EP2430375A2 - Vakuumkollektorröhre und verfahren zur herstellung einer solchen vakuumkollektorröhre - Google Patents

Vakuumkollektorröhre und verfahren zur herstellung einer solchen vakuumkollektorröhre

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EP2430375A2
EP2430375A2 EP10726882A EP10726882A EP2430375A2 EP 2430375 A2 EP2430375 A2 EP 2430375A2 EP 10726882 A EP10726882 A EP 10726882A EP 10726882 A EP10726882 A EP 10726882A EP 2430375 A2 EP2430375 A2 EP 2430375A2
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vacuum collector
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collector tube
tco layer
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Lorenz AÉ
Martha Christina Lux-Steiner
Yang Tang
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Helmholtz Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie GmbH
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Definitions

  • the invention relates to a vacuum collector tube for the coupling of sunlight, comprising at least two concentrically arranged in one another tubes, which form a closed space which is evacuated, and a method for producing such a vacuum collector tube.
  • Vacuum collector tubes should couple light as efficiently as possible, convert it into heat and dissipate the generated heat into a heat transfer medium.
  • Vacuum collector tube described with the above features. It is stated that the outer wall of the inner tube is provided with a selective, light-absorbing coating. In this case, the heat transfer from the absorbent layer on the outside of the inner tube takes place on the directly on the inside of the inner tube bypassing the heat transfer medium.
  • DE 100 33 240 A1 describes a vacuum tube for solar energy systems, which has an evacuated, transparent cylinder with a partial reflection, in which at least one absorber tube is arranged offset against the mirroring to the center of the transparent cylinder. In addition, at least one Absorber flag to be arranged on the absorber tube. This arrangement is intended to realize an improved solar yield. Information on the absorber layer was not made.
  • the absorption coating of a conventional vacuum tube collector generally consists of three different functional layers: a metallic infrared reflecting layer, a sunlight absorbing layer and an antireflective layer.
  • the metallic infrared-reflecting layer is intended to reduce the heat emission.
  • the antireflection coating reduces the
  • the solar energy absorbed by the absorption layer is directed into the water contained in a glass tube through the infrared reflecting metal layer and the glass.
  • Nanotubes use a two-step process in which a uniform seed layer is first deposited by means of ALD (Atomic Layer Deposition) on an arbitrary substrate on which two-dimensional ZnO nanorods are then grown in an aqueous solution.
  • ALD Atomic Layer Deposition
  • the object of the invention is now to provide a further vacuum collector tube with a light incidence independent of the angle of incidence of the sunlight, which is less expensive to produce, and a method for this purpose.
  • the inner tube is designed to be light-absorbing in a vacuum collector tube of the type mentioned at the beginning, and a TCO layer is arranged on the outside thereof and a layer of vertically free-standing ZnO nanorods is arranged thereon.
  • the inner absorbent Tube with the TCO layer and the free-standing ZnO nanorods according to the invention forms the selective absorber of the vacuum tube. This selective absorber has high absorption and low emission.
  • the system of freestanding ZnO nanorods for light coupling shows high transmission for sunlight and low global reflection.
  • the sunlight is coupled directly into the absorbing tube and the heat is transferred to the water located in the inner tube.
  • This system acts as a sunlight-selective absorber element for a vacuum tube collector.
  • the underlying TCO layer acts as an infrared-reflecting layer and thus reduces the emission of thermal radiation.
  • the sunlight is coupled directly into the inner tube, which may be formed of black, sunlight-absorbing glass, or of a thin black plastic tube or metal tube with a thin light-absorbing layer applied thereto.
  • the inner tube which may be formed of black, sunlight-absorbing glass, or of a thin black plastic tube or metal tube with a thin light-absorbing layer applied thereto.
  • black glass since the heated glass gives off the heat to the water inside the tube. So there is no further absorber layer as required in the conventional vacuum tube collector, since the inner light-absorbing tube has a high absorption and takes over the function of the light absorber.
  • Embodiments of the invention relate first to the TCO layer and the ZnO nanorods.
