oxyde d'étain et d'indium est utilisé de façon typique pour constituer la couche 24. Après application de la couche conductrice 24, la structure  Mière. Therefore, a material such as tin oxide and indium is typically used to form the layer 24. After application of the conductive layer 24, the structure

est encore soumise à un procédé d'entaillage, par exemple au la-  is still subjected to a slitting process, for example in the

ser, afin de découper la couche conductrice 24 pour la rendre discontinue, comnie on peut le voir sur la figure 4. Compte tenu du fait que les couches d'oxyde d'étain et d'indium, utilisées dans la fabrication de cellules solaires au silicium amorphe, ont  ser, in order to cut the conductive layer 24 to make it discontinuous, as can be seen in Figure 4. Given the fact that tin oxide and indium oxide, used in the manufacture of solar cells to amorphous silicon, have

typiquement une épaisseur de l'ordre de quelques centaines d'Angs-  typically a thickness of the order of a few hundred Angels

trbms, un entaillage au laser de la couche d'oxyde d'étain et d'indium 24, entaillera typiquement la couche 20 de silicium amorphe, comme représenté. Cependant, comme on le verra ci-après, il n'est pas nécessaire que le laser entaille totalement ou même partiellement la couche de silicium amorphe 20, tant que ce laser  trbms, a laser etching of the tin oxide and indium layer 24, will typically notch the amorphous silicon layer 20 as shown. However, as will be seen below, it is not necessary for the laser to totally or even partially cut the amorphous silicon layer 20, as long as this laser

sert à découper entièrement la couche d'oxyde d'étain et d'in-  serves to completely cut out the tin oxide and

dium 24 afin que cette couche 24 présente une discontinuité élec-  dium 24 so that this layer 24 has an electrical discontinuity

trique.cudgel.

Ensuite, le dispositif est soumis à un recuit au cours du-  Then, the device is subjected to annealing during

quel il est chauffé pendant une durée et à une température suffi- santE pour que les bandes métalliques 22 engendrent des pointes  which is heated for a time and at a temperature sufficient for the metal strips 22 to generate spikes

26 au travers de la couche de silicium amorphe 20 pour relier élec-  26 through the amorphous silicon layer 20 to electrically connect

triquement la couche d'oxyde d'étain et d'indium 24 à l'électrode  triply the tin oxide and indium oxide layer 24 to the electrode

métallique sous-jacente 16, comme on peut le voir sur la figure 1.  underlying metal 16, as can be seen in FIG.

La durée et la température du recuit sont déterminées par le type  The duration and temperature of the annealing are determined by the type

particulier du matériau utilisé pour réaliser les bandes métal-  particular of the material used to make the metal strips

liques 22-et l'épaisseur de la couche de silicium amorphe 20. A  22-and the thickness of the amorphous silicon layer 20. A

titre d'exemple, si on utilise du cuivre, un recuit à une tempéra-  For example, if copper is used, annealing at a temperature of

ture de 2600C pendant trente minutes peut être utilisé-. Un recuit plus long à une température inférieure ou un recuit plus court à  2600C for thirty minutes can be used-. Longer annealing at a lower temperature or shorter annealing at

une température/élevée donneront bien entendu les mêmes résultats.  a high temperature will of course give the same results.

Après le processus de recuit, le dispositif 10, tel que représenté sur la figure 1, est terminé et il existe une liaison en série  After the annealing process, the device 10, as shown in FIG. 1, is finished and there is a serial link

entre les cellules solaires au silicium amorphe 12.  between amorphous silicon solar cells 12.

