DE2307822C3

DE2307822C3 - Supraleitendes Linsensystem für Korpuskularstrahlung

Info

Publication number: DE2307822C3
Application number: DE2307822A
Authority: DE
Inventors: Karl-Heinz Dr. Dr. 1000 Berlin Herrmann; Helmut 8000 München Zerbst
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1973-02-16
Filing date: 1973-02-16
Publication date: 1982-03-18
Also published as: FR2218651A1; NL179247C; DE2307822A1; US3916201A; FR2218651B1; GB1459281A; NL7401645A; JPS49115264A; NL179247B; DE2307822B2

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein supraleitendes Linsensystem für Korpuskularstrahlung mit mehreren

supraleitenden, kryostatisch gekühlten magnetischen Linsen und mit Mitteln zur Justierung des Korpuskularstrahles.

Ein derartiges Linsensystem ist bekannt (Revue de Physique Appliquee, Bd. 6, 1971, Seiten 453—465). ■-, Dabei besitzen die Spulen der einzelnen Linsen jeweils einen eigenen, separaten Kühlmantel zur Aufnahme von flüssigem Helium. Diese Kühlmantel sind durch ein Rohr miteinander verbunden, so daß das flüssige Helium nacheinander die einzelnen Kühlmantel durchfließt. Bei in dieser Anordnung befindet sich jede Linsenspule auf einem anderen Temperaturniveau; thermische Drifterscheinungen sind daher nicht zu vermeiden. Außerdem ist dieses bekannte Linsensystem relativ aufwendig und insbesondere schwierig zu zerlegen, was zum Reinigen oder Erneuern von Innenteilen, wie Blenden oder Polschuhen, erforderlich ist.

Aus der US-PS 24 68 403 ist ein normalleitendes Linsensysem für Korpulskularstrahlen bekannt, bei dem' die Linsen auf einem zentralen Trägerrohr angeordnet sind und bei dem ebenfalls Mittel zum Justieren des Korpuskularstrahles vorhanden sind. Im Innern des Trägerrohres befinden sich dabei Einzelteile, wie Blenden oder Polschuhe, die leicht ausgewechselt werden können. 2 >

Weiterhin ist aus der DE-OS 20 59 417 eine einzelne supraleitende Linse mit einem separaten Kühlmantel für die Linsenspule bekannt, die auf einem evakuierten Zentralrohr aufgebaut ist und deren Spulenlage zur Feldjustierung verändert werden kann. jo

Es ist Aufgabe der Erfindung, ein supraleitendes Linsensystem der eingangs genannten Art anzugeben, das möglichst frei von thermischen Drifterscheinungen ist, das weitgehend unempfindlich gegen mechanische Erschütterungen ist, das leicht gegen äußere magneti- r> sehe Felder, und zwar speziell Wechselfelder, zu schützen ist und dessen Einzelteile, die sich im Bereich oder in der Nähe des Korpuskularstrahls befinden, möglichst leicht gereinigt und/oder ausgewechselt werden können, und das möglichst kompakt ist

Diese Aufgabe wird bei einem supraleitenden Linsensystem der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß sich jeweils mehrere Linsen des Systems in einem gemeinsamen Kryostaten befinden und auf einem im Kryostaten befindlichen zentralen Trägerrohr « aufgebaut sind.

Dadurch, daß bei dem erfindungsgemäßen supraleitenden Linsensystem die Spulen mehrerer Linsen in einem gemeinsamen Kryostaten angeordnet sind, wird erreicht, daß an allen Spulen und entlang des gemeinsamen Trägerrohiis gleiche Temperaturverhältnisse herrschen. Thermische Drifterscheingungen können also nicht auftreten.

Im einfachsten Fall besteht das System aus der Objektivlinse und einer ersten Zwischenlinse, die der Nachvergrößerung dient Vorzugsweise sind wenigstens zwei in gleicher Weise aufgebaute Linsensysteme zusammengesetzt und Teile eines Gesamtlinsensystcms, das die Säule eines Elektronenmikroskop« bilden kann. Im Innern des Trägerohres können Blenden und/oder Polschuhpaare und/oder Justiersysteme zur Justierung der Achse des Korpuskularstrahl^, und zwar insbesondere auswechselbar, angeordnet sein.

In besonders einfacher Weise läßt sich ein Linsensystem nach der Erfindung reinigen bzw. lassen sich Teile 6^r> im Innern des Lir.sensystems auswechseln, wenn gemäß einer besonders bevorzugten Weiterbilldung der Erfindung in wenigstens eindin Trägerrohr eine Hülse aus elektrisch leitfähigem Material vorgesehen ist, wobei die Hülse aus dem Trägerrohr herausnehmbar ausgeführt und praktisch spaltfrei in das Trägerrohr eingepaßt ist. Spaltfrei ist wie luftspaltfrei zu versehen, jedoch befindet sich in dem im Betrieb evakuierten Trägerrohr keine Luft Im Innern des Trägerrohres angeordnete Teile befinden sich dann im Innern der Hülse.

