ES2342794T3

ES2342794T3 - Dispositivo electroquimico de litio encapsulado.

Info

Publication number: ES2342794T3
Application number: ES08305849T
Authority: ES
Inventors: M. Raphael Salot; M. Steve Martin; M. Sami Oukassi
Original assignee: Commissariat a lEnergie Atomique CEA; STMicroelectronics SA; Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Current assignee: STMicroelectronics SA; Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date: 2007-12-12
Filing date: 2008-11-27
Publication date: 2010-07-14
Anticipated expiration: 2028-11-27
Also published as: FR2925227B1; FR2925227A1; CN101459263B; DE602008001239D1; EP2071657B1; EP2071657B8; US20090155685A1; CN101459263A; EP2071657A1; JP2009152186A; ATE467920T1; US8778532B2

Abstract

Dispositivo electroquímico de litio que comprende un apilamiento de capas apropiadas para constituir una microbatería (1) depositado sobre un sustrato (3) y encapsulado por medio de una cubierta de protección (9) sellada sobre dicho sustrato, que comprende dos colectores (4, 5) de la corriente generada por la microbatería y por lo menos una capa aislante (6, 7, 8) inerte con respecto al litio, siendo dichos colectores y la o las capas aislantes depositados sobre dicho sustrato, caracterizado porque el sellado de la cubierta de protección (9) sobre el sustrato (3) se realiza por medio de las capas constitutivas de los colectores de corriente (4, 5) y de la o las capas aislantes (6, 7, 8), recibiendo dicha cubierta con este fin unas capas de igual naturaleza, posicionadas según el mismo orden en la vertical de las capas en cuestión depositadas sobre el sustrato, de manera que cuando tiene lugar el sellado de la cubierta sobre el sustrato, las capas respectivas depositadas sobre la cubierta y sobre el sustrato entran en contacto unas con otras para asegurar el sellado efectivo de la cubierta sobre el sustrato.

Description

Dispositivo electroquímico de litio encapsulado.

Campo de la invención

La presente invención se refiere al campo de los dispositivos electroquímicos de litio, y más particularmente a las microbaterías de litio obtenidas mediante el depósito de películas delgadas según la técnica del depósito al vacío.

Dichas microbaterías se utilizan más particularmente en las tarjetas con chip, las etiquetas inteligentes (medición recurrente de parámetro por unos implantes miniaturizados), la alimentación del reloj interno y de los microsistemas del tipo MEMS (por la expresión anglosajona Micro Electro Mechanical System).

Estado de la técnica anterior

Actualmente, son muy conocidas las microbaterías de litio. Las mismas comprenden tradicionalmente un sustrato sobre el que se deposita un apilamiento que comprende sucesivamente un cátodo, un electrolito que comprende litio, y un ánodo en general de litio metálico, siendo el conjunto así realizado revestido con una envolvente de protección con el fin de evitar cualquier contaminación exterior.

Dichas microbaterías realizadas en forma de películas delgadas mediante la tecnología de la microelectrónica, se realizan por tanto utilizando unos materiales a base de litio, muy particularmente sensibles al entorno exterior, y en particular a la humedad, así como al oxígeno y al nitrógeno contenidos en el aire ambiente. Su protección contra estos diferentes agentes es determinante para su duración de vida.

El principio de funcionamiento de estas pilas se basa en la inserción y la desinserción (o intercalación-desintercalación) de un ion de metal alcalino y típicamente de litio en el electrodo positivo. Los principales sistemas de las microbaterías utilizan como especie iónica el ión litio Li^{+} procedente de un electrodo realizado con litio metálico. Los diferentes componentes de dicha microbatería, ya se trate de los colectores de corriente, de los electrodos positivos o negativos, del electrolito y de la capa de protección denominada asimismo capa de encapsulación, se presentan en forma de capas delgadas obtenidas por depósito PVD (por "Physical Vapor Deposition") o CVD (por "Chemical Vapor Deposition"). El espesor total del apilamiento es típicamente del orden de 15 \mum.

