DE2307822B2 - Supraleitendes Linsensystem für Korpuskularstrahlung - Google Patents
Supraleitendes Linsensystem für KorpuskularstrahlungInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein supraleitendes Linsensystem für Korpuskularstrahlung mit mehreren
supraleitenden, kryostatisch gekühlten magnetischen Linsen und mit Mitteln zur Justierung des Korpuskularstrahles.
Ein derartiges Linsensystem ist bekannt (Revue de Physique Appliquee, Bd. 6, 1971, Seitei 453—465).
Dabei besitzen die Spulen der einzelnen Linsen jeweils einen eigenen, separaten Kühlmantel zur Aufnahme von
flüssigem Helium. Diese Kühlmäntel sind durch ein Rohr miteinander verbunden, so daß das flüssige Helium
nacheinander die einzelnen Kühlmantel durchfließt. Bei dieser Anordnung befindet sich jede Linsenspule auf
einem anderen Temperaturniveau; thermische Drifterscheinungen sind daher nicht zu vermeiden. Außerdem
ist dieses bekannte Linsensystem relativ aufwendig und insbesondere schwierig zu zerlegen, was zum Reinigen
oder Erneuern von Innenteilen, wie Blenden oder Polschuhen, erforderlich ist
Aus der US-PS 24 68 403 ist ein normalleitendes L'nsensysem für Korpulskularstrahlen bekannt, bei dem
die Linsen auf einem zentralen Trägerrohr angeordnet >o
sind und bei dem ebenfalls Mittel zum Justieren des Korpuskularstrahles vorhanden sind. Im Innern des
Trägerrohres befinden sich dabei Einzelteile, wie Blenden oder Polschuhe, die leicht ausgewechselt
werden können. r>
Weiterhin ist aus der DE-OS 20 59 417 eine einzelne supraleitende Linse mit einem separaten Kühlmantel für
die Linsenspule bekannt, die auf einem evakuierten Zentralrohr aufgebaut ist und deren Spulen.age zur
Feldjustierung verändert werden kann. jo
Es ist Aufgabe der Erfindung, ein supraleitendes Linsensystem der eingangs genannten Art anzugehen,
das möglichst frei von thermischen Drifterscheinungen ist, das weitgehend unempfindlich gegen mechanische
Erschütterungen ist, das leicht gegen äußere magneti- » sehe Felder, und zwar speziell Wechselfelder, zu
schützen ist und dessen Einzelteile, die sich im Bereich oder in der Nähe des Korpuskularstrahls befinden,
möglichst leicht gereinigt und/oder ausgewechselt werden können, und das möglichst kompakt ist.
Diese Aufgabe wird bei einem supraleitenden Linsensystem der eingangs genannten Art dadurch
gelöst, daß sich jeweils mehrere Linsen des Systems in einem gemeinsamen Kryostaten befinden und auf einem
im Kryostaten befindlichen zentralen Trägerrohr 4·)
aufgebaut sind.
Dadurch, daß bei dem erfindungsgemäßen supraleitenden Linsensystem die Spulen mehrerer Linsen in
einem gemeinsamen Kryostaten angeordnet sind, wird erreicht, daß an allen Spulen und entlang des
gemeinsamen Trägerrohres gleiche Temperaturverhältnisse herrschen. Thermische Drifterscheingungen können
also nicht auftreten.
Im einfachsten Fall besteht das System aus der Objektivlinse und einer ersten Zwischenlinse, die der
Nachvergrößerung dient. Vorzugsweise sind wenigstens zwei in gleicher Weise aufgebaute Linsensysteme
zusammengesetzt und Teile eines Gesamtlinsensystems, das die Säule eines Elektronenmikroskopes bilden kann.
Im Innern des Trägerohres können Blenden und/oder Polschuhpaare und/oder Justiersysteme zur Justierung
der Achse des Korpuskularstrahles, und zwar insbesondere auswechselbar, angeordnet sein.
In besonders einfacher Weise läßt sich ein Linsensystem nach der Erfindung reinigen bzw. lassen sich Teile
im Innern des Linsensystems auswechseln, wenn gemäß einer besonders bevorzugten Weiterbildung der Erfindung
in wenigstens einem Trägerrohr eine Hülse aus elektrisch leitfähigem Material vorgesehen ist, wobei
die Hülse aus dem Trägerrohr herausnehmbar ausgeführt und praktisch spaltfrei in das Trägerrohr
eingepaßt ist Spaltfrei ist wie luftspaiifrei zu versenen, jedoch befindet sich in dem im Betrieb evakuierten
Trägerrohr keine Luft. Im Innern des Trägerrohres angeordnete Teile befinden sich dann im Innern der
Hülse.
Weitere Weiterbildungen der Erfindung sind in den weiteren Unteransprüchen gekennzeichnet.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Figuren beschrieben.
