DE2307822C3 - Supraleitendes Linsensystem für Korpuskularstrahlung - Google Patents
Supraleitendes Linsensystem für KorpuskularstrahlungInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein supraleitendes Linsensystem für Korpuskularstrahlung mit mehreren
supraleitenden, kryostatisch gekühlten magnetischen
Linsen und mit Mitteln zur Justierung des Korpuskularstrahles.
Ein derartiges Linsensystem ist bekannt (Revue de Physique Appliquee, Bd. 6, 1971, Seiten 453—465). ■-,
Dabei besitzen die Spulen der einzelnen Linsen jeweils einen eigenen, separaten Kühlmantel zur Aufnahme von
flüssigem Helium. Diese Kühlmantel sind durch ein Rohr miteinander verbunden, so daß das flüssige Helium
nacheinander die einzelnen Kühlmantel durchfließt. Bei in
dieser Anordnung befindet sich jede Linsenspule auf einem anderen Temperaturniveau; thermische Drifterscheinungen
sind daher nicht zu vermeiden. Außerdem ist dieses bekannte Linsensystem relativ aufwendig und
insbesondere schwierig zu zerlegen, was zum Reinigen oder Erneuern von Innenteilen, wie Blenden oder
Polschuhen, erforderlich ist.
Aus der US-PS 24 68 403 ist ein normalleitendes Linsensysem für Korpulskularstrahlen bekannt, bei dem'
die Linsen auf einem zentralen Trägerrohr angeordnet sind und bei dem ebenfalls Mittel zum Justieren des
Korpuskularstrahles vorhanden sind. Im Innern des Trägerrohres befinden sich dabei Einzelteile, wie
Blenden oder Polschuhe, die leicht ausgewechselt werden können. 2 >
Weiterhin ist aus der DE-OS 20 59 417 eine einzelne
supraleitende Linse mit einem separaten Kühlmantel für die Linsenspule bekannt, die auf einem evakuierten
Zentralrohr aufgebaut ist und deren Spulenlage zur Feldjustierung verändert werden kann. jo
Es ist Aufgabe der Erfindung, ein supraleitendes Linsensystem der eingangs genannten Art anzugeben,
das möglichst frei von thermischen Drifterscheinungen ist, das weitgehend unempfindlich gegen mechanische
Erschütterungen ist, das leicht gegen äußere magneti- r> sehe Felder, und zwar speziell Wechselfelder, zu
schützen ist und dessen Einzelteile, die sich im Bereich oder in der Nähe des Korpuskularstrahls befinden,
möglichst leicht gereinigt und/oder ausgewechselt werden können, und das möglichst kompakt ist
Diese Aufgabe wird bei einem supraleitenden Linsensystem der eingangs genannten Art dadurch
gelöst, daß sich jeweils mehrere Linsen des Systems in einem gemeinsamen Kryostaten befinden und auf einem
im Kryostaten befindlichen zentralen Trägerrohr « aufgebaut sind.
Dadurch, daß bei dem erfindungsgemäßen supraleitenden Linsensystem die Spulen mehrerer Linsen in
einem gemeinsamen Kryostaten angeordnet sind, wird erreicht, daß an allen Spulen und entlang des
gemeinsamen Trägerrohiis gleiche Temperaturverhältnisse herrschen. Thermische Drifterscheingungen können
also nicht auftreten.
Im einfachsten Fall besteht das System aus der Objektivlinse und einer ersten Zwischenlinse, die der
Nachvergrößerung dient Vorzugsweise sind wenigstens zwei in gleicher Weise aufgebaute Linsensysteme
zusammengesetzt und Teile eines Gesamtlinsensystcms,
das die Säule eines Elektronenmikroskop« bilden kann. Im Innern des Trägerohres können Blenden und/oder
Polschuhpaare und/oder Justiersysteme zur Justierung der Achse des Korpuskularstrahl^, und zwar insbesondere
auswechselbar, angeordnet sein.
In besonders einfacher Weise läßt sich ein Linsensystem
nach der Erfindung reinigen bzw. lassen sich Teile 6r>
im Innern des Lir.sensystems auswechseln, wenn gemäß
einer besonders bevorzugten Weiterbilldung der Erfindung in wenigstens eindin Trägerrohr eine Hülse aus
elektrisch leitfähigem Material vorgesehen ist, wobei die Hülse aus dem Trägerrohr herausnehmbar ausgeführt
und praktisch spaltfrei in das Trägerrohr eingepaßt ist. Spaltfrei ist wie luftspaltfrei zu versehen,
jedoch befindet sich in dem im Betrieb evakuierten Trägerrohr keine Luft Im Innern des Trägerrohres
angeordnete Teile befinden sich dann im Innern der Hülse.
Weitere Weiterbildungen der Erfindung sind in den weiteren Unteransprüchen gekennzeichnet.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Figuren beschrieben.