  • the thickness of the TCO layer deposited on the outside of the inner tube is 40 to 4,000 nm.
  • the ZnO nanorods have a diameter of 30 to 500 nm and a length of 100 to 3,000 nm. Their distance from one another is in the nm range and is in particular from a few 10 nm to a few 100 nm. It has proven advantageous to form the ZnO nanorods in the shape of a needle and to leave them in a pointed truncated cone.
  • Another embodiment provides that an additional TCO layer is applied to the outer tube, which is transparent, on the outside in order to reduce the emission of heat radiation from the vacuum collector tube.
  • an additional TCO layer is applied to the outer transparent tube inside.
  • the material for these TCO layers is selected from FTO, ITO or ZnO: metal, the thickness of the additional TCO layers is 20 to 3,000 nm.
  • the vacuum collector tube according to the invention with the selective absorber, formed from the inner tube coated with a TCO layer and having ZnO nanorods thereon, can be used in both rod-shaped and U-shaped collector systems and interconnected by known means.
  • the inventive method for producing the described vacuum collector tube is described in claim 11.
  • the inner glass tube is first provided with a TCO layer before concentric placement with the outer transparent tube and then a layer of vertically free standing ZnO nanorods is applied thereto by means of electrodeposition, wherein in a standard three-electrode reactor from an aqueous solution a Zn-SaIz and a dopant for the nanostructured ZnO is used, this solution is filled in the tube provided with the TCO layer inside and with application of a potential and setting a deposition temperature of below 90 0 C on the tube located in the aqueous solution with the electrically conductive TCO layer nanostructured ZnO material is deposited.
  • Zn (NO 3 ) 2 is used as the Zn salt.
  • concentration of the salt is 1 to 20 mM / l.
  • HNO 3 or NH 4 NO 3 or NH 3 dissolved in water is used as the dopant.
  • the molar ratio of Zn (NO 3 ) 2 and HNO 3 in the solution is about 100: 1 and of Zn (NO 3 ) 2 and NH 4 NO 3 from 1: 1 to 130: 1.
  • a potential is set against the Pt reference electrode to a value between -1, 2 V and -1, 8 V and the deposition temperature between 60 0 C and 90 0 C, the temperature over a period of a few minutes to 20 h is maintained. It has proved advantageous if the solution is stirred during the deposition.
  • inexpensive ZnO nanorods of high crystal quality can be deposited on the inner glass tube of the vacuum collector tube over a large area by electrochemical means.
  • the method also allows the shape, diameter and length of the ZnO nanorods to be varied without effect on their optical properties, depending on the process parameters.
  • FIG. 1 schematic representation of an arrangement according to the invention
  • 2 shows a schematic representation of a second arrangement according to the invention
  • FIG. 3 shows a schematic representation of a third arrangement according to the invention.
  • a vacuum collector tube VR consists of at least two concentrically arranged tubes, usually glass tubes, which form a closed space which is evacuated.
  • the inner tube Rj is formed of black glass having a thickness of 0.2 to 3 mm.
  • a TCO layer TCOj of a thickness of 40 to 4,000 nm and a layer of vertically free-standing ZnO nanorods NR are arranged.
  • the ZnO nanorods have a diameter of 30 to 500 nm and a length of 100 to 3,000 nm.
  • the outer tube is transparent and here, for example, formed as a glass tube and designated R 3 .
  • the tube Ri with the TCO layer TCOi and the ZnO nanorod NR forms the selective absorber sA of the vacuum tube.
  • FIG. 2 in contrast to Fig. 1, an additional TCO layer TCO z i applied to the outer tube R a outside with a thickness of 20 to 3000 nm, which is intended to reduce the emission of heat radiation from the selective absorber sA.
  • Fig. 3 shows schematically an embodiment of the invention, in which an additional TCO layer TCOz 2 on the outer tube R a inside - again applied with a thickness of 20 to 3000 nm.
  • the TCO layer TCOz 2 acts as an infrared reflector, which retains the heat inside the collector.