In F i g. 1 ist die Säule 1 eines Elektronenmikroskopes mit supraleitenden Linsen dargestellt. Es ist ein
Kryostatengehäuss vorgesehen, in dem sich die im folgenden noch zu beschreibenden Teile der Linsensystem
befinden und in das zur Kühlung dieser Teile flüssiges Helium eingefüllt wird Die Gehäuseteile 2, 4
und 6 bilden zusammen ein abgeschlossenes Kryostatengehäuse mit einer Öffnung 8 zum Einfüllen des
flüssigen Heliums und mit einer Öffnung 9 für gasförmiges Helium und für die Durchführung von
elektrischen Leitungen in das Innere des Kryostatengehäuses. Mit 3 und 5 sind Flansche bezeichnet, an denen
die Teile 2, 4 und 6 zusammengehalten werden. In den Flanschen 3 und 5 befinden sich Bohrungen 7 für den
Durchtritt flüssigen Heliums innerhalb des gesamten Kryostatengehäuses.
Mit 104 ist eine Scheibe bezeichnet, die eine vakuumdicht abschließbare Bohrung 105 zum Einschieben
des Objekts enthält. Diese Bohrung 105 verläuft in der Darstellung der F i g. 1 in waagerechter Richtung.
Weiter befinden sich in der Scheibe 104 in der Figur senkrecht verlaufende Bohrungen, von denen eine
Bohrung 106 dargestellt ist, die für den Durchtritt des
Heliums im Innern des Kryostatengehäuses vorgesehen sind.
Die Kondensorlinsen sind mit 11, 12, 13 und die Zwischenlinsen mit 15, 16 und 17 bezeichnet. Die
eigentliche Objektivlinse ist mit Rücksicht auf die Scheibe 104 in zwei Teile 14 und 114 aufgeteilt, die sich
oberhalb und unterhalb der Scheibe 104 befinden, und die zusammen eine Linse bilden. Im vorliegenden Fall
handelt es sich bei dieser Linse um eine sogenannte supraleitende Abschirmlinse.
Im Innern des Gehäuseteils 2 des Kryostaiengehäuses befindet sich zentral ein Trägerrohr 22, auf dem die
Teile der Linsen 11, 12 und 13 angeordnet sind. In entsprechender Weise befindet sich im Gehäuseteil 4
ein Trägerrohr 24, auf dem die Linsenteile 14 und 114 und die Teile der ersten Zwischenlinse 15 befestigt sind.
Im Innern des Gehäuseteils 6 befindet sich ein Trägerrohr 26, auf dem die Linsen 16, 17 und 18
angeordnet sind.
In den Trägerrohren 22, 24 und 26 sind einzelne Hülsen 23, 25 und 27 eingepaßt. Diese Hülsen liegen
teilweise ohne Spalt an der jeweiligen Innenwandung des betreffenden Trägerrohres an. Die Hülsen lassen
sich aus den Trägerrohren herausnehmen.
Im Innern der Hülse 23 sind für jede der Linsen 11,12
und 13 je ein Polschuhpaar 31, 32 und 33 aus ferromagnetischem Material angeordnet. Vorzugsweise
lassen sich diese Polschuhpaare ihrerseits aus dem Innern der Hülse herausnehmen, so daß sie auch einzeln
gereinigt werden können. Außer den Poischuhpaaren befinden sich im Innern der Hülse 23 eine Anzahl
Blenden 41, 141, 42 und 43, die zur Ausblendung des Elektronenstrahles dienen. Auch diese Blenden sind
vorteilhafterweise herausnehmbar eingesetzt. Die Befestigung und Zentrierung der Blenden und/oder Polschuhpaare
kann durch Verstellvorrichtungen herbeigeführt werden, die nach dem Herausnehmen betätigt
werden. ■
Polschuhe können auch außerhalb des Rohres angeordnet sein, wie dies für die Linse 15 dargestellt ist.
Wie für die Hülse 23 beschrieben, sind in der Hülse 27 im Trägerrohr 26 Polschuhpaare 36 und 37 sowie
Blenden 46 und 47 angeordnet.
Innerhalb der Hülse 25, die sich im Innern des Trägerrohres 24 des Gehäuseteiles 4 befindet, sind eine
weitere Blende 45 und Abschirmkörper 48 und 49 aus supraleitendem Material angeordnet. Diese Abschirmkörper
dienen zur Formgebung des magnetischen ir>
Foküssierungsfeldcs der als Objektiv vorgesehenen
Abschirmlinse.
