DE69531716T2 - Verfahren und Vorrichtung zur optischen Isolation - Google Patents

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    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
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Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Erfindungsgebiet:
  • Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein ein Verfahren und eine Vorrichtung zur optischen Isolation und insbesondere zum Verhindern einer optischen Rückkopplung in laseroptischen Systemen.
  • Beschreibung des Stands der Technik:
  • Die Leistung von optischen Systemen erfährt oftmals aufgrund von Streustrahlung in Form von spiegelnder und diffuser Reflexion von verschiedenen optischen und nichtoptischen Grenzflächen, auf die ein sich vorwärts ausbreitender Strahlungsstrahl trifft, eine Verschlechterung. Ein besonderes Problem bei laseroptischen Systemen und insbesondere bei laseroptischen Festkörpersystemen ist, daß spiegelnde und diffuse Reflexionen von Grenzflächen in den Laserhohlraum wieder eintreten und die eingeschwungene Lasertätigkeit stören. Die reflektierte Energie ist in laseroptischen Systemen als „optische Rückkopplung" bekannt, und sie kann im Laserausgangsstrahl Leistungsamplitudenfluktuationen, Frequenzverschiebungen und Rauschen verursachen.
  • Bei Laseranwendungen, die eine strenge Steuerung von Laserstrahlparametern an einer Laserarbeitsfläche erfordern, ist die optische Rückkopplung für die Beibehaltung der Gleichförmigkeit der Leistung eine schwerwiegende Beschränkung. Dieses Problem ist besonders gravierend in laseroptischen Systemen mit einer Ausgangsstrahlleistung über 1 Watt, da Hochenergiedichten an allen Grenzflächen auftreten, und sogar die Grenzflächen von transmissiven optischen Elementen, die in der Regel einen Reflexionsgrad zwischen 0,5 und 4,0% pro Oberfläche aufweisen, erzeugen spiegelnde und diffuse Reflexionen, die zu einer optischen Rückkopplung führen.
  • In laseroptischen Systemen ist es allgemein bekannt, die Optik und die Laserarbeitsflächen so zu neigen, daß spiegelnde Reflexionen von diesen Grenzflächen vom Laserhohlraum weggelenkt werden. In vielen Fällen jedoch divergieren reflektierte Strahlen schnell, so daß selbst dann, wenn die optischen Elemente geneigt werden, mindestens ein Teil der spiegelnd reflektierten Energie wieder in den Laserhohlraum eintreten kann. Um so gut wie die ganze optische Rückkopplung zu eliminieren, wären große Neigungswinkel erforderlich. Die großen Neigungswinkel sind jedoch unpraktisch, da sich die optische Leistung des geneigten Elements verschlechtern würde.
  • Später wurde bekannt, einen optischen Isolator, z. B. einen Faraday-Isolator, in der Nähe der Laserhohlraumaustrittsöffnung in den Weg des Laserausgangsstrahls zu integrieren, um reflektierte Energie zu isolieren und die optische Rückkopplung zu reduzieren. Ein Faraday-Isolator ist ein optischer Isolator, da er die Vorwärtsübertragung eines Strahlungsstrahls, in diesem Fall des Laserausgangsstrahls, gestattet und gleichzeitig die Rückübertragung eines Strahlungsstrahls mit einem hohen Extinktionsgrad verhindert. Hier wird die von den verschiedenen optischen und nichtoptischen Grenzflächen reflektierte Laserenergie von dem Faraday-Isolator gefangen und vernichtet.
  • Zum Einsatz in Lasersystemen sind Faraday-Isolatoren bekannt, die Permanentmagnete verwenden, z. B. vom US-Hersteller OPTICS FOR RESEARCH. Ein Faraday-Isolator umfaßt einen ersten Linearpolarisator zum parallelen Ausrichten der Ebene der linearen Polarisation eines Laserausgangsstrahls auf die erste Linearpolarisatorübertragungsachse, ein magnetooptisches Material und einen Permanentmagneten zum Drehen der Ebene der linearen Polarisation des Laserausgangsstrahls, um ihn auf eine zweite Polarisationsachse auszurichten, z. B. gedreht im Uhrzeigersinn um 45 Grad von der Übertragungsachse des ersten Linearpolarisators, und einen zweiten Linearpolarisator mit einer auf die zweite Polarisationsachse ausgerichteten Übertragungsachse. Der Laserausgangsstrahl tritt deshalb mit einem willkürlichen Polarisationszustand in den Faraday-Isolator ein und verläßt diesen linear polarisiert, wobei seine Ebene der linearen Polarisation auf die zweite Polarisationsachse ausgerichtet ist.
  • Ein reflektierter Strahl, der von einer Grenzfläche des laseroptischen Systems zum Faraday-Isolator zurückkehrt, wird ungeachtet seines Polarisationszustands durch den zweiten Linearpolarisator linear polarisiert, so daß seine Ebene der linearen Polarisation parallel zur zweiten Polarisationsachse verläuft. Das magnetooptische Material dreht nun die Polarisationsebene des reflektierten Strahls in der gleichen Drehrichtung, d. h. im Uhrzeigersinn, um 45 Grad, wodurch die Ebene der linearen Polarisation des reflektierten Strahls entlang einer Achse ausgerichtet wird, die senkrecht zur Übertragungsachse des ersten Linearpolarisators verläuft. Der reflektierte Strahl wird somit durch den ersten Linearpolarisator gelöscht. Auf diese Weise kann man Extinktionsverhältnisse von 100000 zu 1 erreichen, und Faraday-Rotatoren bewirken geringe Verluste an dem sich vorwärts ausbreitenden Strahl, wobei eine Einfügedämpfung von unter 5% möglich ist.
  • Allgemein liegt in allen laseroptischen Systemen ein eingeschwungener Hintergrundpegel der optischen Rückkopplung vor. Selbst mit einem Faraday-Isolator in der Nähe der Laseraustrittsöffnung treten Reflexionen von den optischen Oberflächen des Faraday-Isolators selbst als optische Rückkopplung wieder in den Laserhohlraum ein. Der Laserausgangsstrahl wird jedoch im allgemeinen von der mit der Zeit nicht variierenden optischen Rückkopplung nicht beeinflußt. Fluktuationen bei den Parametern des Laserausgangsstrahls beginnen stattdessen aufzutreten, wenn sich die Amplitude der optischen Rückkopplungsleistung abrupt ändert. Derartige abrupte Schwankungen bei der optischen Rückkopplung können zur Ausbildung von Laserspikes („laser spiking") führen, d. h. eine Reihe störender Amplitudenspitzen in der Laserausgangsleistung. Das Laser-Spiking verschlechtert die Leistung des laseroptischen Systems und kann zu physischen Schäden an der Optik führen. Die Frequenz, mit der Amplitudenschwankungen der optischen Rückkopplung auftreten, ist ebenfalls ein Faktor beim Einsetzen des Laser-Spiking, und andere Ausgangsstrahlparameter, da die Dynamik, die das Laser-Spiking, die Laserstrahlungsfrequenzverschiebungen und Rauschen bewirkt, vom jeweiligen Laserhohlraum abhängt und je nach der Hohlraumlänge, seinem Design und dem verwendeten Lasermaterial variiert. Aus diesem Grund ist eine allgemeine Lösung für die optische Rückkopplung in laseroptischen Systemen nicht gefunden worden. (Siehe LASERS von Siegman, University Science Books, Mill Valley, Kalifornien, 1986, Seite 955.) Eine Ursache für abrupte Änderungen der Leistungsamplitude der optischen Rückkopplung ist auf Änderungen des Reflexionsgrads an der Laserarbeitsfläche zurückzuführen, wenn sich z. B. die Temperatur oder die Phase der Arbeitsfläche abrupt ändert, wie bei thermischen Laseranwendungen, wie etwa beim Schweißen oder in der Chirurgie. Ein weiteres Beispiel für abrupte Änderungen der Leistungsamplitude der optischen Rückkopplung, die auf Änderungen des Reflexionsgrads der Laserarbeitsfläche zurückzuführen sind, findet man in Scanningsystemen, bei denen eine vom Laserausgangsstrahl gescannte Oberfläche über ihre Fläche hinweg einen räumlich variierenden Reflexionsgrad aufweist. Wenn die Arbeitsfläche gescannt wird, verursachen die Schwankungen ihres Reflexionsgrads, daß die Leistungsamplitude von spiegelnden und diffusen Reflexionen, die zum Laserhohlraum zurückkehren, stark variiert. Wenngleich man mit dem Einsatz eines Faraday-Isolators sowohl für spiegelnde als auch diffuse Reflexionen ein hohes Extinktionsverhältnis erhält, ist bei bestimmten Anwendungen, insbesondere für spiegelnde Reflexionen in Lasersystemen, ein sehr hohes Extinktionsverhältnis für spiegelnde Reflexionen erforderlich, was der Faraday-Isolator alleine, nicht liefert.