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Abstract

Zur Verbesserung der Lichteinkopplung wird eine Vakuumkollektorröhre angegeben, die mindestens zwei konzentrisch ineinander angeordnete Röhren aufweist, die einen geschlossenen Raum bilden, der evakuiert ist, und auf der inneren Röhre außen eine TCO-Schicht und darauf eine Schicht aus vertikal freistehenden ZnO-Nanostäbchen angeordnet ist und die innere Röhre mit der TCO-Schicht und den ZnO-Nanostäbchen den selektiven Absorber der Vakuumkollektorröhre bildet. Auf die mit bekannten Mitteln aufgebrachte TCO-Schicht werden die ZnO-Nanostäbchen mittels Elektrodeposition abgeschieden.

Description

Bezeichnung
Vakuumkollektorröhre und Verfahren zur Herstellung einer solchen Vakuumkollektorröhre
Beschreibung
Die Erfindung betrifft eine Vakuumkollektorröhre zur Einkopplung von Sonnenlicht, mindestens aufweisend zwei konzentrisch ineinander angeordnete Röhren, die einen geschlossenen Raum bilden, der evakuiert ist, sowie ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Vakuumkollektorröhre.
Vakuumkollektorröhren sollen möglichst effizient Licht einkoppeln, in Wärme umwandeln und die erzeugte Wärme in ein Wärmeträgermedium ableiten.
Dem Stand der Technik nach sind unterschiedliche Lösungen bekannt, wie die Lichteinkopplung in den Absorber einer Vakuumkollektorröhre weiter verbessert werden kann.
Beispielsweise wird in DE 298 01 531 U1 eine doppelwandige
Vakuumkollektorröhre mit den oben genannten Merkmalen beschrieben. Es wird ausgeführt, dass die äußere Wandung der inneren Röhre mit einer selektiven, lichtabsorbierenden Beschichtung versehen ist. Dabei erfolgt der Wärmeübergang von der absorbierenden Schicht auf der Außenseite der inneren Röhre auf das direkt an der Innenseite der inneren Röhre vorbeiströmende Wärmeträgermedium.
In DE 100 33 240 A1 wird eine Vakuumröhre für Solarenergieanlagen beschrieben, die einen evakuierten, transparenten Zylinder mit einer teilweisen Verspiegelung aufweist, in dem mindestens ein Absorberrohr entgegen der Verspiegelung versetzt zum Mittelpunkt des transparenten Zylinders angeordnet ist. Außerdem kann auch mindestens eine Absorberfahne an dem Absorberrohr angeordnet sein. Diese Anordnung soll einen verbesserten solaren Ertrag realisieren. Angaben zur Absorberschicht wurden nicht gemacht.
Auf der Internetseite der Firma ESTEC. Energiespartechnik GmbH sowie im Informationsblatt der Firma Optimuzz 7lslas S. L. wird erwähnt, dass die hochselektive Absorberbeschichtung im Inneren des Vakuumreinraumes auf die Glasoberfläche mittels Sputtern aufgebracht wurde. Im Inneren der Röhre ist ein 360° gerollter Kupferabsorber direkt anliegend an der Wand angeordnet, wodurch ein guter Wärmeübergang des Glases auf den Absorber realisiert werden soll. Durch den rundumlaufenden Absorber und einen dahinterliegenden Spiegel aus hochglanzeloxiertem Aluminium ist der Einstrahlwinkel unabhängig, wodurch die Lichteinkopplung verbessert wird.
Die bekannten Lösungen zur Lichteinkopplung brachten zwar eine
Verbesserung, jedoch sind diese nur mit technischem Aufwand zu realisieren.
In den letzten Jahren wurden Nanostrukturen verschiedener Materialien auf ihre Eigenschaften und ihre Anwendungsmöglichkeiten untersucht.
In Nano Lett., Vol. 8, No. 5, 2008, 1501 -1505 wird über ZnO-Nanostrukturen, gewachsen auf einer auf einem Substrat angeordneten Keimschicht aus einer Lösung bei niedrigen Temperaturen, als effiziente Antireflexionsschichten in Solarzellen berichtet, um die Lichteinkopplung in die aktive Region des Bauelements zu verbessern.
