ES2326806T3 - Sustrato para estampadora y procedimiento para producir el mismo. - Google Patents

Sustrato para estampadora y procedimiento para producir el mismo. Download PDF

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F. Katsuki
K. Fukui
A. Kuroda
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Abstract

Un sustrato para una estampadora, que comprende una placa (1) de metal que tiene una superficie frontal y una superficie trasera, en el que se proporciona una capa (2) metálica de revestimiento sobre la superficie frontal o sobre la superficie trasera, o tanto sobre la superficie frontal como sobre la trasera, caracterizado porque el grado de impurezas con respecto a inclusiones no metálicas en dicha placa no es mayor que 0,05%.

Description

Sustrato para estampadora y procedimiento para producir el mismo.
Campo técnico
La presente invención se refiere a un sustrato para una estampadora que se usa para preparar una estampadora para duplicar una gran cantidad de discos ópticos, tales como CDs (discos compactos) y DVDs (discos digitales versátiles) así como a un método para la preparación de tal sustrato para una estampadora.
Antecedentes de la técnica
En los discos ópticos, tales como los CDs o los DVDs, se forman cavidades a escala submicrónica para grabar señales. Por lo tanto, la superficie de un sustrato para una estampadora requiere un grado extremadamente alto de lisura. Convencionalmente, con el fin de satisfacer este requisito, se hace crecer una película de níquel, sobre la superficie de un sustrato de vidrio que ha sido pulida como un espejo de acuerdo con un método de electroconformado, y mediante este modo, se prepara un sustrato que tiene un alto grado de lisura para una estampadora.
Sin embargo, el espesor de un sustrato para una estampadora es, en general, aproximadamente 300 \mum. Por consiguiente, según un método de electroconformado en el que se hace crecer una película de níquel con el fin de preparar un sustrato hecho de níquel para una estampadora, el consumo de energía eléctrica para hacer crecer la película de níquel hasta el espesor de aproximadamente 300 \mum, que es el espesor del sustrato para una estampadora, llega a ser demasiado grande, y, por tanto, este método no es preferible desde el punto de vista del coste de la preparación. Además, por medio del procedimiento de galvanoplastia se crea un líquido residual, lo cual no es deseable desde el punto de vista de un aumento del coste de procesado del líquido residual y de la protección del medioambiente.
Por lo tanto, con el fin de reducir el coste de la preparación se ha propuesto un método para preparar un sustrato para una estampadora en el que una placa metálica, por ejemplo una placa laminada, que ha sido preparada por medio del laminado de níquel o de una aleación de níquel (de aquí en adelante en la presente memoria denominada placa de níquel laminada) se corta hasta un tamaño predeterminado, la cual a continuación se pule.
El Documento 1 de Patente describe, por ejemplo, un método de preparación de un sustrato para una estampadora en el que se usa una placa de Ni laminada como el sustrato para una estampadora, y se realiza un procedimiento de pulido químico o mecánico sobre la superficie. Además, el Documento 2 de Patente describe un método de preparación de un sustrato para una estampadora en el que se realiza un procedimiento de pulido químico o mecánico sobre un material metálico que se separa de un fleje en forma de bobina por perforación con un punzón.
Documento 1 de Patente: Solicitud de Patente Japonesa dejada abierta nº 2002-355749.
Documento 2 de Patente: Solicitud de Patente Japonesa dejada abierta nº 2001-283475.
El documento JP 02043380 correspondiente al preámbulo de la reivindicación 1 describe una placa metálica revestida con una aleación de Ni-P como un sustrato para una estampadora. El documento DE 19919764A1 describe un sustrato para una estampadora fabricado de níquel, teniendo la placa de níquel un grado de impurezas de menos que 0,5%, la cual se reviste con platino al final de la formación de la estampadora. El documento US 4723903A describe una placa de Cr revestida con una película de Ni como un sustrato para una estampadora.
Descripción de la invención Problema a ser resuelto por la invención
Usualmente, tal placa metálica se prepara por medio de laminado en frío y recocido. Una placa metálica que ha sufrido tal procedimiento de preparación tiene los siguientes problemas.
Existe una inclusión no metálica dentro del material en un estado en el que una porción de la misma está expuesta en la superficie de la placa metálica. Por lo tanto, en el caso en el que se realice un procedimiento de revestimiento por galvanoplastia sobre la placa metálica, la conductividad eléctrica de la inclusión no metálica es baja y, por lo tanto, se produce el denominado defecto de formación de minúsculos agujeros. La ocurrencia de defectos por formación de minúsculos agujeros transforma en basta a la superficie del revestimiento por galvanoplastia y debilita la adhesión del revestimiento al material base, y, en casos extremos, hay un riesgo de que pueda producirse el pelado del revestimiento durante el procedimiento de pulido.
Usualmente, en una placa metálica que se prepara por laminado se produce una tensión residual. Por consiguiente, en el caso en el que sólo se pula una superficie, la tensión residual entre las dos superficies, la frontal y la trasera, no está equilibrada y surge un problema en el que la placa metálica se curva significativamente. Con el fin de impedir tal doblamiento, es deseable hacer la velocidad de reducción de la presión durante el laminado con rodillos de temple tan pequeña como sea posible y hacer que la presión en el momento del laminado sea uniforme usando un nivelador de tensión o dispositivo semejante. Sin embargo, simplemente con la medida anteriormente descrita para tratar con el problema es difícil impedir que se produzcan doblamientos después de que se haya realizado el procedimiento de pulido sobre la superficie de la placa metálica.