  • Bei Interferometersystemen werden bekannterweise ein Linearpolarisator und ein Viertelwellenverzögerer hintereinander verwendet, um eine spiegelnde Reflexion von einer Spiegel- oder Strahlteilergrenzfläche, die bezüglich eines sich vorwärts ausbreitenden Laserstrahls senkrecht einfällt, auszulöschen. Durch eine derartige Kombination aus Elementen wird, wenn sie mit senkrechtem Einfall im Weg des Strahls zwischen dem Laser und einer Spiegel- oder Strahlteilergrenzfläche angeordnet sind, der sich vorwärts ausbreitende Strahl zuerst am Linearpolarisator linear polarisiert und dann zirkular polarisiert, bevor er auf die Spiegel- oder Strahlteilergrenzfläche auftrifft. Der zirkular polarisierte, sich vorwärts ausbreitende Laserstrahl wird, wenn er auf die Spiegel- oder Strahlteilergrenzfläche auftrifft, mit umgekehrter Zirkularpolarisation reflektiert, d. h., eine linke Zirkularpolarisation wird eine rechte Zirkularpolarisation. Der reflektierte, zirkular polarisierte Strahl tritt dann wieder durch den Viertelwellenverzögerer und wird wieder linear polarisiert, doch verläuft seine Ebene der linearen Polarisation nunmehr senkrecht zur Ebene der linearen Polarisation des sich vorwärts ausbreitenden Strahls. Somit wird der reflektierte Strahl durch den Linearpolarisator ausgelöscht.
  • Ein Linearpolarisator in Kombination mit einem Viertelwellenverzögerer ist ein bekannter Isolator, der zirkular polarisierte reflektierte Energie auslöscht und nicht-zirkular polarisierte reflektierte Energie dämpft. Durch einen derartigen Isolator erhält man die größte Isolation für spiegelnde Reflexionen von einer Grenzfläche mit senkrechtem Einfall bezüglich eines sich vorwärts ausbreitenden Strahls, der auf sie auftrifft.
  • Ein optischer Isolator, der einen ersten und zweiten Linearpolarisator und Viertelwellenplättchen enthält, ist aus EP-A-0 396 308 bekannt. Ein System zum Reduzieren des Rauschens eines Lasers unter Verwendung eines Faraday-Elements wird in den Patent Abstracts of Japan, Band 012, Nr. 173 (P-706) und JP-A-62 283 429 beschrieben. Es offenbart einen optischen Kopf, der ein Faraday-Rotationselement und ein Viertelwellenlängenplättchen enthält, die durch einen polarisierten Strahlteiler getrennt sind.
  • In JP-A-62 283 429 wird kein „erstes zirkular polarisierendes Mittel" verwendet, wie im kennzeichnenden Teil von Anspruch 8 festgestellt, doch werden darin alle anderen Merkmale von Anspruch 8 offenbart. In EP-A-0 396 308 wird kein „Linearpolarisator" verwendet, wie im kennzeichnenden Teil von Anspruch 1 festgestellt, doch werden darin alle anderen Merkmale von Anspruch 1 offenbart.
  • Angesichts der Beschränkungen des oben beschriebenen Stands der Technik besteht eine allgemeine Aufgabe der vorliegenden Erfindung dementsprechend in der Bereitstellung eines verbesserten Verfahrens und einer verbesserten Vorrichtung zur optischen Isolation.
  • Eine spezifische Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung eines verbesserten Verfahrens und einer verbesserten Vorrichtung zum Isolieren von optischer Rückkopplung in einem laseroptischen System.
  • Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung eines verbesserten Verfahrens und einer verbesserten Vorrichtung zum Isolieren von optischer Rückkopplung in einem laseroptischen System, wobei gleichzeitig ein sich vorwärts ausbreitender Laserstrahl eine geringe Leistungsamplitudeneinfügungsdämpfung erhält.
  • KURZE DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Bei der Erfindung handelt es sich um ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Isolieren von Reflexionen von mindestens einer Grenzfläche, auf die ein sich vorwärts ausbreitender Strahlungsstrahl trifft. Reflexionen von jeder Grenzfläche führen zu einem spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahl und einem diffus reflektierten Strahlungsstrahl, die jeweils einen Teil aufweisen, der sich in einer Richtung ausbreitet, die der Ausbreitungsrichtung des sich vorwärts ausbreitenden Strahlungsstrahls im wesentlichen entgegengesetzt ist. Das Verfahren zum Isolieren des spiegelnd und des diffus reflektierten Strahlungsstrahls umfaßt die folgenden Schritte:
    • (a) lineares Polarisieren des sich vorwärts ausbreitenden Strahlungsstrahls parallel zur Ebene der linearen Polarisation im wesentlichen parallel zu einer ersten Polarisationsachse;
    • (b) Drehen der Ebene der linearen Polarisation des linear polarisierten, sich vorwärts ausbreitenden Strahlungsstrahls zu einer zweiten Polarisationsachse;
    • (c) Zirkularpolarisieren des linear polarisierten, sich vorwärts ausbreitenden Strahlungsstrahls mit einem ersten Drehsinn, bevor der sich vorwärts ausbreitende Strahlungsstrahl auf die Grenzfläche trifft, und lineares Polarisieren des spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahls, wenn der spiegelnd reflektierte Strahlungsstrahl mit einem Drehsinn zirkular polarisiert ist, der dem ersten Drehsinn entgegengesetzt ist;
    • (d) lineares Polarisieren des spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahls und des diffus reflektierten Strahlungsstrahls, wobei die Ebene der linearen Polarisierung im wesentlichen parallel zur zweiten Polarisationsachse verläuft;
    • (e) Drehen der Ebene der linearen Polarisation des spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahls und des diffus reflektierten Strahlungsstrahls zu einer Polarisationsachse, die im wesentlichen senkrecht zur ersten Polarisationsachse verläuft; und
    • (g) Durchschicken des spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahls und des diffus reflektierten Strahlungsstrahls durch einen Linearpolarisator mit einer Übertragungsachse, die im wesentlichen parallel zur ersten Polarisationsachse verläuft.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die oben dargelegten Aufgaben und Merkmale und weitere Aufgaben und Merkmale der Erfindung lassen sich am besten anhand einer ausführlichen Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform dieser verstehen, die zum Zweck der Veranschaulichung ausgewählt und in den beiliegenden Zeichnungen gezeigt ist. Es zeigen:
  • 1 ausführlich einen Teil eines laseroptischen Systems, das einen Laser, einen sich vorwärts ausbreitenden Laserstrahl, die spiegelnde und diffuse Reflexion isolierende Komponenten und eine Grenzfläche, von der spiegelnde und diffuse Reflexionen isoliert werden sollen, enthält;
  • 2 ein Vektordiagramm, das zu Veranschaulichungszwecken aufgenommen ist, um die Orientierung verschiedener linearer Polarisationsachsen bezüglich der vertikalen Achse zu detaillieren;
  • 3 ausführlich einen sich vorwärts ausbreitenden Strahlungsstrahl, der durch eine Vorrichtung hindurchläuft, um spiegelnde und diffuse Reflexionen von einer Grenzfläche zu isolieren, und eine Grenzfläche, von der spiegelnde und diffuse Reflexionen isoliert werden sollen;
  • 4 ein laseroptisches System mit einem einzigen Laser, der mehr als eine Laserstrahlausbreitungsachse aufweist, und mit mehr als einem Spiegelreflexionsisolator, der in Verbindung mit einem einzigen Faraday-Isolator verwendet wird, um Reflexionen von Grenzflächen, auf die der Laserstrahl entlang jeder der Strahlausbreitungsachsen trifft, optisch zu isolieren; und
  • 5 ein scannendes laseroptisches System, das einen Laser, einen sich vorwärts ausbreitenden Laserstrahl, einen Strahldeflektor zum Ablenken des sich vorwärts ausbreitenden Laserstrahls zum Abtasten einer Grenzfläche und die spiegelnde und diffuse Reflexion isolierende Elemente zum Isolieren von Reflexionen von der abgetasteten Grenzfläche enthält.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Nunmehr unter Bezugnahme auf die Zeichnungen wird die bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in 1 gezeigt, bei der ein Teil eines laseroptischen Systems, der optische isolierende Komponenten zum Isolieren einer Laserrückkopplung spezifisch näher zeigt, allgemein mit der Bezugszahl 10 bezeichnet ist. Das partielle laseroptische System 10 umfaßt einen Laser 12 mit einer Austrittsöffnung 14 und einem sich vorwärts ausbreitenden Laserstrahl 16, der aus der Laseröffnung 14 austritt und sich entlang einer Ausbreitungsachse 18 von links nach rechts ausbreitet.