Weitere Weiterbildungen der Erfindung sind in den weiteren Unteransprüchen gekennzeichnet.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Figuren beschrieben.

In F i g. 1 ist die Säule 1 eines Elektronenmikroskopes mit supraleitenden Linsen dargestellt Es ist ein Kryostatengehäuse vorgesehen, in dem sich die im folgenden noch zu beschreibenden Teile der Linsensystem befinden und in das zur Kühlung dieser Teile flüssiges Helium eingefüllt wird. Die Gehäuseteile 2, 4 und 6 bilden zusammen ein abgeschlossenes Kryostatengehäuse mit einer öffnung 8 zum Einfüllen des flüssigen Heliums und mit einer öffnung 9 für gasförmiges Helium und für die i".'urchführun;e von elektrischen Leitungen in das Innere des· Kryostatengehäuses. Mit 3 und 5 sind Flansche bezeichnet, an denen die Teile 2, 4 und 6 zusammengehalten werden. !In den Flanschen 3 und 5 befinden sich Bohrungen 7 für den Durchtritt flüssigen Heliums innerhalb des gesamten Kryostatengehäuses.

Mit 104 ist eine Scheibe bezeichnet die eine vakuumdicht abschließbare Bohrung 105 zum Einschieben des Objekts enthält Diese Bohrung 105 verlauft in der Darstellung der F i g. 1 in waagerechter Richtung. Weiter befinden sich in der Scheibe 104 in der Figur senkrecht verlaufende Bohrungen, von denen eine Bohrung 106 dargestellt ist, die für den Durchtritt des Heliums im Innern des Kryostatengehäuses vorgesehen sind.

Die Kondensorlinsen sind mit 11, 12, 13 und die Zwischenlinsen mit 15, 16 und 17 bezeichnet:. Die eigentliche Objektivlinse ist mit Rücksicht auf die Scheibe 104 in zwei Teile 14 und 114 aufgeteilt, die sich oberhalb und unterhalb der Scheibe 104 befinden, und die zusammen eine Linse bilden. Im vorliegenden Fall handelt es sich bei dieser Linse um eine sogenannte supraleitende Abschirmlinse.

Im Innern des Gehäuseteils 2 des Kryostatengehäuses befindet sich zentral ein Trägerrohr 22, auf dem die Teile der Linsen 11, 12 und 13 angeordnet sind. In entsprechender Weise befindet sich im Gehäuseteil 4 ein Trägerrohr 24, auf dem die Linsenteile 14 und 114 und die Teile der ersten Zwischenlinse 15 befestigt sind. Im Innern des Gehäuseteils 6 befindet sich ein Trägerrohr 26, auf dem die Linsen 16, 17 und i8 angeordnet sind.

In den Trägerrohren 22, 24 und 26 sind einzelne Hülsen 23, 25 und 27 eingepaßt. Diese Hülsen liegen teilweise ohne Spalt an der jeweiligen Innenwandung des betreffenden Trägerrohres an. Die Hülsen lassen sich aus den Träßerrohren herausnehmen.

Im Innern der Hülse 23 sind für jede der Linsen 11,12 und 13 je ein Polschuhpaar 31, 32 und 3:1 aus ferromagnetischem Material angeordnet. Vorzugsweise lassen sich diese Polschuhpaare ihrerseits aus dem Innern der Hülse herausnehmen, so daß sie auch einzeln gereinigt werden können. Außer den Polschuhpaaren befinden sich im ifinern der Hülse 23 eine Anzahl Blenden 41, 141, 42 und 43. die zur Ausblendung des Elektronenstrahles dienen. Auch diese Blenden sind

vorteilhafterweise herausnehmbar eingesetzt. Die Befestigung und Zentrierung der Blenden und/oder Polschuhpaare kann durch Verstellvorrichtungen herbeigeführt werden, die nach dem Herausnehmen betätigt werden.

F'olschuhe können auch außerhalb des Rohres angeordnet sein, wie dies für die Linse 15 dargestellt ist.

Wie für die Hülse 23 beschrieben, sind in der Hülse 27 im Trägerrohr 26 Polschuhpaare 36 und 37 sowie Blenden 46 und 47 angeordnet.

Innerhalb der Hülse 25. die sich im Innern des Trägerrohres 24 des Gehäuseteiles 4 befindet, sind eine weitere Blende 45 und Abschirmkörper 48 und 49 aus supraleitendem Material angeordnet. Diese Abschirmkörper dienen zur Formgebung des magnetischen Fokussierungsfeldes der als Objektiv vorgesehenen Abschirmlinse.