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Además, es necesario fijar la placa metálica a una platina con el fin de pulir la superficie en el procedimiento de preparación de un sustrato para una estampadora. Esto es lo mismo en el momento del moldeo por inyección de los CDs, DVDs y semejantes. En el caso en el que la placa metálica se fije a una platina, usualmente la placa metálica es aspirada y fijada sobre la superficie de la platina. Por consiguiente, hay problemas intrínsecos, tales como que la separación de la placa metálica de la platina después del procedimiento de pulido es difícil en el caso de que ningún doblamiento se haya producido en la placa metálica, mientras que la aspiración contra la platina se torna difícil en el caso en el que doblamiento de la placa metálica sea excesivo.
Además, con el fin de reducir el coste de la preparación del sustrato para una estampadora antes del procedimiento de pulido es preferible, como se describe en el Documento 1 de Patente, proceder al procedimiento de pulido inmediatamente después de que un tamaño predeterminado se haya separado por corte de una placa laminada de Ni que haya sido preparada por medio de laminado. Sin embargo, la tolerancia del espesor de la placa que se requiere para una estampadora es aproximadamente \pm 2%, al contrario que la tolerancia en el espesor de la placa de la placa laminada de Ni que ha sido preparada por laminado, la cual es aproximadamente \pm 10% a lo largo de toda su longitud. Por consiguiente, hay un problema porque es difícil usar la longitud total de una placa laminada de Ni como un sustrato para una estampadora, porque en el sustrato para una estampadora se requiere el mismo nivel de precisión que en la estampadora.
Es decir, como se muestra en la Fig. 1, llegaría el caso en que el espesor d1 de una placa 1 laminada de Ni es 310 \mum en una porción A mientras que el espesor d2 es 300 \mum en una porción B. En tal caso, el espesor de la placa laminada de Ni que ha sido cortada antes del procedimiento de pulido necesita ser 310 \mum, incluyendo los márgenes de pulido, cuando el espesor de la placa que se requiere para el sustrato para una estampadora es 300 \mum, y los márgenes de pulido en las dos superficies, frontal y trasera, son 10 \mum en total. Por consiguiente, puede fabricarse un sustrato para una estampadora que satisfaga el requisito (es decir, un espesor de 300 \mum y una tolerancia en el espesor de la placa de \pm 2%) a partir de la porción A, mientras que no puede fabricarse a partir de la porción B un sustrato para una estampadora que satisfaga el requisito. Como se describió anteriormente, en el caso en el que varios sustratos se corten en diferentes lugares de una lámina (o de una bobina) de una placa laminada de Ni, sólo puede fabricarse un sustrato para una estampadora que satisfaga los requisitos a partir de sustratos que se hayan cortado de lugares específicos, lo que hace difícil mantener un alto rendimiento en la preparación.
La presente invención se proporciona a la vista de la situación anteriormente descrita, y uno de sus objetos es proporcionar un sustrato para una estampadora en el que pueda mantenerse alto el grado de lisura sobre la superficie después del procedimiento de pulido, impidiendo que se produzcan los defectos por formación de minúsculos agujeros debidos a la inclusión de materiales no metálicos en el momento de un procedimiento de deposición de un metal por galvanoplastia.
Además, otro objeto de la presente invención es proporcionar un sustrato para una estampadora en el que sea fácil la separación de una platina después del procedimiento de pulido, y la aspiración contra la platina pueda realizarse sin fallo, provocando un doblamiento apropiado en la placa metálica.
Medio para resolver el problema
Con el fin de conseguir los objetos anteriormente descritos se proporciona un sustrato para una estampadora según las reivindicaciones adjuntas.
En el sustrato para una estampadora según la invención, el espesor de la película de revestimiento puede hacerse más pequeño en comparación con un caso en el que se genera una película gruesa de material metálico depositado por galvanoplastia según un método de electroconformado. Por consiguiente, pueden reducirse el consumo de energía eléctrica y el tiempo que se requiere para la preparación, y se hace posible reducir el coste de la preparación.
En el sustrato para una estampadora según la invención, la placa está fabricada de un metal en el que el espesor de la película metálica de revestimiento puede hacerse más pequeño en comparación con un caso en el que se genera una película gruesa de material metálico depositado por galvanoplastia según un método de electroconformado. Por consiguiente, pueden reducirse el consumo de energía eléctrica, el tiempo que se requiere para la preparación y la cantidad de suministros prescindibles que se usan para la deposición por galvanoplastia, y se hace posible reducir el coste de la preparación.
En el sustrato para una estampadora según la invención, el grado de pureza, que indica la relación en peso de una inclusión no metálica que existe en la placa metálica, no es mayor que 0,05%. Como resultado de esto, puede disminuirse la posibilidad de que una inclusión no metálica esté expuesta en la superficie, y se hace posible impedir que se produzcan defectos por formación de minúsculos agujeros en el caso en el que se realice la deposición de un metal por galvanoplastia.
