DE2505774A1 - Optisches laser-mikroskopgeraet zum laserbeschuss mikroskopischer probenbereiche - Google Patents

Optisches laser-mikroskopgeraet zum laserbeschuss mikroskopischer probenbereiche

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DE2505774A1 DE19752505774 DE2505774A DE2505774A1 DE 2505774 A1 DE2505774 A1 DE 2505774A1 DE 19752505774 DE19752505774 DE 19752505774 DE 2505774 A DE2505774 A DE 2505774A DE 2505774 A1 DE2505774 A1 DE 2505774A1
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Description

  • Optisches Laser-Miroskogerät zum Laserbeschuß mikroskopischer Probenbereiche Die Erfindung betrifft ein optisches Laser-Mikroskopgerät zum Laserbeschuß mikroskopischer Probenbereiche, mit einem Mikroskop, einem beistungslaser und einer den Strahl des Leistungslasers in die Objektivoptik des Mikroskops einblendenden Spiegelanordnung.
  • Die mit einem solchen Gerät mögliche gezielte Zerstörung bzw. Beeinflussung von ausgewählten 1#ikrobereichen eines biologischen Proberenmaterials mit dem Laserstrahl kann ein wertvolles Hilfsmittel bei der Erforschung der Materialverteilung in Zellen und Zellkernen, der gezielten Beeinflussung von Genen und anderen mikrobiologischen Untersuchungen sein. Es ist mit einem solchen Gerät unter bestimmten Voraussetzungen möglich, biologisches iIaterial aus exakt lokalisierten Bereichen von nur ca. 1 K durchmesser zu zerstören,zu verdampfen und/oder anzuregen bzw. auszuschneiden.
  • Line wesentliche Voraussetzung für die l-ealisierung eines in der Praxis brauchbaren Gerätes dieser Art ist eine Möglichkeit, den Leistungslaserstrahl exakt Justieren und manipulieren zu können. Die Lage und Richtung des Strahles im Raum muß so beeinflußt werden können, daß sie irnmer exakt mit einer bestimmte gewünschten Lage, insbesondere mit der optischen Achse der Mikroskopanordnung, übereinstimmt. Durch Störungen verursachte Abweichungen von dieser Lage müsen rasch erkannt, und die Soll-Lage einfach und rasch wieder hergestellt werden können.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, ein Gerät dieser Art so zu verbessern, daß mit einfachen Mitteln eine rasche, leicht bedienbare, jederzeit kontrollierbare und bei Störungen leicht wiederherstellbare Justierung des Leistungslaserstrahis möglich ist.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß in an sich bekannter Weise ein zweiter, im sichtbaren Wellenlängenbereich Laser als Justierlaser derart angeordnet ist, daß sein Strahl, gegebenenfalls nach Umlenkung, mit dem des Leistungslasers kollinear verläuft, und daß im Weg der kollinearen Strahlen des Justier- und Leistungslasers ein aus mindestens zwei Spiegeln bestehender Strahlausrichter, mit dem in an sich bekannter Weise voneinander unabhängige Parallelverschiebungen und Verkippungen der Strahlen in zwei zueinander senkrechten Ebenen um kleine Beträge möglich sind, angeordnet ist.
  • Die Überlagerung oder Markierung eines Leistungslaserstrahls mit einem Justierlaserstrahl ist an sich bekannt (DT-OS 1 614 336). Sie ermöglicht es, den Verlauf des Leistungslaserstrahls optisch zu kontrollieren, wenn der Leistungslaserstrahl selbst der optischen Kontrolle nicht zugänglich ist, weil er im unsichtbaren Wellenbereich oder mit zu kurzen Impulsen arbeitet, oder aus anderen Gründen. Die Erfindung bedient sich dieses Hilfsmittels zusammen mit einem Strahlausrichter (beam aligner) zum gemeinsamen Manipulieren beider Strahlen, um die gewünschte Justierung des Leistungslaserstrahls relativ zu dem Strahlengang des nachgeschalteten Mikroskops herzustellen.