Da die Hülsen 23 und 27 in einfacher Weise

Innern des Trägerrohres 24 des Gehäuseteiles 4 befindet, leicht aus dem Gesamtlinsensystem herausgenommen werden. Insbesondere im fokussierenden Bereich der Objektivlinse 14/114, d.h. im Bereich der Abschirmkörper 48 und 49 kommt es entscheidend darauf an. daß dort die Wandungen frei von verunreinigenden Fremdteilen sind, die sich elektrisch aufladen könnten und zu einer störenden Überlagerung eines elektrischen Feldes führen würden.

Der Aufbau eines Linsensystems mit Trägerrohren und insbesondere mit darin befindlichen herausnehmbaren Hülsen erleichtert außerdem das Auswechseln einzelner Teiie, die aus elektro-optischen Gründen im Innern des Linsensystems angeordnet sind und einer Veränderung bzw. einem Verschleiß, z. B. durch Auftreffen von Elektronen, ausgesetzt sind.

Mit Rücksicht darauf, daß die einzelnen Linsen, bzw. deren Polschuhe, und die Blenden senkrecht zur Achse, d. h. in Fig. 1 in waagerechter Richtung, unverrückbar sind, sind nicht-mechanische Justiersysteme in der Säule vorgesehen. Sie dienen zur Korrektur von solchen Fehlern, die trotz des beschriebenen Aufbaues, der äußerst stabil ist und ein Maximum an Zentrizität aufweist, auftreten könnten. Das Beispiel der Fig. 1 zeigt mit 51, 52, 53, 54, 55, 56 und 57 derartige zwischen einzelnen Linsen angeordnete Justiersysteme, und zwar Ablenksysteme, mit denen der Elektronenstrahl seitlich nach jeder Richtung abgelenkt werden kann, und/oder Stigmatoren, mit denen Abweichungen der Linsenfeäder von der Rotationssymmetrie korrigiert werden können.

Die Justiersysteme 5t, 52, 53 und 54 befinden sich im Innern des Trägcrohres 22 und zwar im Innern der einschiebbaren Hülse 23. Jedes einzelne Justiersystem besteht z. B. aus vier in einer Ebene sich kreuzweise gegenüberstehenden einzelnen Spulen. Mit den vier Spulen, von denen in der Figur jeweils nur drei dargestellt sind, kann ein Ablenk-Magnetfeld erzeugt werden, mit dem ein in seiner Richtung von der Achse fehlerhafterweise abweichender Elektronenstrahl wieder in die Richtung der Achse des Systems gelenkt wird.

Die vorangehend beschriebene Ablenksysteme können entweder, wie angegeben, innerhalb des Trägerrohres, bzw. der Hülse oder außerhalb des Trägerrohres angeordnet sein. Letztere Anordnung ist für das Justiersystem 58 in unmittelbarer Nähe des Objektivs dargestellt Insbesondere wird man Justiersysteme außerhalb des Trägerrohres anbringen, wenn das Trägerrohr einen nur geringen Durchmesser aufweist Ein geringer Innendurchmesser ist insbesondere für das

Trägerrohr 24 des Linsensystems, bestehend aus Objektiv 14/114 und erster Zwischenlinse 15, zweckmäßig, da die geometrischen Abmessungen des Objektivs im Bereich des Objektivs, das hier in der Mitte zwischen den Linsenteilen 14 und 114 angeordnet ist, in die Abbildungseigenschaften eingeht. Wegen des geringen Innendurchmessers dies Rohres 24 befinden sich auch die Polschuhpaare der Zwischenlinse 15 außerhalb desselben.

Mit Hilfe der beschriebenen Linsensysteme kann eine Säule mit vielen Kondensorlinsen und vielen nachvergrößernden weiteren Linsen und insbesondere mit einer als Abschirmlinse bekannten, supraleitenden Objektivlinse realisiert werde:n Wegen der geringen Bauhöhe und der großen Brechkraft supraleitender Linsen kann die Baulänge dieser !Säule sehr klein gehalten werden, d. h. ein sehr exakter, stabiler und erschütterungsfester Aufbau ist gewährleistet.

So !St CS mögl'ch, pine Säule für eine .Strahlsnanniing

von 3 MeV mit mindestens zwei Kondensorlinsen und drei Zwischenlinsen für eine etwa lOTache Vergrößerung aufzubauen, wobei die Länge der Säule weniger als I m beträgt. Vergleichbare bekannte Anordnungen mit nicht supraleitenden Linsen haben dagegen Längenabmessungen bis zu 5 m.

Weiter ist insbesondere durch Anwendung einer oder mehrerer Hülse(n) auch das Problem gelöst, wie die im Innern c'ner derartigen Säule angeordneten zahlreichen Polschuhpaare, Blenden und gegebenenfalls Justiersysterne ohne große Umstände gereinigt und gegebenenfalls demontiert und wieder gen^ιι zentriert eingesetzt werden können, ohne daß eine wesentliche Neujustierung erforderlich ist.