La naturaleza de estos diferentes componentes puede ser la siguiente:

-: los colectores: son de naturaleza metálica, y por ejemplo están constituidos por platino, cromo, oro, titanio, tungsteno o molibdeno;

-: el electrodo positivo: puede estar realizado en LiCoO_{2}, LiNiO_{2}, LiMn_{2}O_{4}, CuS, CuS_{2}, WO_{y}S_{z}, TiO_{y}S_{z}, V_{2}O_{5}. En función del material elegido, un recocido térmico puede resultar necesario con el fin de aumentar la cristalización de las películas y su propiedad de inserción en el seno del apilamiento. Es el caso en particular para los óxidos litiados. Sin embargo, algunos materiales amorfos, y en particular los oxisulfuros de titanio (TiO_{y}S_{z}), no necesitan dicho tratamiento permitiendo al mismo tiempo una inserción elevada de iones litio Li^{+};

-: el electrolito: éste debe ser un buen conductor iónico pero un aislante electrónico. La mayor parte de las veces, se utiliza un material vítreo a base de óxido de boro, de óxido de litio o de sal de litio. Los electrolitos más rentables son a base de fosfato, y en particular el LIPON (compuesto litiado a base de oxinitruro de litio y de fósforo) o el LISIPON (compuesto litiado a base de oxinitruro de litio, de fósforo y de silicio);

-: el electrodo negativo: éste puede estar constituido por litio metálico depositado por evaporación térmica, o una aleación metálica a base de litio o también un compuesto de inserción (SiTON, SnN_{x}, InN_{x}, SnO_{2} ...);

-: la capa de encapsulación: ésta tiene por objeto, como ya se ha mencionado, proteger el apilamiento activo constitutivo de la microbatería del entono exterior y específicamente de la humedad.

Esta encapsulación puede ser el resultado de dos tecnologías diferentes:

Según una primera tecnología, esta encapsulación se realiza a partir de capas delgadas. Se realiza así generalmente un apilamiento de capas según una alternancia vertical de capas diferentes para optimizar las propiedades de barrera del conjunto. La estrategia considerada más habitualmente consiste en depositar una preencapsulación por medio de una capa inerte con respecto al litio y planarizante. El material utilizado habitualmente es un polímero, en el ejemplo el parileno. La función de barrera puede ser reforzada por el depósito de otras capas, en particular metálicas u organosiliciadas.

Esta tecnología topa con un problema de duración de vida limitada. En efecto, debido a la permeación de los gases a través de la encapsulación así realizada, además de las solicitaciones mecánicas sufridas por la encapsulación, cuando tiene lugar el ciclado electroquímico de las microbaterías (modificaciones volumétricas), el litio resulta afectado, que se oxida así bastante rápidamente.

Según una segunda tecnología, descrita en el documento FR 2 831 327, se realiza la encapsulación mediante cerramiento: una capa de epoxi se deposita en el borde del elemento a proteger. La misma permite el pegado de una cubierta de vidrio por insolación a los rayos ultravioletas. El sellado cubierta/sustrato se puede realizar mediante varios procedimientos y puede utilizar unos materiales diferentes, o bien unos metales, o bien unos dieléctricos.

Se concibe por tanto que esta tecnología necesita el depósito de una capa de sellado para fijar la cubierta sobre el sustrato. Esta capa no es sin embargo generalmente optimizada para las propiedades de barrera, en particular con respecto a la humedad, pero también al oxigeno y al nitrógeno. Además, la utilización del sellado topa con la problemática de salida de los colectores de corriente fuera de la cavidad que comprende la microbatería. Se debe realizar un sellado no metálico, por lo menos en la proximidad de los colectores para evitar los cortocircuitos. Ahora bien, resulta que los materiales metálicos son los materiales que presentan el mejor efecto barrera de manera que se concibe fácilmente la problemática, en la medida en que se debe admitir un efecto barrera poco satisfactorio. De hecho, la utilización de un sellado metálico sólo es posible en el caso de una conexión vertical de la microbatería, es decir por la cara posterior del sustrato. Ahora bien, esta solución necesita unas etapas tecnológicas suplementarias muy complejas de realizar y por tanto que encarecen los costes de realización.