In F i g. 1 ist die Säule 1 eines Elektronenmikroskopes mit supraleitenden Linsen dargestellt Es ist ein
Kryostatengehäuse vorgesehen, in dem sich die im folgenden noch zu beschreibenden Teile der Linsensystem
befinden und in das zur Kühlung dieser Teile flüssiges Helium eingefüllt wird. Die Gehäuseteile 2, 4
und 6 bilden zusammen ein abgeschlossenes Kryostatengehäuse mit einer öffnung 8 zum Einfüllen des
flüssigen Heliums und mit einer öffnung 9 für gasförmiges Helium und für die i".'urchführun;e von
elektrischen Leitungen in das Innere des· Kryostatengehäuses. Mit 3 und 5 sind Flansche bezeichnet, an denen
die Teile 2, 4 und 6 zusammengehalten werden. !In den Flanschen 3 und 5 befinden sich Bohrungen 7 für den
Durchtritt flüssigen Heliums innerhalb des gesamten Kryostatengehäuses.
Mit 104 ist eine Scheibe bezeichnet die eine vakuumdicht abschließbare Bohrung 105 zum Einschieben
des Objekts enthält Diese Bohrung 105 verlauft in der Darstellung der F i g. 1 in waagerechter Richtung.
Weiter befinden sich in der Scheibe 104 in der Figur senkrecht verlaufende Bohrungen, von denen eine
Bohrung 106 dargestellt ist, die für den Durchtritt des Heliums im Innern des Kryostatengehäuses vorgesehen
sind.
Die Kondensorlinsen sind mit 11, 12, 13 und die
Zwischenlinsen mit 15, 16 und 17 bezeichnet:. Die
eigentliche Objektivlinse ist mit Rücksicht auf die Scheibe 104 in zwei Teile 14 und 114 aufgeteilt, die sich
oberhalb und unterhalb der Scheibe 104 befinden, und die zusammen eine Linse bilden. Im vorliegenden Fall
handelt es sich bei dieser Linse um eine sogenannte supraleitende Abschirmlinse.
Im Innern des Gehäuseteils 2 des Kryostatengehäuses befindet sich zentral ein Trägerrohr 22, auf dem die
Teile der Linsen 11, 12 und 13 angeordnet sind. In
entsprechender Weise befindet sich im Gehäuseteil 4 ein Trägerrohr 24, auf dem die Linsenteile 14 und 114
und die Teile der ersten Zwischenlinse 15 befestigt sind. Im Innern des Gehäuseteils 6 befindet sich ein
Trägerrohr 26, auf dem die Linsen 16, 17 und i8 angeordnet sind.
In den Trägerrohren 22, 24 und 26 sind einzelne Hülsen 23, 25 und 27 eingepaßt. Diese Hülsen liegen
teilweise ohne Spalt an der jeweiligen Innenwandung des betreffenden Trägerrohres an. Die Hülsen lassen
sich aus den Träßerrohren herausnehmen.
Im Innern der Hülse 23 sind für jede der Linsen 11,12
und 13 je ein Polschuhpaar 31, 32 und 3:1 aus
ferromagnetischem Material angeordnet. Vorzugsweise lassen sich diese Polschuhpaare ihrerseits aus dem
Innern der Hülse herausnehmen, so daß sie auch einzeln gereinigt werden können. Außer den Polschuhpaaren
befinden sich im ifinern der Hülse 23 eine Anzahl Blenden 41, 141, 42 und 43. die zur Ausblendung des
Elektronenstrahles dienen. Auch diese Blenden sind
vorteilhafterweise herausnehmbar eingesetzt. Die Befestigung und Zentrierung der Blenden und/oder Polschuhpaare
kann durch Verstellvorrichtungen herbeigeführt werden, die nach dem Herausnehmen betätigt
werden.
F'olschuhe können auch außerhalb des Rohres angeordnet sein, wie dies für die Linse 15 dargestellt ist.
Wie für die Hülse 23 beschrieben, sind in der Hülse 27 im Trägerrohr 26 Polschuhpaare 36 und 37 sowie
Blenden 46 und 47 angeordnet.
Innerhalb der Hülse 25. die sich im Innern des Trägerrohres 24 des Gehäuseteiles 4 befindet, sind eine
weitere Blende 45 und Abschirmkörper 48 und 49 aus supraleitendem Material angeordnet. Diese Abschirmkörper
dienen zur Formgebung des magnetischen Fokussierungsfeldes der als Objektiv vorgesehenen
Abschirmlinse.
Da die Hülsen 23 und 27 in einfacher Weise
Innern des Trägerrohres 24 des Gehäuseteiles 4 befindet, leicht aus dem Gesamtlinsensystem herausgenommen
werden. Insbesondere im fokussierenden Bereich der Objektivlinse 14/114, d.h. im Bereich der
Abschirmkörper 48 und 49 kommt es entscheidend darauf an. daß dort die Wandungen frei von
verunreinigenden Fremdteilen sind, die sich elektrisch aufladen könnten und zu einer störenden Überlagerung
eines elektrischen Feldes führen würden.
Der Aufbau eines Linsensystems mit Trägerrohren und insbesondere mit darin befindlichen herausnehmbaren
Hülsen erleichtert außerdem das Auswechseln einzelner Teiie, die aus elektro-optischen Gründen im
Innern des Linsensystems angeordnet sind und einer Veränderung bzw. einem Verschleiß, z. B. durch
Auftreffen von Elektronen, ausgesetzt sind.
