DE2633965A1 - Justiereinrichtung fuer laseroptische geraete bzw. komponenten - Google Patents

Justiereinrichtung fuer laseroptische geraete bzw. komponenten

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DE2633965A1 DE19762633965 DE2633965A DE2633965A1 DE 2633965 A1 DE2633965 A1 DE 2633965A1 DE 19762633965 DE19762633965 DE 19762633965 DE 2633965 A DE2633965 A DE 2633965A DE 2633965 A1 DE2633965 A1 DE 2633965A1
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    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating

Description

  • Justierinrichtung für laseroptische Geräte bzw. Komponenten nach Patent ... (Patentanmeldung P 25 05 774.3) In dan Hauptpatent ist u.a. eine Einrichtung zum Justieren eines Wasserstrahls auf die optische Achse eines Mikroskopobjektivs beschrieben und beansprucht, welche aus einem im Strahlengang angeordneten Spiegel mit einem bezüglich im optischen Achse zentrierten, das Licht beugenden strichmuster, z.B. einem Strichkreuz, besteht. Trifft der Waserstrahl auf einen der Striche der Figur, so wird er nicht nur reflektiert, sondern auch gebeugt, und man kann z.B.
  • auf einem im Strahlengang vor dem Spiegel angeordneten Blendenschirm eine entsprechende, bezüglich dieses Striches symmetrische Beugungsfigur beobachten. Trifft der Strahl auf Den Kreuzungspunkt der Striche, so entsteht eine entsprechende zentralsymmetrische Beugungsfigur, die die korrekte mittige Einstellung des Laserstrhls anzeigt.
  • Diese besonders einfache und rasche Möglichkeit, den Laserstrahl zu justieren und die Justierung jederzeit überprüfen zu können, ist mit besonderen Vorteil, wenn auch nicht ausschließlich, anwendbar bei laseroptischen Einrichtungen für mikroskopische, insbesondere mikrobiologische Untersuschungen, bei denen der durch das mikroskopobjektiv auf ein Brünsret fokussierte Laserstrahl als Werkzeug zum Zerstören, Verdampfen, Ionisieren od.dgl. von lokalisierten, mikroskopischen Bereichen, z.B. innerhalb von Zellen, dient, wie aus Di-PS 2 141 D67 bekannt. Eine äußerst exakte gegenseitige Justierung des Laserstrhls und der optischen Komponenten ist hierbei Veraussetzung für eine exakte Begrenzung und Lokalisierung der zu beeinflussenden Mikrobereiche. Das Justierungsproblem wird dabei zusätzlich dadurch erschwert, daß der Strahl des verwendeten Arbeitslasers selbst nicht zu @@@@ zwecke beobachtet werden kann, insbesondere weil er in der Regel im UV-Bereich liegt und/oder im Impulsbetrieb arbeitet. Man verwendet in solchem Fall einen zweiten, im sichtbaren Bereich kontinuierlich arbeitenden Hilfslaser, dessen Strahl dem des Leistungslasers kollinear überlagert wird und dessen Verlauf für Justierzwecke sichtbar macht (wie in der älteren Anmeldung P 25 58 053.4 beschrieben).
  • Gemäß der Erfindung soll die im Heuptpatent angegebene Justiereinrichtung in ihrer Anwendbarkeit und Vielseitigkeit verbessert und zu einem universell auch bei laseroptischen Geräten anderer Art enwendleren Justierhilfe ausgestaltet werden.
  • Gemäß der Erfindung besteht der Spiegel aus einer zur optischen Achse exakt senkrecht gehalterten lichtdurchlässigen Platte, auf deren dem Laserstricht zugewendeten seite ein nur die Striche des S-trichmusters bildender, die übrigen Bereiche freilassender-refleltierender Belag aufgebracht ist.
