FR2503457A1 - SYSTEM OF SOLAR CELLS CONNECTED IN SERIES ON A SINGLE SUBSTRATE - Google Patents
SYSTEM OF SOLAR CELLS CONNECTED IN SERIES ON A SINGLE SUBSTRATE Download PDFInfo
- Publication number
- FR2503457A1 FR2503457A1 FR8204404A FR8204404A FR2503457A1 FR 2503457 A1 FR2503457 A1 FR 2503457A1 FR 8204404 A FR8204404 A FR 8204404A FR 8204404 A FR8204404 A FR 8204404A FR 2503457 A1 FR2503457 A1 FR 2503457A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- series
- electrode
- conductive
- electrodes
- connection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 23
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 26
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 25
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 43
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 12
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000010329 laser etching Methods 0.000 claims description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 11
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 8
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 6
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 2
- 241000208202 Linaceae Species 0.000 description 1
- 235000004431 Linum usitatissimum Nutrition 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- CJOBVZJTOIVNNF-UHFFFAOYSA-N cadmium sulfide Chemical compound [Cd]=S CJOBVZJTOIVNNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052980 cadmium sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000010079 rubber tapping Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/042—PV modules or arrays of single PV cells
- H01L31/0445—PV modules or arrays of single PV cells including thin film solar cells, e.g. single thin film a-Si, CIS or CdTe solar cells
- H01L31/046—PV modules composed of a plurality of thin film solar cells deposited on the same substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/042—PV modules or arrays of single PV cells
- H01L31/0445—PV modules or arrays of single PV cells including thin film solar cells, e.g. single thin film a-Si, CIS or CdTe solar cells
- H01L31/046—PV modules composed of a plurality of thin film solar cells deposited on the same substrate
- H01L31/0465—PV modules composed of a plurality of thin film solar cells deposited on the same substrate comprising particular structures for the electrical interconnection of adjacent PV cells in the module
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Sustainable Energy (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
ARRANGEMENT DE CELLULES SOLAIRES 10 COMPRENANT UNE PLURALITE DE CELLULES SOLAIRES ADJACENTES, CONNECTEES EN SERIE 12 SUR UN SUBSTRAT ISOLANT UNIQUE 14, DANS LEQUEL CHAQUE CELLULE SOLAIRE 12 EST CARACTERISEE EN CE QU'ELLE COMPREND: -UNE ELECTRODE 16 FORMEE SUR UNE PREMIERE SURFACE 18 DU SUBSTRAT 14; -UNE COUCHE SEMI-CONDUCTRICE 20 COMPORTANT AU MOINS UNE REGION INTRINSEQUE ET UNE REGION DE TYPE N; -UNE ELECTRODE SUPERIEURE 22; ET -DES MOYENS POUR CONNECTER ELECTRIQUEMENT L'ELECTRODE SUPERIEURE 22 D'UNE CELLULE SOLAIRE 12 A L'ELECTRODE INFERIEURE 16 DE LA CELLULE SOLAIRE ADJACENTE SUIVANTE 12 QUI COMPRENNENT UNE BANDE METALLIQUE 22 SUR LA SURFACE DE LA SECONDE PHOTOCELLULE ET UNE LIAISON INTER-ELECTRODE 26 ENTRE LA BANDE METALLIQUE 22 ET L'ELECTRODE INFERIEURE 16 DE LA CELLULE SOLAIRE ADJACENTE SUIVANTE, CETTE LIAISON INTER-ELECTRODE 26 ETANT UNE CONNEXION METALLIQUE EN POINTE.ARRANGEMENT OF SOLAR CELLS 10 INCLUDING A PLURALITY OF ADJACENT SOLAR CELLS, CONNECTED IN SERIES 12 ON A SINGLE INSULATING SUBSTRATE 14, IN WHICH EACH SOLAR CELL 12 IS CHARACTERIZED IN THAT IT INCLUDES: -AN ELECTRODE 16 FORMED ON A 18 OF THE FIRST SUBSTRATE 14; -A SEMI-CONDUCTIVE LAYER 20 CONTAINING AT LEAST ONE INTRINSIC REGION AND ONE TYPE N REGION; -A SUPERIOR ELECTRODE 22; AND - MEANS FOR ELECTRICALLY CONNECTING THE UPPER ELECTRODE 22 OF A SOLAR CELL 12 TO THE LOWER ELECTRODE 16 OF THE FOLLOWING ADJACENT SOLAR CELL 12 WHICH INCLUDE A METAL BAND 22 ON THE SURFACE OF THE SECOND PHOTOCELL AND AN INTER-ELECTRODE LINK 26 BETWEEN METAL BAND 22 AND LOWER ELECTRODE 16 OF THE FOLLOWING ADJACENT SOLAR CELL, THIS INTER-ELECTRODE LINK 26 BEING A TIP METAL CONNECTION.