Zur Abschirmung der einzelnen Linsensysteme und damit des Gesamtlinsensystems gegen äußere magnetische Störfelder, insbesondere gegen Wechselfelder, empfiehlt es sich, supraleitende Abschirmzylinder im Innern der Kryostatengehäuse vorzusehen. Ein solcher Abschirmzylinder 202 ist in F i g. 1 für das Gehäuseteil 2 dargestellt. Entsprechende Abschinr.zylinder können in den übrigen Gehäuseteilen angeordnet sein. Sie befinden sich im flüssigen Helium und damit in supraleitendem Zustand.

Nur für die Linsen 11 und 12 ist als Beispiel eine Anordnung zur Einspeisung des in der magnetischen Wicklung dieser Linse fließenden elektrischen Stromes dargestellt In entsprechender Weise sind auch die übrigen Linsen elektrisch angeschlossen. Dabei kann ein einziges Stromversorgungsgerät zur Erregung verschiedener Linsen bzw. Korrektursysteme nacheinander verwendet werden (siehe F i g. 1). Die Zuführungs! .itungen 212 und 218 werden, abweichend von der schematischen Darstellung der F i g. 1 und wie oben bereits angedeutet, durch eine öffnung, beispielsweise die öffnung 9, aus dem Innern des Kryostaten herausgeführt Noch innerhalb des Kryostaten ist eine supraleitende Kurzschlußleitung 214 bzw. 219 vorgesehen, die die Leitungen 212 und 213 bzw. 213 und 218 miteinander kurzschließt Dieser Kurzschluß liegt jedoch solange nicht vor, wie durch einen Stromfluß in der die Leitung 214 umgebenden Wicklung 215 bzw. der die Leitung 219 umgebenden Wicklung 220 soviel Wärme erzeugt wird, daß die Leitung 214 bzw. 219 noch in normal-leitendem Zustand gehalten wird. Mit 216 ist ein steuerbarer Stromgenerator für den Strom bezeichnet der durch Betätigung der Schalter 221 bzw. 222 •entweder durch die Wicklung 215 oder durch die Wicklung 220 fließt Während der Kurzschluß 214 durch

die Wärme in der Wicklung 215 infolge auftretender Normalleitung unwirksam ist. wird mittels des Stromgenerators 217 der Strom in die Wicklung der Linse 11 eingeprägt. Di^ Spule 12 wird nicht erregt, denn der Strom fließt durch die Kurzschlußleitung 219. Sobald sich der Strom in der Linse 11 aufgebaut hat, wird der Strom in der Wicklung 215 unterbrochen und der Ku'.^jschluß 214 wird wirksam, so daß in der Wicklung der Linse 11 ein supraleitender Dauerstrom fließt. Anschließend kann in gleicher Weise der Strom in die Spule 12 eingespeist werden.

Das Trägerrohr kann abschnittsweise aus verschiedenen Materialien bestehen. Insbesondere kommt es darauf an, ob das Material des Trägerrohres in einem Abschnitt supraleitend oder ferromagnetisch oder weder supraleitend noch ferromagnetisch ist. Sofern eine Hülse im Innern eines Trägerrohres vorgesehen ist. gilt dasselbe auch für die Hülse. Welches Material an woh-hpr ^IpMp rlpc Träoprrrthrpc nnH crpcrpHpnpnfallc