In NREL/TP-520-31267, JuIy 2002, Technical Report „Review of Mid- to High- Temperature Solar Selective Absorber Materials", sind selektiv Sonnenlicht transmittierende Beschichtungen auf einem Schwarzkörper ähnlichem Absorber beschrieben, die aus hochdotierten Halbleitermaterialien, beispielsweise SnO2:F, SnO2:Sb, ln2SO3:Sn oder ZnO:AI, gebildet sind. Weiterhin wird beschrieben, dass die Absorptionsbeschichtung eines konventionellen Vakuumröhrenkollektors im Allgemeinen aus drei verschiedenen funktionalen Schichten besteht: einer metallischen infrarotreflektierende Schicht, einer Sonnenlicht absorbierenden Schicht und einer Antireflexschicht. Die metallische infrarotreflektierende Schicht soll die Wärmeemission vermindern. Die Antireflexschicht vermindert die
Reflexionsverluste. Die Sonnenenergie, die von der Absorptionsschicht absorbiert wurde, wird in das Wasser, das sich in einer Glasröhre befindet, durch die infrarotreflektierende Metallschicht und das Glas geleitet.
In Chem. Mater. 2005, 17, 1001 -1006 wird zur Herstellung von ZnO-
Nanoröhren ein zweistufiger Prozess angewendet, bei dem zunächst eine gleichmäßige Keimschicht mittels ALD (Atomic Layer Deposition) auf ein beliebiges Substrat abgeschieden wird, auf der anschließend in einer wässrigen Lösung zweidimensionale ZnO-Nanostäbchen aufgewachsen werden.
Ein einstufiges Verfahren zur Herstellung von ZnO-Nanostäbchen mit hohem inneren Quantenwirkungsgrad mittels Elektrodeposition in wässriger Lösung aus Zn(NO3)2 und HNO3 ist in Appl. Phys. Lett. 92, 161906 (2008) beschrieben.
Aufgabe der Erfindung ist es nun, eine weitere Vakuumkollektorröhre mit einer vom Einstrahlwinkel des Sonnenlichts unabhängigen Lichteinkopplung anzugeben, die weniger aufwändig in ihrer Herstellung ist, sowie ein Verfahren hierzu.
Die Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
Dabei ist bei einer Vakuumkollektorröhre der eingangs genannten Art erfindungsgemäß die innere Röhre lichtabsorbierend ausgebildet und auf dieser außen eine TCO-Schicht und darauf eine Schicht aus vertikal freistehenden ZnO-Nanostäbchen angeordnet. Die innere absorbierende Röhre mit der TCO-Schicht und den freistehenden ZnO-Nanostäbchen bildet erfindungsgemäß den selektiven Absorber der Vakuumröhre. Dieser selektive Absorber weist eine hohe Absorption und eine geringe Emission auf.
Das System aus freistehenden ZnO-Nanostäbchen zur Lichteinkopplung zeigt hohe Transmission für Sonnenlicht und geringe globale Reflexion. Das Sonnenlicht wird direkt in die absorbierende Röhre eingekoppelt und die Wärme an das Wasser, das sich in der inneren Röhre befindet, übertragen. Dieses System fungiert als sonnenlichtselektives Absorberelement für einen Vakuumröhrenkollektor.
Mit der erfindungsgemäßen Anordnung wird eine Lösung angegeben, mit der die oben erwähnte Schichtenfolge metallische infrarotreflektierende Schicht, eine Sonnenlicht absorbierende Schicht und eine Antireflexschicht weniger aufwändig ersetzt werden kann.
Neben den bereits erwähnten Eigenschaft einer hohen Transmission und einer geringen Emission der freistehenden ZnO-Nanostäbchen wirkt die darunterliegende TCO-Schicht als infrarotreflektierende Schicht und vermindert damit die Emission von Wärmestrahlung.
