DE2731458C3 - Magnetische Objektivlinseneinrichtung für unter Vakuum arbeitende Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere Objektivlinseneinrichtung für Höchstspannungs-Elektronenmikroskope und Verwendung - Google Patents
Magnetische Objektivlinseneinrichtung für unter Vakuum arbeitende Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere Objektivlinseneinrichtung für Höchstspannungs-Elektronenmikroskope und VerwendungInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine magnetische wi Objektivlinseneinrichtung für unter Vakuum arbeitende
Korpuskularstrahlgeräte mit einer Vakuumkammer zur Aufnahme eines zu untersuchenden Objektes und mit
mindestens einer von einer supraleitenden Abschirmvorrichtung umgebenen, stromdurchflossenen Linsen- .,·-.
spulenwicklung, die um zwei supraleitende, hohlzylindrische Abschirmkörper angeordnet ist, welche koaxial zur
Strahlführungsachsc der Linseneinrichtung und in Strahlführungsrichtung gesehen beabstandet hintereinander
angeordnet sind, wobei zwischen ihren benachbarten Stirnflächen ein Spalt vorbestimmter Spaltweita
ausgebildet ist
Höchstspannungs-Elektronenmikroskope arbeiten mit Strahlspannungen, die über 1000 kV liegen können.
Für diese Elektronenmikroskope kann zweckmäßig ein Linsensystem mit mehreren supraleitenden Linüeneinrichtungen
vorgesehen sein, die sich in einem Kryostaten befinden und auf einem in diesem Kryostaten
befindlichen zentralen Trägerrohr angeordnet sind (DE-OS 23 07 822). Man erhält so einen verhältnismäßig
kompakten Aufbau eines Elektronenmikroskops. Das Linsensystem des bekannten Elektronenmikroskops
umfaßt eine Objektivlinseneinrichtung der eingangs genannten Art welche zwei in Strahlführungsrichtung
hintereinander angeordnete, hohlzylindrische Abschirmkörper enthält, die jeweils den Strahlführungsraum
eng umschließen. Diese beiden Abschirmzylinder bestehen aus supraleitendem Material, das im Betriebszustand
mittels eines kryrogenen Mediums wie beispielsweise flüssigem Helium unterhalb seiner sogenannten
Sprungtemperatur gehalten wird. Zwischen den benachbarten Stirnseiten dieser Abschirmzylinder
ist ein schmaler Spalt ausgebildet, in dem eine Vakuumkammer angeordnet ist. In diese Kammer kann
radial von der Seite her mittels einer besonderen Einführungsvorrichtung ein zu untersuchendes Objekt
eingebracht werden. Der Objektraum wird dabei von dem kryogenen Medium mitgekühlt. Es läßt sich so zwar
ein temperaturbedingtes seitliches Auswandern des Objektes, eine sogenannte thermische Drift, äußerst
gering, beispielsweise unter 0,03 nm/min, halten. Mit der bekannten Objektivlinseneinrichtung können jedoch
keine auf höheren Temperaluren, insbesondere auf Raumtemperaturen befindlichen Objekte untersucht
werden.
Jeder der beiden Abschirmzylinder des bekannten Elektronenmikroskops ist von einer supraleitenden
Linsenrpulenwicklung umgeben, die im Betriebszustand kurzgeschlossen ist. Die Abschirmzylinder haben die
Aufgabe, das von den Linsenspulcnwicklungen erzeugte Magnetfeld nur im Bereich des Linsenspaltcs auf den
Korpuskularstrahl einwirken zu lassen. Die beiden Abschirmzylinder sind deshalb an ihren einander
abgewandten Stirnseiten mit einer Abschirmvorrichtung aus ebenfalls supraleitendem Material verbunden,
welche die äußere Mantelfläche und die Stirnflächen der Linsenspulenwicklungen umschließt. Mit dem so ausgebildeten,
im supraleitenden Zustand gehaltenen Abschirmgehäuse kann außerdem die Ausbreitung des von
den Linsenspulenwicklungen erzeugten Magnetfeldes nach außen hin begrenzt und der Spaltbcrcich, in dem
das Magnetfeld auf den Korpuskularstrahl einwirkt, gegen äußere magnetische Störfelder, insbesondere
elektromagnetische Wcchselfcldcr, weitgehend abgeschirmt werden.
