DE720927C - Magnetische Elektronenlinse - Google Patents

Magnetische Elektronenlinse

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Publication number
DE720927C
DE720927C DESCH112176D DESC112176D DE720927C DE 720927 C DE720927 C DE 720927C DE SCH112176 D DESCH112176 D DE SCH112176D DE SC112176 D DESC112176 D DE SC112176D DE 720927 C DE720927 C DE 720927C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
lens
magnetic
electron lens
magnetic electron
cathode ray
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Expired
Application number
DESCH112176D
Other languages
English (en)
Inventor
Willi Schroeder
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Telefunken AG
Original Assignee
Telefunken AG
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Filing date
Publication date
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Application granted granted Critical
Publication of DE720927C publication Critical patent/DE720927C/de
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/46Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
    • H01J29/58Arrangements for focusing or reflecting ray or beam
    • H01J29/64Magnetic lenses

Landscapes

  • Electron Beam Exposure (AREA)

Description

  • Magnetische Elektronenlinse Die für -elektronenoptische Zwecke, z. B. Fernsehen, Elektronenmikroskop, Bildwandler, Kathodenstrahloszillographen, verwendeten Magnetlinsen bestehen, sofern elektromagnetische Linsen verwendet werden, aus einer Spulenanordnung, deren Windungen den Kathodenstrahl bzw. das Kathodenstrahlbündel umschließen. Um ein in der Kathodenstrahlrichtung nicht weit ausgedehntes Magnetfeld zu -erhalten, wird die Spule mit einem Eisenpanzer so umgehen, daß nur im° Inneren der Spule ein Spalt frei bleibt. Das magnetische Streufeld dieses ringförmigen Spaltes hat auf den Kathodenstrahl die Wirkung einer Linse. Um Linsenfehler klein zu halten, muß die Linse einen großen Durchmesser besitzen. Eine Linse größeren Durchmessers erfordert aber bei gleicher Brennweite eine höhere Amp'erewindungszahl, also größere Leistung. Außerdem wird die Länge je Windung und damit der Ohmsche Widerstand größer, was abermals eine Erhöhung der Leistung bedeutet. Da außerdem die Kühlverhältnisse der gekapselten Spule sehr ungünstig sind, stößt, wenn der Winkelquexschnitt normale Abmessungen behalten soll, die Erzeugung kurzer Brennweiten bei großen Spulendurchmessern auf Schwierigkeiten, die nur teilweise durch künstliche Kühlung beherrscht werden können.
  • Bei verwickelten Apparaturen, bei denen die Linse an einer verengten Stelle derselben sitzen kann, muß die Linse, da sie nicht teilbar ist, einen sehr großen Durchmesser haben, 'und somit muß ein oft unerwünschtes langes axiales Feld in Kauf genommen werden. Es ist auch eine Veränderung der Linsenform, z. B. in ein Ellipsoid, nur durch Veränderung des Eisenpanzers mÖglich.
  • Es ist bereits bekannt, kurze magnetische Elektronenlinsen dadurch herzustellen, daß man die beiden den Röhrenhals umschließenden ringförmigen Polschuhe mit den beiden Polen eines in b.ezug auf die Röhrenachse symmetrischen Permanentmagneten verbindet. Zwar wird hierdurch ein rotationssymmetrisches Feld längs der Röhrenachse erzeugt, aber die Wirkungsform der Linse kann nicht beliebig abgeändert werden.
  • Erfindungsgemäß soll daher eine magnetische Elektronenlinse so hergestellt werden, daß die den Kathodenstrahl umschließenden ringförmigen Polschuhe durch zwei odermehr Erregerspulen tragende magnetisierbare Kerne.,, deren Erregerwicklungen den Kathodenstrahl nicht umschließen bzw. durch eine entsprechende Zahl permanenter Magnete verbu.nde.n sind.
  • Eine solche Elektronenlinse zeichnet sich, sofern sie als elektromagnetische Linse ausgebildet ist, durch kleine Leistungsaufnahme und gute Kühlung aus. Außerdem kann die Linse teilbar hergestellt werden und die'Wirkungsform der Linse durch Stromregelung stetig verändert werden. Auch bei der Anordnung mit Permanentmagneten bleibt der Vorteil erhalten, daß die Linse teilbar hergestellt wird und die Wirkungsform je nach der magnetischen Polstärke der einzelnen verwendeten Permanentmagneten beliebig verändert werden kann.
  • Die Abbildung zeigt ein Beispiel der magnetischen Linse gemäß der Erfindung in dem Falle, daß die Anordnung mittels Elektromagneten betrieben wird. Zur besseren Ansicht ist ein Segment herausgeschnitten. An Stelle einer Spute, deren Windungen den Kathodenstrahl umschließen, werden mehrere außerhalb des Strahls liegende Spulen z verwendet. Die Eisenjoche a der Einzelspulen i werden durch die Winkelringe 3 und ¢ (POlschuhe) miteinander magnetisch verbunden. Die Spulen i werden mit gleicher Amperewindungszahl und gleichsinnig betrieben. Der magnetische Fluß der einzelnen Joche 2 verteilt sich durch die Polschuhe 3 und ¢ bis zu dem im Inneren liegenden Spalt 5 so, daß der an demselben entstehende und Linsenwirkung ausübende Streufluß gleichmäßig und ringförmig verteilt ist.
