EP1090231B1 - Reibungsvakuumpumpe mit chassis, rotor und gehäuse sowie einrichtung, ausgerüstet mit einer reibungsvakuumpumpe dieser art - Google Patents

Reibungsvakuumpumpe mit chassis, rotor und gehäuse sowie einrichtung, ausgerüstet mit einer reibungsvakuumpumpe dieser art Download PDF

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EP1090231B1
EP1090231B1 EP99917896A EP99917896A EP1090231B1 EP 1090231 B1 EP1090231 B1 EP 1090231B1 EP 99917896 A EP99917896 A EP 99917896A EP 99917896 A EP99917896 A EP 99917896A EP 1090231 B1 EP1090231 B1 EP 1090231B1
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EP
European Patent Office
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housing
pump
pump according
stator
tie
Prior art date
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EP99917896A
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French (fr)
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EP1090231A1 (de
EP1090231B2 (de
Inventor
Ralf Adamietz
Christian Beyer
Günter Schütz
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Leybold GmbH
Original Assignee
Leybold Vakuum GmbH
Leybold Vacuum GmbH
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Application filed by Leybold Vakuum GmbH, Leybold Vacuum GmbH filed Critical Leybold Vakuum GmbH
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08—Centrifugal pumps
    • F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/602—Mounting in cavities

Definitions

  • the invention relates to a turbomolecular vacuum pump with the characteristics of the generic term of the Patent claim 1, and a corresponding device with the features of the preamble of claim 19.
  • DE-A-43 14 419 discloses various friction vacuum pumps (Turbomolecular pumps, pumps with turbomolecular pump stages and other friction pump stages) a type known as z. Zt. Is common and on offered to the market. You own a chassis that equipped with the drive motor and on the itself the rotor is supported. In addition, the housing is supported the pump on the chassis. It surrounds the rotor and the stator and also more or less the chassis. The Housing secures the assignment of said components to each other. Furthermore, it has the task of Stator Halbring discs and spacer rings existing stator center exactly, so that with friction vacuum pumps necessary small column to be adhered to can. The housing seals the vacuum pump to the outside down.
  • a turbomolecular vacuum pump with the features of The preamble of claim 1 is known from DE-A-34 02 549 known.
  • the first inner component is a tie rod system, that only has the task, stator components to hold together.
  • the present invention is based on the object the adaptation of turbomolecular vacuum pumps to the Variety of applications specified by the customers to simplify.
  • the friction vacuum pump 1 according to FIG 1 three pumping stages 12, 13, 14, two of which (12, 13) as turbomolecular vacuum pumping stages and one (14) as Molecular (Holweck) pumping stage are formed. To the Molecular pumping stage 14 joins the outlet of the Pump 17 on.
  • the pump 1 is provided with two housings 18, 19 equipped.
  • the inner housing 18 is substantially cylindrical and surrounds the stator 3.
  • On his high-vacuum-side end face is with one inside directed edge 20 equipped, the stator 3 and in this case at the same time the upper one Stator ring forms.
  • the housing 18th attached to the chassis 5, with the help of the flange 21.
  • Flange 21 and chassis 5 are vacuum-tight connected with each other. This is between the flange 21st and the chassis 5, the sealing ring 21 'is arranged.
  • the outer housing 19 has an inner bore 22 with an inward grading 23, whose height the width of the rim 20 corresponds to the first housing 18.
  • a seal 24 which expedient in the front side of the housing 18 is inserted.
  • a radial Sealing is possible.
  • the housing 19 a device, e.g. the flange 25, with which it is attached to the chassis 5 or on the housing 18 is. After loosening this attachment, the from the inner housing 18 and the components therein formed unit as a whole from the bore 22nd be taken out. It forms one of the second housing 19 independent slot 27.
  • the first, high vacuum side pump stage 12 is of four pairs of rotor blade rows and stator blade rows. Your inlet, the effective gas passage area, is designated 26.
  • the rim 20 surrounds the gas passage area 26 and forms a passage opening 28 for entering the pump 1 gases.