Da die Hülsen 23 und 27 in einfacher Weise herausnehmbar sind, kann auch die Hülse 25, die sich im
Innern des Trägerrohres 24 des Gehäuseteiles 4 »n befindet, leicht aus dem Gesamtlinsensystem herausgenommen
werden. Insbesondere im fokussierenden Bereich der Objektivlinse 14/114, d.h. im Bereich der
Abschirmkörper 48 und 49 kommt es entscheidend darauf an, daß dort die Wandungen frei von :ί
verunreinigenden Fremdteilen sind, die sich elektrisch aufladen könnten und zu einer störenden Überlagerung
eines elektrischen Feldes führen würden.
Der Aufbau eines Linsensystems mit Trägerrohren und insbesondere mit darin befindlichen herausnehmba- i"
ren Hülsen erleichtert außerdem das Auswechseln einzelner Teile, die aus elektro-optischen Gründen im
Innern des Linsensystems angeordnet sind und einer Veränderung bzw. einem Verschleiß, z. B. durch
Auftreffen von Elektronen, ausgesetzt sind. η
Mit Rücksicht darauf, daß die einzelnen Linsen, bzw. deren Polschuhe, und die Blenden senkrecht zur Achse,
d. h. in F i g. 1 in waagerechter Richtung, unverrückbar sind, sind nicht-mechanische Justiersysteme in der Säule
vorgesehen. Sie dienen zur Korrektur von solchen w Fehlern, die trotz des beschriebenen Aufbaues, der
äußerst stabil ist und ein Maximum an Zcntrizität aufweist, auftreten könnten. Das Beispiel der F i g. 1
zeigt mit 51,52, 53,54,55,56 und 57 derartige zwischen
einzelnen Linsen angeordnete Justiersysteme, und zwar Ablenksysteme, mit denen der Elektronenstrahl seitlich
nach jeder Richtung abgelenkt werden kann, und/oder Stigmatoren, mit denen Abweichungen der Linsenfelder
von der Rotationssymmetrie korrigiert werden können.
Die Justiersysteme 51,52, 53 und 54 befinden sich im
Innern des Trägerrohres 22 und zwar im Innern der einschiebbaren Hülse 23. Jedes einzelne Justiersystem
besteht z. B. aus vier in einer Ebene sich kreuzweise gegenüberstehenden einzelnen Spulen. Mit den vier
Spulen, von denen in der Figur jeweils nur drei dargestellt sind, kann ein Ablenk-Magnetfeld erzeugt
werden, mit dem ein in seiner Richtung von der Achse fehlerhafterweise abweichender Elektronenstrahl wieder
in die Richtung der Achse des Systems gelenkt wird.
Die vorangehend beschriebene Ablenksysteme kön- m>
nen entweder, wie angegeben, innerhalb des Trägerrohres
bzw. der Hülse oder außerhalb des Trägerrohres angeordnet sein. Letztere Anordnung ist für das
Justiersystem 58 in unmittelbarer Nähe des Objektivs dargestellt Insbesondere wird man Justiersysteme
außerhalb des Trägerrohres anbringen, wenn das Trägerrohr einen nur geringen Durchmesser aufweist
Ein geringer Innendurchmesser ist insbesondere für das Trägerrohr 24 des Linsensystems, bestehend aus
Objektiv 14/114 und erster Zwischenlinse 15, zweckmäßig,
da die geometrischen Abmessungen des Objektivs im Bereich des Objektivs, das hier in der Mitte zwischen
den Linsenteilen 14 und 114 angeordnet ist, in die Abbildungseigenschaften eingehl. Wegen des geringen
Innendurchmessers des Rohres 24 befinden sich auch die Polschuhpaare der Zwischenlinse 15 außerhalb
desselben.
Mit Hilfe der beschriebenen Linsensysteme kann eine Säule mit vielen Kondensorlinsen und vielen nachvergrößernden
weiteren Linsen und insbesondere mit einer als Abschirmlinse bekannten, supraleitenden Objektivlinse
realisiert werden. Wegen der geringen Bauhöhe und der großen Brechkraft supraleitender Linsen kann
die Baulänge dieser Säule sehr klein gehalten werden, d. h. ein sehr exakter, stabiler und erschütterungsfester
Aufbau ist gewährleistet.
So ist es möglich, eine Säule für eine Strahlspannung von 3 MeV mit mindestens zwei Kondensorlinsen und
drei Zwischenlinsen für eine etwa 1 Wache Vergrößerung
aufzubauen, wobei die Länge der Säule weniger als 1 m beträgt. Vergleichbare bekannte Anordnungen mit
nicht supraleitenden Linsen haben dagegen Längenabmessungen bis zu 5 m.
Weiter ist insbesondere durch Anwendung einer oder mehrerer Hülse(n) auch das Problem gelöst, wie die im
Innern einer derartigen Säule angeordneten zahlreichen Polschuhpaare, Blenden und gegebenenfalls Justiersysterne
ohne große Umstände gereinigt und gegebenenfalls demontiert und wieder genau zentriert eingesetzt
werden können, ohne daß eine wesentliche Neujustierung erforderlich ist.