  • Vorzugsweise bewirkt der Strahlausrichter oder ein ihm vor- oder nachgeordneter Spiegel eine zusätzliche Umlenkung der Strahlen um 900. Damit ist es möglich, die Strahlen quer zur Längsachse der Laser in die Mikroskopoptik einzulenken, wodurch eine sehr kompakte, für Arbeitstische normaler Größe geeignete Form des Gerätes geschaffen werden kann.
  • Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung trägt von den an der Strahlausrichtung und/oder -umlenkung beteiligten Spiegeln mindestens ein Teil eine für die Wellenlänge des Leistungslasers und zusätzlich eine für die Wellenlänge des Justierlasers selektiv reflektierende Reflexionsschicht. Dadurch läßt sich vor allem eine übermäßige Erwärmung des Spiegelmaterials durch absorbierte Laserstrahlung verhindern. Ferner bleiben die Spiegel transparent für weißes Licht, so daß eine Auflichtbeleuchtung in den Strahlengang eingeblendet werden kann. Von den beiden Reflexionsschichten kann die eine auf der einen und die andere auf der anderen Seite eines Spiegels angeordnet sein, es ist aber auch mit modernen Bedampfungstechniken möglich, beide Schichten auf der gleichen Oberfläche anzubringen.
  • Eine erfindungsgemäß bevorzugte Ausführungsform der Anordnung zur Strahlablenkung und gleichzeitigen Umlenkung um 900 besteht aus zwei Spiegeln, die zueinander in einem Winkel von 450 angeordnet sind, dessen Winkelhalbierende mit der Richtung des ankommenden Leistungs- und Justierlaserstrahls einen Winkel von 450 einschließt. Bei dieser Anordnung wird jede Versetzung von an der Vorderseite und Rückseite der Spiegel reflektierten Strahlanteilen vermieden.
  • Die erforderliche Manipulation des umgelenkten Strahls, d.h. seine Verlagerung in beiden Raumrichtungen nach Lage und Richtung erfolgt vorteilhafterweise so, daß die aus beiden Spiegeln bestehende Anordnung als Ganzes um zwei Achsen drehbar ist, die aufeinander senkrecht stehen und sich annähernd im Auftreffpunkt des Strahlenverlaufs auf dem ersten Spiegel schneiden, und von denen die eine parallel zur Winkelhalbierenden verläuft, und daß der im Strahlenverlauf zweite Spiegel für sich um zwei Achsen drehbar ist, die aufeinander senkrecht stehen und annähernd in der Ebene dieses Spiegels verlaufen.
  • Die 90°-Umlenkung der Strahlen gestattet es in einfacher-Weise, zusätzliche Ein- und/oder Ausblendungen vorzunehmen, Insbesondere kann der erste Spiegel für den Strahl des Leistungslasers geringfügig durchlässig sein und in -Verlängerung des auf ihn treffenden Strahles ein Monitor zur Energie- oder Leistungsmessung angeordnet sein. Der zweite Spiegel kann für außerhalb der Wellenlänge des Leistungs- und Ziellasers liegendes Licht durchlässig sein, und in Verlängerung des von ihm reflektierten Strahles kann eine Auflichtbeleuchtungsquelle für das Mikroskop angeordnet sein.
  • Die Erfindung schafft nicht nur Mittel zur Justierung der überlagerten Laserstrahlen, sondern auch ein Mittel, um festzustellen, wann die gewünschte, zentrische Justierung erreicht ist. Hierzu ist am Ort des Mikroskopobjektivs ein auswechselbarer, zur optischen Achse senkrecht stehender Spiegel mit einer bezüglich der optischen Achse zentrierten, das Licht beugenden Figur angeordnet, und im Weg des vom Spiegel reflektierten Lichtes eine Blende zur Beobachtung des entstehenden Beugungsbildes angeordnet. Ein Spiegel mit einem eingeritzten Stichkreuz erzeugt dann, wenn es genau im Mittelpunkt vom Laserstrahl getroffen wird, ein reflektiertes Beugungsbild mit einer kreuzförmigen Anordnung von punktförmigen Beugungsmaximen. Dieses Beugungsbild kann laufend beobachtet werden, und sein Verschwinden deutet sofort eine Störung der Justierung an.
  • Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist auch ein einfaches Mittel vorgesehen, um die laufende konstante Überlagerung des Justierlaserstrahls mit dem Leistungslaserstrahl herzustellen und zu kontrollieren. Sie besteht darin, daß der Leistungslaser ein UV-Laser mit für W-Licht selektiv reflektierenden Resonanzspiegeln ist, und daß dieser längs seiner optischen Achse vom Justierlaser durchstrahlt wird. Verläuft bei dieser Anordnung der Justierlaserstrahl nicht exakt kollinear mit der optischen Achse des Leistungslasers, so erzeugt die, wenn auch geringfügige, Restreflexion des Justierlaserstrahls an den Resonatorspiegeln des Leistungslasers Nebenreflexe, die leicht beobachtbar sind und deren Verschwinden als Kriterium für die exakte Überlagerung der beiden Laserstrahlen verwendet werden kann.
  • Eine Ausführungsform der Erfindung wird anhand der Zeichnung näher erläutert.
  • Die Zeichnung zeigt schematisch eine Draufsicht auf die erfindungsgemäße Geräteanordnung.
  • Das Gesamtgerät besteht im wesentlichen aus zwei Gehäusen, dem langgestreckten Lasergehäuse 1, in dem die Laser und die optischen Einrichtungen zur Strahlablenkung untergebracht sind, und dem damit fest verbundenen, hier nur schematisch als Rechteck angedeuteten Mikroskopgehäuse 2. Letzteres ist nur der deutlicheren Darstellung halber in einer um 900 gedrehten Anordnung gezeigt, in Wirklichkeit verläuft die optische Achse der Mikroskopanordnung senkrecht zur Zeichenebene nach hinten.
  • In dem Lasergehäuse 1 befinden sich parallel nebeneinander ein Justierlaser 3 und ein Leistungslaser 7. Der Justierlaser 3 ist insbesondere ein He-Ne-Laser, der im roten, d.h.
  • sichtbaren Wellenlängenbereich strahlt. Durch Umlenkspiegel 4, 5, von denen einer oder beide beweglich sein können, wird ein Strahl 6 so umgelenkt, daß er die Resonatorspiegel 7 und das lasernde Medium 9 des Leistungslasers durchläuft, der vorzugsweise ein Stickstoff-Laser ist und im W strahlt. Durch Manipulieren an den Umlenkspiegeln 4, 5 bzw. Positionieren des Leistungslasers 7 oder Justierlasers 3 kann der Justierlaserstrahl 6 exakt mit dem Strahl des Leistungslasers 7 überlagert werden, so daß aus dem Leistungslaserstrahl ein überlagerter Strahl 10 austritt.
  • Der Strahl 10 trifft auf einen ersten ebenen Spiegel 11, der in solchem Winkel (von ca. 67,50) zum Strahl 10 steht, daß er diesen um 450 zu einem zweiten ebenen Spiegel 12 reflektiert, der den Strahl wiederum unter 450 zurückwirft, so daß der zweimal umgelenkte Strahl 10' unter einem Winkel von 900 zur ursprünglichen Richtung in das Mikroskopgehäuse 2 eintreten kann. Hier wird der Strahl durch einen weiteren Umlenkspiegel 14 um 900 umgelenkt, so daß er in der optischen Achse des Mikroskops verläuft, die man sich, wie erwähnt, nicht in der Zeichenebene, wie dargestellt, sondern senkrecht zur Zeichenebene verlaufend denken muß. Der Strahl wird dann durch die Objektivoptik, von der hier stellvertretend nur zwei Blenden 15 angedeutet sind, auf ein Objekt fokussiert.