  • the second closes Pump stage 13, consisting of three pairs of one stator blade row and a rotor blade row. Your inlet is designated 29.
  • the second pumping stage 13 is from the first pumping stage 12 spaced.
  • the selected distance (height) a secures the free accessibility of the gas molecules to be pumped Gas inlet 29.
  • the distance a is greater than a quarter, preferably greater than one third of the Diameter of the rotor system 4.
  • the adjoining Holweck pump includes one rotating cylinder section 30, the outside and inside in a known manner, each with a thread groove 31, 32 equipped stator elements 33, 34 facing.
  • Another, formed by the inner housing 18 opening is arranged laterally and designated 35. She is used for the passage of gases directly to the Inlet 29 of the second pumping stage 13 are supplied.
  • the outer housing 19 has the task of the pump 1 and two pump stages (12, 13) of this pump with the device of the customer.
  • the housing 19 is formed in the embodiment of Figure 1 in such a way that the levels of all the connection openings 36, 37 are located laterally. This is especially true the distance of the opening 37 to the associated gas inlet 29 very small, so the pumping speed of the pumping stage 13 impairing conductance losses negligible are. This would also for any further intermediate connection apply downstream of the intermediate connection 37/29 would be located. Otherwise, the diameter exceeds the connection opening 37, the height a by about the Double. This measure also serves to reduce the conductance losses between inlet 29 and port 37.
  • the side connection openings can be equipped with one flange each. In the embodiment according to Figure 1 is a common Flange 39 is provided.
  • the illustrated pump 1 or its pump-effective elements are expediently designed such that in the region of the connection opening 36 a pressure of 10 -4 to 10 -7 , preferably 10 -5 to 10 -6 , and im Area of the connection opening 37, a pressure of about 10 -2 to 10 -4 mbar is generated.
  • a high pumping speed is to be generated (eg 200 l / s).
  • the subsequent, two-stage Holweck pumping stage (29, 30, 29, 31) ensures a high prevacuum resistance, so that usually the pumping speed of the second pumping stage is independent of the fore-vacuum pressure.
  • FIG. 2 shows a single-flow friction vacuum pump 1, their pump-active surfaces exclusively of stator blades 41 and rotor blades 42 are formed (Turbomolecular vacuum pump).
  • the second, outer housing 19 carries frontally the flange 43, which is the front side arranged connecting opening 44 surrounds. To one Pump 1 of this type with a different type of flange and / or flange size, it is only necessary to dismantle the outer housing 19 and to be replaced by a housing 19 with the desired flange.
  • FIG. 3 shows a device 51 according to the invention with chambers to be evacuated 52, 53, 54 and a push-in Unit 27, as described for Figure 1 has been.
  • the housing of the device e.g. a particle beam device - Is essentially in one piece formed and designated 55.
  • the essence of the present idea is that a largely functional unit (inset, cartridge) a friction vacuum pump in one of the application adapted housing is releasably supported. That so far described inner housing 18 has the task, the Function elements of the friction vacuum pump to the desired Unit to summarize. Instead of the housing Other components - e.g. Tie rods, brackets or the like - be present who fulfill this task. It is essential that for the fulfillment of the Functions of the usual housing in the subject the invention provides two components 18 and 19,55 are.
  • the two components of two are concentric Housing formed, of which the inner of the centering, Assignment and mounting of chassis 5, stator 3 and rotor 4 is used, which thereby the already operational, form independent drawer from the outer casing.
  • the outer housing 19, 55 seals the vacuum pump to the outside and serves to connect with those to be evacuated Chambers, whether via connecting flanges or in that it already forms part of the facility with the chambers to be evacuated.
  • tie rod system It is particularly useful in the inner slot the to replace inner housings with a tie rod system. This allows a more compact design of the interior Slot. In addition, held together by the tie rod system Components are made easier. For example, the tie rods take over the centering of stator rings, so that they themselves are no longer with Centering must be equipped.