Bei dieser Erfindung wird das Sonnenlicht direkt in die innere Röhre, die aus schwarzem, Sonnenlicht absorbierenden Glas oder aus einem dünnen schwarzen Plastikrohr oder einem Metallrohr mit aufgebrachter dünner lichtabsorbierender Schicht ausgebildet sein kann, eingekoppelt. Besonders vorteilhaft ist die Verwendung von Schwarzglas, da das erhitzte Glas die Wärme an das Wasser im Inneren der Röhre abgibt. Es ist also keine weitere Absorberschicht wie im konventionellen Vakuumröhrenkollektor erforderlich, da die innere lichtabsorbierende Röhre eine hohe Absorption aufweist und die Funktion des Lichtabsorbers übernimmt. Ausführungsformen der Erfindung beziehen sich zunächst auf die TCO- Schicht und die ZnO-Nanostäbchen.
Es ist vorgesehen, dass die Dicke der außen auf die innere Röhre aufgebrachten TCO-Schicht 40 bis 4.000 nm beträgt.
Bezüglich der ZnO-Nanostäbchen ist vorgesehen, dass diese einen Durchmesser von 30 bis 500 nm und eine Länge von 100 bis 3.000 nm aufweisen. Ihr Abstand zueinander liegt im nm-Bereich und beträgt insbesondere einige 10 nm bis einige 100 nm. Als vorteilhaft hat sich erwiesen, die ZnO-Nanostäbchen nadeiförmig auszubilden und in einem spitzen Kegelstumpf auslaufen zu lassen.
Eine andere Ausführungsform sieht vor, dass auf die äußere Röhre, die transparent ist, außen eine zusätzliche TCO-Schicht aufgebracht ist, um die Emmission von Wärmestrahlung aus der Vakuumkollektorröhre zu verringern.
Mit der Funktion eines Infrarot-Reflektors ist in einer weiteren Ausführungsform auf die äußere transparente Röhre innen eine zusätzliche TCO-Schicht aufgebracht.
Das Material für diese TCO-Schichten ist ausgewählt aus FTO, ITO oder ZnO:Metall, die Dicke der zusätzlichen TCO-Schichten beträgt 20 bis 3.000 nm.
Die erfindungsgemäße Vakuumkollektorröhre mit dem selektiven Absorber, gebildet aus der inneren Röhre, die beschichtet ist mit einer TCO-Schicht und darauf angeordnet ZnO-Nanostäbchen aufweist, kann sowohl in stabförmigen als auch in U-fömigen Kollektorsystemen eingesetzt und mit bekannten Mitteln miteinander verbunden werden. Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung der beschriebenen Vakuumkollektorröhre ist in Anspruch 11 beschrieben.
Entsprechend wird die innere Glasröhre vor dem konzentrischen Anordnen mit der äußeren transparenten Röhre zunächst mit einer TCO-Schicht versehen und anschließend darauf eine Schicht aus vertikal freistehenden ZnO-Nanostäbchen mittels Elektrodepsosition aufgebracht wird, wobei in einem standardgemäßen Drei-Elektroden-Reaktor eine wässrige Lösung aus einem Zn-SaIz und einem Dotiermittel für das nanostrukturierte ZnO verwendet wird, diese Lösung in die mit der TCO-Schicht innen versehene Röhre eingefüllt und bei Anlegen eines Potentials und Einstellen einer Depositionstemperatur von unterhalb 90 0C auf der in der wässrigen Lösung befindlichen Röhre mit der elektrisch leitenden TCO-Schicht nanostrukturiertes ZnO-Material abgeschieden wird.
In Ausführungsformen hierzu ist vorgesehen, dass als Zn-SaIz Zn(NO3)2 verwendet wird. Die Konzentration des Salzes beträgt 1 bis 20 mM/l.
In einer anderen Ausführungsform wird als Dotiermittel HNO3 oder NH4NO3 oder NH3 gelöst in Wasser verwendet. Dabei beträgt das molare Verhältnis von Zn(NO3)2 und HNO3 in der Lösung ca. 100 : 1 und von Zn(NO3)2 und NH4NO3von 1 : 1 bis 130 : 1.