Da das Auflösungsvermögen eines Korpuskularstrahlgerätes bekanntlich von der sogenannten Öffnungsfehlcrkonstanten
seiner Linsen, insbesondere seiner Objektivlinse abhängt, ist bei dem bekannten
Elektronenmikroskop die Größe des Linsenspaltcs zwischen den einander gegenüberliegenden Stirnflächen
der beiden Abschirmzylinder so gewählt, daß ein sehr kleiner Wert der Öffnungsfchlcrkonstanicn erreicht
wird. Die Öffnungsfohlerkonslanle einer solchen Linseneinrichiung hängt dabei außer von dem Maximalwert
//oder l-cldstärkc bzw. dem Maximalwert Zi0 der
magnetischen Induktion in dem Linsenspalt, & h. in dem
Bereich der Einwirkung des Magnetfeldes auf den Korpuskularstrahl, auch vom Feldgradienten längs der
Strahlführungsachse in dem Linsenspalt und somit auch von der Gestaltung der Abschirmzylinder im Bereich
ihrer sich gegenüberliegenden Stirnflächen ab.
Mit dieser Objektivlinseneinrichtüng können jedoch
nur auf die Tieftemperatur des kryogenen Mediums gekühlte Objekte untersucht werden. Darüber hinaus
sind diese Objektivlinseneinrichtungen auch nur für Elektronenmikroskope der sogenannten Feststrahltechnik
geeignet, bei der ein gebündelter, mittels Magnetfelder unbeweglich gehaltener Elektronenstrahl das
Objekt durchstrahlt, von dem mil Hilfe nachgeschalteter
magnetischer Vergrößerungslinsen ein vergrößertes Bild erzeugt wird. Das bekannte Elektronenmikroskop
ist jedoch für die sogenannte Durchstrahlungs-Raster-Elektronenmikroskopie
nicht ohne weiteres geeignet. Bei dieser Technik überstreicht ein scharf gebündelter
Elektronenstrahl nach einem vorgegebenen Rasterschema die Oberfläche des zu untersuchenden Objektes.
Sollen dabei entstandene gestreute Elektronen registriert und gegebenenfalls Sekundärelektronen sowie
Auger-Elektronen und Rückstreuelektronen für zusätzliche energiedispersive Strahlungsanalysen aufgefangen
werden, so müssen die entsprechenden Detektoreinrichtungen in unmittelbarer Nähe des Objektes angebracht
werden. Dies ist aber bei der bekannten Objektivlinseneinrichtüng
nicht ohne weiteres möglich, da der Objektraum zu klein ist und auch nicht vergrößert jo
werden kann, ohne daß im Objektivspalt die maxi.nale Feldstärke Wo und der Feldgradient verringert würden
und so die Abbildungsfehler des Elektronenmikroskops, insbesondere seine sphärische und chromatische Aberration,
aufgrund einer entsprechenden Vergrößerung 5Γ>
der Öffnungsfehlerkonstanten zunehmen würden.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, die bekannte Objektivlinseneinrichtüng derart umzugestalten,
daß ein mit ihr ausgestattetes Höchstspannungs-Elektronenmikroskop
einen auf Raumtemperatur befindlichen Objektraum hat und auch für die Durchstrahlungs-Raster-Elcktronenrnikroskopie
geeignet ist, ohne daß dabei auf wesentliche Vorteile des bekannten Feststrahlelektronenmikroskops verzichtet werden
muß. So sollen die: thermische Drift des Objektes gering 4r>
und zugleich der Korpuskularstrahl gegen äußere magnetische Störfelder weitgehend abgeschirmt sein.
Darüber hinaus soll mit dem Elektronenmikroskop eine Auflösung von etwa 1 nm erreicht werden können.
Diese Aufgabe wird für eine magnetische Objektivlin- >o
scneinrichtung der eingangs genannten Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Abschirmvorrichtung
topfarlig ausgebildet ist und die Vakuumkammer zur Aufnahme des untersuchenden Objektes in Strahlrichtung
gesehen vor der offenen Suite der lopfartigen Abschirmvorrichtung und der dem Spalt abgewandten
Stirnfläche des ersten Abschirmkörpers angeordnet ist.
