EP0408842B1 - Ein-/Aus-Schalter - Google Patents

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EP0408842B1
EP0408842B1 EP90107518A EP90107518A EP0408842B1 EP 0408842 B1 EP0408842 B1 EP 0408842B1 EP 90107518 A EP90107518 A EP 90107518A EP 90107518 A EP90107518 A EP 90107518A EP 0408842 B1 EP0408842 B1 EP 0408842B1
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EP
European Patent Office
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bellows
switch according
contact parts
contact
head
Prior art date
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EP90107518A
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English (en)
French (fr)
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EP0408842A2 (de
EP0408842A3 (en
Inventor
Roland Dr. Gesche
Stefan Locher
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold AG
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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Publication date
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Publication of EP0408842A3 publication Critical patent/EP0408842A3/de
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Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H3/00—Mechanisms for operating contacts
    • H01H3/22—Power arrangements internal to the switch for operating the driving mechanism
    • H01H3/24—Power arrangements internal to the switch for operating the driving mechanism using pneumatic or hydraulic actuator

Definitions

  • the invention relates to an on / off switch according to the preamble of claims 1 and 15 (see US-A-2 794 087).
  • Plasma generation by means of high frequency has become widespread in plants for applying and removing thin layers.
  • the high frequency is usually 13.56 MHz, while the currents to be transmitted can be up to 50 A.
  • the switches In order to be able to switch such high currents, the switches have to meet special requirements.
  • One of these requirements is e.g. B. in the fact that they must have a flashover resistance of 10 kV in the open state.
  • an electrical switching device which has a movable contact which is sealed in a housing by a metal bellows or the like (DE-A-1 590 360).
  • the movable contact is moved between the open position and the closed position by a fluid pressure that is supplied to the bellows.
  • the bellows consists of two halves, each of which is attached at one end to stationary end plates.
  • a bellows is also provided, which is divided into two halves (GB-A-1 182 782). There is therefore no uniform bellows, one end of which is fixedly connected to a contact part and the other end of which is movable.
  • a switch with a bellows structure in which two contact parts which are arranged at a distance and are to be connected to one another and a bellows are provided in an interior (US Pat. No. 2,794,087). In its stretched state, the bellows connects the two contact parts to one another and separates them in a compressed state.
  • the cavity in which the bellows is located consists of copper, ie not of an insulator.
  • the invention is therefore based on the object of providing an on / off switch with which it is possible to switch large high-frequency currents.
  • the advantage achieved with the invention is in particular that the surface current caused by the current displacement has a large conductor surface in the form of a metal bellows.
  • the metal components e.g. B. the return spring, are shielded by this metal bellows and are therefore not exposed to the high electromagnetic field strengths.
  • the fact that the metal bellows connects the function of the electrical conductor with that of a pneumatic cylinder enables a compact design of the switch.
  • the flat contact surfaces allow a short stroke and represent a favorable transition surface for the surface currents.
  • FIG. 1 shows a first embodiment of a pneumatically actuated switch 1, which has a housing 2 made of electrically insulating material and is provided with an electrically conductive contact part 3, 4 at the top and bottom.
  • the contact parts 3, 4 are firmly connected to the housing 2 by means of electrically non-conductive screws 5, 6, the screws 7, 8 being located on one of the projections 9, 10 of the contact parts 3, 4 with their heads.
  • In the wall of the housing 2 there is a screw channel 11 into which the screws 5, 6 are screwed.
  • the housing 2 itself is, for. B. cylindrical and has compared to the screw channel 11 on a nozzle 12 with a through hole 13.
  • In the housing 2 there is an electrically conductive metal bellows 14, in the interior of which compressed air is admitted via an inlet 15.
  • This compressed air works against the force of a spring 16 which is suspended at one end 17 on the hook 18 and the other end 19 of which is suspended in a transverse bolt 20 which rests in a vertical extension 21 of the contact part 4.