Description
1 25034571 2503457
Cette invention est relative à des cellules solaires. Elle This invention relates to solar cells. She
s'applique plus particulièrement à des cellules solaires au sili- more particularly applies to silicon solar cells.
cium amorphe connectées en série qui sont formées sur un substrat unique. On sait que les cellules solaires sont utilisées pour trans- former l'énergie solaire en énergie électrique. De telles cellules amorphous cium connected in series which are formed on a single substrate. Solar cells are known to convert solar energy into electrical energy. Such cells
peuvent 9tre réalisées à l'aide de divers matériaux semi-conduc- can be made using various semiconductor materials.
teurs, tel que du silicium amorphe. Pour que les cellules solaires such as amorphous silicon. For solar cells
soient disponibles pour une utilisation générale, il est néces- available for general use, it is neces-
saire que les arrangements de cellules qui comprennent une plura- that cell arrangements that include a
lité de cellules, puissent être réalisés à un prix relativement faible pour le consommateur. Etant donné qu'une cellule solaire typique au silicium amorphe produit environ un volt d'électricité of cells, can be achieved at a relatively low price for the consumer. Since a typical amorphous silicon solar cell produces about one volt of electricity
lorsqu'elle est exposée au soleil, ces cellules doivent être re- when exposed to the sun these cells should be
liées en série afin d'augmenter leur tension disponible pour que leurs sorties puissent être utilisées soit directement soit par transfert dans des dispositifs de stockage, tels que des batteries, pour une utilisation indirecte. La conception et la mise en oeuvre linked in series to increase their available voltage so that their outputs can be used either directly or by transfer to storage devices, such as batteries, for indirect use. Design and implementation
de cellules solaires connectées en série peut constituer un tra- of solar cells connected in series can be a
vail important. Il en résulte qu'un tel procédé est généralement important. As a result, such a process is generally
très coûteux à mettre en oeuvre.very expensive to implement.
La présente invention concerne un procédé automatique de production de cellules solaires connectées en série, 'telles que The present invention relates to an automatic method for producing solar cells connected in series, such as
des cellules solaires au silicium amorphe. Les cellules sont pro- amorphous silicon solar cells. The cells are pro-
duites sous la forme d'arrangements connectés en série, en rai- in the form of serially connected arrangements, in
son du procédé de fabrication. De tels arrangements p'euvent être réalisés de manière à présenter une tension de sortie désirée sound of the manufacturing process. Such arrangements can be made to have a desired output voltage
sans exiger des efforts importants.without requiring significant effort.
Un arrangement de cellules solaires selon la présente inven- An arrangement of solar cells according to the present invention
tion comprend une pluralité de cellules solaires adjacentes, con- tion comprises a plurality of adjacent solar cells,
nectées en série sur un substrat isolant unique, les cellules connected in series on a single insulating substrate, the cells
adjacentes étant reliées en série en implantant une liaison métal- adjacent cells being connected in series by implanting a metal
lique interélectrode à partir de l'électrode sur le sommet d'une cellule au travers de la couche de silicium amorphe, jusqu'à interelectrode from the electrode on the top of a cell through the amorphous silicon layer, up to
l'électrode située au fond de la cellule adjacente suivante. the electrode located at the bottom of the next adjacent cell.
D'autres caractéristiques et avantages de cette invention Other features and advantages of this invention
ressortiront de la description faite ci-après en référence aux will emerge from the description given below with reference to
dessins annexés qui en illustrent divers exemples de réalisation dépourvus de tout caractère limitatif. Sur les dessins:: - la figure 1 illumtre un premier exemple de réalisation d'une cellule solaire selon la présente invention; - les figures 2 à 4 illustrent le procédé de fabrication de la cellule solaire selon la figure 1; - la figure 5 représente un second exemple de réalisation d'une cellule solaire selon l'invention, et - les figures 6 et 7 illustrent le procédé de fabrication de attached drawings which illustrate various embodiments without any limiting character. In the drawings: - Figure 1 illuminates a first embodiment of a solar cell according to the present invention; - Figures 2 to 4 illustrate the manufacturing method of the solar cell according to Figure 1; FIG. 5 represents a second exemplary embodiment of a solar cell according to the invention, and FIGS. 6 and 7 illustrate the manufacturing process of FIG.
la cellule solaire selon la figure 5. the solar cell according to FIG.
On se réfère en premier lieu à la figure 1 sur laquelle on We first refer to Figure 1 on which we
voit un arrangement de cellule solaire 10 constituée d'une plura- sees a solar cell arrangement 10 consisting of a plural
lité de cellules solaires. Les cellules solaires 12 sont formées sur un substrat 14, constitué de verre, ou d'un autrematériau transparent similaire selon le présent exemple de réalisation de l'invention. Une série d'électrodes métalliques 16, constituées de molybdène dans l'exemple de réalisation préféré de l'invention, est disposée sur une surface 18 du substrat de verre 14. On peut sans sortir du cadre de l'invention utiliser tout autre métal que le molybdène pour réaliser les électrodes 16. Des parties 20 des solar cells. The solar cells 12 are formed on a substrate 14, made of glass, or another similar transparent material according to the present embodiment of the invention. A series of metal electrodes 16, made of molybdenum in the preferred embodiment of the invention, is disposed on a surface 18 of the glass substrate 14. It is within the scope of the invention to use any other metal than molybdenum to make the electrodes 16. Parts 20 of the
cellules 12 en silicium amorphe recouvrent les électrodes de mo- amorphous silicon cells 12 cover the electrodes of
lybdène 16 sur le substrat de verre 14. Dans l'exemple de réali- lybdenum 16 on the glass substrate 14. In the example of
sation préféré de l'invention, les parties semi-conductrices 20 preferred embodiment of the invention, the semiconductor parts 20
sont constituées de silicium amorphe. Une série d'électrodes mé- are made of amorphous silicon. A series of electrodes
talliques 22, qui sont constituées d'un métal tel que l'aluminium, le cuivre ou l'or, recouvre à la fois la surface supérieur en silicium amorphe 20 d'une cellule 12 et une partie au moins de l'électrode 16 de la cellule adjacente suivante. Par dessus les électrodes 22 est disposé un matériau conducteur transparent, tel que de l'oxyde d'étain et d'indium 24, pour des raisons qui seront 22, which consist of a metal such as aluminum, copper or gold, covers both the amorphous silicon top surface 20 of a cell 12 and at least a portion of the electrode 16 of the next adjacent cell. Above the electrodes 22 is disposed a transparent conductive material, such as tin oxide and indium 24, for reasons which will be
expliquées ci-après.explained below.