  • FIGS. 4 and 5 show exemplary embodiments (FIG 4: longitudinal section through an insert 27; FIG. 5: Cross section through a slot 27 at the level of the opening 35) for an inner drawer 27 with a tie rod system 61.
  • This comprises three to six (or more) tie rods 62 as well as holes and threads in the components (Chassis 5, stator 3) coming from the tie rod system 61 a unit to be joined together.
  • Figures 4 and 5 show that the opening 35 extends over the entire circumference of the insert 27 and only interrupted by the tie rods 62.
  • the access of the gas molecules to the inlet 29 of the pumping stage 13 is characterized almost unhindered free.
  • FIG. 4 makes the structure particularly advantageous Recognize tie rod 62. They are designed in two parts.
  • the pre-vacuum side tie rod sections 63 with their heads 64 pass through the stator of the pumping stage 13 and the outer stator element 33 of the pumping stage 14. Their threaded ends are in the Screwed flange 21 of the chassis 5.
  • the length of the Heads 64 determines the axial extent of the opening 35.
  • Heads 64 each provided with an internal thread, in the respective high-vacuum-side tie rod sections 65 can be screwed.
  • Their heads 66 are the highest Statorring the pumping stage 13 on. In other enforce they cause the stator rings of the pumping stage 12 and thereby not only one in the screwed state Connection of the high vacuum 12 with the rest Stages 13 and 14 but also a centering of Stator.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Turbomolekularvakuumpumpe mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentanspruchs 1, sowie eine entsprechende Einrichtung mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentanspruchs 19.
Aus der DE-A-43 14 419 sind verschiedene Reibungsvakuumpumpen (Turbomolekularpumpen, Pumpen mit Turbomolekularpumpenstufen und anderen Reibungspumpenstufen) mit einer Bauart bekannt, wie sie z. Zt. üblich ist und auf dem Markt angeboten wird. Sie besitzen ein Chassis, das mit dem Antriebsmotor ausgerüstet ist und auf dem sich der Rotor abstützt. Außerdem stützt sich das Gehäuse der Pumpe auf dem Chassis ab. Es umgibt den Rotor und den Stator und auch mehr oder weniger das Chassis. Das Gehäuse sichert die Zuordnung der genannten Bauteile zueinander. Weiterhin hat es die Aufgabe, den aus Statorhalbring-Scheiben und Distanzringen bestehenden Stator exakt zu zentrieren, damit die bei Reibungsvakuumpumpen notwendigen kleinen Spalte eingehalten werden können. Das Gehäuse dichtet die Vakuumpumpe nach außen hin ab. Schließlich ist es mit dem stirnseitig angeordneten Anschlussflansch ausgerüstet, mit dem die Reibungsvakuumpumpen an Einrichtungen mit zu evakuierenden Kammern angeschlossen werden. Da es unterschiedliche Flanscharten und Flanschgrößen gibt, ist es für den Hersteller von Reibungsvakuumpumpen notwendig, eine Vielzahl von Reibungsvakuumpumpen-Typen herzustellen und bereitzuhalten, um sämtliche Applikationswünsche der Kunden erfüllen zu können.
Eine Turbomolekularvakuumpumpe mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentanspruchs 1 ist aus der DE-A-34 02 549 bekannt. Das erste innere Bauteil ist ein Zugankersystem, das nur die Aufgabe hat, Statorbauteile zusammen zu halten.
