DE929920C - Vakuumschieberventil - Google Patents

Description

• Vakuumschieberventil In Vakuumapparaten, beispielsweise Korpuskularstrahlapparaten, wie Elektronenmikroskopen od. dgl., werden vielfach Ventile benötigt, die dazu dienen, Teile des Gefäßinnern vakuumdicht voneinander abzusperren. Solche Ventile werden beispielsweise im Zusammenhang mit Schleuseinrichtungen für Objekte oder Photomaterial angewendet. Die Erfindung, betrifft ein Vakuumschieberventil und besteht darin, däß der Schieber durch eine einzige Antriebsstange sowohl quer zur zu verschließenden Öffnung hin und her als auch in Richtung auf diese Öffnung zu bzw. davon weg bewegt werden kann. Man erhält auf diese Weise einen sehr einfachen Antrieb für den Vakuumschieber und hat die Möglichkeit, mit dem einzigen Antriebsglied den Schieber quer zu verschieben und ihn auch in der Schließlage kräftig gegen die entsprechenden Dichtungsflächen der zu verschließenden Öffnung anzudrücken. Die Erfindung kommt insbesondere mit Vorteil in Betracht zur Trennung von im Strahlengang eines Korpuskularstrahlapparates, beispielsweise eines Elektronenmikroskops, hintereinanderliegenden, Apparateteilen. Da das Verschlußstück ein Schieber ist, kann man mit der neuen Anordnung ohne weiteres verhältnismäßig große Öffnungen im Vakuumgefäß dicht abschließen. Daher läßt sich das Vakuumschieberventil mit besonderem Vorteil auch zum Abschluß der Plattenschleusenkammer bei Korpuskularstrahlapparaten anwenden; denn hier kommt es darauf an, eine verhältnismäßig große Öffnung, -die etwa dem Endbildformat entspricht, bei den Schleusvorgängen vom Hauptvakuumraum abzusperren. Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß sich die neue Anordnung durch sehr geringe Bauhöhe auszeichnet, so daß also bei einer Anwendung der Raumbedarf in Richtung des Elektronenstrahles nur gering ist.
• Man kann die Schieberbewegungen durch eine drehbare Spindel hervorrufen. Eine andere Ausführungsmöglichkeit besteht darin, daß man für den Antrieb des Schiebers eine hin und her bewegliche Stange anwendet. In beiden Fällen kann durch das Antriebsglied, also durch die Spindel oder die Stange, ein Schlitten hin und her bewegt werden, auf dem der Schieber gelagert ist. Die Konstruktion kann man dabei mit Vorteil so wählen, daß nach Erreichen der Endlage der Querbewegung im Sinne des Schließens der Schieber gegen einen Anschlag fährt und nunmehr durch geeignete Gleitschienen bei weiterer Bewegung der Spindel oder der Stange in Richtung auf die zu verschließende Öffnung hin bewegt und gegen die Dichtungsflächen gedrückt wird.
• Für die eben beschriebene Ausführungsmöglichkeit der Erfindung ist in den Fig. i und-2 schematisch ein Ausführungsbeispiel nach der Erfindung dargestellt. Mit i ist die Wand des Vakuumgefäßes, also beispielsweise des Elektronenmikroskops, bezeichnet; in dieser befindet sich die zu verschließende Öffnung 2. Zum Verschluß dient ein Schieber 3, der auf einem Schlitten q. gelagert ist. Der Schlitten wird von Schienen 5, 6 gehalten und kann mit Hilfe der Gewindespindel 8 hin und her bewegt werden. Wenn der Schlitten durch den Spindelantrieb die in Fig. i dargestellte linke Endlage der Querbewegung erreicht hat, fährt der Schieber 3 gegen einen Anschlag 9 und wird nunmehr bei weiterem Drehen der Spindel 8 in Richtung des Pfeiles io nach oben gedrückt, so daß sich die Trockendichtung r i fest gegen die entsprechende Dichtungsfläche an der Öffnung 2 legt. Diese Que@rbewegung. in Richtung des Pfeiles io wird herbeigeführt durch Gleitschlitze 12, die sich im Schlitten q. befinden und mit denen die am Schieber 3 befestigten Zapfen 13 zusammenarbeiten. Die Spindel 8 ist beim Ausführungsbeispiel mit Hilfe eines Simmerringes 14 druckdicht nach außen geführt. Dieser Simmerring sorgt für einen vakuumdichten Verschluß bei den Spindelbewegungen.
• Eine andere Ausführungsmöglichkeit der Erfindung besteht darin, daß die Schieberbewegungen durch eine Stange hervorgerufen werden, wobei die Querbewegungen des Schiebers durch Verschieben der Stange in ihrer Längsrichtung und die unmittelbaren Schließ- und Öffnungsbewegungen des Schiebers durch Verdrehen der Stange mit Hilfe eines dieser zugeordneten Exzenters durchgeführt werden. Ein Ausführungsbeispiel hierfür ist in den Fig. 3 bis 5 dargestellt. In diesem Fall soll mit Hilfe des Schiebers 21 die Öffnung 22 abgeschlossen werden. Der Schieber wird in dem Raum 23 des Gefäßteiles 24 hin und her beweglich gelagert. Die Bewegungen des Schiebers werden mit Hilfe einer Stange 25 durchgeführt, die mit einem Simmerring 26 druckdicht nach außen geführt ist. Der Schieber 2i selbst ist in dem Halter 27 befestigt, der gleichzeitig das linke Auflager für die Stange 25 bildet. Wenn der Schieber 2i die in der Fig. 3 dargestellte linke Endlage erreicht hat, die durch den Anschlag 28 festgelegt ist; kann man den Schieber nunmehr durch Drehen der Stange 25 mit Hilfe des an ihr befestigten Exzenters 29 nach unten drücken, so daß er sich mit Hilfe der Trockendichtung 3 0 fest gegen die zugeordnete Abdichtungsfläche der Öffnung 22 anlegt. Mit 31 ist ein Anschlag bezeichnet, der die rechte Endlage des Schiebers 21 bei .seiner Querverschiebung festlegt.

Claims (3)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. Vakuumschieberventil, insbesondere Ventil zur Trennung von im Strahlengang eines Korpuskularstrahlapparates, beispielsweise eines Elektronenmikroskops, hintereinanderliegenden Apparatteilen, gekennzeichnet durch einen Schieber, der durch eine einzige Antriebsstange sowohl quer zur zu verschließenden Öffnung hin und her als auch in Richtung auf diese Öffnung zu bzw. davon weg bewegbar ist.
2. 2. Anordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Schieberbewegungen durch eine drehbare Spindel hervorgerufen sind.
3. 3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Spindel einen Schlitten hin und her bewegt, auf dem der Schieber gelagert ist, und daß nach Erreichen der Endlage der Querbewegung im Sinne des Schließens der Schieber gegen einen Anschlag fährt und durch Gleitschienen bei weiterer Spindelbewegung in Richtung auf die zu verschließende Öffnung hin bewegt und gegen die Dichtungsflächen gedrückt ist. q.. Anordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Schieberbewegungen durch eine Stange hervorgerufen sind, wobei die Querbewegungen durch Verschieben der Stange und die unmittelbaren Schließ- und Öffnungsbewegungen durch Verdrehen der Stange mit Hilfe eines Exzenters durchgeführt sind.