El objetivo previsto por la presente invención es disponer de una encapsulación de dichas microbaterías a la vez eficaz en términos de efecto barrera, y que utiliza una tecnología de realización ampliamente controlada y que no necesita en particular etapas suplementarias de depósito del material específico de sellado.

La invención utiliza la tecnología de encapsulación mediante cerramiento.

Exposición de la invención

La presente invención prevé por tanto un dispositivo electroquímico de litio que comprende un apilamiento de capas apropiadas para constituir una microbatería depositada sobre un sustrato y encapsulada por medio de una cubierta de protección sellada sobre dicho sustrato. Este dispositivo está provisto de dos colectores de la corriente generada por la microbatería y de por lo menos una capa aislante inerte con respecto al litio, depositados sobre dichos sustrato.

Según la invención, el sellado de la cubierta de protección sobre el sustrato se realiza por medio de las capas constitutivas de los colectores de corriente y de la o de las capas aislantes, recibiendo dicha cubierta unas capas de igual naturaleza, posicionadas según el mismo orden en la vertical de las capas en cuestión depositadas sobre el sustrato, de manera que cuando tiene lugar el sellado de la cubierta sobre el sustrato, las capas respectivas depositadas sobre la cubierta y sobre el sustrato entren en contacto unas con otras para asegurar el sellado efectivo de la cubierta sobre el sustrato.

Con ello, debido a esta arquitectura particular, se dispone de una doble barrera constituida a la vez por el material inerte aislante y el material conductor.

Según una característica ventajosa, el sellado es el resultado de una alternancia de bandas realizadas en material aislante y en material conductor, siendo dichas bandas a su vez el resultado del sellado de las capas dispuestas respectivamente sobre el sustrato y sobre la cubierta.

Según otra característica ventajosa de la invención, una por lo menos de las bandas realizada en material aislante está definida y delimitada por dos bandas paralelas de material conductor.

Según otra característica de la invención, se añaden unas bandas suplementarias de material conductor que se extienden por tanto entre el sustrato y la cubierta, de tal manera que alarguen el camino de difusión potencial de los gases externos y de la humedad.

Ventajosamente, se optimiza el comportamiento mecánico del ensamblaje mediante el depósito previo de una capa de enganche depositada respectivamente sobre la cubierta y sobre el sustrato, antes del depósito de la capa aislante, siendo esta capa de enganche de tipo organosiliciado y obtenida por el depósito de capas delgadas según la tecnología CVD.

Ventajosamente, el ensamblaje comprende asimismo un getter destinado a absorber el oxigeno y la humedad que llegaran a penetrar en la cavidad permitiendo así aumentar la duración de vida del conjunto. Este getter puede estar constituido por litio metálico.

Breve descripción de las figuras

La manera en que la invención puede ser realizada y las ventajas que de ella se desprenden se pondrán más claramente de manifiesto a partir de los ejemplos de realización siguientes, dados a título indicativo y no limitativo con el apoyo de las figuras adjuntas.

La figura 1A es una representación esquemática en vista por encima del ensamblaje de acuerdo con la invención, de la que la figura 1B es una representación esquemática en sección según la líneas AA' de la figura 1A.

Las figuras 2A, 2B, 2C ilustran los modos de inserción de los gases exteriores y de la humedad susceptibles de intervenir, ilustrando las figuras 2B y 2C unas variantes de realización de la invención que permiten aumentar el camino de difusión de estas entidades.