Zum Stand der Technik gehört schließlich noch der Inhalt der US-Patentschriften 19 42 139 und 19 75 568 aus dem Jahre 1934. Sie offenbaren keine Turbomolekularvakuumpumpe der hier betroffenen Art.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Anpassung von Turbomolekularvakuumpumpen an die Vielfalt der durch die Kunden vorgegebenen Applikationen zu vereinfachen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die kennzeichnenden Merkmale der Patentansprüche gelöst. Durch die Anwendung dieser Merkmale wird es möglich, die eingangs beschriebenen Funktionen des bisher üblichen, einteiligen Gehäuses auf zwei Bauteile zu verteilen. Das innere Bauteil sichert die Zuordnung der einzelnen Bauteile der Vakuumpumpe zueinander. Dadurch entsteht eine Turbomolekularvakuumpumpe in Form eines Einschubs, die bereits vielen Funktionsprüfungen, z.B. der des Auswuchtens, unterworfen werden kann. Das äußere Gehäuse hat die Aufgabe, die auch ohne äußeres Gehäuse funktionstüchtige Molekularvakuumpumpe an die Applikation des Kunden anzupassen. Es ist nicht mehr erforderlich, eine Vielfalt von Pumpentypen herzustellen oder bereitzuhalten, sondern lediglich eine oder wenige universelle, kompakte und funktionsfähige Pumpeinheiten (Einschübe, Kartuschen) sowie die den jeweiligen Kundenapplikationen angepassten äußeren Gehäuse.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von den Figuren 1 bis 5 dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert werden. Es zeigen
  • Figur 1 eine mit drei Pumpstufen ausgerüstete Reibungsvakuumpumpe nach der Erfindung,
  • Figur 2 eine Turbomolekularvakuumpumpe nach der Erfindung,
  • Figur 3 eine mit einer Reibungsvakuumpumpe nach der Erfindung ausgerüstete Einrichtung und
  • Figuren 4 und 5 Schnitte durch eine Ausführung des Einschubs mit Zugankern.
In Figur 1 ist eine Reibungsvakuumpumpe 1 mit Stator 3, Rotor 4 und Chassis 5 dargestellt. Im Chassis 5 befindet sich der Motorantrieb 6, 7, dessen Anker 7 sich über die Lager 8 im Chassis 5 abstützt. Mit dem Anker 7 ist die aus dem Chassis 5 herausgeführte Welle 9 verbunden, die den Rotor 4 trägt. Die Drehachse des Rotorsystems ist mit 11 bezeichnet.
Insgesamt besitzt die Reibungsvakuumpumpe 1 nach Figur 1 drei Pumpstufen 12, 13, 14, von denen zwei (12, 13) als Turbomolekularvakuumpumpstufen und eine (14) als Molekular(Holweck)-Pumpstufe ausgebildet sind. An die Molekularpumpstufe 14 schließt sich der Auslass der Pumpe 17 an.
Erfindungsgemäß ist die Pumpe 1 mit zwei Gehäusen 18, 19 ausgerüstet. Das innere Gehäuse 18 ist im wesentlichen zylindrisch und umgibt den Stator 3. Auf seiner hochvakuumseitigen Stirnseite ist es mit einem nach innen gerichteten Rand 20 ausgerüstet, der dem Stator 3 aufliegt und in diesem Falle gleichzeitig den oberen Statorring bildet. Vorvakuumseitig ist das Gehäuse 18 am Chassis 5 befestigt, und zwar mit Hilfe des Flansches 21. Flansch 21 und Chassis 5 sind vakuumdicht miteinander verbunden. Dazu ist zwischen dem Flansch 21 und dem Chassis 5 der Dichtring 21' angeordnet.
Das äußere Gehäuse 19 besitzt eine innere Bohrung 22 mit einer einwärts gerichteten Stufung 23, deren Höhe der Breite des Randes 20 am ersten Gehäuse 18 entspricht. Zwecks Abdichtung des Spaltes zwischen den beiden Gehäusen 18, 19 zur Hochvakuumseite der Pumpe 1 hin befindet sich zwischen deren Rand 20 und der Stufung 23 eine Dichtung 24, die zweckmäßig in die Stirnseite des Gehäuses 18 eingelassen ist. Auch eine radiale Abdichtung ist möglich. Vorvakuumseitig besitzt auch das Gehäuse 19 eine Vorrichtung, z.B. den Flansch 25, mit dem es am Chassis 5 oder auch am Gehäuse 18 befestigt ist. Nach dem Lösen dieser Befestigung kann die vom inneren Gehäuse 18 und den darin befindlichen Bauteilen gebildete Einheit als Ganzes aus der Bohrung 22 herausgenommen werden. Sie bildet einen vom zweiten Gehäuse 19 unabhängigen Einschub 27.