On prévoit également des liaisons intec-électrodes 26, entre Inter-electrode links 26 are also provided between
les électrodes 22 sur la surface supérieure des couch2es de sili- the electrodes 22 on the upper surface of the silicone layers
cium amorphe 20 et les électrodes 16 sur le substrat de verre 14. amorphous cium 20 and the electrodes 16 on the glass substrate 14.
On décrira ci-après le procédé de réalisation des liaisons 26. The following will describe the method for producing the links 26.
Comme on peut le voir, il existe une liaison électrique en As can be seen, there is an electrical connection in
série entre l'électrode à l'oxyde d'étain et d'indium 24, l'élec- between the tin oxide and indium 24 electrode, the elec-
trode métallique supérieure 22, la liaison inter-électrodes 26 et l'électrode de molybdène 16. Par conséquent, chaque électrode à l'oxyde d'étain et dindium 24, sur le sommet d'une cellule 12, réalise le contact électrique vers l'électrode inférieure 16 de upper metal trode 22, the inter-electrode link 26 and the molybdenum electrode 16. Therefore, each electrode with tin oxide and dindium 24, on the top of a cell 12, makes electrical contact with the lower electrode 16 of
la cellule adjacente 12, vers la droite de la cellule 12 sur la- the adjacent cell 12, to the right of the cell 12 on the
quelle est située l'électrode à l'oxyde d'étain et d'indium. On notera cependant, que les parties 20 en silicium amorphe doivent présenter une conductivité faible, de manière que la liaison entre les électrodes 16, réalisée par la couche semi-conductrice what is the electrode with tin oxide and indium. It will be noted, however, that the amorphous silicon parts 20 must have a low conductivity, so that the connection between the electrodes 16, made by the semiconductor layer
, puisse être ignorée., can be ignored.
Les parties en silicium amorphe 20 de chaque cellule 12 sont reliées en série de manière que la partie supérieure de chaque couche de silicium amorphe 20 fasse contact électrique avec la partie inférieure adjacen.te de silicium amorphe 20, vers sa droite The amorphous silicon portions 20 of each cell 12 are connected in series so that the upper portion of each amorphous silicon layer 20 makes electrical contact with the adjacent lower portion of amorphous silicon 20, to its right.
en regardant la figure 1.looking at Figure 1.
Le nombre de cellules connectées en série 12 dans un arrange- The number of cells connected in series 12 in an arrangement
ment particulier est déterminé par les exigences de tension d'une particular is determined by the voltage requirements of a
application particulière.particular application.
On se réfère maintenant aux figures 2 à 4 pour expliquer le procédé de fabrication des cellules connectées en série selon la figure 1. Sur la figure 2, on voit qu'on part d'un substrat 14, Referring now to FIGS. 2 to 4, the method of manufacturing the cells connected in series according to FIG. 1 is shown. FIG. 2 shows that starting from a substrate 14,
par exemple en verre, sur lequel est déposée une couche conduc- for example glass, on which is deposited a conductive layer
trice 16, qui dans cet exemple de réalisation est constituée de molybdène. La couche conductrice 16 peut être appliquée par toute technique désirée, par exemple par évaporation. Après le dépôt de la couche conductrice 16 sur le substrat 14, la couche conductrice trice 16, which in this embodiment is made of molybdenum. The conductive layer 16 may be applied by any desired technique, for example by evaporation. After the deposition of the conductive layer 16 on the substrate 14, the conductive layer
16 est gravée ou entaillée de façon à obtenir la surface discon- 16 is engraved or cut in such a way as to obtain the discon-
tinue représentée sur la figure 3. La gravure ou l'entaillage de tinue shown in Figure 3. Engraving or notching
la couche conductrice 16 peut être réalisé par tout moyen appro- the conductive layer 16 can be made by any suitable means
prié, par exemple à l'aide d'un laser, dans ce cas les lignes d'entaillage 28 peuvent s'étendre dans le substrat de verre 14 comme représenté sur le dessin. Après avoir entaillé la couche conductrice 16, on dépose une couche de silicium amorphe 20 sur For example, using a laser, in this case the score lines 28 may extend into the glass substrate 14 as shown in the drawing. After notching the conductive layer 16, an amorphous silicon layer 20 is deposited on
la surface de la couche métallique entaillée 16. the surface of the notched metal layer 16.
Comme connu, la couche de silicium amorphe 20 est constituée de façon typique par une structure en trois parties comportant un matériau semiconducteur de type P, I et N. Cependant, selon la As is known, the amorphous silicon layer 20 is typically constituted by a three-part structure comprising a P, I and N type semiconductor material.
présente invention la couche de silicium amorphe 20 peut présen- In the present invention, the amorphous silicon layer 20 can
ter seulement un matériau semi-conducteur de type I et N et une barrière de Schottky. Compte tenu du fait que soit le matériau de type P soit le matériau de type N peut être sur la surface de la couche de silicium amorphe 20 qui est exposée au rayonnement ter only a type I and N semiconductor material and a Schottky barrier. In view of the fact that either the P type material or the N type material can be on the surface of the amorphous silicon layer 20 which is exposed to radiation
incident, la couche de silicium amorphe 20 sera désignée simple- incidentally, the amorphous silicon layer 20 will be referred to simply as
ment par le terme "couche" dans la description de l'invention. by the term "layer" in the description of the invention.