  • Um den umgelenkten Strahl 10 exakt nach Lage und Richtung so zu justieren, daß er nach der Umlenkung mit der optischen Achse des Mikroskops zusammenfällt, kann er mit den Spiegeln 11 und 12, die beweglich sind, bezüglich beider Raumachsen nach Lage und Richtung verändert werden. Man erkennt aus der Zeichnung, daß die Ebenen der Spiegel 11 und 12 auf der Zeichenebene etwa senkrecht stehen und miteinander einen Winkel a einschließen, der 450 beträgt und dessen Winkelhalbierende 13 zur Richtung des ankommenden Strahles 10 ebenfalls unter einem Winkel a von etwa 450 steht. Die beiden Spiegel 11 und 12 sind auf einem (nicht dargestellten) gemeinsamen Halter montiert, der um zwei zueinander senkrechte Achsen drehbar ist, nämlich um eine erste Achse a, die parallel zur Winkelhalbierenden 13 verläuft, und um eine zweite Achse b, die senkrecht zur Achse a und zur Zeichenebene steht. Durch dieses gemeinsame Schwenken beider Spiegel 11 und 12 kann der umgelenkte Strahl- 10' annähernd parallel zu sich selbst verschoben werden. Zusätzlich ist der Spiegel 12 relativ zu dem Halter ebenfalls um zwei Achsen schwenkbar, von denen die eine Achse c z.B. in der Zeichenebene unter 450 zur Ebene des Spiegels 11 verläuft und die andere Achse d parallel zur Achse b liegt. Hierdurch kann der umgelenkte Strahl 10' nach beiden Raumrichtungen verkippt werden. Die Achsen a, b, c und d liegen vorzugsweise in derjenigen Oberfläche des zugehörigen Spiegels 11 bzw. 12, an der die Reflexion erfolgt. Man kann den Spiegeln für die beiden Komponenten des überlagerten Strahles 10, d.h. für die Wellenlänge des Leistungslasers und die des Justierlasers, selektiv reflektierende Oberflächenbeschichtungen geben. Diese sitzen vorzugsweise auf derselben, dem ankommenden Strahl zugewendeten Oberfläche der Spiegel. Es ist aber auch möglich, den einen Belag auf der Vorderseite und den anderen auf der Rückseite der Spiegel anzubringen. Dadurch würde sich z.B. eine Versetzung des an der Rückseite des Spiegels 11 reflektierten Justierlaserstrahles 6' gegenüber dem an der Vorderseite reflektierten Strahlanteil ergeben, wobei diese Versetzung aber nach der erneuten Reflexion am Spiegel 12 wieder verschwindet.
  • Um feststellen zu können, wann durch Verschwenken der Spiegel 11 und 12 die zur optischen Achse des Mikroskops exakt kollineare Lage der Laserstrahlen erreicht ist, kann man entweder am Ort der mit dem Mikroskop zu beobachtenden Probe oder anstelle der Objektivoptik einen Spiegel 16 anbringen. Bei exakt senkrechtem Auftreffen des Laserstrahles läuft dieser in sich selbst zurück, was an jeder beliebigen Stelle des Strahlenganges oder unter Verwendung geeigneter optischer Mittel, z.B. Strahlteiler, an jeder beliebigen Stelle beobachtet werden kann. Trägt der Spiegel eine bezüglich der optischen Achse zentrierte, das Licht Nicht beugende Figur, z.B.
  • ein Strichkreuz, und trifft der die Mikroskopoptik durchlaufende Laserstrahl exakt auf den Mittelpunkt dieser beugenden Figur, so kann das durch das Okular beobachtet werden. Andererseits erzeugt diese ein in Reflexion beobachtbares Beugungsbild, das an beliebiger Stelle des Strahlengangs beobachtet werden kann, z.B. auf einer zwischen Leistungslaser 7 und Strahlablenker 11, 12 angeordneten Blende 18 oder an jeder anderen Stelle nach Einschaltung z.B. eines Strahlteilers.
  • Die auf der Blende 18 entstehende Beugungsfigur ist in dem Zeichnungseinschub 19 schematisch, z.B. für den Fall des Strichkreuzes als beugende Figur, dargestellt und besteht dann aus einer die mittlere Blendenöffnung 19' umgebenden kreuzförmigen Anordnung von punktförmigem Beugungsmaxima mit abnehmender Intensität.
  • Der Spiegel 11 kann so ausgebildet sein, daß er einen geringen Teil des ankommenden Leistungslaserstrahls 10 durchläßt, der dann mit einem Energiemonitor 22 ständig überwacht werden kann. Dieser befindet sich in einem mit dem Gehäuse 1 fest verbundenen Gehäusefortsatz 21.