  • This extension 21 of the contact part 4 essentially has the shape of a hollow cylindrical pin with two end stops 22, 23, these end stops 22, 23 serving to support the upper and lower ends of the metal bellows 14.
  • the upper end stop 23 is, however, not integrally connected to the extension 21, but rests on it. If compressed air is now introduced into the inlet 15, it enters the cavity 24 of the extension, where the spring 16 is also located, and presses against the underside of a contact surface 25 which is connected to the metal bellows 14 at its lateral edge.
  • the metal bellows 14 expands until the contact surface 25 abuts the contact part 3. In this way, an electrical connection is established between the contact surfaces 3, 4, the current being able to flow from the contact part 3 via the metal bellows 14 and the extension 21 to the contact part 4 or vice versa. If the compressed air supplied becomes weaker or if it stops flowing completely, the force of the spring 16 prevails and the contact surface is returned to the position shown in FIG. 1.
  • the through hole 13 serves to create a pressure equalization in the interior of the housing 2. If the housing 2 were hermetically sealed, the metal bellows 14 with the contact surface 25 would have to compress the air in the interior of the housing so that the contact surface 25 reaches the contact part 3. Above and below the through bore 13, the housing 2 has a bore 27, 28, into which high-frequency lines, as a rule tapes, are inserted.
  • the bores 27, 28 can also be provided with a thread.
  • FIG. 2 shows a further embodiment of the invention, in which those components which can also be found in the device according to FIG. 1 have the same reference numbers as these.
  • the embodiment according to FIG. 2 does not have a spring which pulls the contact surface 25 downwards and is only stretched by the inflow of compressed air, but a spring 29 which presses outwards.
  • This spring 29 is surrounded by the metal bellows 14 and rests with its one end on a projection 30 which is connected in one piece to the contact part 4 and has a through-hole 31.
  • the projection 30 has at its upper end a taper 36 which serves to guide the one end 32 of the spring 29.
  • the other end 33 of the spring 29 is guided in a corresponding manner by a taper 35 which merges into the contact surface 25.
  • the contact parts 3 and 4 are electrically connected to one another via the metal bellows 14, because the spring 29 presses the contact surface 25 permanently against the contact part 4.
  • this compressed air reaches a surface 34 of the contact surface 25 via a bore and presses it downwards.
  • the through hole 31 has the same function as the through hole 13 in Fig. 1, i. H. it serves to create a pressure equalization inside the housing.
  • the difference between the switch according to FIG. 1 and the switch according to FIG. 2 essentially consists in the fact that the switch according to FIG. 1 is open in the depressurized state, while the switch according to FIG. 2 is closed in the depressurized state.
  • the compressed air always works against the force of the tension or compression spring.
  • the spring force of the bellows is of minor importance.

Landscapes

  • Switches Operated By Changes In Physical Conditions (AREA)
  • Push-Button Switches (AREA)
  • Waveguide Switches, Polarizers, And Phase Shifters (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Ein/Aus-Schalter nach dem Oberbegriff der Patentansprüche 1 und 15 (siehe US-A-2 794 087).
  • In Anlagen zum Aufbringen und Abtragen von dünnen Schichten hat die Plasmaerzeugung mittels Hochfrequenz weite Verbreitung gefunden. Hierbei liegt die Hochfrequenz üblicherweise bei 13,56 MHz, während die zu übertragenden Ströme bis zu 50 A betragen können. Um derart hohe Ströme schalten zu können, müssen die Schalter besondere Anforderungen erfüllen. Eine dieser Anforderungen besteht z. B. darin, daß sie im offenen Zustand eine Überschlagfestigkeit von 10 kV besitzen müssen.
  • Es sind zwar schon mehrere Hochfrequenz-Plasmaanlagen mit Elektroden bekannt, denen die Hochfrequenzleistung zugeführt wird (J. Electrochem. Soc. Solid State Science, Bd. 114, Nr. 5, 1967, S. 505 bis 508; US-PS 4 207 137; J. Vac. Sci. Technol., Bd. 5, Nr. 3, 1987, S. 647 bis 651), doch sind keine Schalter beschrieben, mit denen hochfrequente Ströme von großer Stromstärke auf eine Elektrode oder von dieser weggeschaltet werden können.