  • Man erzielt da-iit den vorteil, daß einersei-ts das Strichmuster außennt exakt hergestellt werden kann, nämlich durch Aufdampfen der Reflexionsschicht mit Hilfe des in der Halbleitertechnung bekannten Fotoätzverfahrens, d.h. mit einer durch Belichnen einer Fotolackschicht und WEgätzen der belichteten Bereiche gebildeten Maske. Andererseite kann der Laserstrahl soweit er nischt vom Strichmuster reflektiert und gebeugt wird, durch die Platte hindurchtreten @@ auch jenseits der Platte noch für Justier- oder @@@ Zwecke beobachtet werden. Hierfür ist es besonders vorteilhaft, wenn die Rückselte der Platte mattiert ist, so daß der Auftreffpunkt des Laserstrahls beobachtet und eine Grobjustierung vorgenommen werden kann.
  • Die Platte i:t vorzugsweise in einer Halterung br'fe- stigt, die z.B. mittels eines genormten Schraubgewindes oder andere Mittels an CLie zu justierende optische Komponente, also z.B. die Objektivrevolverhalterung eines Mikroskops, angesetzt werden kann. In der Halterung kann die Platte te drehbar und in beliebiger Drehstellung feststellbar sein. Damit kann man die Strichfigur parallel zu den Achsen ausrichten, in denen z.B, mittels optischer Ablenkeinrichtungen die Lage des Laserstrahls verändert werden kann.
  • Man erhält auf diese Weise ein universell verwendbares Hilfmittel zur Justierung von Laserstrahlen auf die optische Achse beliebiger optischer Komponenten.
  • Eine Ausführungsform der Erfindung wird anhand der Zeichnung erläutert.
  • Fig. 1 zeigt auseinandergezogen die verschiedenen, miteinander verschraubbaren Bestandteile des Einsatz- oder Vorsatzteils gemäß der Erfindung, und zwar in vergrößertem Maßstab.
  • lig. 2 zeigt eine Draufsicht auf die Justierplatte.
  • Fig. 3 zeigt beispielhaft die Art der im Beobachtungsfeld erscheinenden Beugungsfigur.
  • Fig. 4 zeigt schematisch eine komplette laseroptische Einrichtung, in der die erfindungsgemäße Justiereinrichtung an Mehreren Stellen angewendet werden kann.
  • Die in Fig. 1 dargestellte Halterung 1 ist mit ihrem Außengewinde 2 anstelle eines Objektivs in die (nicht dargestellte Objektivfassung, insbesondere die Herzlverhalterung, einer üblichen Forschungsmikroskops einschraubber.
  • Eine Drenfassung 3 ist z.B. mit ihrem Außengewinde 4 in das Innengeringe 5 der Halterung 1 einschraubbar und kann in jeder beliebigen Drehstellung mittels einer Madenschraube @ festgelegt werden. Ein rundes, exakt plan geschliffenen Glasplätten 7 wird in einen schulterförmigen Sitz 8 der Drehhalterung 3 eingesetzt (wobei der Umfang des Glasplättchens 7 und des Sitzen 8 einen konischen @absitz bilden Können) und durch einen Konterring 9 gesichert, dessen Außeugewinde 10 das Innengewinde 11 der Drehhalterung 3 einschraubbar ist. Auf diese Weise ist daas Glasplättchen 7 exakt zur optischen. Achse des Mikroskops, genauer gesagt zur optischen Achse der Mikroskopobjektive, zentriert und stehl zu ihr senkrecht.
  • Das Glasplättchen 7 trägt an der Oberseite einen reflektierenden Belag 12 in Form von zwei dünner, sich in der optischer Achse rechtwinklig kreuzenach Strichen. Die bleibe der Striche liegt in der Gleichstromung in 1 @@@.
  • lenlänge des Laserlichts, so daß sie beim Reflektl>en des Laserlichts eine Beugung nach Art eines Beugungspaltes hervorrufen. Vorzugsweise ist der reflektierende Belag 12 schmalbandig nur für die Wellenlänge des verwendeten sichtbaren Laserlichts reflektierend. Im Diadurverfahren oder z.B.
  • auch durch Vakuumaufdampfung durch eine entsprechende, nach der Fotoätztechnik hergestellte Maske können derartige, schmalbandig reflektierende Beläge auch in Form sehr schmaler Striche aufgebracht werden,unter entsprechendem Wegätzen bzw. Stehenlassen von mittels einer Schablone belichteten Bereichen einer Fotolackschicht.