Cependant l'homme de l'art doit reconnaître que le procédé de fa- However, those skilled in the art must recognize that the method of
brication de ces structures est bien connu et décrit notamment dans les brevets américains n0 4 064 521, 4 142 195, 4 162 505 et 4 163 677. On se référera à ces brevets pour expliquer la façon selon laquelle la couche de silicium amorphe 20 peut être fabriquée These structures are well known and are described in US Pat. Nos. 4,064,521, 4,142,195, 4,162,505 and 4,163,677. Reference will be made to these patents to explain how the amorphous silicon layer 20 can be used. to be manufactured
et pour décrire la composition de la couche de silicium amorphe 20. and to describe the composition of the amorphous silicon layer 20.
On se réfère maintenant à la figure 3. Des bandes 22 d'un mé- Reference is now made to FIG. 3. Strips 22 of a
tal conducteur sont appliquées sur la surface de la couche de si- conductor are applied to the surface of the
licium amorphe 20 par toute technique appropriée. Par conséquent, les bandes métalliques 22 peuvent être évaporées sur la surface amorphous silicon by any suitable technique. Therefore, the metal strips 22 can be evaporated on the surface
de la couche de silicium amorphe 20 par l'intermédiaire d'un mas- of the amorphous silicon layer 20 by means of a mas-
que. En variante, les bandes 22 peuvent être formées en utilisant un procédé photolithographique du type communément connu dans la technique dite "dép8t par peinture et enlèvement" qui sera décrit en détail ciaprès. Les bandes métalliques 22 sont constituées d'un métal tel que l'aluminium, le cuivre ou l'or qui peut être than. Alternatively, the strips 22 may be formed using a photolithographic process of the type commonly known in the so-called "paint removal and removal" technique which will be described in detail below. The metal strips 22 are made of a metal such as aluminum, copper or gold which can be
implanté au travers de la couche de silicium amorphe 20 de la ma- implanted through the amorphous silicon layer 20 of the
nière expliquée ci-après.explained below.
Après application des bandes métalliques 22, on dépose une couche conductrice 24 sur la surface du dispositif. La couche conductrice 24 doit être constituée d'un matériau choisi de manière After application of the metal strips 22, a conductive layer 24 is deposited on the surface of the device. The conductive layer 24 must consist of a material chosen so
à tre transparent au rayonnement incident si la surface supé- to be transparent to incident radiation if the top surface
rieure de la couche de silicium amorphe 20 doit recevoir la lu- of the amorphous silicon layer 20 should receive light
mière. Par conséquent, un matériau tel que l'oxyde d'étain et d'indium est utilisé de façon typique pour constituer la couche 24. Après application de la couche conductrice 24, la structure Mière. Therefore, a material such as tin oxide and indium is typically used to form the layer 24. After application of the conductive layer 24, the structure
est encore soumise à un procédé d'entaillage, par exemple au la- is still subjected to a slitting process, for example in the
ser, afin de découper la couche conductrice 24 pour la rendre discontinue, comnie on peut le voir sur la figure 4. Compte tenu du fait que les couches d'oxyde d'étain et d'indium, utilisées dans la fabrication de cellules solaires au silicium amorphe, ont ser, in order to cut the conductive layer 24 to make it discontinuous, as can be seen in Figure 4. Given the fact that tin oxide and indium oxide, used in the manufacture of solar cells to amorphous silicon, have
typiquement une épaisseur de l'ordre de quelques centaines d'Angs- typically a thickness of the order of a few hundred Angels
trbms, un entaillage au laser de la couche d'oxyde d'étain et d'indium 24, entaillera typiquement la couche 20 de silicium amorphe, comme représenté. Cependant, comme on le verra ci-après, il n'est pas nécessaire que le laser entaille totalement ou même partiellement la couche de silicium amorphe 20, tant que ce laser trbms, a laser etching of the tin oxide and indium layer 24, will typically notch the amorphous silicon layer 20 as shown. However, as will be seen below, it is not necessary for the laser to totally or even partially cut the amorphous silicon layer 20, as long as this laser
sert à découper entièrement la couche d'oxyde d'étain et d'in- serves to completely cut out the tin oxide and
dium 24 afin que cette couche 24 présente une discontinuité élec- dium 24 so that this layer 24 has an electrical discontinuity
trique.cudgel.
Ensuite, le dispositif est soumis à un recuit au cours du- Then, the device is subjected to annealing during
quel il est chauffé pendant une durée et à une température suffi- santE pour que les bandes métalliques 22 engendrent des pointes which is heated for a time and at a temperature sufficient for the metal strips 22 to generate spikes
26 au travers de la couche de silicium amorphe 20 pour relier élec- 26 through the amorphous silicon layer 20 to electrically connect
triquement la couche d'oxyde d'étain et d'indium 24 à l'électrode triply the tin oxide and indium oxide layer 24 to the electrode
métallique sous-jacente 16, comme on peut le voir sur la figure 1. underlying metal 16, as can be seen in FIG.
La durée et la température du recuit sont déterminées par le type The duration and temperature of the annealing are determined by the type
particulier du matériau utilisé pour réaliser les bandes métal- particular of the material used to make the metal strips
liques 22-et l'épaisseur de la couche de silicium amorphe 20. A 22-and the thickness of the amorphous silicon layer 20. A
titre d'exemple, si on utilise du cuivre, un recuit à une tempéra- For example, if copper is used, annealing at a temperature of
ture de 2600C pendant trente minutes peut être utilisé-. Un recuit plus long à une température inférieure ou un recuit plus court à 2600C for thirty minutes can be used-. Longer annealing at a lower temperature or shorter annealing at
une température/élevée donneront bien entendu les mêmes résultats. a high temperature will of course give the same results.