  • Weiterhin ist eine elektrische Schaltvorrichtung bekannt, die einen beweglichen Kontakt aufweist, der in einem Gehäuse durch einen Metallbalg oder dergleichen abgedichtet ist (DE-A-1 590 360). Der bewegliche Kontakt wird hierbei zwischen der Öffnungsstellung und der Schließstellung durch einen Strömungsmitteldruck bewegt, der dem Balg zugeführt wird. Der Balg besteht hierbei aus zwei Hälften, die jeweils mit ihrem einen Ende an ortsfesten Stirnplatten befestigt sind.
  • Bei einem anderen bekannten Vakuumschalter ist ebenfalls ein Balg vorgesehen, der in zwei Hälften unterteilt ist (GB-A-1 182 782). Es ist somit kein einheitlicher Balg vorgesehen, dessen eines Ende mit einem Kontaktteil ortsfest verbunden ist und dessen anderes Ende beweglich ist.
  • Schließlich ist auch noch ein Schalter mit einer Balgenstruktur bekannt, bei dem zwei in einem Abstand angeordnete und miteinander zu verbindende Kontaktteile sowie ein Balg in einem Innenraum vorgesehen sind (US-A-2 794 087). Der Balg verbindet in seinem gedehnten Zustand die beiden Kontaktteile miteinander und trennt diese in einem gestauchten Zustand. Der Hohlraum, in dem sich der Balg befindet, besteht hierbei aus Kupfer, d. h. nicht aus einem Isolator.
  • Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, einen Ein/Aus-Schalter zu schaffen, mit dem es möglich ist, große Hochfrequenzströme zu schalten.
  • Diese Aufgabe wird gemäß den Merkmalen des Patentanspruchs 1, bzw. 15 gelöst
  • Der mit der Erfindung erzielte Vorteil besteht insbesondere darin, daß der durch die Stromverdrängung hervorgerufene Oberflächenstrom eine große Leiterfläche in Form eines Metallbalgs zur Verfügung hat. Die Bauteile aus Metall, z. B. die Rückholfeder, werden durch diesen Metallbalg abgeschirmt und sind deshalb nicht den hohen elektromagnetischen Feldstärken ausgesetzt. Dadurch, daß der Metallbalg die Funktion des elektrischen Leiters mit der eines Pneumatikzylinders verbindet, wird eine kompakte Bauform des Schalters ermöglicht. Die ebenen Kontaktflächen erlauben einen geringen Hub und stellen für die Oberflächenströme eine günstige Übergangsfläche dar.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigen:
    • Fig. 1
    eine erste Ausführungsform eines Schalters zum Schalten großer Hochfrequenz-Ströme;
    Fig. 2
    eine zweite Ausführungsform eines Schalters zum Schalten großer Hochfrequenz-Ströme.