auch der Hülse zu wählen ist, richtet sich danach, ob an dem jeweils betreffenden Ort eine ferromagnetische Leitung magnetischer Feldlinien oder eine Abschirmung eines magnetischen Feldes unter Zuhilfenahme der Supraleitung gewünscht ist, hingenommen werden kann oder gar vermieden werden muß. So ist es z. B. bei Polschuhen, die sich im Innern des Trägerrohres bzw. der Hülse befinden, notwendig, daß zwischen den Polschuhen und der magnetischen Ummantelung der Linse, z.B. zwischen 31 und 211, ein magnetischer Schluß besteht, wozu das Trägerrohr 22 und die Hülse 23 .m Ort ihrer Berührung mit der ferromagnetischen Ummantelung 211 der Linse 11 ferromagnetisch ist, so daß die in 211 verlaufenden Magnetfeldlinien ohne wesentliche Hinderung in die Polschuhe 31 überteten können. Andererseits sind Trägerrohre und Hülse im Bereich des Spaltes zwischen den Polschuhen des Polschuhpaares 31 nicht-ferromagnetisch auszuführen, da sonst mehr oder weniger ein Kurzschluß für dasjenige Magnetfeld auftreten würde, das zwischen den Polschuhen des Polschuhpaares 31 im Bereich der Achse des Linsensystems auftreten soll. Im Bereich der Objektivlinse 14/114 müssen das Trägerrohr 24 und die Hülse 25 im Bereich der Abschirmkörper 48 und 49 supraleitend sein. Diese Supraleitung ist notwendig, damit zwischen der supraleitenden Abschirmung 214 der Linse 14 und dem Abschirmkörper 48 kein solcher Spalt besteht, durch den hindurch Magnetfeldlinien deshalb unerwünschterweise austreten können, weil in diesem Spalt keine ausreichende Supraleitung besteht. Andererseits muß im Linsenspalt zwischen dem Linsenteil 14 und dem Linsenteil 114 das magnetische Feld in das Zentrum der Linse eintreten, um dort eine fokussierende Wirkung zu haben. Trägerrohr und Hülse dürfen daher in diesem Bereich auf keinen Fall supraleitend und auch nicht ferromagnetisch sein. Bei der supraleitenden Abschirmlinse 14/114 wirken die Abschirmkörper 48 und 49 bezüglich der Fokussierung in mit Polschuhpaaren etwa vergleichbarer Weise. Im Bereich der Polschuhe der Linse 15 müssen Trägerrohr und Hülse ferromagnetisch sein. Jedoch zwischen den Polschuhen der Linse 15 müssen Trägerrohr und Hülse frei von ferromagnetischen oder supraleitenden Eigenschaften sein. Trägerrohr und Hülse können jedoch u. U. im Bereich der Polschuhe der Linse 15 supraleitend sein. Bei der Ausführungsform einer Säule nach F i g. 1 sind, wie bereits erwähnt, Justiersysteme im Innern und außerhalb von Hülse und Trägerrohr vorgesehen. Soweit sich diese aus Magnetfeldspulen bestehenden

lusliersysteme im Innern befinden, sollten Hülse und/oder Trägerrohr ferromagnetisch sein, um einen äußeren ringförmigen magnetischen Schluß für die einzelnen Spulen, beispielsweise des Justiersystems 51, zu bewirken. Bei einer Anordnung eines Justiersystems außerhalb des Trägerrohres, wie z. B. bei 58. dürfen Trägerrohr und Hülse an dieser Stelle weder ferromagnetisch noch supraleitend sein, damit das zur Justierung vorgesehene Magnetfeld der einzelnen Spulen des Systems 58 auch tatsächlich im Bereich der Achse der Säule wirksam werden kann. Zweckmäßig ist es. für ein solches außerhalb angeordnetes Justiersystem 58 einen magnetischen Rückschluß außen herum um das Justiersystem vorzusehen, was jedoch der Übersichtlichkeit halber in der Fig. 1 nicht dargestellt ist. Gegebenenfalls kann als Rückschluß auch die ferromagnetische Ummantelung, wie z. B. 211, einer unmittelbar daneben angeordneten Linse verwendet werden.

In rlpr ΝΛ/αηΗιιησ Hp* Träffprrnhrp« und snwpit

vorhanden, in der Hülse in dem Trägerrohr sind Bohrungen vorhanden, soweit diese notwendig oder auch nur zweckmäßig sind. Z. B. befinden sich in dem Trägerrohr 24 und in der Hülse 25 Bohrungen im Verlauf der Bohrung 105 der Scheibe 104. Durch die Bohrung 105 und die anschließenden Bohrungen in Trägerrohr und Hülse wird das Präparat in die Gegenstandsebene der Objektivlinse 14/114 eingebracht.

Fig. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem ein durch die ganze Säule zentral hindurchgehendes Trägerrohr 522 vorgesehen ist. Innerhalb des Trägerrohres 522 befindet sich eine ebenfalls durchgehende Hülse 523. Im Innern der Hülse 523 sind in der Ausführungsform nach F i g. I entsprechenderweise Einzelheiten der Linse angeordnet. Einzelheiten, die bereits im Zusammenhang mit dem Ausführungsbeispiel nach F i g. 1 beschrieben worden sind, haben in der F i g. 2 mit F i g. 1 übereinstimmende Bezugszeichen. Vergleichsweise zur Scheibe 104 ist eine Scheibe 104 vorgesehen, in der sich in horizontaler Richtune verlaufende Bohrungen 1105 und 1106 befinden. Durch diese Bohrungen können Schieber 1110 und 1111 hindurchgeführt werden. Diese Schieber können als Objektträger und/oder als Blende verwendet werden. Als Objektivlinse ist eine wiederum in zwei Teile 504 und 514 aufgeteilte Linse mit supraleitender Wicklung vorgesehen. Diese beiden Linsenteile sind von einem Gehäuse 516 aus ferromagnetischem Material umgeben. Mit 534 sind die zur Objektivlinse gehörenden Polschuhe bezeichnet. Die nachvergrößernde erste Zwischenlinse 515 hat Polschuhe 535, die sich ebenfalls im Innern des Trägerrohres 522 bzw. im Innern der Hülse 523 befinden. Trägerrohr 522 und Hülse 523 sind an den Stellen, an denen sich Ummantelungen 516 und Polschuhe 534 bzw. 535 berühren bzw. einander nahekommen aus ferromagnetischem Material hergestellt. Im Bereich des Spaltes zwischen den einzelnen Polschuhen der Polschuhpaare 534 und 535 sind die Materialien von Trägerrohr und Hülse nicht ferromagnetisch, damit kein magnetischer Kurzschluß an dieser Stelle eintritt