Las figuras 3A y 3B son unas vistas análogas a las figuras 1A y 1B de otro modo de realización de la invención que utiliza un getter.

Las figuras 4A y 4B ilustran la invención respectivamente en vista por encima y en sección transversal según la línea A,A' con conexión de la microbatería por la cara posterior a través del sustrato.

Las figuras 5A a 5G ilustran un modo de realización posible del ensamblaje de acuerdo con la invención.

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Descripción detallada de la invención

Se ha representado por tanto en relación con las figuras 1A y 1B el principio general que sustenta la presente invención.

En la figura 1A, se ha representado en vista por encima el sustrato 3 que define una cavidad 2 en el seno de la cual se ha posicionado el apilamiento constitutivo de una microbatería de litio 1. Un apilamiento de este tipo es bien conocido en el estado de la técnica anterior, de manera que no será descrito en la presente memoria con mayor detalle.

Se han representado por las referencias 4 y 5 los dos colectores de corriente que emana de la microbatería 1, y destinados a permitir la salida de la corriente generada por la microbatería hacia el exterior del ensamblaje. En el ejemplo, los dos conductores forman una espiral que rodea la microbatería 1.

Se ha representado en relación con la figura 1B en sección transversal el ensamblaje de la figura 1A. Se observa en ésta una cubierta de protección 9 sellada sobre el sustrato 3 en la periferia de la cavidad 2 que recibe la microbatería 1.

Este sellado interviene, de acuerdo con la invención, por una parte por las capas constitutivas de los colectores de corriente 4 y 5, y por otra parte por varias capas de preencapsulación respectivamente 6, 7 y 8, con una alternancia de las capas conductoras, constitutivas de los colectores de corriente y de las capas aislantes constitutivas de las capas de preencapsulación, como se puede observar en la figura 1B.

Con este fin, y como se describirá ulteriormente con mayor detalle, se deposita sobre la cubierta, previamente a su posicionado y por tanto a su sellado sobre el sustrato 3, una alternancia de dichas capas de tal manera que permitan su posicionado en la vertical de las capas dispuestas sobre el sustrato 3 cuando tiene lugar el ensamblaje propiamente dicho.

Debido a esta arquitectura particular, y en particular a la utilización de esta alternancia de capas aislantes y de capas conductoras, se aumenta de forma significativa el camino y por tanto la longitud de difusión de las entidades oxidantes susceptibles de alcanzar la microbatería, y en particular el oxigeno, el vapor de agua, incluso el nitrógeno. Se aumenta así de manera significativa la calidad del efecto barrera resultante de esta encapsulación.

Además, se llega, debido a esta doble naturaleza de sellado, respectivamente metal/metal y dieléctrico/dieléctrico, a una optimización de este efecto barrera, puesto que como se ha precisado en el preámbulo, el sellado metal/metal resulta más eficaz para luchar contra la intrusión de dichas entidades oxidantes. Además, un solo recocido térmico resulta suficiente para la realización del ensamblaje: las temperaturas utilizadas permiten a la vez la formación de un eutéctico y un pegado respectivamente en la zona metálica y dieléctrica del sellado.

Ventajosamente, y según una forma de realización representada en relación con las figuras 3A y 3B, se añade en el seno del ensamblaje, un getter 12, por ejemplo constituido a su vez por litio. Este getter se posiciona sobre la cara interna de la cubierta 9, previamente a su sellado sobre el sustrato 3. Con ello, es posible proceder a su activación térmica, sin correr el riesgo de afectar el apilamiento constitutivo de la microbatería.

Esta cantidad de litio suplementaria, constitutiva del getter, no está evidentemente destinada al funcionamiento de la microbatería 1. En contrapartida, la misma permite aumentar la duración de vida de dicha microbatería, debido a su consumo (su oxidación) por las entidades oxidantes en prioridad con respecto al consumo del litio constitutivo de dicha microbatería.

