DE919560C - Werkstoffuntersuchungsgeraet - Google Patents

Werkstoffuntersuchungsgeraet

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Publication number
DE919560C
DE919560C DEZ924D DEZ0000924D DE919560C DE 919560 C DE919560 C DE 919560C DE Z924 D DEZ924 D DE Z924D DE Z0000924 D DEZ0000924 D DE Z0000924D DE 919560 C DE919560 C DE 919560C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
ray
microscope
emitted
axis
tube
Prior art date
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Expired
Application number
DEZ924D
Other languages
English (en)
Inventor
Dr-Ing Heinrich Hanemann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to DEZ924D priority Critical patent/DE919560C/de
Application granted granted Critical
Publication of DE919560C publication Critical patent/DE919560C/de
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

  • V\Terkstoffuntersuc hungsgerät Nach dem Röntgenverfahren wird durch Laue-, Debye-Scherrer- oder Schichtlinienaufnahmen der Feinbau von Kristallen bestimmt. Will man eine Kristallart untersuchen, die man zunächst zur mikroskopisch beobachtet hat, so ist es erforderlich, hinreichend große Kristalle dieser Kristallart oder eine große Menge kleiner Kristalle zu präparieren, um sie dann nach einer der Röntgenmethoden zu untersuchen. Gemäß der Erfindung wird der im Mikroskop beobachtete Kristall unmittelbar im Mikroskop mittels Röntgenfeinstrukturuntersuchung bestimmt.
  • Die Röntgenröhre wird mit ihrer Anftikathode iln der optischen Achse des Mikroskops angeordnet.
  • Aus dem von der Antikathode ausgehenden Röntgenlicht wird ein Strahl von etwa 50 X 50,z ausgeblendet. Das Objektiv und der Vertikalilluminator des Metallmikroskops sind zentrisch mit einer Bohrung von etwa I mm Durchmesser versehen. Diese Bohrung hindert nicht die optische Benutzbarkeit.
  • Der Röntgenstrahl fällt durch die Bohrungen auf den Schliff. Um den Ort des Strahlenauffalles auf dem Schliff genau zentrieren zu können, wird zunächst an Stelle des Schliffes einLeuchtschirm oder ein anderes Mittel zum Nachweis von Röntgenstrahlen eingesetzt und in die optische Achse gebracht. Geeignete Mittel sind ein Zählrohr oder eine Ionisationskammer. Alsdann wird durch Verschiebung der Röntgenblenden der Röntgenfleck auf dem Leuchtschirm in das Fadenkreuz des Okulars geschoben. Nunmehr wird nach Entfernung des Leuchtschirmes der Schliff aufgebracht und der zu untersuchende Kristall zentriert. Der Röntgenstrahl wird alsdann den zu untersuchenden Kristall und nur ihn treffen. Man entfernt hierauf das Objektiv, bringt eine Kassette mit Film ein und nimmt die Röntgenreilexe des Kristalls photographisch auf.
  • Der Objekttisch erhält in bekannter Weise eine Vorrichtung zum Drehen und Schwenken des Präparates unter Aufrechterhaltung der Zentrierung.
  • Man kann daher bei fest stehendem Apparat Laueaufnahmen und bei bewegtem Apparat Debye-Scherrer- oder Drehkristallaufnahmen anfertigen.
  • Dadurch, daß das Objektiv entfernt wLd, ist sowohl für die Schwenkung als auch für das Einbringen der Kassette genügender Platz im Tubus des Älikroskops geschaffen Eine beispielsweise Ausführungsform des Gegenstandes der Erfindung ist in den Fig. I und 2 der Zeichnungen dargestellt, und zwar zeigt Fig. I den Röntgenapparat in Ansicht und teilwelise im Schnitt und Fig. 2 den Antrieb des Objektivtubus in Draufsicht.
  • Nach Fig. I ist mit einer Fußplatte I ein Ständer 2 verbunden, der als Träger eines Mikroskops dient, dessen Okular aus einer Augenlinse 3 und einer Feldlinse 4 und dessen Objektiv aus einer Frontlinse 5 und einer Hinterlinse 6 besteht. Der Okulartubus 7 ist unmittelbar in dem Ständer 2 gelagert, während der Objektivtubus 8 mit einem Tragkörper g an dem Okulartubus 7 so verschiebbar gelagert ist, daß die Objektivachse die Okularachse unter einem Winkel von 90° schneidet. Zu diesem Zweck trägt das dem Objektivtubus zurückgekehrte Ende des Okulartubus einen schwalbenschwanzförmigen ;Gleitkörper I0, auf dem der Tragkörper g gleitet. Die beiden Führungsleisten II und 12 des Tragkörpers g sind je mit einer Zahnstange 13 bzw. ausgerüstet, in die ein Zahnrad 15 bzw. I6 greift (Fig. 2). Die beiden Zahnräder sitzen auf einer gemeinsamen, an dem Gleitkörper 10 gelagerten Antriebswelle I7, die an ihren Enden mit je einem Antriebsknopf I8 versehen ist. Mit Hilfe dieser Antriebsknöpfe I8 kann der Objektivtubus in Richtung seiner Achse am Okulartubus 7 verschoben werden. Mit 19 ist eine Glasplatte bezeichnet, die, unter einem Winkel von 450 gegen die Objektivachse geneigt, so in dem Objektivtubus angeordnet ist, daß die Abbildungsstrahlen in den Okulartubus gespiegelt werden. In dem Ständer 2 sind eine Lichtquelle 20 und eine Kondensorlinse 21 angeordnet.
  • Mittels einer unter einem Winkel von 450 zu der Okularachse in dem Abbildungsstrahlengang eingeschalteten Glasplatte 22 wird das von der Lichtquelle ausgesandte Lichtbündel auf eine zu untersuchende, auf einem Objekttisch 23 liegende Metallprabe 24 abgelenkt. An der Fußplatte I ist ferner eine Röntgenröhre 25 so gelagert, daß ihre Antikathode 26 auf der optischen Achse des Mikroskopobjektivs liegt und die ausgesandten Röntgenstrahlen in die Richtung dieser Achse fallen. Zwischen der Röntgenröhre 25 und der in untersuchenden Metallprobe 24 ist eine Blendeneinrichtung vorgesehen, die ans einem bis in die Nähe der Röntgenröhre und der Metaltlprobe reichenden Rohr 27 besteht und dessen Enden mit je einer Blende 28 bzw.
  • 29 mit kreisförmiger Strahlendurchtrittsöffnung versehen sind. Die Mittelpunkte dieser Strahlendurchtrittsöffnungen liegen auf der Rohrachse, die mit der optischen Achse des Objektivs zusammenfällt. Das Rohr 27 wird von einem an dem Ständer 2 sitzenden Arm 30 getragen. Die Frontlinse 5 und die Hinterlinse 6 des Objektivs sowie die Glasplatte 19 und dte Abschlußwand 3I des Tubus 8 sind für die Aufnahme des Rohres 27 je mit einer entsprechenden Bohrung versehen. Auf dem Ständer 2 sitzt eine Tragsäule 32, die den Objekttisch 23 trägt und an der ein einen Leuchtschirm 33 tragender Arm 34 um die Achse X-X schwenkbar so gelagert ist, daß der Leuchtschirm an die Stelle der zu untersuchenden Metallprobe über die an dem Objekttisch vorgesehene Öffnung 35 geschoben werden kann.
  • An dem Ständer 2 ist außerdem ein ringförmiger Träger 36 befestigt, der zur Aufnahme einer mit einem photographischen Film 37 gefülßlten Kassette 38 dient.
  • Die Untersuchung wird so durchgeführt, daß die Zentrierung des ausgeblendeten Röntgenstrahies geprüft wird, indem zunächst der Leuchtschirm 33 in die Objektebene über die am Objekttisch vorgesehene Öffnung 35 geschoben und durch Verschieben eines Fadenkreuzes 39, das auf einer in der Okularbildebene in zwei senkrecht aufeinander stehenden Richtungen verschiebbar angeordneten Glasplatte 40 angebracht ist, der auf dem Leuchtschirm 33 erzeugte Brennfleck mit Hilfe des Fadenkreuzes 39 justiert wird. Dann wird an die Stelle des Leuchtschirmes 33 die angeschliffene Fläche der zu untersuchenden Metalalprobe 24 auf den Objekttisch 23 aufgelegt und der zu nutersuchende (;efügebestandteil mit Hilfe des Fadenkreuzes ausgerichtet. Mittels einer Feder 4I, die an einem an dem Objekttisch 23 sitzenden Haltestift 42 gelagert ist, ist die Metallprobe 24 auf dem Objekttisch gegen Verschieben gesichert. Hierauf wird der Objektivtubus 8 so weit von dem Objekttisch entfernt, daß die mit Idem Film gefüllte Kassette 38 in den Träger 36 eingelegt und die Röntgenaufnahme gemacht werden kann. Die Kassette und der Film sind mit einer zentrisch gelegenen Öffnung versehen zu denken, damit die Kassette über das Rohr 27 geschoben und auf den Träger aufgelegt werden kann.