  • Der sich vorwärts ausbreitende Laserstrahl 16 tritt zuerst in einen allgemein mit der Bezugszahl 20 bezeichneten Faraday-Isolator ein. Der Faraday-Isolator 20 weist eine optische Achse 22, eine Eintrittsöffnung 24 und eine Austrittsöffnung 26 auf. Der Faraday-Isolator 20 ist so positioniert, daß seine optische Achse 22 mit der Laserstrahlausbreitungsachse 18 im wesentlichen zusammenfällt, so daß der sich vorwärts ausbreitende Laserstrahl 16 in die Eintrittsöffnung 24 des Faraday-Isolators eintritt, im wesentlichen entlang der optischen Achse 22 des Faraday-Isolators verläuft und aus der Austrittsöffnung 26 des Faraday-Isolators austritt. Der Faraday-Isolator 20 ist in einer Entfernung 28 von der Laseraustrittsöffnung 14 positioniert, doch ist die Entfernung 28 unkritisch und braucht nur ausreichend klein zu sein, damit der sich vorwärts ausbreitende Laserstrahl 18 durch die Isolatoreintrittsöffnung 24 nicht zu sehr beschnitten wird.
  • Der Faraday-Isolator 20 umfaßt die folgenden Elemente, die jeweils eine optische Achse aufweisen, die mit der optischen Achse 22 des Faraday-Isolators zusammenfällt und relativ zur Eintrittsöffnung 24 hintereinander angeordnet sind. Einen ersten Linear polarisator 30 zum linearen Polarisieren des sich vorwärts ausbreitenden Laserstrahls 16 und zum Dämpfen eines reflektierten Strahls. Einen magnetooptischen Polarisationsrotator 32 zum Drehen der Polarisationsebene des linear polarisierten, sich vorwärts ausbreitenden Laserstrahls 16 und einen zweiten linearen Polarisator 34 zum linearen Polarisieren eines reflektierten Strahls, der in den Faraday-Isolator 20 durch dessen Austrittsöffnung 26 eintritt.
  • Nunmehr unter Bezugnahme auf die 1 und 2 läuft der sich vorwärts ausbreitende Laserstrahl 16 von der Laseraustrittsöffnung 14 zur Eintrittsöffnung 24 des Faraday-Isolators und durch den ersten Linearpolarisator 30, wo er linear polarisiert wird, wobei seine Ebene der linearen Polarisation parallel zur ersten Polarisationsachse 36 ausgerichtet ist. Er läuft dann durch den magnetooptischen Polarisationsrotator 32, der die Ebene der linearen Polarisation im Uhrzeigersinn um einen Winkel von im wesentlichen 45 Grad dreht, wodurch die Ebene der linearen Polarisation des Laserstrahls 16 auf eine zweite Polarisationsachse 38 ausgerichtet wird. Der Strahl 16 läuft nun durch den zweiten Linearpolarisator 34, dessen Übertragungsachse parallel zur zweiten Polarisationsachse 38 ausgerichtet ist, so daß der sich vorwärts ausbreitende Strahl 16 vom zweiten Linearpolarisator 34 im wesentlichen nicht gedämpft wird. Der Laserstrahl 16 tritt dann aus dem Faraday-Isolator 20 durch dessen Austrittsöffnung 26 mit einem Polarisationszustand aus, der linear polarisiert ist und dessen Ebene der linearen Polarisation parallel zur zweiten Polarisationsachse 38 verläuft. Diese Achse kann auch als die Übertragungsachse des Faraday-Isolators 20 bezeichnet werden. Man beachte, daß unabhängig vom Polarisationszustand des Strahls 16 bei seinem Eintritt in den Faraday-Isolator 20 der Polarisationszustand bei seinem Austritt gleich dem ist, der oben beschrieben ist. Wenn jedoch der sich vorwärts ausbreitende Laserstrahl 16 anfangs linear polarisiert ist, sollte seine Ebene der linearen Polarisation parallel zur Übertragungsachse des ersten Linearpolarisators 30 ausgerichtet sein, d. h. parallel zur ersten Polarisationsachse 36, um die Einfügungsdämpfung des Faraday-Isolators 20 zu minimieren.
  • Der erste und der zweite Linearpolarisator 30 und 34, die oben näher dargestellt sind, und der Linearpolarisator 58, der unten näher dargestellt ist, polarisieren jeweils linear einen Strahlungsstrahl, der durch sie hindurchtritt. Die Polarisatoren 30, 34 und 58 weisen jeweils eine nicht gezeigte optische Achse auf, die im wesentlichen parallel zur Strahlausbreitungsachse 18 ausgerichtet ist, und eine nicht gezeigte Übertragungsachse, die senkrecht zur optischen Achse verläuft. Die Übertragungsachse jedes Linearpolarisators stellt die Achse der maximalen Leistungsamplitudenübertragung für einen durch ihn hindurchtretenden Strahl dar. Das heißt, wenn die Ebene der linearen Polarisation des sich vorwärts ausbreitenden Laserstrahls 16 parallel zur Übertragungsachse des Linearpolarisators 30, 34 oder 58 ausgerichtet ist, durch den er hindurchtritt, dann wird der Strahl 16 vom Linearpolarisator im wesentlichen nicht gedämpft. Wenn der Laserstrahl 16 nicht linear polarisiert ist, z. B. zufällig, zirkular oder elliptisch polarisiert ist, oder wenn der Laserstrahl 16 linear polarisiert ist, aber die Ebene der linearen Polarisation nicht parallel zur Übertragungsachse des Linearpolarisators 30, 34 oder 58 ausgerichtet ist, dann wird der Laserstrahl 16 gemäß dem unten aufgeführten Malusschen Satz vom Linearpolarisator gedämpft, wobei die maximale Dämpfung oder Extinktion auftritt, wenn der Strahl 16 linear polarisiert ist und seine Ebene der linearen Polarisation senkrecht zur Übertragungsachse des Linearpolarisators 30, 34 oder 58 verläuft.
  • Unabhängig vom Polarisationszustand des Strahls 16 bei seinem Eintritt in einen beliebigen Linearpolarisator 30, 34 oder 58 ist der Polarisationszustand des Laserstrahls 16 nach seinem Durchtritt durch den Polarisator linear polarisiert, wobei seine Ebene der linearen Polarisation parallel zur Übertragungsachse des Polarisators verläuft. Zudem sind die Eigenschaften aller Linearpolarisatoren 30, 34 und 58 unabhängig von der Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls 16 und sind optimiert, wenn sich der Strahl 16 entlang einer Achse ausbreitet, die fast parallel zur optischen Achse des Polarisators verläuft.
  • Die Polarisatoren 30, 34 oder 58 können dichroitisch, d. h. durch selektive Absorption polarisierend, reflektierend, d. h. durch selektive Reflexion polarisierend, streuend, d. h. durch selektive Streuung polarisierend, oder doppelbrechend, d. h. durch selektive Transmission polarisierend, sein, oder sie können andere Konfigurationen aufweisen, z. B. elektrooptisch. Bei der bevorzugten Ausführungsform hat sich ein reflektierender Polarisator als die optimale Auswahl herausgestellt, da seine Einfügungsdämpfung für den Laserstrahl 16 gering war, während er nicht durch den Laserstrahl 16 beschädigt wurde, der 5 Watt übersteigen kann. Es versteht sich jedoch, daß jeder Linearpolarisator verwendet werden kann, ohne vom Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen, und daß die Auswahl eines Polarisators zur Verwendung in der vorliegenden Erfindung von der Leistungsamplitude, der Wellenlänge, der Frequenz und der Modulationsrate des jeweiligen Laserstrahls 16 abhängt, der in dem optisch zu isolierenden laseroptischen System verwendet wird.