Así, con el fin de poder disponer de una duración de vida de diez años, conociendo la cinética de reacción de oxidación del litio, un espesor del getter 12 de 2 \mum es suficiente.

Por otra parte, conociendo la permeación del parileno, material ventajosamente constitutivo de la capa de preencapsulación, es decir de la capa dieléctrica que alterna con las capas de conductores metálicos, con el fin de poder garantizar una duración de vida de diez años de dicha microbatería, se debe poder disponer de un camino de difusión de aproximadamente 25 mm.

Ahora bien, en ciertos casos, se intenta reducir al máximo las dimensiones laterales de la microbatería, y por tanto del ensamblaje que la recibe, para permitir su integración en unos dispositivos también de volumen reducido.

Con este fin, según una variante de la invención, se añaden unas bandas de materiales conductores 10, 11, que inducen un aumento de longitud del camino de difusión de las entidades oxidantes.

Se han representado así en las figuras 2A, 2B y 2C esta difusión, simbolizada en cada una de estas figuras por una flecha. Se observa así que, añadiendo dichas bandas de materiales conductores 10, 11 que, como las constitutivas de los colectores eléctricos 4 y 5, se extienden entre el sustrato y la cubierta, de tal manera que no inducen cortocircuito entre los dos colectores 4 y 5, se crean unos laberintos que aumentan significativamente dicho camino de difusión (véanse las figuras 2B y 2C). Esta arquitectura permite conciliar la reducción del tamaño del ensamblaje, con la optimización del la duración de vida de la microbatería que integra.

Según una característica ventajosa de la invención, y con el fin de optimizar el comportamiento mecánico del ensamblaje y por tanto el sellado de la cubierta sobre el sustrato, se deposita previamente al depósito de la capa de material dieléctrico, en particular de parileno, una capa denominada de enganche (no representada), y por ejemplo de tipo organosiliciado. Este depósito se obtiene por la técnica PECVD ("Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition").

Algunas microbaterías son susceptibles de no comprender ningún ánodo metálico. Éstas se denominan comúnmente "Li free". En este caso, se deposita una capa de metal que bloquea el litio, pasando el litio entonces a depositarse sobre esta capa. Durante la carga, el litio migra desde el electrodo positivo hacia el metal, y pasa a electrodepositarse para formar una capa de litio que realiza la función de electrodo negativo. Durante la descarga, la migración se realiza en sentido contrario, a saber de la capa de litio electrodepositada hacia el electrodo positivo.

En esta hipótesis, es posible utilizar unas temperaturas más elevadas para asegurar la operación de sellado. Así, se puede recurrir a los pares binarios siguientes referidos en la tabla 1 siguiente:

1

tabla en la que PPX designa el parileno.

Según otra característica de la invención, se puede prever asimismo, de forma conocida, asegurar la conexión eléctrica de la microbatería 1 en la cara posterior del sustrato, tal como se ha representado en las figuras 4A y 4B. En ésta, los colectores eléctricos 13 y 14 atraviesan el sustrato de manera que pasan a conectarse sobre los bornes de conexión, por ejemplo de un microactivador que la microbatería está destinada a hacer funcionar. Esto no pone en modo alguno en cuestión el principio de sellado de la presente invención.

Se han representado en relación con la figura 5 diferentes etapas susceptibles de ser utilizadas para llegar al ensamblaje de acuerdo con la presente invención.

Figura 5A: se parte de un sustrato, por ejemplo constituido por silicio y eventualmente revestido con una capa de pasivación SiO_{2}+Si_{3}N_{4}.

Este sustrato es grabado, por ejemplo con potasa KOH, con el fin de definir una cavidad 2 destinada a recibir a continuación la microbatería propiamente dicha.

Figura 5B: unos colectores de corriente, por ejemplo constituidos por una capa Ti/Au (50/200 nm) son depositados a continuación por "patterning" (transferencia de motivos), realizado por ejemplo por enmascarado mecánico o por fotolitografía y después grabado, sobre el fondo de dicha cavidad, y en su periferia.