Da Vlie Abschirmvorrichtung, welche die Linsenspulenwicklung
und die beiden hohlzyünderförmigen Abschirmkörper umgibt, topfartig ausgebildet und t>o
somit einseitig·offen ist, wirkt die Objektlinseneinrichtung
geihäß der Erfind,ig wie ein magnetisches
Linsensystem aus zwei in Strahlrichtung hintereinander angeordneter1 magnetischen Linsen. Die Brennweite der
ersten Linse ist dabei verhältnismäßig groß, während <>
> die Brennweite der /weiten Linse auch bei hohen Slrahlspannungen von beispielsweise 5000 kV sehr klein
gehalten werden kann. Die mit der Gestaltung der magnetischen Linseneinrichlung gemäß der Erfindung
erreichten Vorteile bestehen dann insbesondere darin, daß das zu untersuchende Objekt einige Zentimeter vor
der offenen Seite der topfartigen Abschirmvorrichtung bzw. vor dem ersten hohlzylinderförmigen Abschirmkörper
angeordnet werden kann. An dieser Stelle läßt sich jedoch ohne Schwierigkeit eine Vakuumkammer
mit einer warmen Objektstufe vorsehen. Da sich diese
Vakuumkammer ausreichend groß bemessen läßt, können in ihr vorteilhaft die für die Durchstrahlungs-Raster-Elektronenmikroskopie
erforderlichen Detektoreinrichtungen angeordnet werden.
Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnung erläutert, deren F i g. 1 und 2 schematisch
je ein Ausführungsbeispiel einer magnetischen Objektivlinseneinrichtüng
nach der Erfindung zeigen. In F i g. 3 ist einem Diagramm die von der Objektivlinseneinrichtüng
gemäß F i g. 1 erzeugte Feldstärkeverteilung längs der Strahlführungsachse veranschaulicht,
während in Fig.4 der Strahlengang durch diese Linseneinrichtung angedeutet ist.
Die in Fig. 1 dargestellte Objektivlinseneinrichiung
ist sowohl für ein Durchstrahlungs-Rastcr- als auch für ein Durchstrahlungs-Feststrahl-Elektronenmikroskop
geeignet. Die in dieser Figur nicht dargestellten Teile des Mikroskops sind an sich bekannt und können
beispielsweise den Teilen des Elektronenmikroskops gemäß der deutschen Offenlegungsschrift 23 07 822
entsprechen. Die Objektivlinseneinrichtüng enthält eine Abschirmvorrichtung 2, die aus supraleitendem Material
besteht und im Betriebszustand mittels eines kryogenen Mediums wie beispielsweise flüssigem Helium auf einer
Temperatur unterhalb der kritischen Temperatur dieses Materials gehalten wird. Die Abschirmvorrichtung ist
topfartig ausgebildet, d. h. sie besteht aus einem hohlzylindrischen Seitenteil 4, das den Mantel der
Abschirmvorrichtung bildet, und einem Bodenteil 5, das dieses Seitenteil nach unten hin abschließt. Das
Bodenteil 5 ist mit einer zentralen öffnung 6 versehen, durch die ein längs einer Achse 7 geführter Elektronenstrahl
durch die Abschirmvorrichtung geleitet wird. Die Abschirmvorrichtung ist nach oben hin von einem in der
Figur nur durch eine Linie dargestellten Deckelteil 8 abgeschlossen, das eine entsprechende Öffnung 9 hat
und aus nichtmagnetischem Material besteht. Im Inneren der topfartigen Abschirmvorrichtung sind
konzentrisch zur Strahlführungsachse 7 zwei hohlzylinderförmige Abschirmkörper 11 und 12 angeordnet,
deren zentrale Bohrungen 13 bzw. 14 einen Durchmesser von nur wenigen Millimetern haben. Diese
Abschirmzylinder bestehen ebenfalls aus supraleitendem Material und werden zweckmäßig von dem für die
Abschirmvorrichtung 2 erforderlichen kryogenen Medium mitgekühlt. Sie sind in Strahlführungsrichtung
gesehen hintereinander beabstandet angeordnet, wobei zwischen ihren einander benachbarten Stirnflächen ein
schmaler Spalt 15 ausgebildet ist. Der untere Abschirmzylinder steht dabei auf dem Bodenteil 5 der
Abschirmvorrichtung 2_ und kann beispielsweise mit dieser ein gemeinsames Formstück bilden. Die beiden
Abschirmzylinder 11 und 12 sind von einer stromdurchl'lossenen
Linsenspulen wicklung 17 umschlossen, deren Leiter zweckmäßig ebenfalls aus supraleitendem Material
sind. Die Spulenwicklung kann im Betriebszustand in bekannter Weise kurzgeschlossen sein.
Sie erstreckt sich nach oben bis an das Deckeiteil 8
der topf artigen Abschirm vorrichtung 2.