En el sustrato para una estampadora según una realización de la invención, el doblamiento de la placa que ha sido cortada no es menor que 0,1 mm en el caso en el que la placa se corte en un tamaño predeterminado. Por consiguiente, se hace posible separar fácilmente la placa insertando un enganche o semejante entre la placa y la platina.
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Además, un sustrato para una estampadora según una realización de la invención, se caracteriza además porque la placa anteriormente descrita tiene al menos una composición principal como sigue: níquel puro, aleaciones de níquel, titanio puro, aleaciones de titanio, acero inoxidable, hierro, aleaciones de hierro, cobre puro, aleaciones de cobre, aluminio puro, aleaciones de aluminio, magnesio puro y aleaciones de magnesio.
En el sustrato para una estampadora según la invención, que usa un material metálico y una película metálica depositada por galvanoplastia, pueden esperarse los efectos anteriormente descritos.
Además, un sustrato para una estampadora según una realización de la invención, se caracteriza además porque se realiza un procedimiento de pulido sobre al menos una superficie sobre la cual se realiza el revestimiento de la placa anteriormente descrita.
En el sustrato para una estampadora según la invención, el espesor de la película de revestimiento puede ser más pequeño que en el caso en el que se genera una película gruesa de un metal depositado por galvanoplastia según un método de electroconformado. Por consiguiente, pueden reducirse el consumo de energía eléctrica, el tiempo que se requiere para la preparación y la cantidad de suministros prescindibles que se usan para la deposición por galvanoplastia, y se hace posible reducir el coste de la preparación.
El mejor modo de llevar a cabo la invención
En lo que sigue, la presente invención se describe concretamente con referencia a los dibujos que muestran sus realizaciones. La calidad del material de la placa no está particularmente limitada, y puede usarse cualquier material para permitir la adhesión de una película de revestimiento para fijar con suficiente resistencia la película de revestimiento para que no se separe por pelado durante el procedimiento de pulido después del procedimiento de
revestimiento.
Además, es deseable que el material a ser revestido por galvanoplastia sea una placa metálica y puede usarse una placa laminada, por ejemplo, una placa de níquel laminada, que se haya preparado según el procedimiento de laminado descrito más adelante. En la presente memoria, como material de la placa laminada puede usarse titanio, cobre, aluminio o semejantes, además de los anteriores, o puede ser una aleación, tal como acero inoxidable.
Una placa 1 de Ni laminada se prepara por medio de laminado en, por ejemplo, las siguientes condiciones. El níquel metal se funde, y después de eso se conforma en una plancha que tiene un espesor de 150 mm por medio de moldeo continuo, y esta plancha se lamina en caliente para que tenga un espesor de 4 mm. Además, se recuece a 720ºC y después de eso se lava con un ácido, de modo que la costra de óxidos se separe de la superficie, y después de eso se lamina en frío para que tenga un espesor de 0,3 mm, y entonces se recuece a 720ºC. Además, en el caso en el que el doblamiento de la placa llegue a ser un problema, puede añadirse una etapa de estiramiento de la placa en no más que 2%, o puede añadirse una etapa de laminar ligeramente la placa en no más que 1%.
Una placa 1 de Ni laminada que ha sido enrollada como una bobina que tiene una longitud de varios metros a varias decenas de metros y una anchura de 1 m a 2 m según el método de preparación anteriormente descrito tiene una distribución del espesor de la placa con una diferencia máxima de aproximadamente \pm10% en la dirección de la longitud y en la dirección de la anchura.
Un procedimiento, tal como cortar, se realiza por medio del procesado con una máquina conocida sobre la placa 1 de níquel laminada que ha sido preparada de esta manera, y de este modo, la placa 1 de níquel laminada se procesa en forma de un disco que tiene un diámetro D = aproximadamente 160 mm, según una estampadora para duplicar una gran cantidad de discos ópticos, tales como, por ejemplo, CDs o DVDs. La fig. 2(a) es un diagrama transversal que muestra la placa 1 de níquel laminada en forma de un disco que tiene un diámetro D = 160 mm. Aquí, el espesor de la placa es aproximadamente uniforme dentro del alcance del diámetro D = 160 mm que se usa como un sustrato para una estampadora.
A continuación, como se muestra en el diagrama transversal de la Fig. 2(b), se realiza la deposición de un revestimiento de Ni o de una aleación de Ni sobre la placa 1 de níquel laminada que ha sido procesada en forma de un disco que tiene un diámetro D = 160 mm. En el procedimiento de revestimiento por galvanoplastia la placa de Ni laminada que ha sido procesada en forma de disco se coloca en primer lugar sobre un gancho que ha sido fabricado de un alambre, y se realiza un tratamiento de conversión química que es un pre-procedimiento de la deposición de un revestimiento por galvanoplastia.
En este tratamiento de conversión química, la placa de níquel laminada se sumerge durante varios segundos en una disolución de hidróxido de sodio con una concentración en volumen de 5% después de un tratamiento de desengrase que usa, por ejemplo, acetona, y, subsiguientemente, un tratamiento por inmersión durante varios segundos en una disolución de ácido clorhídrico con una concentración en volumen de 5%.