Mit Rücksicht darauf, daß die einzelnen Linsen, bzw. deren Polschuhe, und die Blenden senkrecht zur Achse,
d. h. in Fig. 1 in waagerechter Richtung, unverrückbar sind, sind nicht-mechanische Justiersysteme in der Säule
vorgesehen. Sie dienen zur Korrektur von solchen Fehlern, die trotz des beschriebenen Aufbaues, der
äußerst stabil ist und ein Maximum an Zentrizität aufweist, auftreten könnten. Das Beispiel der Fig. 1
zeigt mit 51, 52, 53, 54, 55, 56 und 57 derartige zwischen einzelnen Linsen angeordnete Justiersysteme, und zwar
Ablenksysteme, mit denen der Elektronenstrahl seitlich
nach jeder Richtung abgelenkt werden kann, und/oder Stigmatoren, mit denen Abweichungen der Linsenfeäder
von der Rotationssymmetrie korrigiert werden können.
Die Justiersysteme 5t, 52, 53 und 54 befinden sich im
Innern des Trägcrohres 22 und zwar im Innern der
einschiebbaren Hülse 23. Jedes einzelne Justiersystem besteht z. B. aus vier in einer Ebene sich kreuzweise
gegenüberstehenden einzelnen Spulen. Mit den vier Spulen, von denen in der Figur jeweils nur drei
dargestellt sind, kann ein Ablenk-Magnetfeld erzeugt werden, mit dem ein in seiner Richtung von der Achse
fehlerhafterweise abweichender Elektronenstrahl wieder in die Richtung der Achse des Systems gelenkt wird.
Die vorangehend beschriebene Ablenksysteme können entweder, wie angegeben, innerhalb des Trägerrohres,
bzw. der Hülse oder außerhalb des Trägerrohres angeordnet sein. Letztere Anordnung ist für das
Justiersystem 58 in unmittelbarer Nähe des Objektivs
dargestellt Insbesondere wird man Justiersysteme außerhalb des Trägerrohres anbringen, wenn das
Trägerrohr einen nur geringen Durchmesser aufweist Ein geringer Innendurchmesser ist insbesondere für das
Trägerrohr 24 des Linsensystems, bestehend aus Objektiv 14/114 und erster Zwischenlinse 15, zweckmäßig,
da die geometrischen Abmessungen des Objektivs im Bereich des Objektivs, das hier in der Mitte zwischen
den Linsenteilen 14 und 114 angeordnet ist, in die Abbildungseigenschaften eingeht. Wegen des geringen
Innendurchmessers dies Rohres 24 befinden sich auch die Polschuhpaare der Zwischenlinse 15 außerhalb
desselben.
Mit Hilfe der beschriebenen Linsensysteme kann eine Säule mit vielen Kondensorlinsen und vielen nachvergrößernden
weiteren Linsen und insbesondere mit einer als Abschirmlinse bekannten, supraleitenden Objektivlinse
realisiert werde:n Wegen der geringen Bauhöhe und der großen Brechkraft supraleitender Linsen kann
die Baulänge dieser !Säule sehr klein gehalten werden, d. h. ein sehr exakter, stabiler und erschütterungsfester
Aufbau ist gewährleistet.
So !St CS mögl'ch, pine Säule für eine .Strahlsnanniing
von 3 MeV mit mindestens zwei Kondensorlinsen und drei Zwischenlinsen für eine etwa lOTache Vergrößerung
aufzubauen, wobei die Länge der Säule weniger als I m beträgt. Vergleichbare bekannte Anordnungen mit
nicht supraleitenden Linsen haben dagegen Längenabmessungen bis zu 5 m.
Weiter ist insbesondere durch Anwendung einer oder mehrerer Hülse(n) auch das Problem gelöst, wie die im
Innern c'ner derartigen Säule angeordneten zahlreichen
Polschuhpaare, Blenden und gegebenenfalls Justiersysterne ohne große Umstände gereinigt und gegebenenfalls
demontiert und wieder gen^ιι zentriert eingesetzt
werden können, ohne daß eine wesentliche Neujustierung erforderlich ist.
Zur Abschirmung der einzelnen Linsensysteme und damit des Gesamtlinsensystems gegen äußere magnetische
Störfelder, insbesondere gegen Wechselfelder, empfiehlt es sich, supraleitende Abschirmzylinder im
Innern der Kryostatengehäuse vorzusehen. Ein solcher Abschirmzylinder 202 ist in F i g. 1 für das Gehäuseteil 2
dargestellt. Entsprechende Abschinr.zylinder können in
den übrigen Gehäuseteilen angeordnet sein. Sie befinden sich im flüssigen Helium und damit in
supraleitendem Zustand.