Während der Abscheidung wird ein Potential gegen die Pt-Referenzelektrode auf einen Wert zwischen -1 ,2 V und -1 ,8 V und die Depositionstemperatur zwischen 60 0C und 90 0C eingestellt, wobei die Temperatur über eine Dauer von einigen min bis 20 h aufrecht erhalten wird. Vorteilhaft hat sich erwiesen, wenn die Lösung während der Deposition gerührt wird.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren können kostengünstig ZnO- Nanostäbchen hoher Kristallqualität auf elektrochemischem Wege großflächig auf die innere Glasröhre der Vakuumkollektorröhre abgeschieden werden. Das Verfahren gestattet auch in Abhängigkeit der Verfahrensparameter die Form, den Durchmesser und die Länge der ZnO-Nanostäbchen ohne Effekt auf ihre optischen Eigenschaften zu variieren.
Die Erfindung wird nun in folgenden Ausfϋhrungsbeispielen näher erläutert.
Dabei zeigen
Fig. 1 : schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Anordnung; Fig. 2: schematische Darstellung einer zweiten erfindungsgemäßen Anordnung;
Fig. 3: schematische Darstellung einer dritten erfindungsgemäßen Anordnung.
Prinzipiell besteht eine Vakuumkollektorröhre VR mindestens aus zwei konzentrisch ineinander angeordneten Röhren, meistens Glasröhren, die einen geschlossenen Raum bilden, der evakuiert ist.
In Fig. 1 ist die innere Röhre Rj ist aus Schwarzglas mit einer Dicke von 0,2 bis 3 mm gebildet. Auf dieser Röhre Rj ist außen eine TCO-Schicht TCOj einer Dicke von 40 bis 4.000 nm und eine Schicht aus vertikal freistehenden ZnO-Nanostäbchen NR angeordnet. Die ZnO-Nanostäbchen haben einen Durchmesser von 30 bis 500 nm und eine Länge von 100 bis 3.000 nm. Die äußere Röhre ist transparent und hier beispielsweise als Glasröhre ausgebildet und mit R3 bezeichnet. Die Röhre Ri mit der TCO-Schicht TCOi und den ZnO-Nanostäbchen NR bildet den selektiven Absorber sA der Vakuumröhre.
In Fig. 2 ist im Unterschied zu Fig. 1 eine zusätzliche TCO-Schicht TCOzi auf die äußere Röhre Ra außen mit einer Dicke von 20 bis 3.000 nm aufgebracht, die die Emission der Wärmestrahlung aus dem selektiven Absorber sA verringern soll. Fig. 3 zeigt schematisch eine Ausführung der Erfindung, bei der eine zusätzliche TCO-Schicht TCOz2 auf die äußere Röhre Ra innen - wiederum mit einer Dicke von 20 bis 3.000 nm aufgebracht ist. Bei dieser Ausführung fungiert die TCO-Schicht TCOz2 als Infrarot-Reflektor, der die Wärme im Inneren des Kollektors behält.

Claims

Patentansprüche
1. Vakuumkollektorröhre zur Einkopplung von Sonnenlicht, mindestens aufweisend zwei konzentrisch ineinander angeordnete Röhren, die einen geschlossenen Raum bilden, der evakuiert ist, dadurch gekennzeichnet, dass auf der inneren Röhre (Rj) außen eine TCO-Schicht (TCOj) und eine Schicht aus vertikal freistehenden ZnO-Nanostäbchen (NR) angeordnet ist und die Röhre (Ri) mit der TCO-Schicht (TCOj) und den ZnO-Nanostäbchen (NR) den selektiven Absorber der Vakuumkollektorröhre (VR) bildet.
2. Vakuumkollektorröhre nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die innere Röhre (Rj) aus Schwarzglas oder aus einem dünnen schwarzen Plastikrohr oder einem Metallrohr mit aufgebrachter dünner lichtabsorbierender Schicht gebildet ist.
3. Vakuumkollektorröhre nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die TCO-Schicht (TCOi) eine Dicke von 40 bis 4.000 nm aufweist.
4. Vakuumkollektorröhre nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die ZnO-Nanostäbchen (NR) einen Durchmesser von 30 bis 500 nm und eine Länge von 100 bis 3.000 nm aufweisen.