F i g. 3 zeigt einen Ausschnitt eines weiteren Ausführungsbeispiels, bei dem innerhalb des Gehäuseteiles 1304, das im wesentlichen dem Gehäuseteil 4 des Ausführungsbeispiels nach F i g. 1 entspricht, ein Trägerrohr 1224 vorgesehen ist, das unmittelbar unterhalb der Objektivlinse abgesetzt ist. Die Objektivlinse besteht aus den Linsenteilen 604 und 614, wie dies

im Prinzip im Zusammenhang mit den Pig. I und 2 bereits beschrieben ist. Bei dem Aiisführungsbeispiel nach Fig. 3 ist eine supraleitende Abschirmlinse vorgesehen mit einem supraleitenden Abschirmgehäiise 1314 und mit supraleitenden Abschirmkörpern 1246 und 1247. Diese zylinderförmigen Abschirmkörper umgeben den inneren Teil des Trägeirohres 1224. Das Trägerrohr ist insbesondere aus dem Grunde in seinem Durchmesser möglichst klein gewählt, damit die Abschirmkörper 1246, 1247 mit ihren einander gegenüberstehenden, das Magnetfeld formenden Kanter, möglichst nahe an das Objekt herankommen, das sich an der Spit/c ('es in die Bohrung 1205 der Scheibe 1204 eingeführten Si hubers 1210 befindet.

Mit 1206 ist eine der Bohrung 106 (I-ig. I) entsprechende Durctilaßöffnung für flüssiges Helium bezeichnet.

Innerhalb desjenigen Teiles des Trägerrohres 1224. der einen weiteren Querschnitt aufweist, befindet sich eine vorgesehene Hiiise i225, wie bereits prinzipiell beschrieben. In der Hülse ist eine Blende 1245 angeordnet. Im vorliegenden Fall läßt sich die Hülse 1225 nur nach unten aus dem Trägerrohr 1224 herausnehmen, was jedoch keine nennenswerte Ein schränkung bedeutet.

Weitere Einzelheiten des Ausführungsbeispiels nach Fig. 3, insbesondere die in der Figur abgeschnittenen Teile, entsprechen beispielsweise den in dem Ausführungsbeispiel nach F i g. 1 beschriebenen Einzelheiten.

Fig. 4 zeigt einen Ausschnitt eines weiteren Ausführungsbeispiels, und zwar einen Ausschnitt, der im wesentlichen nur die als Objektiv vorgesehene Abschirmlinse zeigt. Auch bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 4 ist die Abschirmlinse in zwei Teile 704 und 714 aufgeteilt, zwischen denen sich die Scheibe 1704 befindet, die der Scheibe 1104 bzw. 1204 im wesentlichen entspricht. Mit 716 und 717 sind supraleitende Abschirmungen bezeichnet. Die Spulenwicklungen sind mit 718 und 719 bezeichnet.

Es ist ein Trägerrohr 724 vorgesehen, auf dem die Ummantelungen 716 und 717 angeordnet sind. Die mit 726 und 728 bezeichneten Teile des Trägerrohres 724 bestehen aus supraleitendem Material. Im Bereich 704 und 714 wirken die im Innern des Trägerrohres 724 angeordneten Teile 730 und 731 als Abschirmkörper, wie sie beispielsweise mit den Ausführungsbeispielen nach Fig. 1 und Fig. 3 bereits erwähnt sind. Die Teilstücke 727 und 729 des Trägerrohres 724 bestehen aus einem Material, das weder supraleitend noch ferromagnetisch ist, aber gut wärmeleitend sein soll. Das Material der Teilstücke 727 und 729 hat damit keinen Einfluß auf die Formgebung des magnetischen Feldes in dem Bereich, in dem sich die Abschirmkörper 726 und

728 gegenüberstehen Die Teilstücke 727 und 72S können ein geneinsames, beispielsweise einstückig verbundenes Teilstück des Trägerrohres 724 und der Scheibe 1704 sein. Die Teilstücke des Trägerrohres 724 sind, vorzugsweise durch Schweißen, einstückig miteinander verbunden. Die Ringe 732 und 731 dienen zur Kühlung der dem Spalt zugekehrten Seite der Abschirmkörper. Sie sollen aus gut wärmeleitendem. \> eder ferromagretischem noch supraleitendem Material bestehen.