Après le processus de recuit, le dispositif 10, tel que représenté sur la figure 1, est terminé et il existe une liaison en série After the annealing process, the device 10, as shown in FIG. 1, is finished and there is a serial link
entre les cellules solaires au silicium amorphe 12. between amorphous silicon solar cells 12.
On se réfère maintenant à la figure 5 sur laquelle on peut voir un second exemple de réalisation 30 d'une cellule solaire selon cette invention. Selon cet exemple de réalisation, une série Referring now to FIG. 5, there is shown a second embodiment of a solar cell according to this invention. According to this embodiment, a series
de cellules solaires au silicium amorphe 32, est connectée en sé- amorphous silicon solar cells 32, is connected in series with
rie de façon similaire au premier exemple de réalisation 10. Les cellules solaires 32 au silicium amorphe connectées en série, sont réalisées sur le substrat isolant 34 qui peut être donstitué d'un matériau transparent, par exemple du verre. Sur une surface 36 du substrat 34 est disposée une série d'électrodes conductrices 38 qui peuvent être constituées soit d'im métal soit d'un oxyde The amorphous silicon solar cells 32 connected in series are made on the insulating substrate 34 which may be made of a transparent material, for example glass. On a surface 36 of the substrate 34 is disposed a series of conductive electrodes 38 which may be made of either metal or oxide
3o d'étain et d'indium, selon que la lumière incidente doit attein- 3o tin and indium, depending on whether the incident light should reach
dre les cellules solaires depuis le dessus de la surface 36 ou qu'elle doit traverser le substrat 34, l'une ou l'autre de ces possibilités ne sortant pas du cadre de l'invention. Chacune des cellules solaires 32 comprend en outre une couche de silicium amorphe 40 qui recouvre les électrodes conductrices 38. Par ailleurs, il existe des électrodes supérieures 42, qui peuvent être constituées soit de métal soit d'oxyde d'étain et d'indium comme on l'a décrit ci-dessus. Les électrodes supérieures 42 sont connectées électriquement aux électrodes inférieures 38 de la the solar cells from above the surface 36 or it must cross the substrate 34, one or other of these possibilities not outside the scope of the invention. Each of the solar cells 32 further comprises an amorphous silicon layer 40 which covers the conductive electrodes 38. On the other hand, there are upper electrodes 42, which may be made of either metal or tin oxide and indium as it has been described above. The upper electrodes 42 are electrically connected to the lower electrodes 38 of the
cellule suivante adjacente 32 par l'intermédiaire de bandes métal- next adjacent cell 32 via metal strips
liques 44 et de contacts inter-électrode 46 de la même manière 44 and inter-electrode contacts 46 in the same way
que décrite ci-dessus en référence au premier exemple de réalisa- described above with reference to the first example of
tion 10 de l'invention.10 of the invention.
Afin de fabriquer le second exemple de réalisation 30 de l'invention, on part d'un substrat 34, tel que représenté sur la figure 6. On applique une série de bandes 48, par exemple des In order to manufacture the second exemplary embodiment of the invention, a substrate 34, as shown in FIG. 6, is used. A series of strips 48, for example
bandes de peinture ou de photoresist, sur une surface 36 du subs- strips of paint or photoresist on a surface 36 of the
trat 34. Les bandes de peinture 48, utilisées dans l'exemple de FIG. 34. The paint strips 48, used in the example of
réalisation préféré de l'invention sont pulvérisées sur la sur- preferred embodiment of the invention are sprayed onto the
face 36 du substrat 34, par l'intermédiaire d'un masque muni de découpage en bandes. De telles bandes de peinture présentent une épaisseur relativement importante, comparée à celle des matériaux face 36 of the substrate 34, via a mask provided with strip cutting. Such strips of paint have a relatively large thickness, compared to that of the materials
typiquement utilisés dans les cellules solaires au silicium amor- typically used in amorphous silicon solar cells
phe. Ensuite, le matériau qui doit comprendre les électrodes infé- phe. Then, the material that must include the lower electrodes
rieures 38 est appliqué sur la surface 36 du substrat 54 et sur la surface exposée des bandes 48. Dans le cas d'oxyde d'étain et d'indium, le matériau est simplement pulvérisé sur la surface des bandes 48 et sur la surface 36 du substrat 34. Dans le cas d'un métal, le matériau sera déposé par pulvérisation cathodique ou évaporé sur les surfaces. En raison de l'épaisseur des bandes 48, le matériau 38 ne forme pas une couche continue compte tenu de la topologie en forme de gradins élevés des bandes 48. Par conséquent In the case of tin and indium oxide, the material is simply sprayed onto the surface of the strips 48 substrate 34. In the case of a metal, the material will be sputtered or evaporated onto the surfaces. Due to the thickness of the strips 48, the material 38 does not form a continuous layer because of the stepped topology of the strips 48.
après -application du matériau 38, les bandes de peinture 48 peu- after application of the material 38, the paint strips 48 can
vent être détachées de la surface 36 du substrat 34. Il en résulte que, bien qu'un procédé photolithographique puisse être utilisé pour obtenir le même résultat et bien qu'un tel procédé ne sorte pas du cadre de l'invention, le fait d'utiliser le procédé décrit ci-dessus de "peinture et détachement" permet d'économiser un The result is that, although a photolithographic process can be used to obtain the same result and although such a process does not fall outside the scope of the invention, the fact of using the method described above of "painting and detaching" saves a
temps et un travail considérables, et également de faire des éco- considerable time and effort, and also to
nomies d'argent, lors de la fabrication de l'arrangement 30 de money, when making arrangement 30 of
cellules solaires.solar cells.