Die erste, hochvakuumseitig gelegene Pumpstufe 12 besteht aus vier Paaren von Rotorschaufelreihen und Statorschaufelreihen. Ihr Einlass, die wirksame Gasdurchtrittsfläche, ist mit 26 bezeichnet. Der Rand 20 umgibt die Gasdurchtrittsfläche 26 und bildet eine Durchtrittsöffnung 28 für in die Pumpe 1 eintretenden Gase. An die erste Pumpstufe 12 schließt sich die zweite Pumpstufe 13 an, die aus drei Paaren von je einer Statorschaufelreihe und einer Rotorschaufelreihe besteht. Ihr Einlass ist mit 29 bezeichnet.
Die zweite Pumpstufe 13 ist von der ersten Pumpstufe 12 beabstandet. Der gewählte Abstand (Höhe) a sichert die freie Zugänglichkeit der zu fördernden Gasmoleküle zum Gaseinlass 29. Zweckmäßig ist der Abstand a größer als ein Viertel, vorzugsweise größer als ein Drittel des Durchmessers des Rotorsystems 4.
Die sich daran anschließende Holweck-Pumpe umfasst einen rotierenden Zylinderabschnitt 30, dem außen und innen in bekannter Weise mit jeweils einer Gewindenut 31, 32 ausgerüstete Statorelemente 33, 34 gegenüberstehen.
Eine weitere, vom inneren Gehäuse 18 gebildete Öffnung ist seitlich angeordnet und mit 35 bezeichnet. Sie dient dem Durchtritt von Gasen, die unmittelbar dem Einlass 29 der zweiten Pumpstufe 13 zugeführt werden.
Das äußere Gehäuse 19 hat die Aufgabe, die Pumpe 1 bzw. zwei Pumpenstufen (12, 13) dieser Pumpe mit der Einrichtung des Kunden zu verbinden. Das Gehäuse 19 ist beim Ausführungsbeispiel nach Figur 1 derart ausgebildet, dass sich die Ebenen sämtlicher Verbindungsöffnungen 36, 37 seitlich befinden. Dadurch ist insbesondere der Abstand der Öffnung 37 zum zugehörigen Gaseinlass 29 sehr klein, so dass das Saugvermögen der Pumpstufe 13 beeinträchtigende Leitwertverluste vernachlässigbar sind. Dieses würde auch für jeden weiteren Zwischenanschluss gelten, der stromabwärts vom Zwischenanschluss 37/29 gelegen wäre. Im übrigen überschreitet der Durchmesser der Anschlussöffnung 37 die Höhe a um etwa das Doppelte. Auch diese Maßnahme dient der Verringerung der Leitwertverluste zwischen Einlass 29 und Anschlussöffnung 37. Die seitlichen Verbindungsöffnungen können mit je einem Flansch ausgerüstet sein. Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 1 ist ein gemeinsamer Flansch 39 vorgesehen.
Die dargestellte Pumpe 1 bzw. ihre pumpwirksamen Elemente (Stator-, Rotorschaufeln, Gewindestufen) sind zweckmäßig derart ausgebildet, dass im Bereich der Anschlussöffnung 36 ein Druck von 10-4 bis 10-7, vorzugsweise 10-5 bis 10-6, und im Bereich der Anschlussöffnung 37 ein Druck von etwa 10-2 bis 10-4 mbar erzeugt wird. Dadurch ergibt sich für die erste Pumpstufe 12 die Notwendigkeit, für ein Kompressionsverhältnis von 102 bis 104, vorzugsweise größer 100, zu sorgen. Mit der zweiten Pumpstufe soll ein hohes Saugvermögen erzeugt werden (z.B. 200 l/s). Die sich anschließende, zweistufige Holweck-Pumpstufe (29, 30; 29, 31) sichert eine hohe Vorvakuumbeständigkeit, so dass üblicherweise das Saugvermögen der zweiten Pumpstufe vom Vorvakuumdruck unabhängig ist.