Beim Betrieb wird das Innere des Trägerrohres 724 für den Durchgang des Elektronenstrahls evakuiert. Die \ crschweißungen sind dementsprechend vakuumdicht ausgeführ"..

Die Fig.5 zeigt im Prinzip ein Ausführungsbeispiel einer Linse mit Polschuhen sowohl im Innern des Trägerrohres 822 als auch im Innern der Hülse 823. Mu 816 ist die äußere Ummantelung der [.insenwicklunj; 818 bezeichnet. Die stark schraffierten Abschnitte 841 und S42 ies Trägerrohres 822 und der Muise 823 bestehen au? ferromagnetischern Material, damit ein ungehinderter Schluß des Magnetfeldes zwischen den Polschuhen 834/835 und der Ummantelung 816 möglich ist. Der Abschnitt 843 von Trägerrohr und Hülse ist weder ferromagnetisch noch supraleitend, damit das magnetische Feld, das sich zwischen den Spitzen der Polschuhe 834/835 ausbilden soll, nicht kurzgeschlossen wird.

F i g. 6 zeigt einen schematischen Aufbau eines Elektronenmikroskope* mit einem Linsensystem. Von dem Linsensystem ist lediglich das Kryostatengehäuse 2000 dargestellt, das den Gehäuseteilen 2, 4 und 6 in Fig. I entspricht. Mit 2002 ist die Vakuumkammer bezeichnet, die im wesentlichen aus den Teilen des Trägerrohres bzw. den mehreren einzelnen Trägerrohren sowie Verlängerungen desselben nach oben und unten besteht. Im oberen Ende der Vakuumkammer 2002 befindet sich eine Elektronenquelle 2003. Es ist dies beispielsweise eine Glühwendel. Mit 2004 ist eine Beobacfuungskammer am unteren Ende der Vakuum kammer 2002 bezeichnet. Innerhalb dieser Beobachtungskammer befindet sich beispielsweise ei»· Beobachtungsschirm zur Beobachtung des vergrößerten Elektronenmikroskopbildes. Über eine Rohrleitung 2006 ist das Innere der Vakuumkammer 2002 mit einer Vakuumpumpe 2007 verbunden. Mit 2008 ist eine ringförmige Anode bezeichnet. Eine Spannungsquelle 2009 dient zur Aufrechterhaltung einer elektrischen Spannung zwischen der Elektronenquelle 2003 und der Anode 2008. Die gestrichelte Linie 2009 deutet den Weg des Elektronenstrahls im Innern der Vakuumkammer durch das Linsensystem, das sich in dem Kryostatengehäuse 2000 befindet, an.

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Supraleitendes Linsensystem für Korpuskularstrahlung mit mehreren supraleitenden, kryostatisch gekühlten magnetischen Linsen und mit Mitteln zur => Justierung des Korpuskularstrahl, dadurch gekennzeichnet, daß sich jeweils mehrere Linsen (11,12,13; 14,114.15; 16,17,18 bzw. 11,12, 13,504,514,515,16,17,18 bzw. 604,614,15 bzw. 704, 714) des Systems in einem gemeinsamen Kryostaten in befinden und auf einem im Kryostaten befindlichen zentralen Trägerrohr (22, 24, 26 bzw. 522 bzw. 1224 bzw. 724 bzw. 822) aufgebaut sind.

2. Linsensystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das System aus einer Objektivlinse (14,114; 504,514; 604,614; 704, 714) und einer ersten Zwischenlinse (15; 515) besteht.

3. Linsensystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens zwei in gleicher Weise aufgebaute Linsensysteme zusammengesetzt und Teile eines Gesamtlinsensystems (11,12,13,14, 114,15,16,17,18 br*. 11,12,13,504,514,5!5,16,17, 18)sind(Fig. Iu.2).

4. Linsensystem nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Gesamtlinsensystem (11, 12,13,14,114,15,16,17, IS bzw. 11,12,13,504,514, 515, 16,17, 18) die Säule (1; 501) eines Elektronenmikroskopes bildet (F i g. 1 u. 2).

5. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das eine oder die jo mehreren Linsensysteme Kondensor- (11, 12, 13), (Nach-)Verg; öQerungsystem(e) (16,17,18) und/oder Objektiv (14, 114; 504. 514; 604, 614; 704, 714) ist (sind).

6. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß sic.i in dem Innern des Trägerrohres (22,24,26 bzw. 522 bzw. 1224 bzw. 724 bzw. 822) wenigstens eine Blende (41,141,42,43,45, 46,47; 1245) befindet

7. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Innern des Trägerrohres (22, 26, 522, 822) ferromagnetische Polschuhe (31, 32, 33, 36, 37. 534, 535, 834, 835) wenigstens einer Linse (11, 12, 13, 16, 17, 18; 504, 514, 515, 816) befinden und das Trägerrohr an der jeweiligen Berührungs- bzw. Annäherungsstelle der Polschuhe mit dem Trägerrohr wenigstens teilweise (841,842) ferromagnetisch ist.

8. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Innern des Trägerrohres (24, 1224, 724) Abschirmkörper (48, 49; 1246, 1247; 730, 731) aus supraleitendem Material wenigstens einer Linse (14, 114; 604, 614; 704, 714) befinden und daß das Trägerrohr an der jeweiligen Berührungs- bzw. Annäherungsstelle der Abschirmkörper mit dem Trägerrohr wenigstens teilweise (726,728) supraleitend ist.

9. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Innern des Trägerrohres (22, 26 bzw. 522) wenigstens ein «> Justiersystem (51-57 bzw, 51 -57 und 558) befindet (Fig. I u.2).

10. Linsensystem nach einem der Ansprüche I bis

9, dadurch gekennzeichnet, daß sich Polschuhe wenigstens einer Linse (15) außerhalb des Träger- fti rohres(24b/w. 1224)befinden(Fig. I u.3).

11. Linsensystem nach einem der Ansprüche I bis

10, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Abschirmkörper (1246,1247) wenigstens einer Linse (604,614) außerhalb des Trägerrohres (1224) befinden (F t g. 3).

12. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis

11, dadurch gekennzeichnet, daß sich wenigstens ein Justiersystem (58) außerhalb des Trägerrohres (24 bzw. 1224) befindet und daß das Trägerrohr am Ort des Justiersystems weder ferromagnetisch noch supraleitend ist (F i g. 1 u. 3).

13. Linsensystem nach einem der Ansprüche 3 bis

12, dadurch gekennzeichnet, daß Linsensysteme des Gesamtlinsensystems (U, 12,13,14, 114, 15, 16, 17, 18 bzw. 11,12,13,504,514,515,16,17,18) mit ihren Kryostaten derart miteinander zusammengesetzt sind, daß sie für das Kühlmittel einen einzigen Innenraum bilden (F i g. 1 u. 2).

14. Linsensystem nach einem der Ansprüche 3 bis

13, dadurch gekennzeichnet, daß sich alle Linsensysteme des Gesamtlinsensystems (11,12,13,14, 114, 15,16,17,18 bzw. 11,12,13,504,514,515, ;S, 17,18) in einem einzigen Kryostaten befinden.

15. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis

14, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Linsensysteme (Ϊ1, 12, 13; 504, 515; 16, 17, 18) auf einem einzigen Trägerrohr (522) angeordnet sind.

16. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis

15, dadurch gekennzeichnet, daß in wenigstens einem Trägerrohr (22, 24, 26, 522, 1224, 822) eine Hülse (23, 25, 27, 523, 1225, 823) aus elektrisch leitfähigem Material vorgesehen ist und daß die Hülse aus dem Trägerrohr herausnehmbar ausgeführt und praktisch spaltfrei in den Innendurchmesser des Trägerrohres eingepaßt ist

17. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis

16, dadurch gekennzeichnet, daß eine Blende (41, 141, 42, 43; 45, 46, 47; 1245) und/oder ein Polschuhpaar (31,32,33; 36,37; 534,535; 834, 835) und/oder ein Justiersystem (51,52,53,54; 55,56,57; 558) im Innern der Hülse (23, 25, 27,523,1225, 823) auswechselbar angeordnet ist (sind).

18. Linsensystem nach-?inem «>r Ansprüche 1 bis

17, dadurch gekennzeichnet, daß die Hülse (23, 25, 27,523,1225,823) an den Stellen eines Polschuhpaares (31, 32, 33, 36, 37, 534, 535, 834, 835), eines Abschirmkörpers (48, 49) und/oder eines Justiersystems (51, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 558) aus einem vergleichsweise zum Trägerrohr (22, 24, 26, 522, 1224, 822) magnetisch gleichartigen Material besteht

19. Linsensystem nach einem der Ansprüche 2 bis

18, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Trägerrohr (24, 522, 1224, 724), auf dem sich die Objektivlinse (14, 114; 504, 514; 604, 614; 704, 714) befindet, im Bereich der Objektivlinse eine Scheibe (104; 1104; 1204; 1704) mit wenigstens einer Radialbohrung (105; 1105, 1106; 1205; 1705, 1706) zur Präparateeinfuhr und mit wenigstens einer nichtzentrisch gelegenen axial gerichteten Bohrung (106, 1206) zum Durchtritt des Kühlmittels im Kryostaten versehen ist.

20. Linsensystem nach einem der Ansprüche I bis

19, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Linsen (11,12) von nur einem Netzgerät gespeist sind.