Zur Abschirmung der einzelnen Linsensysteme und damit des Gesamtlinsensystems gegen äußere magnetische
Störfelder, insbesondere gegen Wechselfelder, empfiehlt es sich, supraleitende Abschirmzylinder im
Innern der Kryostatengehäuse vorzusehen. Ein solcher Abschirmzylinder 202 ist in F i g. 1 für das Gehäuseteil 2
dargestellt. Entsprechende Abschirmzylinder können in den übrigen Gehäuseteilen angeordnet sein. Sie
befinden sich im flüssigen Helium und damit in supraleitendem Zustand.
Nur für die Linsen 11 und 12 ist als Beispiel eine Anordnung zur Einspeisung des in der magnetischen
Wicklung dieser Linse fließenden elektrischen Stromes dargestellt. In entsprechender Weise sind auch die
übrigen Linsen elektrisch angeschlossen. Dabei kann ein einziges Stromversorgungsgerät zur Erregung verschiedener
Linsen bzw. Korrektursysteme nacheinander verwendet werden (siehe Fig. 1). Die Zuführungsleitungen
212 und 218 werden, abweichend von der schematischen Darstellung der Fig. 1 und wie oben
bereits angedeutet, durch eine öffnung, beispielsweise die öffnung 9, aus dem Innern des Kryostaten
herausgeführt Noch innerhalb des Kryostaten ist eine supraleitende Kurzschlußleitung 214 brw. 219 vorgesehen,
die die Leitungen 212 und 213 bzw. 213 und 218 miteinander kurzschließt Dieser Kurzschluß liegt
jedoch solange nicht vor. wie durch einen Stromfluß in der die Leitung 214 umgebenden Wicklung 215 bzw. der
die Leitung 219 umgebenden Wicklung 220 soviel Wärme erzeugt wird, daß die Leitung 214 bzw. 219 noch
in normal-leitendem Zustand gehalten wird. Mit 216 ist ein steuerbarer Stromgenerator für den Strom bezeichnet
der durch Betätigung der Schalter 221 bzw. 222 entweder durch die Wicklung 215 oder durch die
Wicklung 220 fließt Während der Kurzschluß 214 durch
die Wärme in der Wicklung 215 infolge auftretender Normalleitung unwirksam ist, wird mittels des Stromgenerators
217 der Strom in die Wicklung der Linse 11 eingeprägt. Die Spule 12 wird nicht erregt, denn der
Strom fließt durch die Kurzschlußleitung 219. Sobald sich der Strom in der Linse 11 aufgebaut hat, wird der
Strom in der Wicklung 215 unterbrochen und der Kurzschluß 214 wird wirksam, so daß in der Wicklung
der Linse 11 ein supraleitender Dauerstrom fließt. Anschließend kann in gleicher Weise der Strom in die
Spule 12 eingespeist werden.
Das Trägerrohr kann abschnittsweise aus verschiedenen Materialien bestehen. Insbesondere kommt es
darauf an, ob das Material des Trägerrohres in einem Abschnitt supraleitend oder ferromagnetisch oder
weder supraleitend noch ferromagnetisch ist. Sofern eine Hülse im Innern eines Trägerrohres vorgesehen ist,
gilt dasselbe auch für die Hülse. Welches Material an welcher Stelle des Trägerrohres und gegebenenfalls
auch der Hülse zu wählen ist, richtet sich danach, ob an dem jeweils betreffenden Ort eine ferromagnetische
Leitung magnetischer Feldlinien oder eine Abschirmung eines magnetischen Feldes unter Zuhilfenahme der
Supraleitung gewünscht ist, hingenommen werden kann oder gar vermieden werden muß. So ist es z. B. bei
Polschuhen, die sich im Innern des Trägerrohres bzw. der Hülse befinden, notwendig, daß zwischen den
Polschuhen und der magnetischen Ummantelung der Linse, z.B. zwischen 31 und 211, ein magnetischer
Schluß besteht, wozu das Trägerrohr 22 und die Hülse 23 am Ort ihrer Berührung mit der ferromagnetischen
Ummantelung 211 der Linse 11 ferromagnetisch ist, so daß die in 211 verlaufenden Magnetfeldlinien ohne
wesentliche Hinderung in die Polschuhe 31 überteten können. Andererseits sind Trägerrohre und Hülse im
Bereich des Spaltes zwischen den Polschuhen des Polschuhpaares 31 nicht-ferromagnetisch auszuführen,
da sonst mehr oder weniger ein Kurzschluß für dasjenige Magnetfeld auftreten würde, das zwischen
den Polschuhen des Polschuhpaares 31 im Bereich der Achse des Linsensystems auftreten soll. Im Bereich der
Objektivlinse 14/114 müssen das Trägerrohr 24 und die Hülse 25 im Bereich der Abschirmkörper 48 und 49
supraleitend sein. Diese Supraleitung ist notwendig, damit zwischen der supraleitenden Abschirmung 214
der Linse 14 und dem Abschirmkörper 48 kein solcher Spalt besteht, durch den hindurch Magnetfeldlinien
deshalb unerwünschterweise austreten können, weil in diesem Spalt keine ausreichende Supraleitung besteht.