Für den Fall, dass im Bereich der Anschlussöffnung 36 ein besonders hohes Saugvermögen nicht gefordert wird, kann dieses Ziel durch entsprechende Gestaltung der Schaufeln der ersten Pumpstufe 12 erreicht werden. Eine andere Möglichkeit besteht darin, vor dem Einlass 26 der ersten Pumpstufe eine Blende 38 anzuordnen, deren Innendurchmesser das gewünschte Saugvermögen bestimmt.
Figur 2 zeigt eine einflutige Reibungsvakuumpumpe 1, deren pumpaktive Flächen ausschließlich von Statorschaufeln 41 und Rotorschaufeln 42 gebildet werden (Turbomolekularvakuumpumpe). Das zweite, äußere Gehäuse 19 trägt stirnseitig den Flansch 43, der die stirnseitig angeordnete Verbindungsöffnung 44 umgibt. Um eine Pumpe 1 dieser Art mit einer anderen Flanschart und/oder Flanschgröße auszurüsten, ist es lediglich erforderlich, das äußere Gehäuse 19 zu demontieren und durch ein Gehäuse 19 mit dem gewünschten Flansch zu ersetzen.
Figur 3 zeigt eine Einrichtung 51 nach der Erfindung mit zu evakuierenden Kammern 52, 53, 54 und einer einschubförmigen Einheit 27, wie sie zu Figur 1 beschrieben wurde. Das Gehäuse der Einrichtung - z.B. ein Korpuskularstrahlgerät - ist im wesentlichen einstückig ausgebildet und mit 55 bezeichnet. In unmittelbarer Nähe der zu evakuierenden Kammern 53, 54 ist das Gehäuse mit der Bohrung 22 ausgerüstet, in der sich der Einschub 27 befindet. Über die Durchtrittsöffnungen 28, 35 im Gehäuse 18 des Einschubs 27 und die Verbindungsöffnungen 36, 37 stehen die Kammern 53, 54 mit den jeweiligen Einlässen 26, 29 in Verbindung. Durch die Integration des Einschubs 27 im Gehäuse der Einrichtung 51 entfallen gesonderte Anschlussmittel. Die Abstände zwischen den zu evakuierenden Kammern 53,54 und den Einlässen 26, 29 sind optimal klein.
Der Kern der vorliegenden Idee liegt darin, dass eine weitgehend funktionsfähige Einheit (Einschub, Kartusche) einer Reibungsvakuumpumpe in einem der Applikation angepassten Gehäuse lösbar gehaltert ist. Das bisher beschriebene innere Gehäuse 18 hat die Aufgabe, die Funktionselemente der Reibungsvakuumpumpe zu der gewünschten Einheit zusammenzufassen. Anstelle des Gehäuses können auch andere Bauteile - z.B. Zuganker, Klammern oder dgl. - vorhanden sein, die diese Aufgabe erfüllen. Wesentlich ist, dass für die Erfüllung der Funktionen des sonst üblichen Gehäuses beim Gegenstand der Erfindung zwei Bauelemente 18 bzw. 19,55 vorgesehen sind. Bei den Ausführungen nach den Figuren 1 bis 3 werden die beiden Bauelemente von zwei konzentrischen Gehäusen gebildet, von denen das innere der Zentrierung, Zuordnung und Halterung von Chassis 5, Stator 3 und Rotor 4 dient, welche dadurch den bereits betriebsfähigen, vom äußeren Gehäuse unabhängigen Einschub bilden. Das äußere Gehäuse 19, 55 dichtet die Vakuumpumpe nach außen ab und dient der Verbindung mit den zu evakuierenden Kammern, sei es über Anschlussflansche oder dadurch, dass es bereits Bestandteil der Einrichtung mit den zu evakuierenden Kammern ist.