Zur Verminderung der Wärmeübertragung auf die tiefgekühlte Abschirmvorrichtung 2^ und die in ihr
angeordneten Bauteile ist ferner ein Strahlungsschild 19. vorgesehen, der beispielsweise mit flüssigem Stickstoff
gekühlt wird. Dieser Strahlungsschild ist ebenfalls topfartig ausgebildet. Seine obere, offene Seite wird von
einem Deckelteil 20 abgeschlossen. Zumindest dieses Deckelteii des Strahlungsschildes besteht aus einem
nichtmagnetischen Material. Zur Fixierung der Ab-Schirmvorrichtung 2 innerhalb des Strahlungsschildes 19
sind in der Figur nur einige, schlecht wärmeleitende Abstandshalter 22 und 23 zwischen dem Bodenteil 5 der
Abschirmvorrichtung 2_ und dem entsprechenden Bodenteil 26 des Strahlungsschüdes 19 bzw. zwischen
dem Deckelteil 20 des Strahlungsschüdes und dem entsprechenden Deckelteil 8 der Abschirmvorrichtung
angedeutet.
Der Strahlungsschild 19 mit den in ihm angeordneten Bauteilen ist in einem evakuierbaren Raum 28 eines
Gehäuses 30 angeordnet, das bis a.if zentrale Durchführungen für den Elektronenstrahl allseitig geschlossen ist.
Der Raum 28 stellt dabei den unteren Teilraum des gesamten Innenraumes des Gehäuses 30 dar und ist
durch eine Trennwand 31 /on einem oberen Teilraum abgetrennt, der in Strahlungsrichtung gesehen vor der
Trennwand 31 liegt und als Vakuumkammer 32 bezeichnet ist. Das Gehäuse 30 befindet sich auf
Raumtemperatur, so daß zwischen ihm und der Trennwand einerseits und dem Strahlungsschild Ij)
andererseits schlecht wärmeleitende Abstützvorrichtungen 33 vorgesehen sind, um eine Wärmeübertragung
gering zu halten.
In der Figur sind die erforderlichen Vorrichtungen zur Einführung eines zu untersuchenden Objektes 34 in y,
die als Objektraum dienende Vakuumkammer 32 sowie zu dessen Halterung im einzelnen nicht näher
dargestellt. Es ist lediglich angedeutet, daß das Objekt 34 mittels eines Präparateschiebers 36 und einer
Schleusenkammer 37 von der Seite her in diesen Vakuumraum eingeführt und vor der Abschirmvorrichtung
2^ bzw. dem Abschirmzylinder 11 in den
Elektronenstrahl gebracht werden kann. Beispielsweise ist ein ringförmiger Präparatetisch 38 vorgesehen, vor
dessen zentraler Bohrung das Objekt 34 angeordnet wird.
Da aufgrund der topfartigen Gestaltungsform der Abschirmvorrichtung diese einseitig offen ist, d. h. das
von der Linsenspulenwicklung 17 erzeugte Magnetfeld nicht nur auf den von der Abschirmvorrichtung 2_
umschlossenen Innenraum begrenzt ist, wirkt dieses Magnetfeld also nicht nur im Bereich des Spaltes 15
zwischen den beiden Abschirmzylindern 11 und 12, sondern erstreckt sich auch in den Bereich vor dem
ersten Abschirmzylinder 11 in den Vakuumraum 32 Es ergibt sich so eine magnetische Doppellinse. Ihr in
Strahlrichtung gesehen erster Feldbereich vor dem Abschirmzylinder 11 ist in der Figur mit L\ und der
Feldbereich im Spalt 15 zwischen den beiden Abschirmzylindern 11 und 12 mit Li bezeichnet.
Da der Elektronenstrahl das Objekt 34 nach einem Rasterschema durchstrahlen können soll, ist in der Figur
in Strahlrichtung gesehen hinter dem Objekt und noch vor dem Strahlungsschild 19_bzw. der Abschirmvorrichtung
2_ eine entsprechende Detektoreinrichtung 39 angedeutet Diese Detektoreinrichtung ist beispielsweise
in dem Präparatetisch 38 angeordnet Da der auf Raumtemperatur befindliche Objektraum 32 der Linsenspuleneinrichtung
gemäß der Erfindung ausreichend groß bemessen werden kann, lassen sich darin weitere,
in der Figur nicht dargestellte Detektorsysteme unterbringen, die insbesondere bei einem Betrieb des
Elekironenmikroskopes in Rastertechnik für energiedispersive Strahlungsanalysen vorgesehen sind.