  • Die zusammengesetzten Teile gemäß Fig. 1 werden anstelle eines Objektivs in die Objektivfassung eines Mikroskops eingeschraubt. In das Mikroskop wird der-zu justierende kontinuierliche Hilfslaserstrahl eingekoppelt, der auf jeden Fall im sichtbaren Wellenlängenbereich liegen muß, dem aber zusätzlich ein weiterer, z.B. Impuls- oder unsichtbarer Laserstrahl als der eigentliche Arbeitslaserstrahl überlagert sein kann. Der Laserstrahl bzw. die beiden überlagerten Laserstrahlen gemeinsam müssen durch geeignete Einstellmittel verstellbar, d.h. verschiebbar und/oder verkippbar sein, um sie justieren zu können. Dies kann im einfachsten Fall durch entsprechendes Verschieben und/oder Verkippten der Laser selbst erfolgen, für praktische Anwendung wird man sich aber eines sogenannten Strahlausrichters bedienen, der gegeneinander verdrehbare Spiegel oder Prismen enthält, die es gestatten, den Laserstrahl innerhalb eines kleinen Einstellbereiches sowohl in zwei zur Strahlachse senkrechten Richtungen (x- und y-Richtung) parallel zu verschieben als auch in zwei zueinander senkrechten Ebenen (xz-Ebene und yz-Ebene) zu verkippen.
  • In Fig. 4 sind die drei Hauptteile oder Baugruppen einer kompletten Einrichtung zum Laserbeschuß von mikroskopischen Präparaten mit strichpunktierten Rechtecken umrandet, nämlich die Lasereinheit 20, eine Zwischenoptik 40 und eine Mikroskopeinheit 50.
  • In der Lasereinheit 20 befinden sich ein W-Leistungslaser 21 mit vorgeschalteter Irisblende 22 zum Verändern des Durchmessers des Laserstrahls 23 und damit der Kaustik des Laserstrahl-Brennflecks im Präparat, und weiter ein Hilfs-Laser 24, der ein kontinuierliches Lichtbündel 25 im sichtbaren Bereich aussendet. Beide aus den Lasern parallelgerichtet austretenden Lichtbündel laufen durch eine Filterwechselautomatik 26, 26' mit z.B. Graufiltern zum Verändern der Helligkeit und werden durch einen teildurchlässigen Spiegel 27 vereinigt, nachdem das Lichtbündel 25 einen Strahlsausrichter 28 (beam aligner) durchlaufen hat, mit dem es in zwei zueinander senkrechten Richtungen (x, y) parallebrerschoben und in den entsprechenden Ebenen auch verkippt (, Q ) werden kann, um die Kollinearität, d.h. Lage und Richtungsgleichheit mit dem Lichtbündel 23 herzustellen, was durch eine vorzugsweise fluoreszierende Mattscheibe 29 mit Lupe 30 hinter dem Teilerspiegel 27 an einem ersten Punkt überprüft werden kann. Strahlausrichter 28 sind im Prinzip bekannt und haben mittels der angedeuteten Einstellknöpfe verdrehbare Spiegel.
  • Vorzugsweise wird ein Strahlausrichter mit gleichzeitiger 90°-Umlenkung verwendet, wie in dem Hauptpatent beschrieben.
  • Drehknöpfe sollen die Einstellmöglichkeiten der Strahlausrichter 28, 33 andeuten, wobei aber jeder Strahlausrichter insgesamt vier einstellbare Freiheitsgrade x, y, ,Lo hat.
  • In dem einen und/oder anderen Lichtbündel 23, 25 ist eine Einrichtung 31, 31' mit Wechsellinsen oder einer Optik mit veränderbarer Brennweite (Zoom) angeordnet, um dem jeweiligen Strahl eine vom anderen Strahl verschiedene gering- fügige Divergenz oder Konvergenz zu geben, zwecks Einstellung eines gewünschten Abstandes zwischen den beiden Laserbrennpunkten, wie in der älteren Anmeldung P 25 58 053.4 beschrieben. Der durch den Teilerspiegel 27 vereinigte Laser strahl 32 kann durch einen weiteren Strahleusrichter 33 wie derum in x, y, g und # verschoben bzw. gekippt werden. Ein Teil des Leistungs-Laserstrahls kann aus dem Strahlausrichter 33 in einen Monitor 34 gelangen, der die Energiekonstanz des Leistungslasers überwacht, so daß deren Schwankungen '.opensiert oder bei der Auswertung berücksichtigt werden können.