On se réfère maintenant à la figure 7. Après l'enlèvement des bandes 48, une couche de silicium amorphe 40 est appliquée sur la surface de la structure, selon tout procédé approprié en fonction Referring now to FIG. 7. After removal of the strips 48, an amorphous silicon layer 40 is applied to the surface of the structure, according to any suitable method based on
de la structure particulière recherchée. On se reportera aux bre- of the particular structure sought. Reference is made to the
vets américains mentionnés ci-dessus pour ce qui concernent le American vets mentioned above with respect to the
procédé de dépôt de la couche de silicium amorphe 40 et sa compo- method of depositing the amorphous silicon layer 40 and its
sition. Ensuite, les bandes métalliques 44 sont appliquées sur la surface de la couche de silicium amiorphe 40, selon tout procédé approprié, par exemple par évaporation au travers d'un masque en bandes. Ensuite, les liaisons inter-électrode 46 sont formées en sition. Then, the metal strips 44 are applied to the surface of the amorphous silicon layer 40, according to any suitable method, for example by evaporation through a strip mask. Then the inter-electrode links 46 are formed into
chauffant la structure de la manière décrite ci-dessus afin d'ame- heating the structure as described above in order to
ner les bandes métalliques 44 à faire saillie sous la forme de the metal strips 44 to project in the form of
pointes au travers des électrodes sous jacentes 38. points through the underlying electrodes 38.
Ensuite on forme les électrodes supérieures 42. Les élec- Then the upper electrodes 42 are formed.
trodes supérieures 42 peuvent être réalisées en mettant en oeuvre le procédé par peinture et détachement selon lequel on commence par appliquer une série de bandes de peinture 49, de la manière upper trodes 42 can be made by implementing the method by painting and detachment according to which one starts by applying a series of strips of paint 49, in the manner
décrite ci-dessus et ensuite on applique le matériau qui consti- described above and then the material constituting
tue les électrodes supérieures 42, comme décrit ci-dessus. Ce matériau peut être soit un métal soit un oxyde d'étain et indium et, compte tenu de la topologie abrupte des bandes de peinture kills the upper electrodes 42, as described above. This material can be either a metal or an oxide of tin and indium and, given the abrupt topology of the paint strips
49, il est discontinu pour les raisons déjà mentionnées. 49, it is discontinuous for the reasons already mentioned.
Après l'application du matériau constituant les électrodes supérieures 42, les bandes de peinture 49 et le matériau 42 sur la surface supérieure sont enlevés par un procédé de détachement After applying the material constituting the upper electrodes 42, the paint strips 49 and the material 42 on the upper surface are removed by a detachment process.
(en les "pelant") de manière que subsiste la structure de l'ar- (by peeling them) so that the structure of the
rangement 30, représentée sur la figure 5. storage 30, shown in Figure 5.
Selon cet exemple de réalisation, il n'est pas nécessaire d'effectuer un entaillage lors de la fabrication de l'arrangement , compte tenu de la propriété du silicium amorphe selon laquelle According to this embodiment, it is not necessary to perform a notch during the manufacture of the arrangement, given the property of the amorphous silicon according to which
il ne possède virtuellement aucune conduction latérale. Par con- it has virtually no lateral conduction. By con-
séquent, un aspect intéressant d'un arrangement de cellule so- an interesting aspect of a social cell arrangement
laire 30 du type décrit en référence à la figure 5 est qu'il n'est pas nécessaire que la couche de silicium amorphe 40 soit électriquement discontinue. Par conséquent, bien que l'entaillage au laser décrit cidessus en référence au premier exemple de réalisation 10 (figure 1 et 4) traverse la couche de silicium amorphe 20, une telle découpe n'est pas nécessaire pour former Figure 30 of the type described with reference to Figure 5 is that it is not necessary for the amorphous silicon layer 40 to be electrically discontinuous. Therefore, although the laser tapping described above with reference to the first embodiment (FIGS. 1 and 4) passes through the amorphous silicon layer 20, such a cutout is not necessary to form
un arrangement de cellule solaire.a solar cell arrangement.
La description ci-dessus a été faite en référence à des The above description has been made with reference to
cellules solaires au silicium amorphe, il demeure cependant bien entendu que l'invention peut être utilisée avec d'autres types de cellules solaires incluant, sans que cette énumération soit amorphous silicon solar cells, it remains however of course that the invention can be used with other types of solar cells including, without this enumeration being
limitative, les cellules au silicium monocristallin, polycristal- limiting, monocrystalline silicon cells, polycrystalline
lin ou microcristallin ou des cellules solaires au sulfure de cadmium. De même, le terme "couche de silicium amorphe" est utilisé ici pour désigner tout type de matériau semi-conducteur de cellule solaire qui peut être interconnecté en réalisant des flax or microcrystalline or cadmium sulphide solar cells. Similarly, the term "amorphous silicon layer" is used herein to refer to any type of solar cell semiconductor material that can be interconnected by providing
pointes en saillie et qui possède une faible conductivité laté- protruding tips and low lateral conductivity
rale pour les motifs évoqués ci-dessus. for the reasons mentioned above.