  • Der magnetooptische Rotator 32 ist eine wohlbekannte Vorrichtung zum Drehen der Polarisationsebene eines übertragenen Strahls, und er basiert auf der Anwendung eines Magnetfelds auf ein normalerweise optisch inaktives Kristallmaterial, um eine Polarisationsdrehung zu erhalten. Die Faraday-Drehung ist jedoch nur eine Teilmenge der optischen Aktivität, ein Phänomen der Festkörperoptik, wobei die Polarisationsebene eines linear polarisierten Strahlungsstrahls gedreht wird, während er durch einen optisch aktiven Kristall hindurchläuft. Eine Reihe von Kristallen sind bekannterweise optisch aktiv, einschließlich Quarz, Natriumchlorat und Zinnober (siehe INTRODUCTION TO MODERN OPTICS von G. R. Fowles, Copyright 1975 von Holt, Rinehart and Winston, Seite 169). Optisch aktive Materialien drehen die Polarisationsebene eines durchgelassenen Strahlungsstrahls ohne Anlegen irgendeines elektrischen oder Magnetfelds. Eine weitere Art von Polarisationsrotator, die Kerr-Zelle, dreht die Polarisationsebene eines hindurchtretenden Strahls, wenn an einen optisch inaktiven Kristall ein elektrisches Feld angelegt wird. Es versteht sich, daß anstelle des magnetooptischen Rotators 32 eine andere Polarisationsrotatorkonfiguration verwendet werden kann, ohne vom Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
  • Ein allgemein mit der Bezugszahl 50 bezeichneter Spiegelreflexionsisolator, der eine optische Achse 52, eine Eintrittsöffnung 54 und eine Austrittsöffnung 56 aufweist, ist zwischen dem Faraday-Isolator 20 und einer Grenzfläche 70, von der eine Reflexion isoliert werden soll, angeordnet. Der Spiegelisolator 50 ist so positioniert, daß seine optische Achse 52 im wesentlichen mit der Laserstrahlausbreitungsachse 18 zusammenfällt, so daß der sich vorwärts ausbreitende Laserstrahl 16 durch seine Eintrittsöffnung 54 eintritt und durch seine Austrittsöffnung 56 austritt. Die Grenzfläche 70 ist eine beliebige Übergangsfläche, über die hinweg eine Änderung des Brechungsindexes auftritt und von der eine Reflexion isoliert werden soll.
  • Der Spiegelreflexionsisolator 50 umfaßt hintereinander nach der Eintrittsöffnung 54 einen dritten Linearpolarisator 58 und einen Viertelwellenverzögerer 60. Der Viertelwellenverzögerer 60 weist eine optische Achse 62 auf, die so ausgerichtet ist, daß sie mit der Strahlausbreitungsachse 18 im wesentlichen zusammenfällt. Die Übertragungsachse des dritten Linearpolarisators 58 ist im wesentlichen parallel zur Polarisationsebene des sich vorwärts ausbreitenden Laserstrahls 16 ausgerichtet, wenn er aus dem Faraday-Isolator 20 austritt, d. h. parallel zur zweiten Polarisationsachse 38, so daß der Strahl 16 bei seinem Durchtritt durch den dritten Linearpolarisator 58 im wesentlichen nicht gedämpft wird und mit seiner Linearpolarisationsachse parallel zur zweiten Polarisationsachse 38 linear polarisiert bleibt.
  • Der Viertelwellenverzögerer 60 ist ein doppelbrechendes Element mit einer „schnellen Übertragungsachse" und der „langsamen Übertragungsachse" (nicht gezeigt). Die schnelle und die langsame Übertragungsachse verlaufen senkrecht zueinander und zur optischen Achse 62 des Viertelwellenverzögerers. Ein linear polarisierter Strahl, der durch den Viertelwellenverzögerer 60 hindurchtritt, wird zirkular polarisiert, wenn seine Ebene der linearen Polarisation einen Winkel von 45 Grad zur schnellen Übertragungsachse des Verzögerers 60 bildet.
  • Bei der vorliegenden Erfindung tritt der Laserstrahl 16 so aus dem dritten Linearpolarisator 58 aus, daß seine Ebene der linearen Polarisation auf die zweite Polarisationsachse 38 ausgerichtet ist, und der Viertelwellenverzögerer 60 ist so orientiert, daß seine schnelle Übertragungsachse parallel zur ersten Polarisationsachse 36 ausgerichtet ist. Somit wird der Laserstrahl 16 bei seinem Durchtritt durch den Viertelwellenverzögerer 60 zirkular polarisiert. Die Richtung der Zirkularpolarisation, d. h. rechts oder links, ist bei der vorliegenden Erfindung willkürlich, kann aber durch Drehen des Viertelwellenverzögerers 60 um 90 Grad umgekehrt werden, so daß seine langsame Übertragungsachse auf die zweite Polarisationsachse 38 ausgerichtet ist.
  • Der Zweck des Viertelwellenverzögerers 60 besteht in der Bereitstellung eines zirkular polarisierten Strahls an der Grenzfläche 70. Die Leistung des Viertelwellenverzögerers 60 ist wellenlängenabhängig, weshalb die zirkulare Polarisation als solche nur dann erzielt wird, wenn ihre Materialeigenschaften und ihre Dicke an die jeweilige Wellenlänge des Laserstrahls 16 angepaßt sind. Auch die Richtung der vom Verzögerer 60 erzeugten Polarisationsdrehung kann materialabhängig sein.
  • Obwohl einelementige Viertelwellenverzögerer kommerziell erhältlich sind, z. B. vom US-Hersteller MELLES GRIOT, kann ein Viertelwellenverzögerer allgemeiner definiert werden. Eine derartige Vorrichtung erzeugt eine Phasendifferenz von einer Viertelwelle zwischen zwei linear polarisierten Strahlungsstrahlen, die die gleiche optische Frequenz, aber orthogonale Ebenen der linearen Polarisation aufweisen, wenn die Strahlen gleichzeitig durch ihn hindurchtreten. Es versteht sich, daß jede beliebige Einrichtung zum Konvertieren eines sich vorwärts ausbreitenden, linear polarisierten Strahlungsstrahls in einen sich vorwärts ausbreitenden, zirkular polarisierten Strahl mit einer ersten Richtung der Polarisationsdrehung nicht vom Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abweicht, vorausgesetzt ein zirkular polarisierter Strahlungsstrahl mit einer entgegengesetzten Drehrichtung, der in der entgegengesetzten Richtung durch die Einrichtung hindurchtritt, wird in einen linear polarisierten Strahlungsstrahl mit einer Ebene der linearen Polarisierung konvertiert, die orthogonal zu der des sich vorwärts ausbreitenden, linear polarisierten Strahlungsstrahls ist.
  • Der zirkular polarisierte, sich vorwärts ausbreitende Laserstrahl 16 breitet sich nach dem Austritt aus dem Spiegelreflexionsisolator 50 weiterhin entlang der Achse 18 aus, bis er auf die Grenzfläche 70 trifft. Die Grenzfläche 70 ist in einer Entfernung 88 von der Spiegelreflexionsisolatoraustrittsöffnung 56 angeordnet, und sie kann relativ zur Strahlausbreitungsachse 18 einen Einfallswinkel aufweisen, der vom senkrechten Einfall abweicht (d. h. normal zur Laserstrahlsausbreitungsachse 18), bis zum streifenden Einfall (d. h. parallel zur Laserstrahlausbreitungsachse 18). Die Entfernung 88 ist unkritisch, doch steigt durch geringere Entfernungen 88 allgemein die Menge reflektierter Energie, die zum laseroptischen System 10 zurückkehren kann.
  • Bei der bevorzugten Ausführungsform breitet sich der Laserstrahl 16 durch Luft aus, die einen Brechungsindex von fast Eins aufweist, bis er auf die Grenzfläche 70 trifft, die ein Volumen 72 mit einem Brechungsindex begrenzt, der von dem von Luft verschieden ist. Die Wechselwirkung des Laserstrahls 16 mit der Grenzfläche 70 führt zu einer spiegelnden Reflexion, einer diffusen Reflexion und einer Übertragung eines Teils des Laserstrahls 16 über die Grenzfläche 70 in das Volumen 72. Der übertragene Teil des Laserstrahls 16 breitet sich weiter im Volumen 72 aus, wo der Strahl 16 zumindest teilweise absorbiert wird, und er kann sich weiter ausbreiten, bis er auf eine weitere Grenzfläche 74 trifft, wo der Strahl 16 wieder spiegelnd und diffus reflektiert wird und wo ein Teil des Strahls 16 in das nächste Volumen 76 übertragen werden kann.