Nur für die Linsen 11 und 12 ist als Beispiel eine Anordnung zur Einspeisung des in der magnetischen
Wicklung dieser Linse fließenden elektrischen Stromes dargestellt In entsprechender Weise sind auch die
übrigen Linsen elektrisch angeschlossen. Dabei kann ein einziges Stromversorgungsgerät zur Erregung verschiedener
Linsen bzw. Korrektursysteme nacheinander verwendet werden (siehe F i g. 1). Die Zuführungs! .itungen
212 und 218 werden, abweichend von der schematischen Darstellung der F i g. 1 und wie oben
bereits angedeutet, durch eine öffnung, beispielsweise
die öffnung 9, aus dem Innern des Kryostaten herausgeführt Noch innerhalb des Kryostaten ist eine
supraleitende Kurzschlußleitung 214 bzw. 219 vorgesehen, die die Leitungen 212 und 213 bzw. 213 und 218
miteinander kurzschließt Dieser Kurzschluß liegt jedoch solange nicht vor, wie durch einen Stromfluß in
der die Leitung 214 umgebenden Wicklung 215 bzw. der die Leitung 219 umgebenden Wicklung 220 soviel
Wärme erzeugt wird, daß die Leitung 214 bzw. 219 noch in normal-leitendem Zustand gehalten wird. Mit 216 ist
ein steuerbarer Stromgenerator für den Strom bezeichnet der durch Betätigung der Schalter 221 bzw. 222
•entweder durch die Wicklung 215 oder durch die Wicklung 220 fließt Während der Kurzschluß 214 durch
die Wärme in der Wicklung 215 infolge auftretender
Normalleitung unwirksam ist. wird mittels des Stromgenerators 217 der Strom in die Wicklung der Linse 11
eingeprägt. Di^ Spule 12 wird nicht erregt, denn der
Strom fließt durch die Kurzschlußleitung 219. Sobald sich der Strom in der Linse 11 aufgebaut hat, wird der
Strom in der Wicklung 215 unterbrochen und der Ku'.jschluß 214 wird wirksam, so daß in der Wicklung
der Linse 11 ein supraleitender Dauerstrom fließt. Anschließend kann in gleicher Weise der Strom in die
Spule 12 eingespeist werden.
Das Trägerrohr kann abschnittsweise aus verschiedenen Materialien bestehen. Insbesondere kommt es
darauf an, ob das Material des Trägerrohres in einem Abschnitt supraleitend oder ferromagnetisch oder
weder supraleitend noch ferromagnetisch ist. Sofern eine Hülse im Innern eines Trägerrohres vorgesehen ist.
gilt dasselbe auch für die Hülse. Welches Material an woh-hpr ^IpMp rlpc Träoprrrthrpc nnH crpcrpHpnpnfallc
auch der Hülse zu wählen ist, richtet sich danach, ob an dem jeweils betreffenden Ort eine ferromagnetische
Leitung magnetischer Feldlinien oder eine Abschirmung eines magnetischen Feldes unter Zuhilfenahme der
Supraleitung gewünscht ist, hingenommen werden kann oder gar vermieden werden muß. So ist es z. B. bei
Polschuhen, die sich im Innern des Trägerrohres bzw. der Hülse befinden, notwendig, daß zwischen den
Polschuhen und der magnetischen Ummantelung der Linse, z.B. zwischen 31 und 211, ein magnetischer
Schluß besteht, wozu das Trägerrohr 22 und die Hülse 23 .m Ort ihrer Berührung mit der ferromagnetischen
Ummantelung 211 der Linse 11 ferromagnetisch ist, so
daß die in 211 verlaufenden Magnetfeldlinien ohne wesentliche Hinderung in die Polschuhe 31 überteten
können. Andererseits sind Trägerrohre und Hülse im Bereich des Spaltes zwischen den Polschuhen des
Polschuhpaares 31 nicht-ferromagnetisch auszuführen, da sonst mehr oder weniger ein Kurzschluß für
dasjenige Magnetfeld auftreten würde, das zwischen den Polschuhen des Polschuhpaares 31 im Bereich der
Achse des Linsensystems auftreten soll. Im Bereich der Objektivlinse 14/114 müssen das Trägerrohr 24 und die
Hülse 25 im Bereich der Abschirmkörper 48 und 49 supraleitend sein. Diese Supraleitung ist notwendig,
damit zwischen der supraleitenden Abschirmung 214 der Linse 14 und dem Abschirmkörper 48 kein solcher
Spalt besteht, durch den hindurch Magnetfeldlinien deshalb unerwünschterweise austreten können, weil in
diesem Spalt keine ausreichende Supraleitung besteht. Andererseits muß im Linsenspalt zwischen dem
Linsenteil 14 und dem Linsenteil 114 das magnetische Feld in das Zentrum der Linse eintreten, um dort eine
fokussierende Wirkung zu haben. Trägerrohr und Hülse dürfen daher in diesem Bereich auf keinen Fall
supraleitend und auch nicht ferromagnetisch sein. Bei der supraleitenden Abschirmlinse 14/114 wirken die
Abschirmkörper 48 und 49 bezüglich der Fokussierung in mit Polschuhpaaren etwa vergleichbarer Weise. Im
Bereich der Polschuhe der Linse 15 müssen Trägerrohr und Hülse ferromagnetisch sein. Jedoch zwischen den
Polschuhen der Linse 15 müssen Trägerrohr und Hülse frei von ferromagnetischen oder supraleitenden Eigenschaften
sein. Trägerrohr und Hülse können jedoch u. U. im Bereich der Polschuhe der Linse 15 supraleitend sein.