Andererseits muß im Linsenspalt zwischen dem Linsenteil 14 und dem Linsenteil 114 das magnetische
Feld in das Zentrum der Linse eintreten, um dort eine fokussierende Wirkung zu haben. Trägerrohr und Hülse
dürfen daher in diesem Bereich auf keinen Fall supraleitend und auch nicht ferromagnetisch sein. Bei
der supraleitenden Abschirmlinse 14/114 wirken die AbschiiTnkörper 48 und 49 bezüglich der Fokussierung
in mit Polschuhpaaren etwa vergleichbarer Weise. Im Bereich der Polschuhe der linse 15 müssen Trägerrohr
und Hülse ferromagnetisch sein. Jedoch zwischen den Polschuhen der Linse 15 müssen Trägerrohr und Hülse
frei von ferromagnetischen oder supraleitenden Eigenschaften sein. Trägerrohr und Hülse können jedoch u. U.
im Bereich der Polschuhe der Linse 15 supraleitend sein.
Bei der Ausführungsform einer Säule nach F i g. 1 sind, wie bereits erwähnt, Justiersysteme im Innern und
außerhalb von Hülse und Trägerrohr vorgesehen. Soweit sich diese aus Magnetfeldspulen bestehenden
Justiersysteme im Innern befinden, sollten Hülse und/oder Trägerrohr ferromagnetisch sein, um einen
äußeren ringförmigen magnetischen Schluß für die einzelnen Spulen, beispielsweise des Justiersystems 51,
zu bewirken. Bei einer Anordnung eines Justiersystems außerhalb des Trägerrohres, wie z. B. bei 58, dürfen
Trägerrohr und Hülse an dieser Stelle weder ferromagnetisch noch supraleitend sein, damit das zur Justierung
vorgesehene Magnetfeld der einzelnen Spulen des
ίο Systems 58 auch tatsächlich im Bereich der Achse der
Säule wirksam werden kann. Zweckmäßig ist es, für ein solches außerhalb angeordnetes Justiersystem 58 einen
magnetischen Rückschluß außen herum um das Justiersystem vorzusehen, was jedoch der Übersichtlichkeit
halber in der Fig. 1 nicht dargestellt ist. Gegebenenfalls kann als Rückschluß auch die ferromagnetische
Ummantelung, wie z. B. 211, einer unmittelbar daneben angeordneten Linse verwendet werden.
In der Wandung des Trägerrohres und, soweit vorhanden, in der Hülse in dem Trägerrohr sind
Bohrungen vorhanden, soweit diese notwendig oder auch nur zweckmäßig sind. Z. B. befinden sich in dem
Trägerrohr 24 und in der Hülse 25 Bohrungen im Verlauf der Bohrung 105 der Scheibe 104. Durch die
Bohrung 105 und die anschließenden Bohrungen in Trägerrohr und Hülse wird das Präparat in die
Gegenstandsebene der Objektivlinse 14/114 eingebracht.
F i g. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem ein
F i g. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem ein
jo durch die ganze Säule zentral hindurchgehendes Trägerrohr 522 vorgesehen ist. Innerhalb des Trägerrohres
522 befindet sich eine ebenfalls durchgehende Hülse 523. Im Innern der Hülse 523 sind in der
Ausführungsform nach F i g. 1 entsprechenderweise Einzelheiten der Linse angeordnet. Einzelheiten, die
bereits im Zusammenhang mit dem Ausführungsbeispiel nach F i g. 1 beschrieben worden sind, haben in der
F i g. 2 mit F i g. 1 übereinstimmende Bezugszeichen. Vergleichsweise zur Scheibe 104 ist eine Scheibe 104
vorgesehen, in der sich in horizontaler Richtung verlaufende Bohrungen 1105 und 1106 befinden. Durch
diese Bohrungen können Schieber 1110 und 1111 hindurchgeführt werden. Diese Schieber können als
Objektträger und/oder als Blende verwendet werden.
Als Objektivlinse ist eine wiederum in zwei Teile 504 und 514 aufgeteilte Linse mit supraleitender Wicklung
vorgesehen. Diese beiden Linsenteile sind von einem Gehäuse 516 aus ferromagnetischem Material umgeben.