  • Die Grenzflächen 70 und 74 können optische Flächen sein, z. B. ein Spiegel, eine Linse, ein Polarisationselement oder Laserarbeitsflächen, oder nichtoptische Oberflächen, z. B. eine Abdeckung, ein Sicherheitsschirm oder eine mechanische Struktur. Weiterhin liegen in einem typischen laseroptischen System mehrere Grenzflächen, wie die Flächen 70 und 74 vor, und der Einfallswinkel, den der Laserstrahl 16 mit jeder der mehreren Grenzflächen 70 und 74 bildet, kann von normalem bis zu streifendem Einfall variieren.
  • In der folgenden ausführlichen Beschreibung, wie die vorliegende Erfindung reflektierte Energie von mehreren Grenzflächen, wie etwa 70 und 74, optisch isoliert, wird verstanden, daß jede der mehreren Grenzflächen 70 und 74 eine spiegelnde Reflexion erzeugt und daß ein resultierender, spiegelnd reflektierter Strahl 78, der einen Teil der spiegelnd reflektierten Energie von jeder der Flächen 70 und 74 umfaßt, sich im wesentlichen entlang der Achse 18 in einer Ausbreitungsrichtung ausbreitet, die der Ausbreitungsrichtung des sich vorwärts ausbreitenden Laserstrahls 16 im wesentlichen entgegengesetzt ist. Der resultierende, spiegelnd reflektierte Strahl 78 breitet sich in Richtung der Laseraustrittsöffnung 14 aus und stellt deshalb eine potentielle Quelle einer zu isolierenden Laserrückkopplung dar. Zudem ist zu verstehen, daß der resultierende, spiegelnd reflektierte Strahl 78 aus Reflexionen stammen kann, die bei mehreren Einfallswinkeln auftreten, so. daß der resultierende, spiegelnd reflektierte Strahl 78 mehrere spiegelnd reflektierte Strahlen umfaßt, die jeweils einen Polarisationszustand aufweisen, der von dem Einfallswinkel abhängt, den der sich vorwärts ausbreitende Laserstrahl 16 mit der jeweiligen reflektierenden Grenzfläche 70 oder 74 bildete, von der er reflektiert wurde.
  • Zudem breitet sich ein resultierender, diffus reflektierter Strahl 80 im wesentlichen auch entlang der Achse 18 in einer Ausbreitungsrichtung aus, die der Ausbreitungsrichtung des sich vorwärts ausbreitenden Laserstrahls 16 zur Laseraustrittsöffnung 14 im wesentlichen entgegengesetzt ist, und daß der resultierende, diffus reflektierte Strahl 80 mindestens einen Teil der diffus reflektierten Energie umfaßt, die von jeder der mehreren Grenzflächen 70 und 74 reflektiert wird. Der resultierende, diffus reflektierte Strahl 80 stellt auch eine potentielle Quelle von zu isolierender Laserrückkopplung dar. Es ist zu verstehen, daß der resultierende, diffus reflektierte Strahl 80 auch von Reflexionen stammt, die bei mehreren Einfallswinkeln auftreten, so daß der resultierende, diffus reflektierte Strahl 80 mehrere diffus reflektierte Strahlen mit jeweils einem Polarisationszustand umfaßt, der vom Einfallswinkel abhängt, den der sich vorwärts ausbreitende Laserstrahl 16 mit der jeweiligen reflektierenden Grenzfläche 70 oder 74 bildete, von der er reflektiert wurde.
  • Wenn beispielsweise eine einzige Grenzfläche 70 und ein einziger spiegelnd reflektierter Strahl 78 angenommen wird, wird der zirkular polarisierte, sich vorwärts ausbreitende Laserstrahl 16 spiegelnd von der Oberfläche 70 reflektiert, wodurch ein spiegelnd reflektierter Strahl 78 entsteht. Für den besonderen Fall des senkrechten Einfalls zwischen dem sich vorwärts ausbreitenden Laserstrahl 16 und der Fläche 70 wird der spiegelnd reflektierte Strahl 78 zirkular polarisiert und die Drehrichtung der zirkularen Polarisation wird durch die Reflexion umgekehrt, d. h., ein rechts zirkular polarisierter Strahl wird nach der Reflexion ein links zirkular polarisierter Strahl.
  • Bei der Rückkehr durch den Viertelwellenverzögerer 60 wird der zirkular polarisierte, spiegelnd reflektierte Strahl 78 vom Verzögerer 60 linear polarisiert und seine Ebene der linearen Polarisation ist parallel zu einer Polarisationsachse 82 ausgerichtet. Dadurch wird der spiegelnd reflektierte Strahl 78, der aus einer Reflexion von der Grenzfläche 70 mit senkrechtem Einfall resultierte, durch den dritten Linearpolarisator 58 vollständig ausgelöscht, da die Polarisationsachse 82 senkrecht zu seiner Übertragungsachse verläuft.
  • Bei dem Fall, daß der Einfallswinkel zwischen dem sich vorwärts ausbreitenden Laserstrahl 16 und der Grenzfläche 70 zwischen fast senkrechtem Einfall und fast streifendem Einfall liegt, wird der spektral reflektierte Strahl 78, der aus einer Reflexion des zirkular polarisierten Laserstrahls 16 herrührt, elliptisch polarisiert und auch die Drehrichtung der Polarisation wird durch die Reflexion umgekehrt, d. h. ein rechts zirkular polarisierter Laserstrahl 16 wird nach Reflexion zu einem links elliptisch polarisierten, spiegelnd reflektierten Laserstrahl 78. Wenn sich der Einfallswinkel zwischen dem sich vorwärts ausbreitenden Laserstrahl 16 und der Grenzfläche 70 bei einem streifenden Einfall befindet, wird der spiegelnd reflektierte Strahl 78 linear entlang einer Achse polarisiert, die parallel zur Grenzfläche 70 verläuft. Obwohl ein derartiger Strahl zum partiellen laseroptischen System 10 nicht direkt zurückkehren würde, versteht sich, daß ein durch streifenden Einfall spiegelnd reflektierter Strahl nach darauffolgenden Reflexionen von anderen Grenzflächen, z. B. 74, zum partiellen laseroptischen System 10 zurückkehren kann.
  • Nach Rückkehr durch den Viertelwellenverzögerer 70 bleibt ein elliptisch polarisierter, spiegelnd reflektierter Strahl 78 elliptisch polarisiert, aber die Ausrichtung der langen Achse der Ellipse variiert von fast parallel zur Polarisationsachse 82 für Reflexionen aufgrund von fast senkrechten Einfallswinkeln zu fast parallel zur zweiten Polarisationsachse 38 für Reflexionen aufgrund von fast streifenden Einfallswinkeln.
  • Nach dem Durchgang durch den dritten Linearpolarisator 58 wird der spiegelnd reflektierte Strahl 78 gemäß dem Malusschen Satz so gedämpft, daß seine Leistungsamplitude nach dem Austritt aus dem dritten Linearpolarisator 58 ein Minimum ist, wenn die Ebene der linearen Polarisation fast parallel zur Polarisationsachse 82 liegt, und ein Maximum, wenn die Ebene der linearen Polarisation des Strahls fast parallel zur zweiten Polarisationsachse 38, d. h. der Übertragungsachse des dritten Linearpolarisators 58, liegt und variiert für Winkel dazwischen entsprechend der Beziehung I(∅) = I(0)*COS2(∅), wobei ∅ der Winkel zwischen der Ebene der linearen Polarisation des Strahls 78 und der Übertragungsachse des zweiten Linearpolarisators 58, I(0) die Intensität des Strahls 78 vor dem Durchtritt durch den zweiten Linearpolarisator 58 und I(∅) die Intensität des Strahls 78 nach dem Durchtritt durch den zweiten Linearpolarisator 58 als Funktion des Winkels ∅ ist. In diesem Fall ist ∅ gleich Null für Reflexionen aufgrund eines streifenden Einfalls und ∅ ist gleich 90 Grad für Reflexionen aufgrund von Reflexionen bei normalem Einfall.