  • In der Fig. 1 ist eine erste Ausführungsform eines pneumatisch betätigten Schalters 1 dargestellt, der ein Gehäuse 2 aus elektrisch isolierendem Material aufweist und oben und unten jeweils mit einem elektrisch leitenden Kontaktteil 3, 4 versehen ist. Die Kontaktteile 3, 4 sind mit dem Gehäuse 2 über elektrisch nichtleitende Schrauben 5, 6 fest verbunden, wobei die Schrauben mit ihren Köpfen 7, 8 auf jeweils einem der Vorsprünge 9, 10 der Kontaktteile 3, 4 liegen. In der Wand des Gehäuses 2 befindet sich ein Schraubkanal 11, in den die Schrauben 5, 6 eingeschraubt sind. Das Gehäuse 2 selbst ist z. B. zylindrisch ausgebildet und weist gegenüber dem Schraubkanal 11 einen Stutzen 12 mit einer Durchbohrung 13 auf. In dem Gehäuse 2 befindet sich ein elektrisch leitender Metallbalg 14, in dessen Inneres über einen Einlaß 15 Druckluft eingelassen wird. Diese Druckluft arbeitet gegen die Kraft einer Feder 16, die mit ihrem einen Ende 17 am Haken 18 aufgehängt ist und deren anderes Ende 19 in einen Querbolzen 20 eingehängt ist, der in einer vertikalen Verlängerung 21 des Kontaktteils 4 ruht. Diese Verlängerung 21 des Kontaktteils 4 hat im wesentlichen die Form eines hohlen Zylinderstifts mit zwei Endanschlägen 22, 23, wobei diese Endanschläge 22, 23 für die Abstützung des oberen und des unteren Endes des Metallbalgs 14 dienen. Der obere Endanschlag 23 ist allerdings nicht einstückig mit der Verlängerung 21 verbunden, sondern liegt auf dieser auf. Wird nun Druckluft in den Einlaß 15 eingeführt, so gelangt diese in den Hohlraum 24 der Verlängerung, wo sich auch die Feder 16 befindet, und drückt gegen die Unterseite einer Kontaktfläche 25, die an ihrem seitlichen Rand mit dem Metallbalg 14 verbunden ist. Ist die durch die Druckluft ausgeübte Kraft größer als die Kraft der Feder 16, so dehnt sich der Metallbalg 14 solange aus, bis die Kontaktfläche 25 gegen das Kontaktteil 3 stößt. Auf diese Weise ist eine elektrische Verbindung zwischen den Kontaktflächen 3, 4 hergestellt, wobei der Strom von dem Kontaktteil 3 über den Metallbalg 14 und die Verlängerung 21 zum Kontaktteil 4 bzw. umgekehrt fließen kann. Wird die zugeführte Druckluft schwächer oder hört sie gar ganz auf zu strömen, so überwiegt die Kraft der Feder 16 und die Kontaktfläche wird wieder in diejenige Position zurückgeführt, die in der Fig. 1 dargestellt ist. Die Durchbohrung 13 dient dazu, einen Druckausgleich im Innern des Gehäuses 2 zu schaffen. Wäre das Gehäuse 2 hermetisch abgeschlossen, so müßte der Metallbalg 14 mit der Kontaktfläche 25 die Luft im Innenraum des Gehäuses komprimieren, damit die Kontaktfläche 25 an den Kontaktteil 3 gelangt. Ober- und unterhalb der Durchbohrung 13 weist das Gehäuse 2 jeweils eine Bohrung 27, 28 auf, in die Hochfrequenzleitungen, in der Regel Bänder, eingeführt werden. Die Bohrungen 27, 28 können auch mit einem Gewinde versehen sein.
  • Die Fig. 2 zeigt eine weitere Ausführungsform der Erfindung, bei welcher diejenigen Bauteile, die auch in der Vorrichtung gemäß Fig. 1 zu finden sind, dieselben Bezugszahlen wie diese besitzen. Im Unterschied zur ersten Ausführungsform weist die Ausführungsform gemäß Fig. 2 keine Feder auf, welche die Kontaktfläche 25 nach unten zieht und erst durch Einströmen von Druckluft gedehnt wird, sondern eine Feder 29, die nach außen drückt. Diese Feder 29 ist von dem Metallbalg 14 umgeben und ruht mit ihrem einen Ende auf einem Vorsprung 30, der mit dem Kontaktteil 4 einstückig verbunden ist und eine Durchbohrung 31 aufweist. Der Vorsprung 30 besitzt an seinem oberen Ende eine Verjüngung 36, die zur Führung des einen Endes 32 der Feder 29 dient. Das andere Ende 33 der Feder 29 ist in entsprechender Weise von einer Verjüngung 35 geführt, die in die Kontaktfläche 25 übergeht. Ohne die Einwirkung von Druckluft sind die Kontaktteile 3 und 4 über den Metallbalg 14 elektrisch miteinander verbunden, weil die Feder 29 die Kontaktfläche 25 permanent an den Kontaktteil 4 drückt. Wird jedoch Druckluft in den Raum zwischen dem Metallbalg 14 und dem Gehäuse 2 durch die Öffnung 13 eingelassen, so gelangt diese Druckluft über eine Bohrung an eine Oberfläche 34 der Kontaktfläche 25 und drückt diese nach unten.