On se réfère maintenant à la figure 5 sur laquelle on peut voir un second exemple de réalisation 30 d'une cellule solaire selon cette invention. Selon cet exemple de réalisation, une série  Referring now to FIG. 5, there is shown a second embodiment of a solar cell according to this invention. According to this embodiment, a series

de cellules solaires au silicium amorphe 32, est connectée en sé-  amorphous silicon solar cells 32, is connected in series with

rie de façon similaire au premier exemple de réalisation 10. Les cellules solaires 32 au silicium amorphe connectées en série, sont réalisées sur le substrat isolant 34 qui peut être donstitué d'un matériau transparent, par exemple du verre. Sur une surface 36 du substrat 34 est disposée une série d'électrodes conductrices 38 qui peuvent être constituées soit d'im métal soit d'un oxyde  The amorphous silicon solar cells 32 connected in series are made on the insulating substrate 34 which may be made of a transparent material, for example glass. On a surface 36 of the substrate 34 is disposed a series of conductive electrodes 38 which may be made of either metal or oxide

3o d'étain et d'indium, selon que la lumière incidente doit attein-  3o tin and indium, depending on whether the incident light should reach

dre les cellules solaires depuis le dessus de la surface 36 ou qu'elle doit traverser le substrat 34, l'une ou l'autre de ces possibilités ne sortant pas du cadre de l'invention. Chacune des cellules solaires 32 comprend en outre une couche de silicium amorphe 40 qui recouvre les électrodes conductrices 38. Par ailleurs, il existe des électrodes supérieures 42, qui peuvent être constituées soit de métal soit d'oxyde d'étain et d'indium comme on l'a décrit ci-dessus. Les électrodes supérieures 42 sont connectées électriquement aux électrodes inférieures 38 de la  the solar cells from above the surface 36 or it must cross the substrate 34, one or other of these possibilities not outside the scope of the invention. Each of the solar cells 32 further comprises an amorphous silicon layer 40 which covers the conductive electrodes 38. On the other hand, there are upper electrodes 42, which may be made of either metal or tin oxide and indium as it has been described above. The upper electrodes 42 are electrically connected to the lower electrodes 38 of the

cellule suivante adjacente 32 par l'intermédiaire de bandes métal-  next adjacent cell 32 via metal strips

liques 44 et de contacts inter-électrode 46 de la même manière  44 and inter-electrode contacts 46 in the same way

que décrite ci-dessus en référence au premier exemple de réalisa-  described above with reference to the first example of

tion 10 de l'invention.10 of the invention.

Afin de fabriquer le second exemple de réalisation 30 de l'invention, on part d'un substrat 34, tel que représenté sur la figure 6. On applique une série de bandes 48, par exemple des  In order to manufacture the second exemplary embodiment of the invention, a substrate 34, as shown in FIG. 6, is used. A series of strips 48, for example

bandes de peinture ou de photoresist, sur une surface 36 du subs-  strips of paint or photoresist on a surface 36 of the

trat 34. Les bandes de peinture 48, utilisées dans l'exemple de  FIG. 34. The paint strips 48, used in the example of

réalisation préféré de l'invention sont pulvérisées sur la sur-  preferred embodiment of the invention are sprayed onto the

face 36 du substrat 34, par l'intermédiaire d'un masque muni de découpage en bandes. De telles bandes de peinture présentent une épaisseur relativement importante, comparée à celle des matériaux  face 36 of the substrate 34, via a mask provided with strip cutting. Such strips of paint have a relatively large thickness, compared to that of the materials

typiquement utilisés dans les cellules solaires au silicium amor-  typically used in amorphous silicon solar cells

phe. Ensuite, le matériau qui doit comprendre les électrodes infé-  phe. Then, the material that must include the lower electrodes

rieures 38 est appliqué sur la surface 36 du substrat 54 et sur la surface exposée des bandes 48. Dans le cas d'oxyde d'étain et d'indium, le matériau est simplement pulvérisé sur la surface des bandes 48 et sur la surface 36 du substrat 34. Dans le cas d'un métal, le matériau sera déposé par pulvérisation cathodique ou évaporé sur les surfaces. En raison de l'épaisseur des bandes 48, le matériau 38 ne forme pas une couche continue compte tenu de la topologie en forme de gradins élevés des bandes 48. Par conséquent  In the case of tin and indium oxide, the material is simply sprayed onto the surface of the strips 48 substrate 34. In the case of a metal, the material will be sputtered or evaporated onto the surfaces. Due to the thickness of the strips 48, the material 38 does not form a continuous layer because of the stepped topology of the strips 48.