La placa de Ni laminada que ha sido procesada en forma de disco y sobre la cual se ha realizado este tratamiento de conversión química se lava con agua pura, y después de eso se realiza un procedimiento de deposición de un revestimiento por galvanoplastia que se describe en detalle más adelante. El baño de revestimiento que se usa en el procedimiento de deposición de un revestimiento por galvanoplastia no está limitado a uno específico, y puede usarse un baño de revestimiento convencional. En el caso en el que se realice un revestimiento de Ni por galvanoplastia se usa, por ejemplo, un baño de ácido sulfámico o de Watts.
En el caso en el que, por ejemplo, se realice la deposición de un revestimiento de NiP por galvanoplastia, para tal baño de revestimiento se usa un depósito de revestimiento tal como acero SUS 316, el cual es químicamente estable, el cual se calienta a una temperatura predeterminada (usualmente 70ºC a 90ºC) por medio de un serpentín con vapor de agua o un calentador eléctrico que está instalado dentro del depósito. Aquí, con el fin de mantener una composición uniforme en el baño de revestimiento y una temperatura constante, es preferible agitar continuamente el interior del depósito por medio de la circulación con una bomba o un agitador.
Así, la placa de Ni laminada en forma de disco, sobre la cual se ha realizado un tratamiento de conversión química como se describió anteriormente, se cuelga del depósito de revestimiento en un estado en el que la placa de Ni laminada se coloca sobre el gancho, se sumerge en el depósito de revestimiento y se levanta en un momento apropiado cuando la capa 2 de revestimiento ha alcanzado un espesor predeterminado. En el caso del revestimiento de una aleación de NiP por galvanoplastia en el que se forma una película mediante un revestimiento por vía química, el espesor de la película revestida es proporcional al tiempo de inmersión en un depósito de revestimiento y, por lo tanto, las capas 2 de revestimiento que tienen un espesor de 1 \mum cada una pueden formarse tanto sobre la superficie frontal como sobre la trasera por medio de inmersión en el depósito de revestimiento durante cinco minutos en el caso en el que, por ejemplo, la velocidad de formación de la película a través del revestimiento a 80ºC sea 12 \mum/h.
El espesor de las capas 2 de revestimiento se determina teniendo en consideración los márgenes de pulido. La duración de la inmersión de la placa 1 de Ni laminada que ha sido procesada en forma de disco en el baño de revestimiento se determina según el espesor requerido de las capas 2 de revestimiento.
Aquí, es deseable que las capas 2 de revestimiento se revistan de un material metálico o de una aleación metálica que tenga un coeficiente de expansión lineal que sea el mismo que el de la placa metálica laminada. Cuando se prepara un disco óptico usando una estampadora sobre la cual se ha realizado el revestimiento de tal material se hace posible reducir problemas tales como la separación por pelado de la capa revestida debida a la diferencia de las propiedades termofísicas entre la placa metálica laminada y las capas de revestimiento.
Típicamente, puede realizarse el revestimiento con un metal, que tiene las mismas composiciones que las del material metálico de la placa metálica laminada, o el revestimiento con una aleación, que tiene la misma composición que las del material metálico de la placa metálica laminada. En el caso, por ejemplo, de una placa de Ni laminada, son deseables capas de revestimiento de níquel o capas de revestimiento de una aleación de níquel tal como níquel-fósforo, níquel-boro o níquel-cobalto. Aquí, en el caso de que el riesgo de que se produzca el pelado del revestimiento sea pequeño en el momento del procedimiento de pulido, las composiciones de las capas de revestimiento no están particularmente limitadas y el revestimiento puede realizarse según un método tal como deposición en fase de vapor, o puede formarse una capa de revestimiento según un método tal como el empastado.
Usualmente, en el material metálico existe una inclusión no metálica que carece de conductividad y hace mucho menor la humectabilidad con la disolución de revestimiento por galvanoplastia. Por consiguiente, en el caso en el que se realice un procedimiento de revestimiento por galvanoplastia sobre la superficie de una placa metálica que está fabricada de tal material metálico, se generan porciones en las que no se forma ninguna capa de revestimiento y que se denominan agujeros minúsculos. En el caso en el que se generen agujeros minúsculos, la aspereza de de la superficie no es suficientemente disminuida incluso cuando se realiza el procedimiento de pulido luego descrito sobre la superficie sobre la cual se ha realizado un procedimiento de revestimiento por galvanoplastia. Por consiguiente, la formación de puntos en el momento de la grabación de las señales se hace difícil y la placa metálica no puede usarse como una estampadora y, por lo tanto, es necesario impedir la formación de agujeros minúsculos.
Por lo tanto, en el caso en el que el procedimiento de pulido de superficies luego descrito se realice sobre la superficie sobre la cual se ha realizado un procedimiento de revestimiento por galvanoplastia, se examina cuanto fluctúa la aspereza de la superficie sobre la base del grado de pureza, el cual es la relación en peso de una inclusión no metálica que existe en el material metálico, cuando se cita un ejemplo de un material metálico de níquel puro.