  • Bei spiegelnden Reflexionen, die sich daraus ergaben, daß der sich vorwärts ausbreitende Laserstrahl 16 einen streifenden Einfall mit der Grenzfläche 70 aufwies, wird der spiegelnd reflektierte Strahl 78 linear polarisiert, und nach der Rückkehr durch den Viertelwellenverzögerer 60 ist der spiegelnd reflektierte Strahl 78 mit linearer Polarisation entweder unverändert oder wurde elliptisch polarisiert, je nach dem Winkel zwischen seiner Ebene der linearen Polarisation und der schnellen Übertragungsachse des Viertelwellenverzögerers 60. Bei der Rückkehr durch den dritten Linearpolarisator 58 wird ein linear oder elliptisch polarisierter Strahl gemäß dem Malusschen Satz gedämpft.
  • Es wird nun der Fall einer einzigen Grenzfläche 70 mit einem einzigen diffus reflektierten Strahl 80 betrachtet, wobei der zirkular polarisierte, sich vorwärts ausbreitende Laserstrahl 16 von der Fläche 70 diffus reflektiert wird und ein diffus reflektierter Strahl 80 entsteht. Der diffus reflektierte Strahl 80 strahlt im wesentlichen gleichförmig in eine Halbkugel um den Schnittpunkt der Ausbreitungsachse 18 mit der Grenzfläche 70, so daß mindestens ein Teil der Strahlen zum Spiegelreflexionsisolator 50 gelenkt wird. Die Polarisation des diffus reflektierten Strahls 80 variiert mit seiner Ausbreitungsrichtung nach der Reflexion, so daß im wesentlichen entlang der Ausbreitungsachse 18 reflektierte, diffus reflektierte Strahlen im wesentlichen zufällig polarisiert sind, während im wesentlichen parallel zur Grenzfläche 70 reflektierte, diffus reflektierte Strahlen im wesentlichen linear polarisiert sind und diffus reflektierte Strahlen, die bei dazwischenliegenden Reflexionswinkeln reflektiert werden, zufällig und linear polarisierte Teile umfassen.
  • Der Polarisationszustand des diffus reflektierten Strahls 80, der teils zufällig polarisiert und teils linear polarisiert sein kann, wird bei Rückkehr durch den Viertelwellenverzögerer 60 von diesem modifiziert. Der diffus reflektierte Strahl 80 wird bei Rückkehr durch den dritten Linearpolarisator 58 gemäß dem Malusschen Satz gedämpft, was bei einem im wesentlichen zufällig polarisierten Strahl zu einer Dämpfung von etwa 50% führt.
  • Die oben angeführten Merkmale des Spiegelreflexionsisolators 50 bestehen darin, daß er spiegelnd reflektierte Strahlen auslöscht, die aus Reflexionen von mit einem senkrechten Einfall orientierten Grenzflächen herrühren, er spiegelnd reflektierte Strahlen, die aus Reflexionen von Grenzflächen herrührten, die unter Einfallswinkeln zwischen senkrechtem und streifendem Einfall orientiert sind, dämpft und er im Mittel eine Dämpfung von 50% für diffus reflektierte Strahlen bietet. In allen Fällen weist jeder Teil des spiegelnd reflektierten Strahls 78 oder des diffus reflektierten Strahls 80 die aus dem Spiegelreflexionsisolator 50 austreten, einen Polarisationszustand auf, der linear ist, wobei seine Ebene der linearen Polarisation parallel zur zweiten Polarisationsachse 38 ausgerichtet ist.
  • Nach dem Durchtritt durch den Spiegelreflexionsisolator 50 breiten sich der spiegelnd reflektierte Strahl 78 und der diffus reflektierte Strahl 80, die jeweils gedämpft sind, weiterhin im wesentlichen entlang der Achse 18 aus und treten in die Austrittsöffnung 26 des Faraday-Isolators 20 ein. Da jeder Strahl entlang der zweiten Polarisationsachse 38 linear polarisiert ist, durchlaufen sie den zweiten Linearpolarisator 34 ungedämpft.
  • Dann laufen die reflektierten Strahlen 78 und 80 durch den magnetooptischen Rotator 32, der die Polarisationsebene jedes Strahls im Uhrzeigersinn um einen Winkel von 45 Grad dreht und sie dabei parallel zu einer Polarisationsachse 82 ausrichtet. Man beachte, daß der magnetooptische Rotator 32 die besondere Eigenschaft aufweist, daß er die Polarisationsebene eines sich vorwärts ausbreitenden Strahls und eines sich entgegengesetzt ausbreitenden Strahlungsstrahls um den gleichen Drehwinkel und in der gleichen Richtung dreht. Da die Polarisationsachse 82 senkrecht zur Übertragungsachse des ersten Linearpolarisators 30 verläuft, werden der restliche Teil des spiegelnd reflektierten Strahls 78 und des diffus reflektierten Strahls 80 durch den ersten Linearpolarisator 30 ausgelöscht, so daß keine reflektierte Energie die Laseraustrittsöffnung 14 erreicht.
  • Die Merkmale der Kombination aus einem Faraday-Isolator 20 und einem Spiegelreflexionsisolator 50 bestehen darin, daß sie unabhängig vom Einfallswinkel des sich vorwärts ausbreitenden Laserstrahls 16 mit der Grenzfläche 70 sowohl den spiegelnd reflektierten Strahl 78 als auch den diffus reflektierten Strahl 80 vollkommen auslöscht. Im allgemeinen Fall, wenn der sich vorwärts ausbreitende Strahl 16 nach dem Durchgang durch mehrere begrenzte Gebiete 72 von mehreren Grenzflächen 70 und 74 reflektiert wird, werden der resultierende, spiegelnd und diffus reflektierte Strahl 78 und 80 auf die gleiche Weise ausgelöscht, wie dies oben für den besonderen Fall einer einzigen Grenzfläche 70 beschrieben wurde.
  • Aus der vorausgegangenen Erörterung, die ein Verfahren und eine Vorrichtung zur verbesserten Isolation der optischen Rückkopplung in Lasersystemen ausführlich darlegt, ist zu sehen, daß sich durch die kombinierte Verwendung des Faraday-Isolators 20 und des Spiegelreflexionsisolators 50 im Vergleich zur Verwendung der beiden Elemente für sich eine verbesserte optische Isolation ergibt. Es ist weiter zu erkennen, daß die in 1 gezeigten Abstände 28, 84, 86 und 88 für die Leistung der vorliegenden Erfindung nicht kritisch sind, sondern nur ausreichend klein sein müssen, daß der zu isolierende spiegelnd und diffus reflektierte Strahl 78 und 80 ausreichend eingefangen werden. Weiterhin kann man feststellen, daß der dritte Linearpolarisator 58 in der bevorzugten Ausführungsform entfallen kann, ohne den Operationsmodus der Erfindung zu ändern. Bei einer in 3 gezeigten allgemeineren Ausführungsform arbeitet der optische Isolator 400 auf genau die gleiche Weise wie die oben beschriebene bevorzugte Ausführungsform, außer daß der in der bevorzugten Ausführungsform verwendete dritte Linearpolarisator 58 zusätzliche Dämpfung liefert, um ein Leck zu überwinden, das auftreten kann, wenn ein einziger Polarisator für sich verwendet wird. Ein derartiges Leck kann aus Fehlern in den Polarisatormaterialien und einer fehlerhaften Ausrichtung der Polarisatorübertragungsachsen resultieren. Es ist weiterhin zu erkennen, daß die Leistung weiter verbessert werden kann, wenn mehrere Linearpolarisatoren eingesetzt werden, die jeweils zwischen dem magnetooptischen Rotator 32 und dem Viertelwellenverzögerer 60 angeordnet sind, um ein Leck zu überwinden.
  • Bei einer allgemeineren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist in 3 ein optischer Isolator gezeigt, der allgemein mit der Bezugszahl 400 bezeichnet ist. Der optische Isolator 400 umfaßt einen Faraday-Isolator, der allgemein mit der Bezugszahl 20 bezeichnet ist und einen Viertelwellenverzögerer 60. Der Faraday-Isolator 20 und der Viertelwellenverzögerer 60 weisen jeweils eine optische Achse 22 beziehungsweise 62 auf, die im wesentlichen parallel zu einer Strahlungsstrahlausbreitungsachse 402 positioniert sind.