  • Die Durchbohrung 31 hat dieselbe Funktion wie die Durchbohrung 13 in Fig. 1, d. h. sie dient dazu, im Innern des Gehäuses einen Druckausgleich zu schaffen. Der Unterschied zwischen dem Schalter gemäß Fig. 1 und dem Schalter gemäß Fig. 2 besteht im wesentlichen darin, daß der Schalter gemäß Fig. 1 im drucklosen Zustand offen ist, während der Schalter gemäß Fig. 2 im drucklosen Zustand geschlossen ist. Die Druckluft arbeitet dabei immer gegen die Kraft der Zug- bzw. Druckfeder. Die Federkraft des Balgs ist von untergeordneter Bedeutung.

Claims (17)

  1. Ein-/Aus-Schalter, insbesondere für Hochfrequenzströme, mit
    1.1 zwei nicht deformierbaren Kontaktteilen (3, 4), die elektrisch miteinander verbunden sind und die einen Abstand voneinander haben;
    1.2 einem elektrisch leitenden Balg (14), der mit einem ersten Ende mit einem der Kontaktteile (4, 21) in Verbindung steht und der
    1.3 ein bewegliches zweites Ende (23) aufweist, das mit einem elektrisch leitenden Kontaktkopf (25) versehen ist, wobei
    1.3.1 der Balg (14) im gestreckten Zustand einen Kontaktkopf (25) gegen ein Kontaktteil (3) drückt und
    1.3.2 der Kontaktkopf (25) im nicht-gestreckten Zustand des Balgs (14) nicht mit dem anderen Kontaktteil (3) in Verbindung steht,
    gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
    1.4 es ist ein elektrischer Isolator (2) zwischen den Kontaktteilen (3, 4) vorgesehen, der diese elektrisch voneinander trennt und der einen Hohlraum aufweist;
    1.5 die jeweiligen Enden des Isolators (2) stehen in physischem Kontakt mit den jeweiligen Kontaktteilen (3, 4);
    1.6 der Balg (14) ist in dem Hohlraum des Isolators (2) angeordnet.
  2. Ein- /Aus-Schalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der elektrisch leitende Balg (14) mittels eines Fluids von dem ungestreckten und den gestreckten Zustand oder umgekehrt gebracht werden kann, wobei dieses Fluid in den Balg (14) hinein- oder aus diesem herausfließt.
  3. Ein- /Aus-Schalter nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Fluid Druckluft ist.
  4. Ein-/Aus-Schalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in dem elektrisch leitenden Balg (14) eine Feder (16) angeordnet und mit ihren Enden (17,19) mit Bauteilen (25,20) verbunden ist, welche die Enden des Balgs (14) abschließen.
  5. Ein-/Aus-Schalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Isolator (2) ein Gehäuse bildet, das an seinen Enden durch die jeweiligen Kontaktteile (3,4) abgeschlossen ist.
  6. Ein-/Aus-Schalter nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktteile (3,4) mittels Schrauben (7,8) mit dem Gehäuse (2) verbunden sind.
  7. Ein-/Aus-Schalter nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Schrauben (7.8) aus einem elektrisch nicht leitenden Material bestehen.
  8. Ein-/Aus-Schalter nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Feder eine Zugfeder (16) ist.
  9. Ein-/Aus-Schalter nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Feder eine Druckfeder (29) ist.
  10. Ein-/Aus-Schalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in einem der beiden Kontaktteile eine Durchbohrung (31) vorgesehen ist, durch die Druckluft in den Balg (14) gegeben oder aus diesem genommen werden kann.