Se recogieron muestras para examinar la aspereza de la superficie para cada grado de pureza de una plancha que se preparó por medio de moldeo por colada en continuo después de que se hubo fundido níquel puro en un horno eléctrico. Con el fin de tener una variedad en el grado de pureza que es la relación en peso de la inclusión no metálica existente, se recogieron muestras para examinar de tres porciones de la plancha que había sido preparada por moldeo por colada en continuo, en la vecindad de la superficie superior, en la vecindad del medio y en la vecindad de la posición final solidificada. En la vecindad de la posición final solidificada de la plancha, la concentración de la inclusión no metálica llegó a ser alta, y el grado de pureza llegó a ser alto (cuanto mayor es el grado de pureza, mayor es la relación de inclusión no metálica existente). En la vecindad del medio de la plancha la solidificación se produce a velocidad constante y, por lo tanto, la concentración de la inclusión no metálica se hace menor que en la vecindad de la posición final solidificada, y el grado de pureza se hace menor (cuanto menor es el grado de pureza, menor es la relación de inclusión no metálica existente).
A continuación, se recoge una plancha que se ha fundido secundariamente con el fin de reducir la concentración de la inclusión no metálica además de las muestras a examinar que han sido recogidas de la vecindad del centro en la dirección longitudinal de la plancha que se ha preparado por medio de un moldeo por colada en continuo. Concretamente, se recogió una muestra para examinar que tenía un diámetro de 100 mm y una longitud de 200 mm y se realizó a vacío un procedimiento de fusión VAR (fusión por arco).
Para la preparación de planchas estiradas en caliente que tenían un espesor de 60 mm y una anchura de 100 mm, se forjaron en caliente cuatro muestras para examinar, las cuales fueron la muestra para examinar después que se hubo realizado la fusión VAR, así como las muestras para examinar que se habían recogido de las tres porciones de la plancha que había sido preparada por medio de moldeo por colada en continuo, en la vecindad de la superficie superior, en la vecindad del centro y en la vecindad de la porción final solidificada. A continuación, se calentaron a 1200 grados, y después de eso se laminaron en caliente para tener un espesor de 4 mm, y así se recogieron placas laminadas en caliente como muestras para examinar.
Las placas laminadas en caliente que se habían recogido como muestras para examinar se recocieron a 750 grados, y después de eso la costra que se había formado sobre la superficie se separó por lavado con una sal fundida y un ácido. Después de eso, se realizó un recocido intermedio a 750 grados sobre las placas laminadas en caliente que tenían un espesor de 1 mm, y entonces se laminaron en frío para tener un espesor de 0,95 mm.
Se separaron por corte de las placas cuatro muestras en forma de disco que tenían un diámetro de 160 mm en un estado en el que se había realizado un laminado en frío, y se realizó un procedimiento de pulido. Se recogieron trozos de muestra de las posiciones de las muestras después del procedimiento de pulido que estaban a aproximadamente las porciones medias de un radio, es decir, posiciones que estaban aproximadamente 80 mm alejadas del centro, y se midió la aspereza de la superficie usando un microscopio de fuerzas atómicas. En el momento de la medida de la aspereza de la superficie, el objeto de la imagen que se tomó fue una sección de 100 \mum x 100 \mum, y se determinó que los trozos de muestra cuya aspereza media (Ra) fue superior a 10 nm eran defectos debidos al pulido. La Tabla 1 muestra la posición muestreada, el grado de pureza, el valor medio (Ra) de la aspereza de la superficie y la evaluación de cada trozo de muestra, y en el caso en el que se determine que un trozo de muestra es un defecto debido al pulido, se adjunta una marca x al artículo que se está evaluando.
TABLA 1
1
Aquí, la evaluación del grado de pureza en la Tabla 1 se realizó usando un método de cálculo de JISG0555. Como está claro a partir de la Tabla 1, en el caso en el que el grado de pureza de la inclusión no metálica en una muestra no sea mayor que 0,05%, la aspereza de la superficie Ra después del pulido satisface la condición de no ser mayor que 10 nm. Esto es porque, en el caso en el que el grado de pureza no sea mayor que 0,05%, el espesor de la placa metálica se hace tan delgado como 0,3 mm y, por lo tanto, la posibilidad de que exista una inclusión no metálica sobre la superficie del disco que tiene un diámetro de 150 mm es significativamente baja.
A continuación, como se muestra en el diagrama transversal de la Fig. 2(c), se llevan a cabo un procedimiento de pulido convencional y un procedimiento de pulido de la superficie trasera, o un procedimiento de pulido de las dos superficies cuando un procedimiento de pulido se realiza simultáneamente sobre ambas superficies, frontal y trasera, sobre una placa 1 de Ni laminada en forma de disco cuyo espesor de la capa 2 de revestimiento se ha ajustado ajustando la duración de la inmersión en un baño de revestimiento. Aquí, es suficiente que el procedimiento de pulido de la superficie trasera sea un procedimiento de pulido basto. Por consiguiente, se usa una cinta de rectificado a la cual se han fijado partículas abrasivas tales como alúmina blanca, y la superficie trasera se pule para tener una aspereza de la superficie de Ra = 0,05 \mum a 0,1 \mum.