  • Ein unpolarisierter Strahlungsstrahl 404 breitet sich entlang der Ausbreitungsachse 402 von links nach rechts aus und tritt bei einer Eintrittsöffnung 406 in den optischen Isolator 400 ein. Der unpolarisierte Strahlungsstrahl 404 läuft durch den Faraday-Isolator 20 und dann durch den Viertelwellenverzögerer 60 und tritt bei einer Austrittsöffnung 408 aus. Der Faraday-Isolator 20 ist so ausgerichtet, daß die Übertragungsachse seines zweiten Linearpolarisators 34 parallel zur zweiten Polarisationsachse 38 verläuft. Die schnelle Übertragungsachse des Viertelwellenverzögerers 60 ist parallel zur ersten Polarisationsachse 36 ausgerichtet. Der Polarisationszustand des unpolarisierten Strahlungsstrahls 404 wird vom Isolator 400 derart verändert, daß durch die Austrittsöffnung 408 ein zirkular polarisierter Strahlungsstrahl 404 austritt. Der Polarisationszustand des Strahls 404, während er durch jedes Element des Isolators 400 hindurchtritt, wird oben in der bevorzugten Ausführungsform beschrieben, doch enthält der Isolator 400 nicht den dritten Linearpolarisator 58 der bevorzugten Ausführungsform. Der Isolator 400 löscht, wie bei der bevorzugten Ausführungsform, den von der Grenzfläche spiegelnd und diffus reflektierten Strahlungsstrahl 78 und 80 im wesentlichen aus.
  • Bei einer in 4 gezeigten weiteren Ausführungsform wird ein einziger sich vorwärts ausbreitender Laserstrahl 100 so in zwei Strahlen aufgeteilt, daß sich jeder Strahl entlang einer anderen Ausbreitungsachse ausbreitet und zwei Spiegelreflexionsisolatoren Reflexionen von Grenzflächen isolieren, auf die jeder Strahl trifft. In diesem Fall wird in Kombination mit einem einzigen Faraday-Isolator 20 mehr als ein Spiegelreflexionsisolator verwendet.
  • Bei dieser Ausführungsform tritt ein erster sich vorwärts ausbreitender Laserstrahl 100 aus einer Laseröffnung 14 aus, breitet sich entlang einer ersten Ausbreitungsachse 18 aus und läuft durch einen Faraday-Isolator 20, der den ersten sich vorwärts ausbreitenden Laserstrahl 100 derart linear polarisiert, daß seine Ebene der linearen Polarisation parallel zur zweiten Polarisationsachse 38 ausgerichtet ist. Der linear polarisierte, erste sich vorwärts ausbreitende Laserstrahl 100 läuft dann durch einen teilreflektierenden Strahlteiler 102, und ein Teil des Strahls 100 breitet sich weiter entlang der ersten Ausbreitungsachse 18 aus. Ein anderer Teil des linear polarisierten, ersten sich vorwärts ausbreitenden Laserstrahls 100 wird vom teilreflektierenden Strahlteiler 102 reflektiert, wodurch ein zweiter, linear polarisierter, sich vorwärts ausbreitender Laserstrahl 104 mit einer zweiten Ausbreitungsachse 106 entsteht.
  • Nach dem Durchlaufen des Strahlteilers 102 läuft der linear polarisierte, erste sich vorwärts ausbreitende Laserstrahl 100 durch einen ersten Spiegelreflexionsisolator, der allgemein mit der Bezugszahl 150 bezeichnet ist und der die spezifische Aufgabe hat, spektrale und diffuse Reflexionen von einer Linse 108 und einer Grenzfläche 116 zu isolieren. Die Linse 108 weist eine nicht gezeigte optische Achse auf, die mit der Ausbreitungsachse 18 zusammenfällt, und zwei Grenzflächen 110 und 112. Der Spektralreflexionsisolator 150 umfaßt einen Linearpolarisator 58 und einen Viertelwellenverzögerer 60. Der Spiegelreflexionsisolator 150 und der Faraday-Isolator 20 löschen gemeinsam den von den Linsengrenzflächen 110 und 112 und von der anderen Grenzfläche 116 spiegelnd und diffus reflektierten Strahl 78 und 80 aus. Die Übertragungsachse des Linearpolarisators 58 ist parallel zur zweiten Polarisationsachse 38 und die schnelle Übertragungsachse des Viertelwellenverzögerers 60 ist parallel zur ersten Polarisationsachse 36 ausgerichtet, so daß der Spektralreflexionsisolator 150 und der Faraday-Isolator 20 genau wie in der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform funktionieren.
  • Der linear polarisierte, zweite sich vorwärts ausbreitende Laserstrahl 104 breitet sich entlang der Ausbreitungsachse 106 aus und läuft durch einen zweiten Spiegelreflexionsisolator, der allgemein mit der Bezugszahl 118 bezeichnet ist und der in diesem Fall einen Viertelwellenverzögerer 120 und den zweiten Linearpolarisator 34 umfaßt (im Faraday-Isolator 20 enthalten). Der zweite Spiegelreflexionsisolator 118 ist identisch mit der in 3 gezeigten Ausführungsform und weist die spezifische Aufgabe auf, Spektralreflexionen von der Grenzfläche 122 zu isolieren. Die schnelle Übertragungsachse des Viertelwellenverzögerers 120 ist auf die erste Polarisationsachse 36 ausgerichtet.
  • Die in 4 gezeigte Ausführungsform weist eine einzige Eintrittsöffnung 130 und eine erste Austrittsöffnung 132, durch die der Strahl 100 austritt, und eine zweite Austrittsöffnung 134 auf, durch die der Strahl 104 austritt. Die Spiegelreflexionsisolatoren 150 und 118 isolieren jeweils Reflexionen von so vielen Grenzflächen, wie die Strahlen 100 und 104 möglicherweise antreffen können, und es versteht sich, daß für jede neue Ausbreitungsachse weitere Strahlen und Spiegelreflexionsisolatoren hinzugefügt werden können und daß jeder der weiteren Spiegelreflexionsisolatoren in Kombination mit dem einzigen Faraday-Isolator 20 verwendet werden kann. Es ist außerdem zu verstehen, daß der Linearpolarisator 58 vom Spiegelreflexionsisolator 150 entfernt werden kann, so daß der Viertelwellenverzögerer 60 zusammen mit dem Linearpolarisator 34 Reflexionen von den Grenzflächen 110, 112 und 116 isoliert.
  • Bei einer in 5 gezeigten letzten Ausführungsform läuft ein Laserstrahl 100 durch einen Faraday-Isolator 20 und einen Spiegelreflexionsisolator, der allgemein mit der Bezugszahl 150 bezeichnet ist, bevor er von einem Strahldeflektor 200 abgelenkt wird. Der Spiegelreflexionsisolator 150 umfaßt einen Linearpolarisator 58 und einen Viertelwellenverzögerer 60 oder nur einen Viertelwellenverzögerer 60, wie in den obigen Ausführungsformen beschrieben ist. Der Strahldeflektor 200 lenkt den Strahl 100 ständig ab, so daß er eine Scanlinie 202 auf einer Grenzfläche 204 überquert, wodurch die Grenzfläche 204 im wesentlichen von einer ersten Kante 206 zu einer weiteren Kante 208 gescannt wird.
  • Zum Scannen eines Gebiets der Grenzfläche 204 bewegt eine schrittweise oder kontinuierliche Bewegung entlang einer im wesentlichen senkrecht zur Scanlinie 202 verlaufenden Achse entweder die Grenzfläche 204 relativ zum scannenden Laserstrahl 100 oder den scannenden Laserstrahl 100 relativ zur Grenzfläche 204, so daß die Grenzfläche 204 oder der scannende Laserstrahl 100 nach Beendigung jeder Scanlinie 202 für die nächste Scanlinie vorwärts bewegt wird, bis das ganze zu scannende Gebiet mit jeweils einer Scanlinie linienmäßig gescannt ist. Eine Linse 210 fokussiert den Laserstrahl 100 auf die Grenzfläche 204, wodurch ein fokussierter Fleck gebildet wird. Spiegelnd und diffus reflektierte Strahlen 78 und 80 kehren durch den Strahldeflektor 200 zurück und werden vom Spiegelreflexionsisolator 150 und vom Faraday-Isolator 20 ausgelöscht, wie in der bevorzugten Ausführungsform oben beschrieben ist.
  • Bei dieser letzten Ausführungsform kann der Strahldeflektor 200 ständig gedreht oder selektiv positioniert werden, indem zum Beispiel ein optisches oder holographisches Strahldeflektorelement oder eine akustooptische oder elektrooptische Scanvorrichtung verwendet wird, um den Strahl 100 als Reaktion auf ein elektrisches Signal abzulenken. Die Grenzfläche 204 kann eine beliebige Form aufweisen, einschließlich einer planaren oder zylindrischen Grenzfläche, und die Grenzfläche 204 kann ein zu scannendes Bild oder ein Bildaufzeichnungsmaterial umfassen, auf dem ein Laserbild aufgezeichnet werden soll.