Besonders zweckmäßig ist es, beim inneren Einschub das innere Gehäuse durch ein Zugankersystem zu ersetzen. Dieses ermöglicht eine kompaktere Gestaltung des inneren Einschubs. Außerdem können vom Zugankersystem zusammengehaltene Bauteile einfacher hergestellt werden. Beispielsweise übernehmen die Zuganker die Zentrierung von Statorringen, so dass diese selbst nicht mehr mit Zentriermitteln ausgerüstet sein müssen.
Die Figuren 4 und 5 zeigen Ausführungsbeispiele (Figur 4: Längsschnitt durch einen Einschub 27; Figur 5: Querschnitt durch einen Einschub 27 in Höhe der Öffnung 35) für einen inneren Einschub 27 mit einem Zugankersystem 61. Dieses umfasst drei bis sechs (oder mehr) Zuganker 62 sowie Bohrungen und Gewinde in den Bauteilen (Chassis 5, Stator 3), die vom Zugankersystem 61 zu einer Baueinheit zusammengefügt werden sollen.
Die Figuren 4 und 5 lassen erkennen, dass sich die Öffnung 35 über den gesamten Umfang des Einschubs 27 erstreckt und nur durch die Zuganker 62 unterbrochen ist. Der Zugang der Gasmoleküle zum Einlass 29 der Pumpstufe 13 (in Figur 5 in Draufsicht dargestellt) ist dadurch nahezu ungehindert frei. Die Befestigung des äußeren Gehäuses - sei es das zweite Gehäuse 18, das weitere Funktionen eines Pumpgehäuses erfüllt, oder ein Gehäuse 55, das Bestandteil eines Gerätes mit zu evakuierenden Kammern ist - erfolgt am Flansch 21 des Chassis 5.
Figur 4 lässt den Aufbau besonders vorteilhaft gestalteter Zuganker 62 erkennen. Sie sind zweiteilig ausgebildet. Die vorvakuumseitigen Zugankerabschnitte 63 mit ihren Köpfen 64 durchsetzen die Statorringe der Pumpstufe 13 und das äußere Statorelement 33 der Pumpstufe 14. Ihre mit einem Gewinde versehenen Enden sind in den Flansch 21 des Chassis 5 eingeschraubt. Die Länge der Köpfe 64 bestimmt die axiale Ausdehnung der Öffnung 35.
Im Bereich ihrer hochvakuumseitigen Stirnseite sind die Köpfe 64 jeweils mit einem Innengewinde versehen, in die jeweils hochvakuumseitige Zugankerabschnitte 65 einschraubbar sind. Ihre Köpfe 66 liegen dem obersten Statorring der Pumpstufe 13 auf. In übrigen durchsetzen sie die Statorringe der Pumpstufe 12 und bewirken dadurch im eingeschraubten Zustand nicht nur eine Verbindung der Hochvakuumstufe 12 mit den übrigen Stufen 13 und 14 sondern auch eine Zentrierung der Statorringe.

Claims (20)

  1. Turbomolekularvakuumpumpe (1) mit einem Chassis (5), mit einem Stator (3), der Statorringe aufweist, mit einem Rotor (4), der Rotorschaufeln aufweist und sich über eine Welle (9) im Chassis (5) abstützt, mit einem ersten inneren Bauteil (18, 61), das der Zusammenfassung von Statorringen dient, und mit einem zweiten äußeren Gehäusebauteil (19), das am Chassis (5) befestigt ist, Stator (3) und Rotor (4) aufnimmt und mit einem Anschluss (39) für eine zu evakuierende Kammer ausgerüstet ist, dadurch gekennzeichnet, dass das erste innere Bauteil (18, 61) Chassis (5), Stator (3) und Rotor (4) zu einem Einschub zusammenfügt, der in dem äußeren Gehäusebauteil lösbar befestigt ist.
  2. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das erste innere Bauelement ein inneres Gehäuse (18) ist.
  3. Pumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass sich im Bereich der Hochvakuumseite der Pumpe zwischen innerem Gehäuse (18) und äußerem Gehäuse (19, 55) eine Dichtung (24) befindet.