Mit 534 sind die zur Objektivlinse gehörenden
so Polschuhe bezeichnet Die nachvergrößernde erste Zwischenlinse 515 hat Polschuhe 535, die sich ebenfalls
im Innern des Trägerrohres 522 bzw. im Innern der Hülse 523 befinden. Trägerrohr 522 und Hülse 523 sind
an den Stellen, an denen sich Ummantelungen 516 und Polschuhe 534 bzw. 535 berühren bzw. einander
nahekommen aus ferromagnetischem Material hergestellt Im Bereich des Spaltes zwischen den einzelnen
Polschuhen der Polschuhpaare 534 und 535 sind die Materialien von Trägerrohr und Hülse nicht ferromagnetisch,
damit kein magnetischer Kurzschluß an dieser Stelle eintritt
F i g. 3 zeigt einen Ausschnitt eines weiteren Ausführungsbeispiels,
bei dem innerhalb des Gehäuseteiles 1304, das im wesentlichen dem Gehäuseteil 4 des
Ausführungsbeispiels nach F i g. 1 entspricht, ein Trägerrohr 1224 vorgesehen ist, das unmittelbar
unterhalb der Objektivlinse abgesetzt ist Die Objektivlinse besteht aus den Linsenteilen 604 und 614, wie dies
im Prinzip im Zusammenhang mit den Fig. 1 und 2 bereits beschrieben ist. Bei dem Ausführungsbeispiel
nach Fig.3 ist eine supraleitende Abschirmlinse vorgesehen mit einem supraleitenden Abschirmgehäuse
1314 und mit supraleitenden Abschirmkörpern 1246 und 1247. Diese zylinderförmigen Abschirmkörper umgeben
den inneren Teil des Trägerrohres 1224. Das Trägerrohr
ist insbesondere aus dem Grunde in seinem Durchmesser mögiichst klein gewählt, damit die Abschirmkörper
1246,1247 mit ihren einander gegenüberstehenden, das Magnetfeld formenden Kanten möglichst nahe an das
Objekt herankommen, das sich an der Spitze des in die Bohrung 1205 der Scheibe 1204 eingeführten Schiebers
1210 berindet
Mit 1206 ist eine der Bohrung 106 (Fig. 1) entsprechende Durchlaßöffnung für flüssiges Helium
bezeichnet
Innerhalb desjenigen Teiles des Trägerrohres 1224, der einen weiteren Querschnitt aufweist, befindet sich
eine vorgesehene Hülse 1225, wie bereits prinzipiell beschrieben. In der Hülse ist eine Blende 1245
angeordnet Im vorliegenden Fall läßt sich die Hülse 1225 nur nach unten aus dem Trägerrohr 1224
herausnehmen, was jedoch keine nennenswerte Einschränkung bedeutet
Weitere Einzelheiten des Ausführungsbeispiels nach F i g. 3, insbesondere die in der Figur abgeschnittenen
Teile, entsprechen beispielsweise den in dem Ausführungsbeispiel nach F i g. 1 beschriebenen Einzelheiten.
F i g. 4 zeigt einen Ausschnitt eines weiteren Ausführungsbeispiels,
und zwar einen Ausschnitt, der im wesentlichen nur die als Objektiv vorgesehene Abschirmlinse
zeigt Auch bei dem Ausführungsbeispiel nach F i g. 4 ist die Abschirmlinse in zwei Teile 704 und
714 aufgeteilt, zwischen denen sich die Scheibe 1704 befindet die der Scheibe 1104 bzw. 1204 im wesentlichen
entspricht Mit 716 und 717 sind supraleitende Abschirmungen bezeichnet Die Spulenwicklungen sind
mit 718 und 719 bezeichnet
Es ist ein Trägerrohr 724 vorgesehen, auf dem die Ummantelungen 716 und 717 angeordnet sind. Die mit
726 und 728 bezeichneten Teile des Trägerrohres 724 bestehen aus supraleitendem Material. Im Bereich 704
und 714 wirken die im Innern des Trägerrohres 724 angeordneten Teile 730 und 731 als Abschirmkörper,
wie sie beispielsweise mit den Ausführungsbeispielen nach Fig. 1 und Fig.3 bereits erwähnt sind. Die
Teilstücke 727 und 729 des Trägerrohres 724 bestehen aus einem Material, das weder supraleitend noch
ferromagnetisch ist, aber gut wärmeleitend sein soll. Das Material der Teilstücke 727 und 729 hat damit keinen
Einfluß auf die Formgebung des magnetischen Feldes in dem Bereich, in dem sich die Abschirmkörper 726 und
20
25
30
35
40
50 728 gegenüberstehen. Die Teilstücke 727 und 729 können ein gemeinsames, beispielsweise einstückig
verbundenes Teilstück des Trägerrohres 724 und der Scheibe 1704 sein. Die Teilstücke des Trägerrohres 724
sind, vorzugsweise durch Schweißen, einstückig miteinander verbunden. Die Ringe 732 und 733 dienen zur
Kühlung der dem Spalt zugekehrten Seite der Abschirmkörper. Sie sollen aus gut wärmeleitendem,
weder ferromagnetischem noch supraleitendem Materialbestehen.