En el procedimiento de pulido de la superficie es necesario formar cavidades a escala submicrónica para registrar señales en un disco óptico que se prepara usando el sustrato para una estampadora según la presente realización y, por lo tanto, es necesario pulir la placa en tal grado que no permanezca ningún arañazo de pulido o marca semejante. Por consiguiente, el pulido de acabado se realiza según, por ejemplo, un método de pulido químico mecánico y, así, el acabado de la superficie se realiza de tal manera que no permanezca ningún arañazo o marca semejante. El espesor final de la placa después del procedimiento de pulido llega aproximadamente a ser 300 \mum \pm 5 \mum.
En lo que sigue, el espesor de la placa se compara entre tres placas, una placa laminada de Ni, una placa en la que se ha realizado un procedimiento de pulido sobre una placa laminada de Ni sin revestir, y una placa en la que se ha realizado un procedimiento de pulido sobre una placa laminada de Ni después de ser revestida. Además, se evalúa la aspereza de la superficie de la placa en la que se ha realizado un procedimiento de pulido sobre una placa laminada de Ni después de ser revestida.
En primer lugar, en cuanto al espesor de la placa, la masa de placa laminada de Ni en forma de disco se divide entre la densidad del níquel para encontrar el volumen, y este volumen se divide entre el área del círculo y, de este modo, se encuentra y se evalúa un espesor medio. En cuanto a la densidad del níquel, se usa 8,904 g/cm^{3}, el cual es un valor bibliográfico.
La uniformidad del espesor de la placa se confirma midiendo la distribución del espesor de la placa con un instrumento de medida tal como un medidor de espesores de placa por ultrasonidos o un micrómetro. En el caso en el que la placa laminada de Ni esté, por ejemplo, en forma de un disco que tiene un diámetro D = 160 mm, la uniformidad se confirma midiendo el espesor de la placa en 17 lugares en total con separaciones de 10 mm a 20 mm, como se muestra mediante las marcas x en la Fig. 3.
En cuanto a la aspereza de la superficie, es necesario pulir la superficie en tal grado que no permanezca ningún arañazo o marca semejante en la etapa final y, por lo tanto, el estado acabado se confirma comprobando la lisura y la existencia de arañazos sobre la superficie. Concretamente, el estado de la superficie se observa con un microscopio de fuerzas atómicas, y se evalúa la aspereza Ra de la superficie.
La Fig. 4 es un diagrama transversal que muestra la estructura de la película de revestimiento de una aleación de níquel-fósforo (NiP) que ha sido formada sobre la placa laminada de Ni. A partir de la fig. 4 puede verse que sobre la superficie de la placa laminada de Ni se forma una película de revestimiento que tiene un espesor uniforme. Aquí, la película de revestimiento de la Fig. 4 se forma por inmersión en un baño de revestimiento durante dos horas, y el espesor dm de la película de revestimiento ha alcanzado aproximadamente 24 \mum.
La Fig. 5 es un diagrama que muestra la distribución del espesor de la película de la placa laminada de Ni antes del procedimiento de pulido y de la placa laminada de Ni en la que se ha realizado un procedimiento de pulido directamente sin estar revestida. El eje longitudinal muestra el espesor de la placa (\mum) y el eje lateral muestra el desplazamiento (mm) en la dirección del diámetro siendo el centro del círculo cero. La distribución del espesor de la placa laminada de Ni antes del procedimiento de pulido es 305 \mum \pm 3 \mum como se muestra mediante las marcas o en la Fig. 5, y puede verse que se exhibe una alta uniformidad en un alcance de un diámetro D = 160 mm.
La distribución del espesor de la placa de tal placa laminada de Ni sin estar revestida después de que se haya realizado el procedimiento de pulido se muestra mediante las marcas + en la Fig. 5. Aunque se ve un ligero desplazamiento hacia arriba y hacia abajo debido al procedimiento de pulido, la diferencia máxima del espesor de la película es 5 \mum. Sin embargo, el margen total de pulido para pulir las superficies frontal y trasera es aproximadamente 10 \mum y, por lo tanto, la placa se pule para que tenga la distribución de espesores mostrada por las marcas + en la Fig. 5, en el caso en el que el procedimiento de pulido se realice de tal manera que una porción en la que el espesor de la placa es más pequeño que el alcance de 300 \mum \pm 5 \mum (porción sombreada de la Fig. 5) que se requiere para el sustrato final para una estampadora, es decir, surge un problema cuando puede ocurrir el caso que la placa no pueda usarse como sustrato para una estampadora.
La Fig. 6 es un diagrama que muestra la distribución de espesores de la placa de la placa laminada de Ni antes del procedimiento de revestimiento, la placa laminada de Ni después de que se haya realizado el procedimiento de revestimiento y de la placa laminada de Ni cuando se ha realizado un procedimiento de pulido después del procedimiento de revestimiento. De la misma manera que la Fig. 5, el eje longitudinal muestra el espesor de la placa (\mum) y el eje lateral muestra el desplazamiento (mm) en la dirección del diámetro siendo el centro del círculo cero. La distribución del espesor de la placa de la placa laminada de Ni antes del procedimiento de pulido se muestra mediante las marcas o en la Fig. 6, la cual es aproximadamente la misma, 303 \mum \pm 3 \mum, que la mostrada mediante las marcas o en la Fig. 5, y puede verse que se exhibe una alta uniformidad dentro de un alcance de un diámetro D = 160 mm.