Bei der Ausführungsform einer Säule nach F i g. 1 sind, wie bereits erwähnt, Justiersysteme im Innern und
außerhalb von Hülse und Trägerrohr vorgesehen. Soweit sich diese aus Magnetfeldspulen bestehenden
lusliersysteme im Innern befinden, sollten Hülse und/oder Trägerrohr ferromagnetisch sein, um einen
äußeren ringförmigen magnetischen Schluß für die einzelnen Spulen, beispielsweise des Justiersystems 51,
zu bewirken. Bei einer Anordnung eines Justiersystems außerhalb des Trägerrohres, wie z. B. bei 58. dürfen
Trägerrohr und Hülse an dieser Stelle weder ferromagnetisch noch supraleitend sein, damit das zur Justierung
vorgesehene Magnetfeld der einzelnen Spulen des Systems 58 auch tatsächlich im Bereich der Achse der
Säule wirksam werden kann. Zweckmäßig ist es. für ein solches außerhalb angeordnetes Justiersystem 58 einen
magnetischen Rückschluß außen herum um das Justiersystem vorzusehen, was jedoch der Übersichtlichkeit
halber in der Fig. 1 nicht dargestellt ist. Gegebenenfalls kann als Rückschluß auch die ferromagnetische
Ummantelung, wie z. B. 211, einer unmittelbar daneben angeordneten Linse verwendet werden.
vorhanden, in der Hülse in dem Trägerrohr sind Bohrungen vorhanden, soweit diese notwendig oder
auch nur zweckmäßig sind. Z. B. befinden sich in dem Trägerrohr 24 und in der Hülse 25 Bohrungen im
Verlauf der Bohrung 105 der Scheibe 104. Durch die Bohrung 105 und die anschließenden Bohrungen in
Trägerrohr und Hülse wird das Präparat in die Gegenstandsebene der Objektivlinse 14/114 eingebracht.
Fig. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem ein
durch die ganze Säule zentral hindurchgehendes Trägerrohr 522 vorgesehen ist. Innerhalb des Trägerrohres
522 befindet sich eine ebenfalls durchgehende Hülse 523. Im Innern der Hülse 523 sind in der
Ausführungsform nach F i g. I entsprechenderweise Einzelheiten der Linse angeordnet. Einzelheiten, die
bereits im Zusammenhang mit dem Ausführungsbeispiel nach F i g. 1 beschrieben worden sind, haben in der
F i g. 2 mit F i g. 1 übereinstimmende Bezugszeichen. Vergleichsweise zur Scheibe 104 ist eine Scheibe 104
vorgesehen, in der sich in horizontaler Richtune verlaufende Bohrungen 1105 und 1106 befinden. Durch
diese Bohrungen können Schieber 1110 und 1111 hindurchgeführt werden. Diese Schieber können als
Objektträger und/oder als Blende verwendet werden. Als Objektivlinse ist eine wiederum in zwei Teile 504
und 514 aufgeteilte Linse mit supraleitender Wicklung vorgesehen. Diese beiden Linsenteile sind von einem
Gehäuse 516 aus ferromagnetischem Material umgeben. Mit 534 sind die zur Objektivlinse gehörenden
Polschuhe bezeichnet. Die nachvergrößernde erste Zwischenlinse 515 hat Polschuhe 535, die sich ebenfalls
im Innern des Trägerrohres 522 bzw. im Innern der Hülse 523 befinden. Trägerrohr 522 und Hülse 523 sind
an den Stellen, an denen sich Ummantelungen 516 und Polschuhe 534 bzw. 535 berühren bzw. einander
nahekommen aus ferromagnetischem Material hergestellt. Im Bereich des Spaltes zwischen den einzelnen
Polschuhen der Polschuhpaare 534 und 535 sind die Materialien von Trägerrohr und Hülse nicht ferromagnetisch,
damit kein magnetischer Kurzschluß an dieser Stelle eintritt
F i g. 3 zeigt einen Ausschnitt eines weiteren Ausführungsbeispiels,
bei dem innerhalb des Gehäuseteiles 1304, das im wesentlichen dem Gehäuseteil 4 des
Ausführungsbeispiels nach F i g. 1 entspricht, ein Trägerrohr 1224 vorgesehen ist, das unmittelbar
unterhalb der Objektivlinse abgesetzt ist. Die Objektivlinse besteht aus den Linsenteilen 604 und 614, wie dies
im Prinzip im Zusammenhang mit den Pig. I und 2 bereits beschrieben ist. Bei dem Aiisführungsbeispiel
nach Fig. 3 ist eine supraleitende Abschirmlinse vorgesehen mit einem supraleitenden Abschirmgehäiise
1314 und mit supraleitenden Abschirmkörpern 1246 und
1247. Diese zylinderförmigen Abschirmkörper umgeben den inneren Teil des Trägeirohres 1224. Das Trägerrohr
ist insbesondere aus dem Grunde in seinem Durchmesser möglichst klein gewählt, damit die Abschirmkörper
1246, 1247 mit ihren einander gegenüberstehenden, das
Magnetfeld formenden Kanter, möglichst nahe an das Objekt herankommen, das sich an der Spit/c ('es in die
Bohrung 1205 der Scheibe 1204 eingeführten Si hubers
1210 befindet.
Mit 1206 ist eine der Bohrung 106 (I-ig. I)
entsprechende Durctilaßöffnung für flüssiges Helium
bezeichnet.