Claims (12)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US24972981A | 1981-03-31 | 1981-03-31 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2503457A1 true FR2503457A1 (en) | 1982-10-08 |
FR2503457B1 FR2503457B1 (en) | 1987-01-23 |
Family
ID=22944738
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR8204404A Expired FR2503457B1 (en) | 1981-03-31 | 1982-03-16 | SOLAR CELL SYSTEM CONNECTED IN SERIES ON A SINGLE SUBSTRATE |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS57176778A (en) |
DE (1) | DE3210742A1 (en) |
FR (1) | FR2503457B1 (en) |
GB (1) | GB2095908B (en) |
Families Citing this family (43)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5996779A (en) * | 1982-11-24 | 1984-06-04 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Photoelectric conversion device |
JPS59201471A (en) * | 1983-04-29 | 1984-11-15 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Photoelectric conversion semiconductor device |
JPS5994885A (en) * | 1982-11-24 | 1984-05-31 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Photoelectric conversion device |
JPS607778A (en) * | 1983-06-27 | 1985-01-16 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Photoelectric conversion semiconductor device |
JPS5996778A (en) * | 1982-11-24 | 1984-06-04 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Manufacture of photoelectric conversion device |
US4593152A (en) * | 1982-11-24 | 1986-06-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Photoelectric conversion device |
DE3382695T2 (en) * | 1982-11-24 | 1993-09-23 | Semiconductor Energy Lab | PHOTOVOLTAIC CONVERTER. |
JPS59107579A (en) * | 1982-12-11 | 1984-06-21 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Manufacture of photoelectric conversion device |
JPS59108374A (en) * | 1982-12-14 | 1984-06-22 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Manufacture of photoelectric converter |
JPS59172274A (en) * | 1983-03-18 | 1984-09-28 | Sanyo Electric Co Ltd | Manufacture of photovoltage device |
JPH0758797B2 (en) * | 1983-04-18 | 1995-06-21 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Method for manufacturing photoelectric conversion semiconductor device |
JPS59193075A (en) * | 1983-04-18 | 1984-11-01 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Manufacture of photoelectric conversion semiconductor device |
JPH0614556B2 (en) * | 1983-04-29 | 1994-02-23 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Photoelectric conversion device and manufacturing method thereof |
US4724011A (en) * | 1983-05-16 | 1988-02-09 | Atlantic Richfield Company | Solar cell interconnection by discrete conductive regions |
US4517403A (en) * | 1983-05-16 | 1985-05-14 | Atlantic Richfield Company | Series connected solar cells and method of formation |
JPS6014441A (en) * | 1983-07-04 | 1985-01-25 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Manufacture of semiconductor device |
JPH0638512B2 (en) * | 1983-10-31 | 1994-05-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Photoelectric conversion semiconductor device |
JPS6018973A (en) * | 1983-07-13 | 1985-01-31 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Photoelectric conversion semiconductor device |
JPS6020586A (en) * | 1983-07-13 | 1985-02-01 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Manufacture of photoelectric convertor |
JPS6059786A (en) * | 1983-09-12 | 1985-04-06 | Sanyo Electric Co Ltd | Manufacture of photovoltaic device |
JPS6041266A (en) * | 1983-08-15 | 1985-03-04 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Manufacture of photoelectric converter |
JPS6085574A (en) * | 1983-10-18 | 1985-05-15 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Manufacture of semiconductor device |
JPH0712031B2 (en) * | 1983-10-27 | 1995-02-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Processing method of translucent conductive film |
JPS6094781A (en) * | 1983-10-27 | 1985-05-27 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Manufacture of semiconductor device |
JPH0713954B2 (en) * | 1983-11-07 | 1995-02-15 | 株式会社 半導体エネルギー研究所 | Liquid crystal display device manufacturing method |
JPH0712032B2 (en) * | 1983-11-07 | 1995-02-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Laser processing method for organic resin coating |
JPS60103623A (en) * | 1983-11-10 | 1985-06-07 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Laser processing method |
JP2540501B2 (en) * | 1983-11-10 | 1996-10-02 | 株式会社 半導体エネルギー研究所 | Laser processing method |
JPS60110178A (en) * | 1983-11-18 | 1985-06-15 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Manufacture of semiconductor device |
JPS60206077A (en) * | 1984-03-29 | 1985-10-17 | Taiyo Yuden Co Ltd | Manufacture of amorphous semiconductor solar cell |
JPS6191971A (en) * | 1984-10-12 | 1986-05-10 | Fuji Electric Co Ltd | Manufacture of solar battery device |
US4697041A (en) * | 1985-02-15 | 1987-09-29 | Teijin Limited | Integrated solar cells |
JPS61241981A (en) * | 1985-04-19 | 1986-10-28 | Teijin Ltd | Manufacture of thin film solar battery |
DE3545385A1 (en) * | 1985-12-20 | 1987-06-25 | Messerschmitt Boelkow Blohm | METHOD FOR PRODUCING A SOLAR CELL ARRANGEMENT |
DE3604917A1 (en) * | 1986-02-17 | 1987-08-27 | Messerschmitt Boelkow Blohm | METHOD FOR PRODUCING AN INTEGRATED ASSEMBLY OF SERIES THICK-LAYER SOLAR CELLS |
JPS61210681A (en) * | 1986-02-20 | 1986-09-18 | Sanyo Electric Co Ltd | Manufacture of photovoltaic device |
DE3714920C1 (en) * | 1987-05-05 | 1988-07-14 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Method for producing a thin-layer solar cell arrangement |
JPS62295467A (en) * | 1987-05-29 | 1987-12-22 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Photoelectric convertor |