Ferner sind in der Figur noch ein Ablenksystem 40 und zwei Stigmator-Systeme 41 und 42 zur Justierung
des Elektronenstrahles bezüglich der Achse der Linseneinrichtung dargestellt. Das in Strahlungsrichtung
gesehen erste Stigmator-System 41, von dem vorzugsweise ein Teil zugleich als Ablenksystem
verwendet werden kann, und das Ablenksystem 40 liegen dabei unmittelbar vor der dem Spalt 15
abgewandten Seite des ersten Abschirmzylinders 11, während das zweite Stigmator-System 42 in dem
zwischen den beiden Abschirmzylindern 11 und 12 ausgebildeten Spalt 15 angeordnet ist.
Das Gehäuse 30 kann vorteilhaft aus einem ferromagnetischen Material bestehen, um den Strahlführungsraum,
insbesondere im Bereich der Vakuumkammer 32, von störenden äußeren elektromagnetischen·
Wechselfeldern abzuschirmen. Darüber hinaus kann aufgrund einer besonderen Gestaltung beispielsweise
seines oberen Deckelteils 43 die Verteilung des magnetischen Feldes in diesem Vakuumraum 32
beeinflußt werden. Ein entsprechendes Ausführungsbeispiel ist in F i g. 2 angedeutet. Bis auf dieses Deckelteil
43 stimmen alle in dieser Figur dargestellten Bauteile mit denen des Ausführungsbeispiels gemäß Fig. 1
überein. Das Deckelteil 43 ist im Bereich seiner zentralen Durchführung 44 für den Elektronenstrahl
nach innen eingezogen, so daß es einen Polschuh 45 bildet, der sich bis in die Nähe des zu untersuchenden
Objektes 34 erstreckt. Dadurch wird eine Konzentration des die magnetische Linse L\ darstellenden Feldes
im Bereich des Objektes 34 bewirkt.
In Fig.3 ist in einem Diagramm die Verteilung der
magnetischen Feldstärke auf der Achse innerhalb einer Objektivlinseneinrichtung gemäß Fig. 1 wiedergegeben.
Dabei ist auf der Abszisse die Lage ζ der Meßpunkte vom Eintritt des Elektronenstrahles in das
Gehäuse 30 aus in Strahlführungsrichtung in Millimetern angegeben, während auf der Ordinate die
zugehörige magnetische Induktion flb in Tesla aufgetragen
ist. Aus dem Feldverlauf des Diagramms ist deutlich die Doppellinseneigenschaft der Objektivlinseneinrichtung
gemäß dem Ausführungsbeispiel der Erfindung ablesbar. Dabei liegt die erste, mit U bezeichnete
Teillinse dieser magnetischen Doppellinse vor dem ersten Abschirmzylinder 11. Ihr Streufeld hauiabei eine
unsymmetrische Feldstärkeverteilung. Die Brennweite dieser Linse ist verhältnismäßig groß und die maximale
Induktion B0 verhältnismäßig klein. Im Spalt 15
zwischen den beiden Abschirmzylindern 11 und 12, deren Lage unterhalb der Abszisse durch gestrichelte
Linien angedeutet ist weist dagegen die Feldverteilung der zweiten Teillinse L2 einen hohen Maximalwert bei
kleiner Halbwertsbreite auf, so daß auch bei Strahlspannungen von beispielsweise 500OkV vorteilhaft die
Brennweite dieser Teillinse L2 sehr klein ist und
beispielsweise 6 mm nicht übersteigt
Dem Diagramm gemäß F i g. 3 liegt ein Ausführungsbeispiel einer Objektivlinseneinrichtung zugrunde, dessen
elektronenoptischen Daten für die in der Figur wiedergegebene Feldverteilung bei einer Strahlspannung
von 300OkV in der nachfolgenden Tabelle angegeben sind.
Erregung 42000 40 000 A W
Vordere Brennweite 11 3,4 mm
Hintere Brennweite 14 3,4mm
Vordere Brennpunkts- -12 -2,3 mm
koordinate
Hintere Brennpunkts- +3 +2,3 mm
koordinate
Farbfehierkonstante 18,5 2,6 mm.
Öffnungsfehlerkonstante 86 3,1 mm
Als Nullpunktskoordinate, auf welche die Brennpunktskoordinaten bezogen sind, ist dabei der Ort auf
der Abszisse angenommen, an dem die zugeordnete magnetische Induktion So ihren maximalen Wert hat.