  • In der Zwischenoptik 40 befinden sich eine Zwischenlinse 41 und eine Blende 42. Letztere besteht aus einer für beide Laserwellenlängen durchlässigen Platte, die an ihrer dem Laser zugewandten Seite einen selektiv nur S-r die Wellenlänge des Leistungslasers undurchlässigen Blendenbelag 43 mit sehr kleiner Mittelöffnung trägt. Die andere Seite der Platte 42 ist mattiert, jedoch unter Freilassung des zentralen Bereiches, damit der Leistungslaserstrahl nicht an der Mattierung gestreut wird. An einer gemeinsamen, z.B. rohrförmigen Halterung 44 ist einerseits die Linse 41 mittels eines Einsteckrohrs 45 in Achsrichtung (z-Richtung) verschiebbar und andererseits die Blende 42 in der zur optischen Achse senkrechten Ebene (x- und y-Richtung) verschiebbar befestigt. Damit kann die Blende 42 in den von der Linse 41 erzeugten Zwischenfokus des Leistungslaserstrahls eingestellt werden. Die gemeinsame Halterung 44 ist ihrerseits an einer Führung 46 in Achsrichtung (z-ichtung) hin und her verschiebbar, um den von der Linse 41 erzeugten Zwischenfckus in de Zwischenbildebene des Mikroskopobjektivs zu bringen.
  • Die Führung 46 ist wiederum justierbar, nämlich in zwei zur Achse rechtwinkligen Richtungen (x- und y-Richtung) parallel verschiebbar und ferner in zwei zueinander senkrechten, durch die Achse verlaufenden Ebenen verkippbar (#,# ) In der Mikroskopeinheit 50 wird der eintretende, überlagerte Laserstrahl 32 mittels eines selektiv verspiegelten Teilerspiegels 51 in das Mikroskopobjektiv 52 eingekoppelt und durch dieses auf das Präparat 53 fokussiert, um dort an gewünschter Stelle die beabsichtigte Wirkung auszulösen. Das Präparat 53 befindet sich auf einen in x-, y- und z-Richtung verschietbaren Präparattisch und kann mittels Lampe 54, Köhlersche Beleuchtungsoptik 55 bzw. Kondensor 56 in Durchlicht, Dunkelfeld oder Phasenkontrast beleuchtet werden. Ferner ist eine Lampe 57, eine Köhlersche Beleuchtungsoptik 58 und ein Teilerspiegel 59 für Auflichtbeleuchtung vorgesehen. Die Beobachtung des Präparats 53 und der in ihm ausgelösten Wirkung erfolgt über den Teilerspiegel 60 im Mikroskop-Binokular 61, und ferner ist eine Kamera 62 für fotografische Aufnahmen und/oder für Darstellung auf einem Fernsehschirm vorgesehen.
  • Vor dem Teilerspiegel 60 befindet sich ein selektives Sperrfilter 63 für z.B. UV-Licht des Lasers 21 und eine Tubuslinse 64 zur Anpassung des Zwischenbildes vom Objektiv 52 an die Bildebene des Binokulars 61 bzw. der Kamera 62. Die Tei- lerspiegel 27 und 51 sind vorzugsweise als Doppelprismenspiegel oder als dünne Folien (pellicle) ausgebildet, um seitliche Versetzungen zu vermeiden und dabei gleichzeitig die optische Güte von dicken Spiegeln erreichen zu können.
  • Die Zwischenoptik 40 ist vorzugsweise als Ganzes aus dem Strahlengang schwenkbar, und der Teilerspiegel um 900 schwenkbar, um den Laserstrahl auf eine entfernte Wand zu projizieren zur Überprüfung der Kollinearität der Laserstrahlen an einem zweiten Punkt entfernt von der Mattscheibe 29.