après -application du matériau 38, les bandes de peinture 48 peu-  after application of the material 38, the paint strips 48 can

vent être détachées de la surface 36 du substrat 34. Il en résulte que, bien qu'un procédé photolithographique puisse être utilisé pour obtenir le même résultat et bien qu'un tel procédé ne sorte pas du cadre de l'invention, le fait d'utiliser le procédé décrit ci-dessus de "peinture et détachement" permet d'économiser un  The result is that, although a photolithographic process can be used to obtain the same result and although such a process does not fall outside the scope of the invention, the fact of using the method described above of "painting and detaching" saves a

temps et un travail considérables, et également de faire des éco-  considerable time and effort, and also to

nomies d'argent, lors de la fabrication de l'arrangement 30 de  money, when making arrangement 30 of

cellules solaires.solar cells.

On se réfère maintenant à la figure 7. Après l'enlèvement des bandes 48, une couche de silicium amorphe 40 est appliquée sur la surface de la structure, selon tout procédé approprié en fonction  Referring now to FIG. 7. After removal of the strips 48, an amorphous silicon layer 40 is applied to the surface of the structure, according to any suitable method based on

de la structure particulière recherchée. On se reportera aux bre-  of the particular structure sought. Reference is made to the

vets américains mentionnés ci-dessus pour ce qui concernent le  American vets mentioned above with respect to the

procédé de dépôt de la couche de silicium amorphe 40 et sa compo-  method of depositing the amorphous silicon layer 40 and its

sition. Ensuite, les bandes métalliques 44 sont appliquées sur la surface de la couche de silicium amiorphe 40, selon tout procédé approprié, par exemple par évaporation au travers d'un masque en bandes. Ensuite, les liaisons inter-électrode 46 sont formées en  sition. Then, the metal strips 44 are applied to the surface of the amorphous silicon layer 40, according to any suitable method, for example by evaporation through a strip mask. Then the inter-electrode links 46 are formed into

chauffant la structure de la manière décrite ci-dessus afin d'ame-  heating the structure as described above in order to

ner les bandes métalliques 44 à faire saillie sous la forme de  the metal strips 44 to project in the form of

pointes au travers des électrodes sous jacentes 38.  points through the underlying electrodes 38.

Ensuite on forme les électrodes supérieures 42. Les élec-  Then the upper electrodes 42 are formed.

trodes supérieures 42 peuvent être réalisées en mettant en oeuvre le procédé par peinture et détachement selon lequel on commence par appliquer une série de bandes de peinture 49, de la manière  upper trodes 42 can be made by implementing the method by painting and detachment according to which one starts by applying a series of strips of paint 49, in the manner

décrite ci-dessus et ensuite on applique le matériau qui consti-  described above and then the material constituting

tue les électrodes supérieures 42, comme décrit ci-dessus. Ce matériau peut être soit un métal soit un oxyde d'étain et indium et, compte tenu de la topologie abrupte des bandes de peinture  kills the upper electrodes 42, as described above. This material can be either a metal or an oxide of tin and indium and, given the abrupt topology of the paint strips

49, il est discontinu pour les raisons déjà mentionnées.  49, it is discontinuous for the reasons already mentioned.

Après l'application du matériau constituant les électrodes supérieures 42, les bandes de peinture 49 et le matériau 42 sur la surface supérieure sont enlevés par un procédé de détachement  After applying the material constituting the upper electrodes 42, the paint strips 49 and the material 42 on the upper surface are removed by a detachment process.

(en les "pelant") de manière que subsiste la structure de l'ar-  (by peeling them) so that the structure of the

rangement 30, représentée sur la figure 5.  storage 30, shown in Figure 5.