Beim Betrieb wird das Innere des Trägerrohres 724 für den Durchgang des Elektronenstrahls evakuiert. Die
Verschweißungen sind dementsprechend vakuumdicht ausgeführt.
Die F i g. 5 zeigt im Prinzip ein Ausführungsbeispiel einer Linse mit Polschuhen sowohl im Innern des
Trägerrohres 822 als auch im Innern der Hülse 823. Mil 816 ist die äußere Ummantelung der Linsenwicklung
818 bezeichnet. Die stark schraffierten Abschnitte 841 und 842 des Trägerrohres 822 und der Hülse 823
bestehen aus ferromagnetischem Material, damit ein ungehinderter Schluß des Magnetfeldes zwischen den
Polschuhen 834/835 und der Ummantelung 816 möglich ist. Der Abschnitt 843 von Trägerrohr und Hülse ist
weder ferromagnetisch noch supraleitend, damit das magnetische Feld, das sich zwischen den Spitzen der
Polschuhe 834/835 ausbilden soll, nicht kurzgeschlossen wird.
Fig.6 zeigt einen schematischen Aufbau eines Elektronenmikroskopes mit einem Linsensystem. Von
dem Linsensystem ist lediglich das Kryostatengehäuse 2000 dargestellt das den Gehäuseteilen 2, 4 und 6 in
F i g. 1 entspricht Mit 2002 ist die Vakuumkammer bezeichnet, die im wesentlichen aus den Teilen des
Trägerrohres bzw. den mehreren einzelnen Trägerrohren sowie Verlängerungen desselben nach oben und
unten besteht. Im oberen Ende der Vakuumkammer 2002 befindet sich eine Elektronenquelle 2003. Es ist dies
beispielsv/eise eine Glühwendel. Mit 2004 ist eine Beobachtungskammer am unteren Ende der Vakuumkammer
2002 bezeichnet Innerhalb dieser Beobachtungskammer befindet sich beispielsweise ein Beobachtungsschirm
zur Beobachtung des vergrößerten Elektronenmikroskopbildes. Über eine Rohrleitung 2006 ist
das Innere der Vakuumkammer 2002 mit einer Vakuumpumpe 2007 verbunden. Mit 2008 ist eine
ringförmige Anode bezeichnet Eine Spannungsquelle 2009 dient zur Aufrechterhaltung einer elektrischen
Spannung zwischen der Elektronenquelle 2003 und der Anode 2008. Die gestrichelte Linie 2009 deutet den Weg
des Elektronenstrahls im Innern der Vakuumkammer durch das Linsensystem, das sich in dem Kryostatengehäuse
2000 befindet, an.
Hierzu 4 Blatt Zeichnungen
Claims (1)
- Patentansprüche:1. Supraleitendes Linsensystem für Korpuskularstrahlung mit mehreren supraleitenden, kryostatisch gekühlten magnetischen Linsen und mit Mitteln zur s Justierung des Korpuskularstrahl, dadurch gekennzeichnet, daß sich jeweils mehrere Linsen (11,12,13; 14,114,15; 16,17,18 bzw. 11,12, 13,504,514,515,16,17,18 bzw. 604,614,15 bzw. 704, 714) des Systems in einem gemeinsamen Kryostaten befinden und auf einem im Kryostaten befindlichen zentralen Trägerrohr (22,24, 26 bzw. 522 bzw. 1224 bzw. 724 bzw. 822) aufgebaut sind.2. Linsensystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das System aus einer Objektivlinse (14,114; 504,514; 604,614; 704,714) und einer ersten Zwischenlinse (15; 515) besteht.3. Linsensystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens zwei in gleicher Weise aufgebaute Linsensysteme zusammengesetzt und Teile eines Gesamtlinsensystems (U, 12,13,14, 114,15,16,17,18 bzw. 11,12,13,504,514,515,16,17, 18)sind(Fig. Iu.2).4. Linsensystem nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Gesamtlinsensystem (11, 2r> 12,13,14,114,15,16,17,18 bzw. 11,12,13,504,514, 515, 16, 17, 18) die Säule (1; 501) eines Elektronenmikroskopes bildet (F i g. 1 u. 2).5. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das eine oder die j< > mehreren Linsensysteme Kondensor- (11, 12, 13), (Nach-)Vergrößerungsystem(e)(16,17,18) und/oder Objektiv (14, 114; 504, 514; 604, 614; 704, 714) ist (sind).6. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, S5 dadurch gekennzeichnet, daß sich in dem Innern des Trägerrohres (22,24,26 bzw. 522 bzw. 1224 bzw. 724 bzw. 822) wenigstens eine Blende (41,141,42,43,45, 46,47; 1245) befindet.7. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 6, 4» dadurch gekennzeichnet, daß sich im Innern des Trägerrohres (22, 26, 522, 822) ferromagnetische Polschuhe (31, 32, 33, 36, 37, 534, 535, 834, 835) wenigstens einer Linse (11, 12, 13, 16, 17, 18; 504, 514, 515, 816) befinden und das Trägerrohr an der jeweiligen Berührungs- bzw. Annäherungsstelle der Polschuhe mit dem Trägerrohr wenigstens teilweise (841,842) ferromagnetisch ist.8. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Innern des to Trägerrohres (24, 1224, 724) Abschirmkörper (48, 49; 1246, 1247; 730, 731) aus supraleitendem Material wenigstens einer Linse (14, 114; 604, 614; 704, 714) befinden und daß das Trägerrohr an der jeweiligen Berührungs- bzw. Annäherungsstelle der Abschirmkörper mit dem Trägerrohr wenigstens teilweise (726,728) supraleitend ist.9. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Innern des Trägerrohres (22, 26 bzw. 522) wenigstens ein Justiersystem (51—57 bzw. 51—57 und 558) befindet (Fig. Iu.2).10. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis9, dadurch gekennzeichnet, daß sich Polschuhe wenigstens einer Linse (15) außerhalb des Trägerrohres (24 bzw. 1224) befinden (F i g. 1 u. 3).11. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis10, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Abschirmkörper (1246,1247) wenigstens einer Linse (604,614) außerhalb des Trägerrohres (1224) befinden (Fig. 3).IZ Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis11, dadurch gekennzeichnet, daQ sich wenigstens ein Justiersystem (58) außerhalb des Trägerrohres (24 bzw. 1224) befindet und daß das Trägerrohr am Ort des Justiersystems weder ferromagnetisch noch supraleitend ist (F i g. 1 u. 3).13. Linsensystem nach einem der Ansprüche 3 bis12, dadurch gekennzeichnet, daß Linsensysteme des Gesamtlinsensystems (U, 12,13,14,114,15,16, 17, 18 bzw. 11,12,13,504,514,515,16,17,18) mit ihren Kryostaten derart miteinander zusammengesetzt sind, daß sie für das Kühlmittel einen einzigen Innenraum bilden (F i g. 1 u. 2).14. Linsensystem nach einem der Ansprüche 3 bis13, dadurch gekennzeichnet, daß sich alle Linsensysteme des Gesamtlinsensystems (11,12,13,14, 114, 15,16,17,18 bzw. 11,12,13,504,514,515,16,17,18) in einem einzigen Kryostaten befinden.15. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis14, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Linsensysteme (11, 12, 13; 504, 515; 16, 17, 18) auf einem einzigen Trägerrohr (522) angeordnet sind.16. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis15, dadurch gekennzeichnet, daß in wenigstens einem Trägerrohr (22, 24, 26, 522, 1224, 822) eine Hülse (23, 25, 27, 523, 1225, 823) aus elektrisch leitfähigem Material vorgesehen ist und daß die Hülse aus dem Trägerrohr herausnehmbar ausgeführt und praktisch spaltfrei in den Innendurchmesser des Trägerrohres eingepaßt ist.17. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis16, dadurch gekennzeichnet, daß eine Blende (41, 141, 42, 43; 45, 46, 47; 1245) und/oder ein Polschuhpaar (31, 32, 33; 36, 37; 534, 535; 834, 835) und/oder ein Justiersystem (51,52,53,54; 55,56,57; 558) im Innern der Hülse (23, 25, 27, 523,1225, 823) auswechselbar angeordnet ist (sind).18. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis17, dadurch gekennzeichnet, daß die Hülse (23, 25, 27,523,1225,823) an den Stellen eines Polschuhpaares (31, 32, 33, 36, 37, 534, 535, 834, 835), eines Abschirmkörpers (48, 49) und/oder eines Justiersystems (51, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 558) aus einem vergleichsweise zum Trägerrohr (22, 24, 26, 522, 1224, 822) magnetisch gleichartigen Material besteht.19. Linsensystem nach einem der Ansprüche 2 bis18, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Trägerrohr (24, 522, 1224, 724), auf dem sich die Objektivlinse (14, 114; 504, 514; 604, 614; 704, 714) befindet, im Bereich der Objektivlinse eine Scheibe (104; 1104; 1204; 1704) mit wenigstens einer Radialbohrung (105; 1105, 1106; 1205; 1705, 1706) zur Präparateeinfuhr und mit wenigstens einer nichtzentrisch gelegenen axial gerichteten Bohrung (106, 1206) zum Durchtritt des Kühlmittels im Kryostaten versehen ist.20. Linsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis19, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Linsen (11,12) von nur einem Netzgerät gespeist sind.
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