  11. Ein-/Aus-Schalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Öffnung (13) in dem Isolator (2) vorgesehen ist, durch die Druckluft aus dem Hohlraum herausgenommen wird, um den Balg vom gestreckten in den nicht gestreckten Zustand zu bringen.
  12. Ein-/Aus-Schalter nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das eine der Bauteile ein elektrischer Kontaktkopf (25) und das andere der Bauteile ein Vorsprung (19) eines der Kontaktteile (4) ist.
  13. Ein-/Aus-Schalter nach den Ansprüchen 8 und 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Zugfeder (16) mit ihrem einen Ende in den Kontaktkopf (25) und mit ihrem anderen Ende in einen mit einem Vorsprung (21) verbundenen Querbolzen (20) eingehängt ist.
  14. Ein-/Aus-Schalter nach den Ansprüchen 1 und 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckfeder (29) mit ihrem einen Ende eine Verjüngung (31) des Vorsprungs (30) und mit ihrem anderen Ende eine Verjüngung (35) des Kontaktkopfs (25) umschließt.
  15. Ein-/Aus-Schalter, insbesondere für Hochfrequenzströme, mit
    15.1 zwei Kontaktteilen (3, 4);
    15.2 einem elektrisch leitenden Balg, der ein Basisende besitzt, welches mit einem der Kontaktteile (4) verbunden ist, und der
    15.2.1 einen elektrisch leitenden Kopf (25) aufweist, der ein geschlossenes, entferntes Ende des Balgs (14) bildet, das gegenüber dem anderen Kontaktteil (3) liegt, wobei
    15.2.2 der Balg (14) im gestreckten Zustand eine elektrische Verbindung zwischen den Kontaktteilen (3, 4) vermittels des Kopfs (25) herstellt und wobei
    15.2.3 der Balg (14) im ungestreckten Zustand den Kopf (25) von einem der Kontaktteile (3) trennt und hierdurch eine elektrische Verbindung unterbricht,
    gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
    15.3 die Kontaktteile (3, 4) sind durch einen hohlen Isolator (2) voneinander getrennt, wobei dieser Isolator die Kontaktteile (3, 4) berührt und einen Hohlraum zwischen den Kontaktteilen (3, 4) definiert;
    15.4 der Balg (14) ist in dem Hohlraum zwischen den Kontaktteilen vorgesehen;
    15.5 es ist ein Fluid vorgesehen, welches die Kraft erzeugt, mit welcher der Balg (14) vom gestreckten in den ungestreckten Zustand und umgekehrt gebracht werden kann;
    15.6 es ist eine Feder in dem elektrisch leitenden Balg (14) vorgesehen, die mit ihrem einen Ende mit dem Kopf (25) und mit ihrem anderen Ende mit der Basis am Ende des Balgs (14) verbunden ist, um eine Gegenkraft gegen die Kraft des Fluids aufzubringen, wobei
    15.6.1 der Hohlraum eine Bohrung aufweist, durch welche der Druck zwischen dem Inneren und dem Äußeren des Balgs (14) ausgeglichen wird.
  16. Ein-/Aus-Schalter nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß das Fluid Druckluft ist.
  17. Ein-/Aus-Schalter nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß eine Durchbohrung in einem der beiden Kontaktteile (3,4) vorgesehen ist, um Druckluft in das Innere des Balgs (14) gelangen zu lassen.