Figura 5C: cuando tiene lugar la etapa siguiente, se procede a un grabado del sustrato, por ejemplo mediante grabado iónico profundo, mediante grabado por haz de iones, mediante grabado húmedo de tipo KOH, que define un cierto número de gargantas destinadas a recibir ulteriormente el parileno, sin afectar sin embargo las zonas a nivel de las cuales se depositan los colectores.

Figura 5D: cuando tiene lugar la etapa siguiente, se procede entonces al depósito del apilamiento constitutivo de la microbatería propiamente dicha, por patterning, como se ha descrito más arriba.

Esta batería es por ejemplo del tipo TiOS (2 \mum)/Lipon (1,5 \mum)/Li (3 \mum). Alternativamente, esta microbatería puede ser LiCoO_{2} (2 \mum)/Lipon (1,5 \mum)/Ge (100 nm).

Figura 5E: se deposita entonces una capa de preencapsulación, constituida por parileno mediante PVD o CVD. Este depósito interviene por una parte en el seno de las gargantas realizadas cuando tiene lugar la etapa de la figura 5C, y por otra parte sobre la microbatería. Siendo este depósito conforme, los relieves son preservados.

Figura 5F: un pulido mecanoquímico se realiza sobre la superficie libre del sustrato, con el fin de hacer la superficie plana y poner a nivel las capas de parileno y de metal.

Figura 5G: se presenta a continuación la cubierta y se efectúa el sellado.

Unas operaciones idénticas se realizan asimismo sobre la cara interna de la cubierta 9, de tal manera que se hagan coincidir las zonas revestidas respectivamente de parileno y de material conductor con las zonas correspondientes del sustrato cuando tiene lugar el ensamblaje subsiguiente de dicha cubierta sobre el sustrato.

La cubierta puede estar constituida por un sustrato de silicio que comprende unas capas de parileno de 5 \mum de espesor y de indio de 1\mum, depositadas, como ya se ha mencionado, en la cara interna. El indio puede ser reemplazado por ejemplo por estaño.

El pegado se efectúa a 180ºC bajo una presión de 1,8 MPa durante 30 minutos en el caso de la utilización como apilamiento de TiOS (2 \mum) Lipon (1,5 \mum)/Li (3 \mum).

En el caso en que el apilamiento está constituido por LiCoO_{2} (2 \mum)/Lipon (1,5 \mum)/Ge (100 nm), es decir según la tecnología "Li free", el pegado se realiza mediante difusión en fase sólida In/Au a 240ºC hecho posible en este caso por la ausencia de litio metálico.

El procedimiento y el ensamblaje de la invención presentan un cierto número de ventajas con respecto al estado de la técnica anterior. Así, en particular en el marco de la realización de una microbatería que comprende un electrodo negativo de litio metálico, es decir con bajo punto de fusión y muy sensible a la atmósfera, la invención permite obtener:

\sqbullet: una batería protegida mecánicamente por una parte, y por otra parte con respecto a la atmósfera por una cubierta realizada en un material susceptible de ser seleccionado de entre un amplia gama: silicio, vidrio, cerámica ...

\sqbullet: el cerramiento puede ser realizado a baja temperatura, en cualquier caso compatible con la temperatura de fusión del litio y compatible con las tecnologías sobre sustratos flexibles, por ejemplo del tipo poliimida o polietilentereftalato (PET), o sobre sustratos duros adelgazados de tipo silicio;

\sqbullet: los materiales utilizados para el sellado presentan un efecto barrera eficaz en contra de las entidades oxidantes, susceptibles de optimizar la duración de vida de las microbaterías;

\sqbullet: el procedimiento de encapsulación permite además definir un volumen de expansión en la cavidad 2 que permite las modificaciones volumétricas relacionadas con el funcionamiento de la batería (ciclo de carga/descarga); además este volumen permite la utilización de un material getter, en particular sobre la cara interna de la cubierta, que permite absorber el oxigeno o la humedad susceptible de penetrar en la cavidad y corolariamente aumentar la duración de vida de la microbatería. Además, este material getter puede ser activado en caso necesario en temperatura antes de la etapa de pegado, puesto que está aun integrado en la cubierta.