Se realiza un procedimiento de revestimiento sobre tal placa laminada de Ni para el revestimiento que tiene un espesor de 7 \mum tomando en consideración un margen de pulido de 10 \mum. Se forman capas de revestimiento tanto sobre la superficie frontal como la trasera de la placa laminada de Ni y, por lo tanto, puede realizarse un procedimiento de revestimiento sobre la placa laminada de Ni para el revestimiento que tiene un espesor de 3,5 \mum. En el caso del revestimiento de aleación de NiP anteriormente descrito, se sumerge una placa laminada de Ni sobre la que se ha realizado un tratamiento de conversión química en un baño de revestimiento durante 17 a 18 minutos. La distribución del espesor de la placa después de la inmersión de la placa laminada de Ni en un baño de revestimiento se muestra mediante las marcas \Delta en la Fig. 6. Como está claro a partir de la Fig. 6, las capas de revestimiento se forman mientras se mantiene la uniformidad del espesor de la placa.
Además, la distribución del espesor de la placa en el caso en el que se realice un procedimiento de pulido después de que se haya realizado un procedimiento de revestimiento sobre la placa laminada de Ni se muestra mediante las marcas x en la Fig. 6. Aunque se ve un ligero desplazamiento hacia arriba y hacia abajo debido al procedimiento de pulido de la misma manera que las marcas + en la Fig. 5, la diferencia máxima del espesor de la película no es mayor que 5 \mum. Además, se ha realizado un tratamiento de conversión química y, por lo tanto, la adhesión de las capas de revestimiento a la placa laminada de Ni es fuerte y no se observa ninguna separación local por pelado de las capas de revestimiento debido al procedimiento de pulido.
El margen total de pulido para pulir las superficies frontal y trasera es aproximadamente 10 \mum, y en el caso de las marcas x en la Fig. 6, el espesor llega a ser del alcance de 300 \mum \pm 5 \mum (porción sombreada de la Fig. 6) que se requiere para el sustrato final para una estampadora incluso cuando se ha realizado el procedimiento de pulido, y así puede verse que la placa puede usarse como el sustrato para una estampadora. Por consiguiente, por medio del procedimiento de revestimiento se aumenta el espesor de la placa a lo largo de la totalidad del sustrato que ha sido cortado y, de este modo, se hace posible usar como un sustrato para una estampadora un sustrato de cualquier porción de la placa laminada de Ni de la que se haya cortado el sustrato.
La Fig. 7 es una imagen tomada con un microscopio de fuerzas atómicas de la superficie de una placa laminada de Ni en el caso en el que el acabado de la superficie se realice por medio de un procedimiento de pulido químico mecánico sobre una placa laminada de Ni sobre la cual se ha realizado un procedimiento de revestimiento. A partir de la Fig. 7, está claro que la superficie de la placa laminada de Ni es extremadamente lisa, y puede verse que no se ha generado ningún arañazo por pulido que pueda tener el riesgo de provocar un problema en el momento de grabar la señal.
Aquí, en cuanto a la aspereza de la superficie, se calcula una aspereza media aritmética Ra sobre la base de la imagen tomada con el microscopio de fuerzas atómicas (20 x 20 \mum^{2}) para encontrar que la aspereza de la superficie Ra de la placa laminada de Ni según el método de preparación de un sustrato para una estampadora según la presente realización es aproximadamente 0,8 nm y tiene un acabado preciso de la superficie que es suficiente para el sustrato para una estampadora.
En la presente realización, aunque el revestimiento se realiza tanto sobre la superficie frontal como trasera de la placa metálica laminada que se ha cortado al tamaño de una estampadora y el espesor de esta placa metálica laminada se ajusta proporcionando capas de revestimiento, pueden esperarse los mismos efectos cuando el espesor de esta placa metálica laminada se ajusta realizando un procedimiento de revestimiento sobre cada superficie, frontal y trasera, para proporcionar una capa de revestimiento sólo sobre una de las superficies.
Aquí es necesario fijar la placa metálica (laminada) a una platina del molde en el momento de masterizar o en el momento de la formación del disco en el caso en el que la placa metálica se use como un sustrato para una estampadora. Usualmente, la placa metálica se fija a la platina del molde según un método de succión a vacío. Sin embargo, se hace necesario un ligero hueco entre la platina del molde plana y la placa metálica con el fin de fijar la placa metálica a la platina del molde según el método de succión a vacío. Es decir, la placa metálica a usar como un sustrato para una estampadora está en forma de disco y se hace necesario que la forma tenga una forma convexa, la cual se muestra hacia arriba cuando se coloca sobre la platina del molde. Es decir, escapa aire de la porción debajo del disco de la cual se eleva el centro de la platina del molde debido a la forma convexa y, de este modo, la placa metálica en forma de disco se fija a la platina del molde. En la presente realización, la placa metálica se curva apropiadamente y, de esta forma, se consigue la forma convexa para que cuando se coloque se eleve de la platina del molde.