  • Die erfindungsgemäße Justiereinrichtung mit der Platte 7 mit Beugungsfigur gemäß Fig. 1 bis 3 kann nun an verschiedenen Stellen der Anordnung gemäß Fig. 4 zur Justierung der optischen Komponenten bzw. des Laserstrahls verwendet werden. In der Mikroskopeinheit 50 kann die Platte 7' an der Revolverhalterung des Mikroskops angebracht und an die Stelle des Objektivs 52 geschwenkt werden und dann als Hilfe für die Einjustierung des Laserstrahls 32 mittels des Strahlausrich-, ters 33 dienen. In der Zwischenoptik 40 kann die Platte 7" vor der Zwischenlinse 41 in die Halterung 44 eingesetzt werden, um die gesamte Zwischenoptik mittig zum Laserstrahl 35 auszurichten. In der Lasereinheit 20 kann eine entsprechende Platte 7m an die Wechsellinsen- oder Zoomeinrichtung 31, 31' oder auch die Wechselfilter 26 angesetzt werden, um deren mittige Justierung zum Laserstrahl 23, 25 vornehmen zu können.
  • Die von den Platten 7ss 7", 7In erzeugten Beugungsmter können auf einem jeweils im Strahlengang vor der Platte angeordneten Lochblendenschirm aufgefangen und beobachtet werden, wobei dieser Schirm vorzugsweise möglichst weit entfernt von der jeweiligen Beugungsplatte und selbstverständlich an einer der Beobachtung zugänglichen Stelle angeordnet sein sollte. Vorzugsweise ist der Schirm bei 35, 35' unmittelbar vor dem Hilfslaser 24 oder dem Leistungslaser 21 angeordnet. Die von der Platte 7' am Objektivhalter e=sugte Beugungsfigur kann auch im Okular 61 beobachtet werden, falls der Teiler spiegel 51 für die Wellenlänge des Hilfslaserstrahls teildurchlässig ist.
  • Das Erscheinen der vollständigen Beugungsfigur auf dem Schirm 35, 35' zeigt, wie bereits erwähnt, das mittige Auftreffen des Laserstrahls auf der Jeweiligen Strichmusterplatte 7', 7", 7"' an. Liegt die Beugungsfigur auf dem Schirm 35, 35' exzentrisch zur Mittelachse, so bedeutet dies, daß der Laserstrahl nicht senkrecht auf die Platte auftrifft.
  • Durch Nachjustieren am Strahlausrichter 33 in x, y, ? und CJ kann außer dem mittigen auch das senkrechte Auftreffen einjustiert werden, so daß der Laserstrahl dann kollinear zur optischen Achse des Mikroskopobjektivs 52 verläuft.
  • L e e r s e i t e

Claims (7)

  1. P a t e n t a n s p r ü c h e 1. Justiereinrichtung für lasero@tische Geräte bzw.
    Komponenten für die deckungsgleiche Justieren eines Laserstrahls auf deren optische Achse bzw. umgekehrt, bestehend aus einem im Strahlengang angeordneten Spiegel mit einen bezüglich der optischen Achse zentrierten, das Nicht beugenden Strichmuster, nach Patent ... (Patentanmeldung P 25 05 774.3), dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß der Spiegel als eine zur optischen Achse exakt senkrecht stehende Flatte ausgebildet ist, auf deren trokenden zugewendeten Seite ein lediglich die Striche des Strichmusters bildender, die äerigen Bereiche der Platte freilassender reflektierender Belag aufgebracht ist.
  2. 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß der das Strichmuster bildende reflektierende Belag durch Aufda@pien unter Anwendung des Fotoätzverfahrens hergestellt ist.
  3. 3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t , daß die Figur ein Strichkreuz ist
  4. 4. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , das die zu Stickstogg z.B.-wandte der Platte mattiert ist.
  5. 5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch g e k e n n z e i c h n e t ,daß der reflektierende Belag selektiv nur für schmales Wellenlängenband im sichtbaren Richtungs@@@lerend ist.
  6. 6. Einrichtung nach einem der Ansprüche bis 4, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Platte exact zentriert in einer an die zu justierende optische Komponente, insbesondere ander injekttivhalterung eines Mikroskops, anschraubbarer oder ungseckbaren Halterung befestigt ist.
  7. 7. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Platte an der Halterung in ihrer Ebene durch gelagert und in beliebiger Drehstellung fest-
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