5. Vakuumkollektorröhre nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die ZnO-Nanostäbchen (NR) zueinander einen Abstand im Nanometer- Bereich aufweisen, insbesondere von einigen 10 nm bis einige 100 nm.
6. Vakuumkollektorröhre nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die ZnO-Nanostäbchen (NR) nadeiförmig ausgebildet sind und in einem spitzen Kegelstumpf auslaufen.
7. Vakuumkollektorröhre nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass auf die äußere Röhre (Ra), die transparent ist, außen eine zusätzliche TCO- Schicht (TCOzi ) aufgebracht ist.
8. Vakuumkollektorröhre nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass auf die äußere Röhre (Ra), die transparent ist, innen eine zusätzliche TCO- Schicht (TCOz2) aufgebracht ist.
9. Vakuumkollektorröhre nach Anspruch 1 und/oder 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Material für die TCO-Schicht (TCOzi, TCOz2) ausgewählt ist aus FTO, ITO oder ZnO:Metall ist.
10. Vakuumkollektorröhre nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der zusätzlichen TCO-Schicht (TCOzi, TCOz2) 20 bis 3.000 nm beträgt.
11. Verfahren zur Herstellung einer Vakuumkollektorröhre nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 10, mindestens umfassend die Verfahrensschritte konzentrisches Anordnen zweier Röhren unterschiedlicher Durchmesser, Verschließen dieser Röhren und Evakuieren des gebildeten Zwischenraumes, dadurch gekennzeichnet, dass die innere lichtabsorbierende Röhre vor dem konzentrischen Anordnen mit der äußeren transparenten Röhre zunächst mit einer TCO-Schicht versehen und anschließend darauf eine Schicht aus vertikal freistehenden ZnO- Nanostäbchen mittels Elektrodeposition aufgebracht wird, wobei in einem standardgemäßen Drei-Elektroden-Reaktor eine wässrige Lösung aus einem Zn-SaIz und einem Dotiermittel für das nanostruktuherte ZnO verwendet wird, diese Lösung in die mit der TCO-Schicht innen versehene Röhre eingefüllt und bei Anlegen eines Potentials und Einstellen einer Depositionstemperatur von unterhalb 90 0C auf der in der wässrigen Lösung befindlichen Röhre mit der elektrisch leitenden TCO-Schicht nanostruktu heiles ZnO-Material abgeschieden wird.
12. Verfahren nach Anspruch 11 , dadurch gekennzeichnet, dass als innere lichtabsorbierende Röhre eine Röhre aus Schwarzglas oder aus einem dünnen schwarzen Plastikrohr oder einem Metallrohr mit aufgebrachter dünner lichtabsorbierender Schicht verwendet wird.
13. Verfahren nach Anspruch 11 , dadurch gekennzeichnet, dass als Zn-SaIz Zn(NO3)2 verwendet wird.
14. V erfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass
Zn(NO3)2 in einer Konzentration von 1 bis 20 mM/l verwendet wird.
15. Verfahren nach Anspruch 11 , dadurch gekennzeichnet, dass als Dotiermittel HNO3 oder NH4NO3 oder NH3 gelöst in Wasser verwendet wird.
16. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass eine Lösung aus Zn(NO3)2 und HNO3 in einem molaren Verhältnis von ca. 100 : 1 verwendet wird.
17. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass eine Lösung aus Zn(NO3)2 und NH4NO3 Jn einem molaren Verhältnis von 1 : 1 bis 130 : 1 verwendet wird.
18. Verfahren nach Anspruch 11 , dadurch gekennzeichnet, dass ein Potential gegen die Pt-Referenzelektrode auf einen Wert zwischen -1 ,2 V und -1 ,8 V eingestellt wird.
19. Verfahren nach Anspruch 11 , dadurch gekennzeichnet, dass die Depositionstemperatur zwischen 60 0C und 90 0C eingestellt und über eine Dauer von einigen min bis 20 h aufrecht erhalten wird.
20. Verfahren nach Anspruch 11 , dadurch gekennzeichnet, dass die Lösung während der Deposition gerührt wird.
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