Sin embargo, en el caso en el que la placa metálica se curve ligeramente surge un problema en el que la separación después de la succión se hace difícil incluso aunque sea posible fijar la placa metálica a la platina del molde según un método de succión a vacío. Por lo tanto, se examinó la facilidad de separación después de la succión sobre la base del grado de doblamiento.
Concretamente, en el caso en el que un extremo de una placa metálica, que ha sido procesada para que la periferia externa tenga un diámetro de 160 mm, se fije a una platina del molde, si es o no posible fijar la placa metálica a la platina del molde según un método de succión a vacío y si es o no posible separar la placa metálica después de la succión, se confirmó sobre la base del tamaño del doblamiento cuando la distancia entre el otro extremo de la placa metálica y la platina del molde es el tamaño del doblamiento. La Tabla 2 es una tabla que muestra los resultados de confirmación de si es o no posible fijar la placa metálica a la platina del molde según el método de succión a vacío sobre la base del tamaño del doblamiento, y si es o no posible separar la placa metálica después de la succión. En la Tabla 2, las marcas o indican que es posible fijar la placa metálica a la platina del molde según el método de succión a vacío y que es posible separar la placa metálica después de la succión, mientras que la marca x indica que la placa metálica no puede fijarse a la platina del molde según el método de succión a vacío y que no puede separarse después de la succión.
TABLA 2
2
\vskip1.000000\baselineskip
Como está claro a partir de la Tabla 2, en el caso en el que el doblamiento sea más pequeño que 0,1 mm, el hueco entre la porción de la placa metálica que se eleva de la platina del molde debido a la forma convexa y la platina del molde es más pequeño que 0,1 mm y, por lo tanto, puede verse que es difícil separar la placa metálica insertando un enganche o dispositivo semejante en el hueco incluso cuando se inyecta un gas en este hueco después de la succión.
Mientras tanto, el valor límite superior de doblamiento depende de la lisura de la platina del molde, la eficacia de la succión y variables semejantes. La placa metálica se curva regulando aproximadamente condiciones tales como el sistema de rodillos de temple y el nivelador de tensión, y realizando un procedimiento de revestimiento sobre la superficie de la placa metálica que se ha curvado y, después de eso, se realiza un procedimiento de pulido sólo sobre la porción revestida y, de este modo, se consigue la facilidad de separación a la vez que se mantiene la curvatura de la placa metálica.
Aquí, las condiciones tales como el sistema de rodillos de temple y el nivelador de tensión no están particularmente limitadas, y pueden regularse apropiadamente la velocidad de reducción de la presión, las condiciones de lubricación, los diámetros de los rodillos y las velocidades periféricas de los rodillos superior e inferior en el sistema de rodillos de temple así como los diámetros de los rodillos y la tensión en el nivelador de tensión, para conseguir el doblamiento que se diseña en la presente realización.
Breve descripción de los dibujos
La Fig. 1 es un diagrama que muestra la distribución del espesor de la placa de una placa de Ni laminada según la técnica anterior;
Las Figs. 2(a) a 2(c) son diagramas que muestran un método de preparación de un sustrato para una estampadora según una realización de la presente invención;
La Fig. 3 es un diagrama que muestra un método para confirmar la distribución del espesor de la placa de una placa de Ni laminada;
La Fig. 4 es un diagrama transversal que muestra la estructura de una película de revestimiento de una aleación de NiP que ha sido formada sobre una placa de Ni laminada;
La Fig. 5 es un diagrama que muestra la distribución del espesor de la placa de una placa de Ni laminada según la técnica anterior;
La Fig. 6 es un diagrama que muestra la distribución del espesor de la placa de una placa de Ni laminada según una realización de la presente invención; y
La Fig. 7 es un diagrama que Muestra una imagen tomada con un microscopio de fuerzas atómicas de una placa de Ni laminada según una realización de la presente invención.
Explicaciones de los símbolos
1
Placa de Ni laminada
2
Capas de revestimiento.

Claims (4)

1. Un sustrato para una estampadora, que comprende una placa (1) de metal que tiene una superficie frontal y una superficie trasera, en el que se proporciona una capa (2) metálica de revestimiento sobre la superficie frontal o sobre la superficie trasera, o tanto sobre la superficie frontal como sobre la trasera, caracterizado porque el grado de impurezas con respecto a inclusiones no metálicas en dicha placa no es mayor que 0,05%.
2. Un sustrato para una estampadora según la reivindicación 1, en el que dicha placa (1) de metal tiene como su composición principal al menos uno de los siguientes: níquel puro, aleaciones de níquel, titanio puro, aleaciones de titanio, acero inoxidable, hierro, aleaciones de hierro, cobre puro, aleaciones de cobre, aluminio puro, aleaciones de aluminio, magnesio puro y aleaciones de magnesio.
3. Un sustrato para una estampadora según la reivindicación 1 ó 2, en el que al menos una capa (2) metálica de revestimiento tiene una superficie pulida expuesta.
4. Un sustrato para una estampadora según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 3, en el que la placa (1) de metal tiene una curvatura, curvatura medida como un hueco entre un primer extremo de la placa y una platina del molde, siendo el hueco no menor que 0,1 mm, y en el que además el hueco es el resultado de que un segundo extremo de la placa opuesto al primer extremo sea fijado a la platina del molde.
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