Selon cet exemple de réalisation, il n'est pas nécessaire d'effectuer un entaillage lors de la fabrication de l'arrangement , compte tenu de la propriété du silicium amorphe selon laquelle  According to this embodiment, it is not necessary to perform a notch during the manufacture of the arrangement, given the property of the amorphous silicon according to which

il ne possède virtuellement aucune conduction latérale. Par con-  it has virtually no lateral conduction. By con-

séquent, un aspect intéressant d'un arrangement de cellule so-  an interesting aspect of a social cell arrangement

laire 30 du type décrit en référence à la figure 5 est qu'il n'est pas nécessaire que la couche de silicium amorphe 40 soit électriquement discontinue. Par conséquent, bien que l'entaillage au laser décrit cidessus en référence au premier exemple de réalisation 10 (figure 1 et 4) traverse la couche de silicium amorphe 20, une telle découpe n'est pas nécessaire pour former  Figure 30 of the type described with reference to Figure 5 is that it is not necessary for the amorphous silicon layer 40 to be electrically discontinuous. Therefore, although the laser tapping described above with reference to the first embodiment (FIGS. 1 and 4) passes through the amorphous silicon layer 20, such a cutout is not necessary to form

un arrangement de cellule solaire.a solar cell arrangement.

La description ci-dessus a été faite en référence à des  The above description has been made with reference to

cellules solaires au silicium amorphe, il demeure cependant bien entendu que l'invention peut être utilisée avec d'autres types de cellules solaires incluant, sans que cette énumération soit  amorphous silicon solar cells, it remains however of course that the invention can be used with other types of solar cells including, without this enumeration being

limitative, les cellules au silicium monocristallin, polycristal-  limiting, monocrystalline silicon cells, polycrystalline

lin ou microcristallin ou des cellules solaires au sulfure de cadmium. De même, le terme "couche de silicium amorphe" est utilisé ici pour désigner tout type de matériau semi-conducteur de cellule solaire qui peut être interconnecté en réalisant des  flax or microcrystalline or cadmium sulphide solar cells. Similarly, the term "amorphous silicon layer" is used herein to refer to any type of solar cell semiconductor material that can be interconnected by providing

pointes en saillie et qui possède une faible conductivité laté-  protruding tips and low lateral conductivity

rale pour les motifs évoqués ci-dessus.  for the reasons mentioned above.

Claims (12)