EP90107518A 1989-07-18 1990-04-20 Ein-/Aus-Schalter Expired - Lifetime EP0408842B1 (de)

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Publication Number Publication Date
EP0408842A2 EP0408842A2 (de) 1991-01-23
EP0408842A3 EP0408842A3 (en) 1991-11-27
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07150508A (ja) * 1993-11-26 1995-06-13 Sekizai Center:Kk 敷石の舗装工法
PL207604B1 (pl) * 2005-11-07 2011-01-31 ABB Spółka z ograniczoną odpowiedzialnością Czujnik kontrolujący dla urządzeń wypełnionych cieczą dielektryczną, zwłaszcza dla transformatorów
FR3107986B1 (fr) * 2020-03-03 2022-06-03 Alstom Transp Tech Système d’interruption d’un courant électrique et véhicule ferroviaire comprenant un tel système d’interruption

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR882291A (fr) * 1941-05-31 1943-05-28 Stotz Kontakt Gmbh Interrupteur de feu d'arrêt d'automobile
DE754566C (de) * 1942-06-02 1951-01-29 Westfaelische Metall Ind Akt G Elektrischer Druckschalter
GB637121A (en) * 1947-07-29 1950-05-10 Gen Electric Co Ltd Improvements in switches for high-frequency electrical oscillations
US2697764A (en) * 1950-06-17 1954-12-21 Burgua Corp Pressure-responsive switch
US2794087A (en) * 1955-06-10 1957-05-28 Jennings Radio Mfg Corp Coaxial switch
US2997671A (en) * 1958-02-26 1961-08-22 Armstrong Cork Co Dual load transmission system
US3046369A (en) * 1959-04-27 1962-07-24 Beatrice A Hicks Device for sensing gas density
FR1317246A (fr) * 1961-12-07 1963-02-08 Contact électrique en milieu liquide ou gazeux
GB1162372A (en) * 1965-09-30 1969-08-27 English Electric Co Ltd Improvements in or relating to Vacuum switches
US3532842A (en) * 1966-08-05 1970-10-06 Gen Electric Switch actuating and control mechanism for vacuum type electric circuit interrupters with lost-motion and bellows biasing means
GB1182782A (en) * 1966-10-26 1970-03-04 Ass Elect Ind Improvemens in or relating to Vacuum Switches
US3407367A (en) * 1966-12-06 1968-10-22 Bell Telephone Labor Inc Coaxial cable switch
CH549207A (de) * 1973-01-26 1974-09-30 Gauer Ag Electronic Einrichtung zum aendern einer elektrischen groesse in abhaengigkeit von einem druck.
GB1397878A (en) * 1973-05-11 1975-06-18 Leafields Eng Ltd Fluid pressure switch
US3950628A (en) * 1974-10-10 1976-04-13 Westinghouse Electric Corporation Bellows type shorting switch
US4207137A (en) * 1979-04-13 1980-06-10 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Method of controlling a plasma etching process by monitoring the impedance changes of the RF power
DE2939860A1 (de) * 1979-10-02 1981-04-16 Kienzle Apparate Gmbh, 7730 Villingen-Schwenningen Druckschalter zur anwendung in reifendruckwarnanlagen
DE3314514A1 (de) * 1983-04-21 1984-10-25 Brown, Boveri & Cie Ag, 6800 Mannheim Hochfrequenzen-schaltstueck fuer einen drehschalter
DE3501603A1 (de) * 1984-02-02 1985-08-01 Westinghouse Electric Corp., Pittsburgh, Pa. Niederspannung-hochfrequenz-vakuumschalter
DE8430787U1 (de) * 1984-10-19 1985-01-17 Doduco KG Dr. Eugen Dürrwächter, 7530 Pforzheim Hydraulisch betätigter Schalter
EP0236638B1 (de) * 1986-03-07 1991-05-08 Dexaero Temperaturkompensierter Druckregler und Sicherheitseinrichtung für Feuerlöscher mit einem solchen Druckregler.
US4633213A (en) * 1985-05-01 1986-12-30 Borg-Warner Corporation Pressure temperature sensor
DE3718304A1 (de) * 1987-05-30 1988-12-15 Rohde & Schwarz Hf-leistungsschalter
JPH01142129U (de) * 1988-03-23 1989-09-28
DE3815107A1 (de) * 1988-05-04 1989-11-16 Eichhoff Werke Elektromagnetisches relais

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