  • Wird nun eine geringe Zahl von Einzelspulen, z. B. eine oder zwei, verwandt und das Material der Polschuhe schwach gewählt, so treten durch den magnetischen Spannungsabfall in den Polschuhen und den damit verbundenen ungleichen Feldstärken am Spalt Linsenfehler auf. Durch eine geeignete Form der Polschuhe kann das den Strahl beeinflussende magnetische Feld rotationssymanetris:ch gestaltet, die Linse also korrigiert werden. Durch Löcher und Schlitze in den Polschuhen kann der magnetische Fluß so verteilt werden, daß am Spalt eine gleichmäßige Feldstärke herrscht. Auch durch besondere Form der Joche, insbesondere an den Enden, kann die Flußverteilung begünstigt «-erden. Die Linse kann auch aus einzelnen Segmenten bestehen, die um den Strahl bzw. um das Strahlenbündel herum zusammengesetzt werden. Dieser weitere Vorteil gegenüber den bekannten Linsen tritt hauptsächlich bei verwickelten Aufbauten, bei denen ein Herüberschieben der Linse nicht möglich ist, in Erscheinung.
  • Da bei der Linse der vorliegenden Art das Joch bzw. die Joche der Einzelspulen vorteilhaft bis zum Beginn der Sättigung erregt werden, bleibt der Jochdurchmesser gering. Dadurch ist auch der mittlere Windungsdurchmesser der Spulen klein, was eine Verringerung des Ohmschen Widerstandes und damit der Leistung bedeutet.
  • Da die Einzelspulen klein sind und frei liegen, außerdem Lufträume zwischen den einzelnen Spulen und zwischen den Spulen und .den Polschuhen gelassen werden können, wird durch die sehr große Gesamtoberfläche eine gleiclimäßige und ausreichende Kühlung erzielt.
  • Auch leistungsfähige permanentmagnetische Linsen lassen sich durch gleiche Anordnungen wie die eben beschriebenen elektromagnetischen Linsen herstellen. Diese Lip.-sen entsprechen dann z. B. der Abbildung, jedoch ohne Spulen. Die Joche z sind dann permanentmagnetische Stäbe. Auch die bei den elektromagnetischen Linsen zur Erzielung der den Strahl beeinflussenden gleichmäßigen Feldstärke getroffenen Vorkehrungen können hierbei Anwendung finden.
  • Für manche Zwecke, z. B. Experimentieren, Bildfeldentzerrung, ist es erwünscht, die Linsenform zu verändern. Dies ist bei den bekannten Linsen nur durch andere Formgebung des Eisenpanzers bzw. der Spule selbst möglich. Bei der vorliegenden Linse ist es auch durch den magnetischen Spannungsabfall in den Polschuhen bei Entfernung einiger Spulen und Joche oder durch Änderung der Stromstärken der einzelnen Spulen untereinander möglich, die Feldverteilung am Spalt so zu bestalten, daß die Form der Linse verändert -wird , z. B. in ein Ellipsoid. Umgekehrt kann durch entsprechende Feldverteilung mit einer anderen Form der Polschuhe Linsenwirkung hervorgerufen werden.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Magnetische Elektronenlinse, dadurch gekennzeichnet, da.ß die den Kathodenstrahl umschließenden ringförmigen Polschuhe durch zwei oder mehr Erregerspulen tragende magnetisierbare Kerne, deren Erregerwicklungen den Kathodenstrahl nicht umschließen bzw. durch eine entsprechende Zahl permanenter Magnete verbunden sind. a. Magnetische Elektronenlinse nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß durch eine geeignete Form der Polschuhe eine gute Rotationssymmetrie des Feldverlaufs hergestellt ist. 3. Magnetische Elektronenlinse nach Anspruch i oder a, dadurch gekennzeichnet, daß durch Löcher oder Schlitze oder durch beides in den Polschuhen der magnetische Fluß gleichmäßig verteilt ist. q.. Magnetische Elektronenlinse nach Anspruch i bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die magnetische Flußverteilung durch geeignete Formgebung der Kerne bewirkt ist. 5. Magnetische Elektronenlinse nach Anspruch i bis q., dadurch gekennzeichnet, daß die Linse in segmentartige Stücke aufgeteilt ist. 6. Magnetische Elektronenlinse nach Anspruch 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Erregerspulen mit den magnetisierb,aren Kernen durch permanente Magnete ersetzt sind. 7. Verfahren zur Beinflussung der Linsenform von magnetischen Elektronenlinsen nach Anspruch i bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß, die einzelnen Erregerspulen mit verschiedener Stromstärke betrieben werden.
DESCH112176D 1937-02-25 1937-02-25 Magnetische Elektronenlinse Expired DE720927C (de)

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DE871483X 1939-02-10

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE973258C (de) * 1938-03-08 1959-12-31 Siemens Ag Magnetische Polschuhlinse kleiner Brennweite fuer elektronenoptische Vergroesserungen in Elektronenmikroskopen
DE976927C (de) * 1952-01-04 1964-08-06 Philips Nv Magnetische Elektronenlinse mit einstellbarer Brennweite
US3268648A (en) * 1962-09-25 1966-08-23 Heraeus Gmbh W C Apparatus for vaporizing materials by an electron beam

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DE976927C (de) * 1952-01-04 1964-08-06 Philips Nv Magnetische Elektronenlinse mit einstellbarer Brennweite
US3268648A (en) * 1962-09-25 1966-08-23 Heraeus Gmbh W C Apparatus for vaporizing materials by an electron beam

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