Claims

1. Dispositivo electroquímico de litio que comprende un apilamiento de capas apropiadas para constituir una microbatería (1) depositado sobre un sustrato (3) y encapsulado por medio de una cubierta de protección (9) sellada sobre dicho sustrato, que comprende dos colectores (4, 5) de la corriente generada por la microbatería y por lo menos una capa aislante (6, 7, 8) inerte con respecto al litio, siendo dichos colectores y la o las capas aislantes depositados sobre dicho sustrato, caracterizado porque el sellado de la cubierta de protección (9) sobre el sustrato (3) se realiza por medio de las capas constitutivas de los colectores de corriente (4, 5) y de la o las capas aislantes (6, 7, 8), recibiendo dicha cubierta con este fin unas capas de igual naturaleza, posicionadas según el mismo orden en la vertical de las capas en cuestión depositadas sobre el sustrato, de manera que cuando tiene lugar el sellado de la cubierta sobre el sustrato, las capas respectivas depositadas sobre la cubierta y sobre el sustrato entran en contacto unas con otras para asegurar el sellado efectivo de la cubierta sobre el sustrato.

2. Dispositivo electroquímico de litio según la reivindicación 1, caracterizado porque el sellado de la cubierta de protección (9) sobre el sustrato (3) se realiza por medio de una doble barrera, constituida a la vez por el material aislante constitutivo de la o de las capas aislantes y por el material conductor constitutivo de los colectores de corriente.

3. Dispositivo electroquímico de litio según una de las reivindicaciones 1 y 2, caracterizado porque el sellado de la cubierta de protección (9) sobre el sustrato (3) es el resultado de una alternancia de bandas (6, 7, 8) realizadas en material aislante y de bandas (4, 5) realizadas en material conductor, siendo dichas bandas el resultado del sellado de las capas respectivamente dispuestas sobre el sustrato y sobre la cubierta.

4. Dispositivo electroquímico de litio según la reivindicación 3, caracterizado porque una (6) por lo menos de las bandas (6, 7, 8) realizadas en material aislante está definida y delimitada por dos bandas (4, 5) paralelas realizadas en material conductor.

5. Dispositivo electroquímico de litio según una de las reivindicaciones 3 y 4, caracterizado porque unas bandas suplementarias (10, 11) realizadas en material conductor se extienden entre el sustrato y la cubierta, de tal manera que alarguen el camino de difusión potencial de los gases externos y de la humedad en el seno del dispositivo.

6. Dispositivo electroquímico de litio según una de las reivindicaciones 1 a 5, caracterizado porque una capa de enganche se deposita previamente respectivamente sobre la cubierta y sobre el sustrato, antes del depósito de la o de las capas aislantes.

7. Dispositivo electroquímico de litio según la reivindicación 6, caracterizado porque la capa de enganche es de tipo organosiliciado y se obtiene mediante el depósito de capas delgadas según la tecnología CVD.

8. Dispositivo electroquímico de litio según una de las reivindicaciones 1 a 7, caracterizado porque comprende un getter (12), destinado a absorber el oxigeno y la humedad que llegara a penetrar en la cavidad definida por la cubierta de protección y el sustrato.

9. Dispositivo electroquímico de litio según la reivindicación 8, caracterizado porque el getter está constituido por litio metálico.

10. Dispositivo electroquímico de litio según una de las reivindicaciones 8 y 9, caracterizado porque se posiciona el getter sobre la cara interna de la cubierta de protección, previamente al sellado de esta última sobre el sustrato.