  4. Pumpe nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass inneres und äußeres Gehäuse (18; 19, 55) im Bereich der Vorvakuumseite der Pumpe mit Flanschen ausgerüstet sind, die am Chassis (5) lösbar befestigt sind.
  5. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das innere Gehäuse (18) hochvakuumseitig mit einem nach innen gerichteten Rand (20) ausgerüstet ist.
  6. Pumpe nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der nach innen gerichtete Rand (20) einen ersten, hochvakuumseitig angeordneten Statorring bildet.
  7. Reibungsvakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der hochvakuumseitigen Stirnseite des inneren Gehäuses (18) eine stufenförmige Verjüngung (23) der Bohrung (22) des äußeren Gehäuses (19, 55) zugeordnet ist.
  8. Pumpe nach den Ansprüchen 3 und 7, dadurch gekennzeichnet, dass sich zwischen der Stirnseite des inneren Gehäuses (18) und der von der Durchmesserverjüngung gebildeten Stufe (23) des äußeren Gehäuses (19, 55) ein O-Ring (24) befindet.
  9. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche 2 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das hochvakuumseitig gelegene Ende des inneren Gehäuses (18) eine Durchtrittsöffnung (28) für die in die Pumpe eintretenden Gase bildet.
  10. Pumpe nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das innere Gehäuse (18) mit mindestens einer weiteren stromabwärts gelegenen Durchtrittsöffnung (35) für eintretende Gase ausgerüstet ist.
  11. Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Anschlussflansch (39) seitlich am zweiten Gehäuse (19) angeordnet ist.
  12. Pumpe nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass im äußeren Gehäuse (19) ein oder mehrere Verbindungskanäle ausgebildet sind, die die Verbindung zwischen den Durchtrittsöffnungen (28, 35) und einer oder mehreren zu evakuierenden Kammern (52 bis 55) herstellen.
  13. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das erste innere Bauelement von einem Zugankersystem (61) gebildet wird.
  14. Pumpe nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Zugankersystem (61) mehrere Zuganker (62) umfasst, die den Stator (3) mit dem Chassis (5) verbinden.
  15. Pumpe nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Zuganker (62) die Statorringe durchsetzen.
  16. Pumpe nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Zuganker (62) zweiteilig ausgebildet sind und jeweils aus einem vorvakuumseitigen Zugankerabschnitt (63) mit Kopf (64) und einem hochvakuumseitigen Zugankerabschnitt (65) mit Kopf (66) bestehen.
  17. Pumpe nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Länge des Kopfes (64) des vorvakuumseitigen Zugankerabschnittes (63) die axiale Ausdehnung einer Durchtrittsöffnung (35) zwischen Hochvakuumstufe (12) und Vorvakuumstufe (13 bzw. 13, 14) bestimmt.
  18. Pumpe nach einem der Ansprüche 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Köpfe (64) der vorvakuumseitigen Zugstangenabschnitte (63) jeweils stirnseitig mit einem Gewinde ausgerüstet sind, in das die hochvakuumseitigen Zugankerabschnitte (65) einschraubbar sind.
  19. Einrichtung (51) mit einem Gehäuse (55), in dem sich mindestens eine evakuierbare Kammer (52, 53, 54) befindet, sowie mit einer ein Gehäuse aufweisende Turbomolekularvakuumpumpe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, welche mit der zu evakuierenden Kammer verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (55) der Einrichtung (51) eine Bohrung (22) aufweist, innerhalb der sich der Einschinb (27) der Turbomolekularvakuumpumpe (1) befindet.
  20. Einrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei Kammern (52, 53, 54) vorgesehen sind, dass die Turbomolekularvakuumpumpe (1) mehrstufig ausgebildet ist, dass mindestens zwei Kammern (52, 53, 54) seitlich neben der Reibungsvakuumpumpe (1) angeordnet sind und die Kammern über Durchtrittsöffnungen im inneren Gehäuse (18) und Verbindungsöffnungen (36, 37) im gemeinsamen Gehäuse (55) mit dem Einlass (26, 29) von Turbomolekularpumpenstufen (12, 13, 14) verbunden sind.
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