Innerhalb desjenigen Teiles des Trägerrohres 1224. der einen weiteren Querschnitt aufweist, befindet sich
eine vorgesehene Hiiise i225, wie bereits prinzipiell beschrieben. In der Hülse ist eine Blende 1245
angeordnet. Im vorliegenden Fall läßt sich die Hülse 1225 nur nach unten aus dem Trägerrohr 1224
herausnehmen, was jedoch keine nennenswerte Ein schränkung bedeutet.
Weitere Einzelheiten des Ausführungsbeispiels nach Fig. 3, insbesondere die in der Figur abgeschnittenen
Teile, entsprechen beispielsweise den in dem Ausführungsbeispiel nach F i g. 1 beschriebenen Einzelheiten.
Fig. 4 zeigt einen Ausschnitt eines weiteren Ausführungsbeispiels,
und zwar einen Ausschnitt, der im wesentlichen nur die als Objektiv vorgesehene Abschirmlinse
zeigt. Auch bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 4 ist die Abschirmlinse in zwei Teile 704 und
714 aufgeteilt, zwischen denen sich die Scheibe 1704 befindet, die der Scheibe 1104 bzw. 1204 im wesentlichen
entspricht. Mit 716 und 717 sind supraleitende Abschirmungen bezeichnet. Die Spulenwicklungen sind
mit 718 und 719 bezeichnet.
Es ist ein Trägerrohr 724 vorgesehen, auf dem die Ummantelungen 716 und 717 angeordnet sind. Die mit
726 und 728 bezeichneten Teile des Trägerrohres 724 bestehen aus supraleitendem Material. Im Bereich 704
und 714 wirken die im Innern des Trägerrohres 724 angeordneten Teile 730 und 731 als Abschirmkörper,
wie sie beispielsweise mit den Ausführungsbeispielen nach Fig. 1 und Fig. 3 bereits erwähnt sind. Die
Teilstücke 727 und 729 des Trägerrohres 724 bestehen aus einem Material, das weder supraleitend noch
ferromagnetisch ist, aber gut wärmeleitend sein soll. Das Material der Teilstücke 727 und 729 hat damit keinen
Einfluß auf die Formgebung des magnetischen Feldes in dem Bereich, in dem sich die Abschirmkörper 726 und
728 gegenüberstehen Die Teilstücke 727 und 72S
können ein geneinsames, beispielsweise einstückig verbundenes Teilstück des Trägerrohres 724 und der
Scheibe 1704 sein. Die Teilstücke des Trägerrohres 724 sind, vorzugsweise durch Schweißen, einstückig miteinander
verbunden. Die Ringe 732 und 731 dienen zur Kühlung der dem Spalt zugekehrten Seite der
Abschirmkörper. Sie sollen aus gut wärmeleitendem. \>
eder ferromagretischem noch supraleitendem Material bestehen.
Beim Betrieb wird das Innere des Trägerrohres 724 für den Durchgang des Elektronenstrahls evakuiert. Die
\ crschweißungen sind dementsprechend vakuumdicht ausgeführ"..
Die Fig.5 zeigt im Prinzip ein Ausführungsbeispiel
einer Linse mit Polschuhen sowohl im Innern des Trägerrohres 822 als auch im Innern der Hülse 823. Mu
816 ist die äußere Ummantelung der [.insenwicklunj;
818 bezeichnet. Die stark schraffierten Abschnitte 841 und S42 ies Trägerrohres 822 und der Muise 823
bestehen au? ferromagnetischern Material, damit ein
ungehinderter Schluß des Magnetfeldes zwischen den Polschuhen 834/835 und der Ummantelung 816 möglich
ist. Der Abschnitt 843 von Trägerrohr und Hülse ist weder ferromagnetisch noch supraleitend, damit das
magnetische Feld, das sich zwischen den Spitzen der Polschuhe 834/835 ausbilden soll, nicht kurzgeschlossen
wird.
F i g. 6 zeigt einen schematischen Aufbau eines Elektronenmikroskope* mit einem Linsensystem. Von
dem Linsensystem ist lediglich das Kryostatengehäuse 2000 dargestellt, das den Gehäuseteilen 2, 4 und 6 in
Fig. I entspricht. Mit 2002 ist die Vakuumkammer bezeichnet, die im wesentlichen aus den Teilen des
Trägerrohres bzw. den mehreren einzelnen Trägerrohren sowie Verlängerungen desselben nach oben und
unten besteht. Im oberen Ende der Vakuumkammer 2002 befindet sich eine Elektronenquelle 2003. Es ist dies
beispielsweise eine Glühwendel. Mit 2004 ist eine Beobacfuungskammer am unteren Ende der Vakuum
kammer 2002 bezeichnet. Innerhalb dieser Beobachtungskammer befindet sich beispielsweise ei»· Beobachtungsschirm
zur Beobachtung des vergrößerten Elektronenmikroskopbildes. Über eine Rohrleitung 2006 ist
das Innere der Vakuumkammer 2002 mit einer Vakuumpumpe 2007 verbunden. Mit 2008 ist eine
ringförmige Anode bezeichnet. Eine Spannungsquelle 2009 dient zur Aufrechterhaltung einer elektrischen
Spannung zwischen der Elektronenquelle 2003 und der Anode 2008. Die gestrichelte Linie 2009 deutet den Weg
des Elektronenstrahls im Innern der Vakuumkammer durch das Linsensystem, das sich in dem Kryostatengehäuse
2000 befindet, an.