  • Der Spiegel 12 ist bei selektiver Verspiegelung für Licht anderer Wellenlänge als die des Leistungslasers und des Justierlasers durchlässig, so daß von einer Lichtquelle 23 ausgehendes Licht nach Durchtritt durch eine Zwischenoptik 24, z.B. Kökler'sche Beleuchtungsoptik, den umgelenkten Laserstrahl 10' überlagert und zur Auflichtbeleuchtung des Gesichtsfeldes im Mikroskop verwendet werden kann.

Claims (9)

Patentansprüche
1. Optisches Laser-Mikroskopgerät zum Laserbeschuß mikroskopischer Probenbereiche, mit einem Mikroskop, einem Leistungslaser und einer den Strahl des Leistungslasers in die Objektivoptik des Mikroskops einblendenden Spiegelanordnung, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß in an sich bekannter Weise ein zweiter, im sichtbaren Wellenlängenbereich strahlender Laser als Justierlaser derart angeordnet ist, daß sein Strahl, gegebenenfalls nach Umlenkung, mit dem des Leistungslasers kollinear verläuft, und daß im Weg der kollinearen Strahlen des Justier- und Leistungslasers ein aus mindestens zwei Spiegeln bestehender Strahlablenker, mit dem in an sich bekannter Weise voneinander unabhängige Parallelverschiebungen und Verkippungen der Strahlen in zwei zueinander senkrechten Ebenen um kleine Beträge möglich sind, angeordnet ist.
2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h -n e t, daß der Strahlablenker oder ein ihm vor- oder nachgeordneter Spiegel die Strahlen außerdem um 900 umlenkt.
3. Gerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t, daß von den an der Strahlablenkung und/oder -umlenkung beteiligten Spiegeln mindestens ein Teil eine für die Wellenlänge des Leistungslasers und zusätzlich eine für die Wellenlänge des Justierlasers selektiv reflektierende Reflexionsschicht trägt.
4. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t, daß die Anordnung zur Strahlablenkung und gleichzeitigen Umlenkung um 900 aus zwei Spiegeln besteht, die zueinander in einem Winkel von 450 angeordnet sind, dessen Winkelhalbierende mit der Richtung des ankommenden Leistungs- und Justierlaserstrahls einen Winkel von 450 einschließt.
5. Gerät nach Anspruch 4, dadurch g e k e n n z e i c h -n e t, daß die aus den beiden Spiegel bestehende Anordnung als Ganzes um zwei Achsen drehbar ist, die aufeinander senkrecht stehen und sich annähernd in der Ebene des im Strahlenverlauf ersten Spiegels schneiden und von denen die eine parallel zur Winkelhalbierenden verläuft, und daß der im Strahlenverlauf zweite Spiegel für sich um zwei Achsen drehbar ist, die aufeinander senkrecht stehen und annähernd in der Ebene dieses Spiegels verlaufen.
6. Gerät nach Anspruch 4 oder 5, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t, daß der erste Spiegel für den Strahl des Leistungslasers geringfügig durchlässig ist und daß in Verlängerung des auf ihn treffenden Strahles ein Energiemonitor angeordnet ist.
7. Gerät nach Anspruch 4 oder 5-, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t, daß der zweite Spiegel für außerhalb der Wellenlänge des Leistungslasers liegendes Licht durchlässig ist und daß in Verlängerung des von ihm reflektierten Strahles eine Auflichtbeleuchtungsquelle für das Mikroskop angeordnet ist.
8. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß am Ort des Mikroskopobjektivs ein auswechselbarer, zur optischen Achse senkrecht stehender Spiegel mit einer bezüglich der optischen Achse zentrierten, das Licht beugenden Figur, und im Weg des vom Spiegel reflektierten Lichtes eine Blende zur Beobachtung der Beugungsfigur angeordnet ist.
9. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß der Leistungslaser ein W-Laser mit für UV-Licht selektiv reflektierenden Resonanzspiegeln ist, und längs seiner optischen Achse vom Justierlaser durchstrahlt ist.
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