JPH088369B2 (en) * | 1993-01-26 | 1996-01-29 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Photoelectric conversion semiconductor device |
US5288456A (en) * | 1993-02-23 | 1994-02-22 | International Business Machines Corporation | Compound with room temperature electrical resistivity comparable to that of elemental copper |
JPH06314808A (en) * | 1993-06-21 | 1994-11-08 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Photoelectric conversion semiconductor device |
CN102484156A (en) * | 2009-06-30 | 2012-05-30 | Lg伊诺特有限公司 | Solar cell apparatus and method for manufacturing the same |
KR101072106B1 (en) * | 2009-10-01 | 2011-10-10 | 엘지이노텍 주식회사 | Solar cell and method of fabircating the same |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4042418A (en) * | 1976-08-02 | 1977-08-16 | Westinghouse Electric Corporation | Photovoltaic device and method of making same |
FR2371778A1 (en) * | 1976-11-19 | 1978-06-16 | Tokyo Shibaura Electric Co | SEMICONDUCTOR DEVICE |
GB2020901A (en) * | 1978-05-11 | 1979-11-21 | Westinghouse Electric Corp | Integrated solar cell array |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4064521A (en) * | 1975-07-28 | 1977-12-20 | Rca Corporation | Semiconductor device having a body of amorphous silicon |
US4142195A (en) * | 1976-03-22 | 1979-02-27 | Rca Corporation | Schottky barrier semiconductor device and method of making same |
US4162505A (en) * | 1978-04-24 | 1979-07-24 | Rca Corporation | Inverted amorphous silicon solar cell utilizing cermet layers |
US4163677A (en) * | 1978-04-28 | 1979-08-07 | Rca Corporation | Schottky barrier amorphous silicon solar cell with thin doped region adjacent metal Schottky barrier |
-
1982
- 1982-03-16 FR FR8204404A patent/FR2503457B1/en not_active Expired
- 1982-03-24 DE DE19823210742 patent/DE3210742A1/en active Granted
- 1982-03-24 GB GB8208562A patent/GB2095908B/en not_active Expired
- 1982-03-30 JP JP57053638A patent/JPS57176778A/en active Granted
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4042418A (en) * | 1976-08-02 | 1977-08-16 | Westinghouse Electric Corporation | Photovoltaic device and method of making same |
FR2371778A1 (en) * | 1976-11-19 | 1978-06-16 | Tokyo Shibaura Electric Co | SEMICONDUCTOR DEVICE |
GB2020901A (en) * | 1978-05-11 | 1979-11-21 | Westinghouse Electric Corp | Integrated solar cell array |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
EXTENDED ABSTRACTS OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, vol. 8, no. 2, pages 1421-1422, New York, US; Y. KUWANO et al.: "Properties of amorphous Si-H and Si-F-H films and its photovoltaic characteristics" * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3210742A1 (en) | 1982-10-21 |
GB2095908A (en) | 1982-10-06 |
DE3210742C2 (en) | 1991-05-08 |
JPH0467348B2 (en) | 1992-10-28 |
JPS57176778A (en) | 1982-10-30 |
GB2095908B (en) | 1985-10-02 |
FR2503457B1 (en) | 1987-01-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FR2503457A1 (en) | SYSTEM OF SOLAR CELLS CONNECTED IN SERIES ON A SINGLE SUBSTRATE | |
EP1839341B1 (en) | Semiconductor device with heterojunctions and an inter-finger structure | |
FR2463978A1 (en) | INTEGRATED SOLAR CELL WITH A DERIVATION DIODE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME | |
FR2577716A1 (en) | INTEGRATED SOLAR BATTERIES AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME | |
FR2960346B1 (en) | METHOD FOR MANUFACTURING A THIN FILM BATTERY AND BATTERY THUS CARRIED OUT | |
FR2513011A1 (en) | METHOD FOR MANUFACTURING LOW RESISTANCE CONTACTS IN SEMICONDUCTOR DEVICES | |
FR2985606A1 (en) | PROCESS FOR PRODUCING A PHOTOVOLTAIC MODULE WITH TWO ETCHES OF ETCHING P2 AND P3 AND CORRESPONDING PHOTOVOLTAIC MODULE. | |
EP1846956B1 (en) | Method for producing metal/semiconductor contacts through a dielectric | |
FR2641646A1 (en) | SOLAR CELL AND MANUFACTURING METHOD THEREOF | |
CH636227A5 (en) | METHOD OF MANUFACTURING A PHOTOVOLTAIC CELL HAVING AN ANTI-REFLECTIVE COATING. | |
EP2845227B1 (en) | Laser etching of a thin layers stack for a connection of a photovoltaic cell | |
EP2803088A1 (en) | Method for manufacturing a photovoltaic module with two etching steps p1 and p3 and corresponding photovoltaic module | |
EP1618611B1 (en) | Method for production of a semiconductor device with auto-aligned metallisations | |
FR2554277A1 (en) | CONTACTS FORMATION SYSTEM FOR THIN FILM SOLAR CELLS | |
WO2013150423A1 (en) | Method for producing a photovoltaic module with an etching step p3 and an optional step p1. | |
EP1854148A1 (en) | Method for metallisation of a semiconductor device | |
FR2878374A1 (en) | Solar cell with a heterojunction and buried metallization, made with a crystalline semiconductor substrate and an amorphous semiconductor layer with different types of conductivity | |
EP3498893B1 (en) | Method for extracting metal impurities from a crystalline silicon wafer | |
FR3076061B1 (en) | REALIZING A MICROELECTRONIC DEVICE COLLECTOR | |
EP3498892A1 (en) | Method for extracting metal impurities from a crystalline silicon wafer | |
FR2989224A1 (en) | PROCESS FOR PRODUCING A PHOTOVOLTAIC MODULE WITH AN ETCHING STEP P3 AND A POSSIBLE STEP P2. | |
EP2876689B1 (en) | Method for forming a photovoltaic cell | |
FR2485809A1 (en) | ALUMINUM-SILICON SCHOTTKY TYPE DIODE, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND SEMICONDUCTOR DEVICE COMPRISING SUCH A DIODE | |
FR2675633A1 (en) | Photovoltaic device with reinforced insulation and its method of production | |
EP0948060A1 (en) | Method of batch manufacture for phtovoltaic cells |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
ST | Notification of lapse |