REVENDICATIONS 1.- Arrangement de cellules solaires (10) comprenant une pluralité de cellules solaires adjacentes, connectées en série  1.- Arrangement of solar cells (10) comprising a plurality of adjacent solar cells, connected in series (12) sur un substrat isolant unique (14), dans lequel chaque cel-  (12) on a single insulating substrate (14), wherein each lule solaire (12) est caractérisée en ce qu'elle comprend: - une électrode (16) formée sur une première surface (18) du substrat (14); - une couche semi-conductrice (20) comportant au moins une région intrinsèque et une région de type N - une électrode supérieure (22) et  solar lule (12) is characterized in that it comprises: - an electrode (16) formed on a first surface (18) of the substrate (14); a semiconductor layer (20) comprising at least one intrinsic region and an N-type region - an upper electrode (22) and - des moyens pour connecter électriquement l'électrode supé-  means for electrically connecting the upper electrode rieure (22) d'une cellule solaire (12) à l'électrode inférieure  (22) of a solar cell (12) at the lower electrode (16) de la cellule solaire adjacente suivante (12) qui com-  (16) of the next adjacent solar cell (12) which prennent une bande métallique (22) sur la surface de la seconde photocellule et une liaison inter-électrode (26) entre la bande  take a metal strip (22) on the surface of the second photocell and an inter-electrode connection (26) between the strip métallique (22) et l'électrode inférieure (16) de la cellule so-  metal (22) and the lower electrode (16) of the cell laire adjacente suivante, cette liaison inter-électrode (26)  next adjacent layer, this inter-electrode link (26) étant une connexion métallique en pointe.  being a metal point connection. 2.- Arrangement de cellulessolaire selon la revendication 1,  2.- solar cell arrangement according to claim 1, caractérisé en ce que la couche semi-conductrice (20) est consti-  characterized in that the semiconductor layer (20) is constituted tuée de silicium amorphe.killed amorphous silicon. 3.- Arrangement de cellules solaire selon la revendication 2, caractérisé en ce que la liaison inter-électrode (26) comprend  3. Arrangement of solar cells according to claim 2, characterized in that the inter-electrode connection (26) comprises une connexion en aluminium en forme de pointe.  a peak-shaped aluminum connection. 4.- Arrangement de cellule solaire selon la revendication 2, caractérisé en ce que la liaison inter-électrode (26) comprend  4. A solar cell arrangement according to claim 2, characterized in that the inter-electrode connection (26) comprises une connexion en or en forme de pointe.  a gold connection in the shape of a point. 5.- Arrangement de cellulessolaires selon la-revendication 2, caractérisé en ce que la liaison inter-électrode (.26) comprend  5.- arrangement of solar cell according to claim 2, characterized in that the inter-electrode connection (.26) comprises une connexion en cuivre en forme de pointe.  a copper connection in the shape of a point. 6.- Procédé pour réaliser un arrangement de cellules solaires connectées en série qui consiste à former une série d'électrodes inférieures conductrices sur un substrat isolant, à former une couche semiconductrice sur la surface des électrodes inférieures  6. A method for providing a series connected solar cell arrangement comprising forming a series of conductive lower electrodes on an insulating substrate, forming a semiconductor layer on the surface of the lower electrodes. conductrices et sur ledit substrat et à appliquer une série d'élec-  conductors and on said substrate and to apply a series of elec- trodes conductrices en cuivre sur la surface de la couche semi-  copper conductive trodes on the surface of the semi- conductrice, ce procédé étant caractérisé en ce qu'il consiste à réaliser une liaison électrique entre l'électrode supérieure d'une cellule et l'électrode inférieure de la cellule adjacente suivante en insérant une connexion inter-électrode en pointe au travers de  characterized in that it consists in making an electrical connection between the upper electrode of one cell and the lower electrode of the next adjacent cell by inserting an inter-electrode connection in a point through la couche semi-conductrice.the semiconductor layer. 7.- Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'insertion de la connexion en pointe s'effectue par chauffage d'une série de bandes métalliques sur la surface de la couche semi-conductrice afin de les amener à faire saillie selon des  7. A method according to claim 6, characterized in that the insertion of the peak connection is effected by heating a series of metal strips on the surface of the semiconductor layer to cause them to protrude according to of the pointes au travers de ladite couche semi-conductrice.  points through said semiconductor layer. 8.- Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que la série d'électrodes inférieures conductrices, est formée en réalisant une couche conductrice unique et ensuite en l'entaillant  8. A method according to claim 7, characterized in that the series of conductive lower electrodes is formed by producing a single conductive layer and then by notching de manière à la rendre électriquement discontinue.  in order to make it electrically discontinuous. 9.- Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que  9. A process according to claim 7, characterized in that la série d'électrodes conductrices supérieures est formée en réa-  the series of upper conductive electrodes is formed in lisant une couche conductrice unique et ensuite en l'entaillant  reading a single conductive layer and then hacking it de manière à la rendre électriquement discontinue.  in order to make it electrically discontinuous. 10.- Procédé selon l'une des revendications 8 ou 9, caracté-  10. A process according to one of claims 8 or 9, characterized risé en ce que l'entaillage est effectué par gravure au laser,  in that the notching is performed by laser etching, 11.Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que11.Procédé according to claim 7, characterized in that la série d'électrodes inférieures conductrices est obtenue en ap-  the series of lower conductive electrodes is obtained by pliquant un matériau épais ayant une configuration en forme de  plicating a thick material having a configuration in the form of bandes sur la surface du substrat, en appliquant une couche con-  strips on the surface of the substrate, applying a layer of ductrice discontinue sur la surface dudit matériau épais en forme  discontinuous duct on the surface of said shaped thick material de bandes et en enlevant ledit matériau en même temps que le ma-  strips and removing said material at the same time as the tériau conducteur sur sa surface afin qu'une série d'électrodes  conductive material on its surface so that a series of electrodes électriquement discontinues demeurent sur la surface dudit subs-  electrically discontinuous surfaces remain on the surface of trat.  trat. 12.- Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que la série d'électrodes conductrices supérieures est obtenue en déposant un matériau épais ayant une configuration en forme de12. A process according to claim 7, characterized in that the series of upper conductive electrodes is obtained by depositing a thick material having a configuration in the form of bandes, sur la surface de la couche de silicium amorphe, en ap-  bands on the surface of the amorphous silicon layer, pliquant une couche conductrice discontinue sur la surface dudit matériau épais et en enlevant ledit matériau en même temps que  plucking a discontinuous conductive layer on the surface of said thick material and removing said material at the same time as le matériau conducteur présent sur sa surface de manière que sub-  the conductive material present on its surface in such a way that siste une série d'électrodes électriquement discontinues sur la  a series of electrically discontinuous electrodes on the surface de la couche de silicium amorphe.  surface of the amorphous silicon layer.
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Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5996779A (en) * 1982-11-24 1984-06-04 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Photoelectric conversion device
JPS59201471A (en) * 1983-04-29 1984-11-15 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Photoelectric conversion semiconductor device
JPS5994885A (en) * 1982-11-24 1984-05-31 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Photoelectric conversion device
JPS607778A (en) * 1983-06-27 1985-01-16 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Photoelectric conversion semiconductor device
JPS5996778A (en) * 1982-11-24 1984-06-04 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Manufacture of photoelectric conversion device
US4593152A (en) * 1982-11-24 1986-06-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Photoelectric conversion device
DE3382695T2 (en) * 1982-11-24 1993-09-23 Semiconductor Energy Lab PHOTOVOLTAIC CONVERTER.
JPS59107579A (en) * 1982-12-11 1984-06-21 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Manufacture of photoelectric conversion device
JPS59108374A (en) * 1982-12-14 1984-06-22 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Manufacture of photoelectric converter
JPS59172274A (en) * 1983-03-18 1984-09-28 Sanyo Electric Co Ltd Manufacture of photovoltage device
JPH0758797B2 (en) * 1983-04-18 1995-06-21 株式会社半導体エネルギー研究所 Method for manufacturing photoelectric conversion semiconductor device
JPS59193075A (en) * 1983-04-18 1984-11-01 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Manufacture of photoelectric conversion semiconductor device
JPH0614556B2 (en) * 1983-04-29 1994-02-23 株式会社半導体エネルギー研究所 Photoelectric conversion device and manufacturing method thereof
US4724011A (en) * 1983-05-16 1988-02-09 Atlantic Richfield Company Solar cell interconnection by discrete conductive regions
US4517403A (en) * 1983-05-16 1985-05-14 Atlantic Richfield Company Series connected solar cells and method of formation
JPS6014441A (en) * 1983-07-04 1985-01-25 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Manufacture of semiconductor device
JPH0638512B2 (en) * 1983-10-31 1994-05-18 株式会社半導体エネルギー研究所 Photoelectric conversion semiconductor device
JPS6018973A (en) * 1983-07-13 1985-01-31 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Photoelectric conversion semiconductor device
JPS6020586A (en) * 1983-07-13 1985-02-01 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Manufacture of photoelectric convertor
JPS6059786A (en) * 1983-09-12 1985-04-06 Sanyo Electric Co Ltd Manufacture of photovoltaic device
JPS6041266A (en) * 1983-08-15 1985-03-04 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Manufacture of photoelectric converter
JPS6085574A (en) * 1983-10-18 1985-05-15 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Manufacture of semiconductor device
JPH0712031B2 (en) * 1983-10-27 1995-02-08 株式会社半導体エネルギー研究所 Processing method of translucent conductive film
JPS6094781A (en) * 1983-10-27 1985-05-27 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Manufacture of semiconductor device
JPH0713954B2 (en) * 1983-11-07 1995-02-15 株式会社 半導体エネルギー研究所 Liquid crystal display device manufacturing method
JPH0712032B2 (en) * 1983-11-07 1995-02-08 株式会社半導体エネルギー研究所 Laser processing method for organic resin coating
JPS60103623A (en) * 1983-11-10 1985-06-07 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Laser processing method
JP2540501B2 (en) * 1983-11-10 1996-10-02 株式会社 半導体エネルギー研究所 Laser processing method
JPS60110178A (en) * 1983-11-18 1985-06-15 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Manufacture of semiconductor device
JPS60206077A (en) * 1984-03-29 1985-10-17 Taiyo Yuden Co Ltd Manufacture of amorphous semiconductor solar cell
JPS6191971A (en) * 1984-10-12 1986-05-10 Fuji Electric Co Ltd Manufacture of solar battery device
US4697041A (en) * 1985-02-15 1987-09-29 Teijin Limited Integrated solar cells
JPS61241981A (en) * 1985-04-19 1986-10-28 Teijin Ltd Manufacture of thin film solar battery
DE3545385A1 (en) * 1985-12-20 1987-06-25 Messerschmitt Boelkow Blohm METHOD FOR PRODUCING A SOLAR CELL ARRANGEMENT
DE3604917A1 (en) * 1986-02-17 1987-08-27 Messerschmitt Boelkow Blohm METHOD FOR PRODUCING AN INTEGRATED ASSEMBLY OF SERIES THICK-LAYER SOLAR CELLS
JPS61210681A (en) * 1986-02-20 1986-09-18 Sanyo Electric Co Ltd Manufacture of photovoltaic device
DE3714920C1 (en) * 1987-05-05 1988-07-14 Messerschmitt Boelkow Blohm Method for producing a thin-layer solar cell arrangement
JPS62295467A (en) * 1987-05-29 1987-12-22 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Photoelectric convertor
JPH088369B2 (en) * 1993-01-26 1996-01-29 株式会社半導体エネルギー研究所 Photoelectric conversion semiconductor device
US5288456A (en) * 1993-02-23 1994-02-22 International Business Machines Corporation Compound with room temperature electrical resistivity comparable to that of elemental copper
JPH06314808A (en) * 1993-06-21 1994-11-08 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Photoelectric conversion semiconductor device
CN102484156A (en) * 2009-06-30 2012-05-30 Lg伊诺特有限公司 Solar cell apparatus and method for manufacturing the same
KR101072106B1 (en) * 2009-10-01 2011-10-10 엘지이노텍 주식회사 Solar cell and method of fabircating the same