Der zu der Feldverteilung gemäß F i g. 3 entsprechende Strahlengang der Objektivlinseneinrichtung ist in
F i g. 4 angedeutet. Jeder ihrer Teillinsen ist eine vordere und eine hintere Hauptebene zugeordnet, deren
Schnittpunkte mit der Strahlführungsachse mit Wo bzw.
H\ bezeichnet sind. Ihre zugehörigen vorderen und
hinteren Brennpunkte sind mit Fo bzw. Fi bezeichnet.
Die sich auf die zweite Teillinse Z-2 beziehenden Punkte
sind dabei mit einem Strich gekennzeichnet. Das Objekt 34 befindet sich oberhalb der vorderen Brennpunktkoordinate
F0 der ersten Teillinse L\ in einem Abstand
von dieser Brennpunktkoordinate, der kleiner oder gleich der vorderen Brennweite der ersten Teillinse Li
ίο ist. Damit entsteht das erste Zwischenbild unterhalb der
hinteren Brennpunktkoordinate F\ in einem Abstand von dieser Brennpunktkoordinate, der größer oder
gleich der hinteren Brennweite der ersten Teillinse ist. Bei diesem Linsensystem läßt sich so das erste
Zwischenbild in den oberen Teil des Spaltes 15 der zweiten Teiiiinse Li legen. Aufgrund dieses Konstruktionsprinzipes
kann dann erreich; werden, daß das Objekt einige Zentimeter oberhalb des oberen Randes
des ersten Abschirmzylinders 11 angeordnet und dort ohne Schwierigkeiten eine warme Objektstufe vorgesehen
werden kann. Diese Objektstufe befindet sich zwar außerhalb der supraleitenden Abschaltvorrichtung 2_
gemäß den F i g. 1 und 2. Dieses Fehlen einer supraleitenden Abschirmung im Bereich des Objektes
34 ist aber bei Strahlspannungen oberhalb von 1000 kV von untergeordneter Bedeutung.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (8)
1. Magnetische Objektivlinseneinrichtung für unter Vakuum arbeitende Korpuskularstrahlgeräte
mit einer Vakuumkammer zur Aufnahme eines zu untersuchenden Objektes und mit mindestens einer
von einer supraleitenden Abschirmvorrichtung umgebenen, stromdurchflossenen supraleitenden Linsenspulenwicklung,
die um zwei supraleitende, hohlzylinderförmige Abschirmkörper angeordnet
ist welche koaxial zur Strahlführungsachse der Linseneinrichtung und in Strahlführungsrichtung
gesehen beabstandet hintereinander angeordnet sind, wobei zwischen ihren benachbarten Stirnflächen
ein Spalt vorbestimmter Spaltweite ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die
Abschirmvorrichtung (2) topfartig ausgebildet ist und die Vakuumkammer (32) zur Aufnahme des zu
untersuchenden Objektes (34) in Strahlrichtung gesehen vor der offenen Seite der topfartigen
Abschirmvorrichtung (2) und der dem Spalt (15) abgewandten Stirnfläche des ersten Abschirmkörpers
(11) angeordnet ist.
2. Magnetische Objektivlinseneinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich die
Vakuumkammer (32) auf Raumtemperatur befindet.
3. Magnetische Objektivlinseneinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß in
der Vakuumkammer (32) Einrichtungen zur Strah- so lungsanalyse angeordnet sind.
4. Magnetische Objektivlinseneinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß der in Strahlführungsrichtung gesehene zweite Abschirmkörper (12) an seiner dem Spalt (15) jr>
abgewandten Stirnfläche mit der Abschirmvorrichtung (2) verbunden ist.
5. Magnetische Objektivlinseneinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite
Abschirmkörper (12) mii der AbschL-mvorrichtung 4» (2) ein gemeinsames Formstück bildet.
6. Magnetische Objektivlinseneinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet,
daß die Abschirmvorrichtung (2) sowie die Vakuumkammer (32) in einem auf Raumtemperatur ·τ>
befindlichen Abschirmgehäuse (30) aus ferromagnetischem Material angeordnet sind.
7. Magnetische Objektivlinseneinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das
Abschirmgehäuse (30) im Bereich des zu untersu- w chenden Objektes(34) als Polschuh (45) gestaltet ist.
8. Verwendung der magnetischen Objeklivlinseneinrichtung
nach einem der Ansprüche 1 bis 7 in Elektronenmikroskopen mit Strahlspannungcn über
1000 kV.
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