Claims (6)

  1. PATENTANSPRÜCHE: I. Werkstoffuntersuchungsgerät, dadurch gekennzeichnet, daß ein Mikroskop mit einer Röntgenröhre so vereinigt ist, daß das ausgeblendete Röntgenstrahlenbündel auf einen im Gesichtsfeld des Mikroskops eingestellten Gegenstand fällt.
  2. 2. (Gerät nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die Antikathode der Röntgenröhre so angeordnet ist, daß die Achse des ausgesandten Röntgenstrahlenbündels mit der optischen Achse des Mikroskopobjektivs zusammenfällt.
  3. 3. Gerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zum Zentrieren des Röntgenlichtes mindestens eine Blende dient, mit deren Hilfe das ausgesandte Röntgenstrahlenbündel in die Richtung der optischen Achse des Mikroskopobjektivs gebracht wird.
  4. 4. Gerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß dte von dem ausgesandten Röntgenstrahlenbündel ,durchsetzten Glieder des optischen Systems des Mikroskops zentrisch durchbohrt sind.
  5. 5. Gerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur Kontrolle der Zentrierung des ausgesandten Röntgenstrahlenbündels gegenüber der optischen Achse des Mikroskopobjektivs ein Röntgenleuchtschilrm od. dgl. dient, der an die Stelle der zu untersuchenden Probe in die Objektebene des Mikroskops gebracht werden kann.
  6. 6. Gerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß für Röntgenrückstrah'laufnahmen das Mikroskopobjektiv aus seiner Beobachtungslage am Mikroskop entfernbar gelagert 'ist.
DEZ924D 1940-10-19 1940-10-19 Werkstoffuntersuchungsgeraet Expired DE919560C (de)

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