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4042418A (en) * 1976-08-02 1977-08-16 Westinghouse Electric Corporation Photovoltaic device and method of making same
FR2371778A1 (en) * 1976-11-19 1978-06-16 Tokyo Shibaura Electric Co SEMICONDUCTOR DEVICE
GB2020901A (en) * 1978-05-11 1979-11-21 Westinghouse Electric Corp Integrated solar cell array

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4064521A (en) * 1975-07-28 1977-12-20 Rca Corporation Semiconductor device having a body of amorphous silicon
US4142195A (en) * 1976-03-22 1979-02-27 Rca Corporation Schottky barrier semiconductor device and method of making same
US4162505A (en) * 1978-04-24 1979-07-24 Rca Corporation Inverted amorphous silicon solar cell utilizing cermet layers
US4163677A (en) * 1978-04-28 1979-08-07 Rca Corporation Schottky barrier amorphous silicon solar cell with thin doped region adjacent metal Schottky barrier

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4042418A (en) * 1976-08-02 1977-08-16 Westinghouse Electric Corporation Photovoltaic device and method of making same
FR2371778A1 (en) * 1976-11-19 1978-06-16 Tokyo Shibaura Electric Co SEMICONDUCTOR DEVICE
GB2020901A (en) * 1978-05-11 1979-11-21 Westinghouse Electric Corp Integrated solar cell array

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
EXTENDED ABSTRACTS OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, vol. 8, no. 2, pages 1421-1422, New York, US; Y. KUWANO et al.: "Properties of amorphous Si-H and Si-F-H films and its photovoltaic characteristics" *

Also Published As

Publication number Publication date
DE3210742A1 (en) 1982-10-21
GB2095908A (en) 1982-10-06
DE3210742C2 (en) 1991-05-08
JPH0467348B2 (en) 1992-10-28
JPS57176778A (en) 1982-10-30
GB2095908B (en) 1985-10-02
FR2503457B1 (en) 1987-01-23

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