Hierzu 4 Blatt Zeichnungen
Claims (20)
1. Supraleitendes Linsensystem für Korpuskularstrahlung mit mehreren supraleitenden, kryostatisch
gekühlten magnetischen Linsen und mit Mitteln zur =>
Justierung des Korpuskularstrahl, dadurch
gekennzeichnet, daß sich jeweils mehrere Linsen (11,12,13; 14,114.15; 16,17,18 bzw. 11,12,
13,504,514,515,16,17,18 bzw. 604,614,15 bzw. 704,
714) des Systems in einem gemeinsamen Kryostaten in befinden und auf einem im Kryostaten befindlichen
zentralen Trägerrohr (22, 24, 26 bzw. 522 bzw. 1224 bzw. 724 bzw. 822) aufgebaut sind.
2. Linsensystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das System aus einer Objektivlinse (14,114; 504,514; 604,614; 704, 714) und einer
ersten Zwischenlinse (15; 515) besteht.
3. Linsensystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens zwei in gleicher
Weise aufgebaute Linsensysteme zusammengesetzt und Teile eines Gesamtlinsensystems (11,12,13,14,
114,15,16,17,18 br*. 11,12,13,504,514,5!5,16,17,
18)sind(Fig. Iu.2).
4. Linsensystem nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Gesamtlinsensystem (11,
12,13,14,114,15,16,17, IS bzw. 11,12,13,504,514,
515, 16,17, 18) die Säule (1; 501) eines Elektronenmikroskopes bildet (F i g. 1 u. 2).
5. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das eine oder die jo
mehreren Linsensysteme Kondensor- (11, 12, 13), (Nach-)Verg; öQerungsystem(e) (16,17,18) und/oder
Objektiv (14, 114; 504. 514; 604, 614; 704, 714) ist
(sind).
6. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß sic.i in dem Innern des Trägerrohres (22,24,26 bzw. 522 bzw. 1224 bzw. 724
bzw. 822) wenigstens eine Blende (41,141,42,43,45,
46,47; 1245) befindet
7. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Innern des
Trägerrohres (22, 26, 522, 822) ferromagnetische Polschuhe (31, 32, 33, 36, 37. 534, 535, 834, 835)
wenigstens einer Linse (11, 12, 13, 16, 17, 18; 504,
514, 515, 816) befinden und das Trägerrohr an der jeweiligen Berührungs- bzw. Annäherungsstelle der
Polschuhe mit dem Trägerrohr wenigstens teilweise (841,842) ferromagnetisch ist.
8. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß sich im Innern des Trägerrohres (24, 1224, 724) Abschirmkörper (48,
49; 1246, 1247; 730, 731) aus supraleitendem Material wenigstens einer Linse (14, 114; 604, 614;
704, 714) befinden und daß das Trägerrohr an der jeweiligen Berührungs- bzw. Annäherungsstelle der
Abschirmkörper mit dem Trägerrohr wenigstens teilweise (726,728) supraleitend ist.
9. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß sich im Innern des Trägerrohres (22, 26 bzw. 522) wenigstens ein «>
Justiersystem (51-57 bzw, 51 -57 und 558) befindet (Fig. I u.2).
10. Linsensystem nach einem der Ansprüche I bis
9, dadurch gekennzeichnet, daß sich Polschuhe wenigstens einer Linse (15) außerhalb des Träger- fti
rohres(24b/w. 1224)befinden(Fig. I u.3).
11. Linsensystem nach einem der Ansprüche I bis
10, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Abschirmkörper (1246,1247) wenigstens einer Linse (604,614)
außerhalb des Trägerrohres (1224) befinden (F t g. 3).
12. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis
11, dadurch gekennzeichnet, daß sich wenigstens ein
Justiersystem (58) außerhalb des Trägerrohres (24 bzw. 1224) befindet und daß das Trägerrohr am Ort
des Justiersystems weder ferromagnetisch noch supraleitend ist (F i g. 1 u. 3).
13. Linsensystem nach einem der Ansprüche 3 bis
12, dadurch gekennzeichnet, daß Linsensysteme des
Gesamtlinsensystems (U, 12,13,14, 114, 15, 16, 17,
18 bzw. 11,12,13,504,514,515,16,17,18) mit ihren
Kryostaten derart miteinander zusammengesetzt sind, daß sie für das Kühlmittel einen einzigen
Innenraum bilden (F i g. 1 u. 2).
14. Linsensystem nach einem der Ansprüche 3 bis
13, dadurch gekennzeichnet, daß sich alle Linsensysteme des Gesamtlinsensystems (11,12,13,14, 114,
15,16,17,18 bzw. 11,12,13,504,514,515, ;S, 17,18)
in einem einzigen Kryostaten befinden.
15. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis
14, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Linsensysteme (Ϊ1, 12, 13; 504, 515; 16, 17, 18) auf einem
einzigen Trägerrohr (522) angeordnet sind.
16. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis
15, dadurch gekennzeichnet, daß in wenigstens einem Trägerrohr (22, 24, 26, 522, 1224, 822) eine
Hülse (23, 25, 27, 523, 1225, 823) aus elektrisch leitfähigem Material vorgesehen ist und daß die
Hülse aus dem Trägerrohr herausnehmbar ausgeführt und praktisch spaltfrei in den Innendurchmesser des Trägerrohres eingepaßt ist
17. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis
16, dadurch gekennzeichnet, daß eine Blende (41, 141, 42, 43; 45, 46, 47; 1245) und/oder ein
Polschuhpaar (31,32,33; 36,37; 534,535; 834, 835)
und/oder ein Justiersystem (51,52,53,54; 55,56,57;
558) im Innern der Hülse (23, 25, 27,523,1225, 823)
auswechselbar angeordnet ist (sind).
18. Linsensystem nach-?inem «>r Ansprüche 1 bis
17, dadurch gekennzeichnet, daß die Hülse (23, 25,
27,523,1225,823) an den Stellen eines Polschuhpaares (31, 32, 33, 36, 37, 534, 535, 834, 835), eines
Abschirmkörpers (48, 49) und/oder eines Justiersystems (51, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 558) aus einem
vergleichsweise zum Trägerrohr (22, 24, 26, 522, 1224, 822) magnetisch gleichartigen Material besteht
19. Linsensystem nach einem der Ansprüche 2 bis
18, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Trägerrohr (24, 522, 1224, 724), auf dem sich die
Objektivlinse (14, 114; 504, 514; 604, 614; 704, 714)
befindet, im Bereich der Objektivlinse eine Scheibe (104; 1104; 1204; 1704) mit wenigstens einer
Radialbohrung (105; 1105, 1106; 1205; 1705, 1706) zur Präparateeinfuhr und mit wenigstens einer
nichtzentrisch gelegenen axial gerichteten Bohrung (106, 1206) zum Durchtritt des Kühlmittels im
Kryostaten versehen ist.
20. Linsensystem nach einem der Ansprüche I bis
19, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Linsen (11,12) von nur einem Netzgerät gespeist sind.
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DE2541915A1 (de) * | 1975-09-19 | 1977-03-31 | Max Planck Gesellschaft | Korpuskularstrahlenmikroskop mit ringzonensegmentabbildung |
DE2726195C3 (de) * | 1977-06-10 | 1980-02-21 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Magnetische Objektivlinse für unter Vakuum arbeitende Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere Objektivlinse für Elektronenmikroskope |
JPS5748274Y2 (de) * | 1977-07-11 | 1982-10-22 | ||
JPS6338523Y2 (de) * | 1981-06-15 | 1988-10-11 | ||
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JP2611995B2 (ja) * | 1987-07-29 | 1997-05-21 | 秀典 松沢 | 荷電粒子収束用超電導体レンズ |
NL8800344A (nl) * | 1988-02-12 | 1989-09-01 | Philips Nv | Geladen deeltjes bundel apparaat. |
JPH0760661B2 (ja) * | 1988-07-22 | 1995-06-28 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微鏡 |
US5012104A (en) * | 1990-05-17 | 1991-04-30 | Etec Systems, Inc. | Thermally stable magnetic deflection assembly and method of making same |
US5264706A (en) * | 1991-04-26 | 1993-11-23 | Fujitsu Limited | Electron beam exposure system having an electromagnetic deflector configured for efficient cooling |
EP0555492B1 (de) * | 1991-08-30 | 1998-10-28 | Hitachi, Ltd. | Magnetische elektronenlinse und Elektronenmikroskop unter Verwendung derselbe. |
US5376792A (en) * | 1993-04-26 | 1994-12-27 | Rj Lee Group, Inc. | Scanning electron microscope |
US5563415A (en) * | 1995-06-07 | 1996-10-08 | Arch Development Corporation | Magnetic lens apparatus for a low-voltage high-resolution electron microscope |
US6051839A (en) * | 1996-06-07 | 2000-04-18 | Arch Development Corporation | Magnetic lens apparatus for use in high-resolution scanning electron microscopes and lithographic processes |
US6046457A (en) * | 1998-01-09 | 2000-04-04 | International Business Machines Corporation | Charged particle beam apparatus having anticontamination means |
US7345287B2 (en) * | 2005-09-30 | 2008-03-18 | Applied Materials, Inc. | Cooling module for charged particle beam column elements |
NL2013814B1 (en) * | 2013-11-14 | 2016-05-10 | Mapper Lithography Ip Bv | Multi-electrode vacuum arrangement. |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB615257A (en) * | 1946-05-13 | 1949-01-04 | Gerhard Liebmann | Improvements in or relating to electron microscopes and other electronic apparatus employing electron lenses |
US3008044A (en) * | 1960-02-25 | 1961-11-07 | Gen Electric | Application of superconductivity in guiding charged particles |
DE1209224B (de) * | 1963-08-16 | 1966-01-20 | Siemens Ag | Magnetische Linsenanordnung fuer an der Pumpe arbeitende Korpuskularstrahlgeraete |
DE1564714C3 (de) * | 1966-09-21 | 1975-04-24 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Magnetische Linsenanordnung für unter Vakuum arbeitende Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere Objektivlinsenanordnung für Elektronenmikroskope |
GB1234509A (de) * | 1968-05-31 | 1971-06-03 |
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1973
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US3916201A (en) | 1975-10-28 |
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GB1459281A (en) | 1976-12-22 |
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