DE973258C - Magnetische Polschuhlinse kleiner Brennweite fuer elektronenoptische Vergroesserungen in Elektronenmikroskopen - Google Patents

Magnetische Polschuhlinse kleiner Brennweite fuer elektronenoptische Vergroesserungen in Elektronenmikroskopen

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DE973258C
DE973258C DES6773D DES0006773D DE973258C DE 973258 C DE973258 C DE 973258C DE S6773 D DES6773 D DE S6773D DE S0006773 D DES0006773 D DE S0006773D DE 973258 C DE973258 C DE 973258C
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Bodo Von Dr-Ing Habil Borries
Ernst Dr-Ing Ruska
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/10—Lenses
    • H01J37/14—Lenses magnetic
    • H01J37/143—Permanent magnetic lenses

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1010057B (de) * 1954-09-24 1957-06-13 Ruetgerswerke Ag Verfahren zur Regelung von durch Bruedenausnutzung beheizten hintereinandergeschalteten Rektifizierkolonnen

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2733364A (en) * 1956-01-31 flory
NL89013C (enEXAMPLES) * 1944-05-31
US2455676A (en) * 1946-05-21 1948-12-07 Rca Corp Electron lens correction device
US2503173A (en) * 1946-10-18 1950-04-04 Rca Corp Permanent magnetic electron lens system
NL148036B (nl) * 1948-08-10 Ugine Kuhlmann Werkwijze voor het bereiden van vinylfluoride uit ethyn en fluorwaterstof.
NL92251C (enEXAMPLES) * 1948-10-01
BE490180A (enEXAMPLES) * 1949-02-24
US2579273A (en) * 1949-05-21 1951-12-18 Rca Corp Magnetic lens for electron optical systems
US2533687A (en) * 1949-05-27 1950-12-12 Quam Nichols Company Magnetic focusing device
US2533688A (en) * 1950-01-31 1950-12-12 Quam Nichols Company Focusing device
US2533689A (en) * 1950-06-28 1950-12-12 Quam Nichols Company Magnetic focusing device
NL94737C (enEXAMPLES) * 1950-08-29
US2627589A (en) * 1950-10-30 1953-02-03 Rca Corp Focusing of electron optical apparatus
US2640868A (en) * 1950-11-04 1953-06-02 All Star Products Inc Magnetic focusing device for cathode-ray tubes
US2592185A (en) * 1950-12-09 1952-04-08 Quam Nichols Company Focusing device
US2619607A (en) * 1951-03-10 1952-11-25 Glaser Steers Corp Internal focusing device
US2681421A (en) * 1952-03-04 1954-06-15 Gen Electric Magnetic focusing structure for electron beams
US2664514A (en) * 1952-03-10 1953-12-29 All Star Products Inc Magnetic focusing mechanism
DE1114944B (de) * 1952-06-13 1961-10-12 Siemens Ag Anordnung zur gebuendelten Fuehrung eines Elektronenstrahles
BE527357A (enEXAMPLES) * 1953-03-18
US2858443A (en) * 1954-09-15 1958-10-28 Hitachi Ltd Permanent magnet lens and lens system
NL200488A (enEXAMPLES) * 1954-09-22
NL100357C (enEXAMPLES) * 1955-10-04
DE1156522B (de) * 1962-09-25 1963-10-31 Heraeus Gmbh W C Elektronenlinsenanordnung fuer Elektronenstrahlschmelz- oder -verdampfungsanlagen
US3387241A (en) * 1966-10-11 1968-06-04 Centre Nat Rech Scient Permanent magnet multipole magnetic lens with variable convergence
CH485317A (de) * 1968-06-27 1970-01-31 Bbc Brown Boveri & Cie Elektromagnetische Linse für Strahlen schneller Elektronen
JPS6091544A (ja) * 1983-10-24 1985-05-22 Anelva Corp オ−ジエ分析装置
US6573817B2 (en) 2001-03-30 2003-06-03 Sti Optronics, Inc. Variable-strength multipole beamline magnet
EP2827357A1 (en) * 2013-07-18 2015-01-21 Fei Company Magnetic lens for focusing a beam of charged particles

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE720927C (de) * 1937-02-25 1942-05-19 Telefunken Gmbh Magnetische Elektronenlinse

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE720927C (de) * 1937-02-25 1942-05-19 Telefunken Gmbh Magnetische Elektronenlinse

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1010057B (de) * 1954-09-24 1957-06-13 Ruetgerswerke Ag Verfahren zur Regelung von durch Bruedenausnutzung beheizten hintereinandergeschalteten Rektifizierkolonnen

Also Published As

Publication number Publication date
BE433010A (enEXAMPLES) 1939-04-29
NL57283C (enEXAMPLES) 1946-04-15
US2305761A (en) 1942-12-22
FR850878A (fr) 1939-12-28

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