  • Anhand der oben beschriebenen Ausführungsformen ist zu verstehen, daß auch andere Ausführungsformen hergestellt werden können, ohne vom Schutzumfang der Erfindung abzuweichen, wie er in den folgenden Ansprüchen definiert ist.

Claims (15)

  1. Verfahren zum Isolieren von Reflexionen (78, 80) von mindestens einer Grenzfläche (70, 74), auf die ein sich vorwärts ausbreitender Strahlungsstrahl (16) trifft, wobei die Reflexionen (78, 80) zu einem spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahl (78) und einem diffus reflektierten Strahlungsstrahl (80) führen, die jeweils mindestens einen Teil aufweisen, der sich in einer Richtung ausbreitet, die der Ausbreitungsrichtung (18) des sich vorwärts ausbreitenden Strahlungsstrahls (16) im wesentlichen entgegengesetzt ist, mit den folgenden Schritten: (a) lineares Polarisieren (30) des sich vorwärts ausbreitenden Strahlungsstrahls (16, 404), um dadurch die Ebene der linearen Polarisation des sich vorwärts ausbreitenden Strahlungsstrahls (16, 404) so auszurichten, daß sie im wesentlichen parallel zu einer ersten Polarisationsachse (36) verläuft; (b) Drehen (32) der Ebene der linearen Polarisation des linear polarisierten, sich vorwärts ausbreitenden Strahlungsstrahls (16, 404) zu einer zweiten Polarisationsachse (38); (c) Zirkularpolarisieren (60) des linear polarisierten, sich vorwärts ausbreitenden Strahlungsstrahls (16, 404), dessen Ebene der linearen Polarisation im wesentlichen parallel zur zweiten Polarisationsachse (38) verläuft, mit einem ersten Drehsinn, bevor der sich vorwärts ausbreitende Strahlungsstrahl (16, 404) auf die Grenzfläche (70) trifft, und lineares Polarisieren (60) des spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahls (78), wodurch die Ebene der linearen Polarisation des spiegelnd reflektierten Strahls (78) so ausgerichtet wird, daß sie im wesentlichen senkrecht zur zweiten Polarisationsachse (38) verläuft, wenn der spiegelnd reflektierte Strahlungsstrahl (78) mit einem Drehsinn zirkular polarisiert ist, der dem ersten Drehsinn entgegengesetzt ist; (d) lineares Polarisieren (34) des spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahls (78) und des diffus reflektierten Strahlungsstrahls (80), wodurch die jeweiligen Ebenen der linearen Polarisierung so ausgerichtet werden, daß sie im wesentlichen parallel zur zweiten Polarisationsachse (38) verlaufen; (e) Drehen (32) der jeweiligen Ebenen der linearen Polarisation des linear polarisierten, spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahls (78) und des linear polarisierten, diffus reflektierten Strahlungsstrahls (80), die im wesentlichen parallel zur zweiten Polarisationsachse (38) verlaufen, zu einer Polarisationsachse, die im wesentlichen senkrecht zur ersten Polarisationsachse (36) verläuft; und danach gekennzeichnet ist durch den folgenden Schritt: (f) Durchschicken des linear polarisierten, spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahls (78) und des linear polarisierten, diffus reflektierten Strahlungsstrahls (80) mit jeweiligen Ebenen der linearen Polarisation, die im wesentlichen senkrecht zur ersten Polarisationsachse (36) verlaufen, durch einen Linearpolarisator (30, 406) mit einer Übertragungsachse, die im wesentlichen parallel auf die erste Polarisationsachse (36) ausgerichtet ist.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der sich vorwärts ausbreitende Strahlungsstrahl (16, 404) mit einem Viertelwellenverzögerer (60) zirkular polarisiert wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei der sich vorwärts ausbreitende Strahlungsstrahl (16, 404) ein Laserstrahl ist.
  4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei mindestens ein Teil der Grenzfläche (70, 204) ein zu scannendes Bild (202, 206, 208) umfaßt und wobei der sich vorwärts ausbreitende Strahlungsstrahl (16, 100, 404) zeilenweise über das zu scannende Bild geführt wird (202).
  5. Verfahren nach Anspruch 4, wobei der sich vorwärts ausbreitende Strahlungsstrahl (16, 100, 404) ein Laserstrahl ist.
  6. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei mindestens ein Teil der Grenzfläche (70) ein Bildaufzeichnungsmaterial (204) umfaßt und wobei der sich vorwärts ausbreitende Strahlungsstrahl (16, 100, 404) zum Aufzeichnen eines Bilds zeilenweise über das Bildaufzeichnungsmaterial geführt wird.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, wobei der sich vorwärts ausbreitende Strahlungsstrahl (16, 100, 404) ein Laserstrahl ist.
  8. Vorrichtung (10) zum Isolieren von Reflexionen (78, 80) von mindestens einer Grenzfläche (70, 74), auf die ein sich vorwärts ausbreitender Strahlungsstrahl (16) mit einer ersten Ausbreitungsachse (18) trifft, wobei die Reflexionen (78, 80) zu einem spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahl (78) und einem diffus reflektierten Strahlungsstrahl (80) führen, die jeweils mindestens einen Teil aufweisen, der sich im wesentlichen entlang der ersten Ausbreitungsachse (18) in einer Richtung ausbreitet, die der Ausbreitungsrichtung (18) des sich vorwärts ausbreitenden Strahlungsstrahls (16) im wesentlichen entgegengesetzt ist, wobei die Vorrichtung (10) eine optische Achse (22, 52) aufweist, die mit der ersten Ausbreitungsachse (18) im wesentlichen zusammenfällt, und zwischen einer Strahlungsquelle (12) zum Erzeugen des sich vorwärts ausbreitenden Strahlungsstrahls (16) und der mindestens einen Grenzfläche (70, 74) positioniert ist, umfassend: (a) ein erstes linear polarisierendes Mittel (30) zum linearen Polarisieren und Ausrichten der Ebene der linearen Polarisation des sich vorwärts ausbreitenden Strahlungsstrahls (16, 404) im wesentlichen parallel auf eine erste Polarisationsachse (36) und zum Auslöschen des spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahls (78) und des diffus reflektierten Strahlungsstrahls (80), wenn die jeweiligen Ebenen der linearen Positionen von jedem zur ersten Polarisationsachse (36) im wesentlichen senkrecht verlaufen; (b) ein Polarisationsdrehmittel (32), das zwischen dem ersten linearen Polarisationsmittel (30) und der mindestens einen Grenzfläche (70, 74) angeordnet ist, zum Drehen der Ebene der linearen Polarisation des sich vorwärts ausbreitenden Strahlungsstrahls (16) zu einer zweiten Polarisationsachse (38) und zum Drehen der jeweiligen Ebenen der linearen Polarisation des spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahls (78) und des diffus reflektierten Strahlungsstrahls (80) zu einer Polarisationsachse (82), die zur ersten Polarisationsachse (36) im wesentlichen senkrecht verläuft; (c) ein zweites linear polarisierendes Mittel (34), das zwischen dem Polarisationsdrehmittel (32) und der mindestens einen Grenzfläche (70, 74) mit einer Übertragungsachse positioniert ist, die zu der zweiten Polarisationsachse (38) im wesentlichen parallel verläuft, zum Ausrichtender jeweiligen Ebenen der linearen Polarisation des spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahls (78) und des diffus reflektierten Strahlungsstrahls (80), so daß sie im wesentlichen parallel zur zweiten Polarisationsachse (38) verlaufen; dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung weiterhin ein erstes zirkular polarisierendes Mittel (60) enthält, das zwischen dem zweiten linear polarisierenden Mittel (34) und der mindestens einen Grenzfläche (70, 74) angeordnet ist, zum Zirkular polarisieren des linear polarisierten, sich vorwärts ausbreitenden Strahlungsstrahls (16, 404), wobei die Ebene der linearen Polarisation im wesentlichen parallel zur zweiten Polarisationsachse (38) verläuft, mit einem ersten Drehsinn und zum linearen Polarisieren des spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahls (78), wodurch die Ebene der linearen Polarisation des spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahls (78) im wesentlichen senkrecht zur zweiten Polarisationsachse (38) ausgerichtet wird, wenn der spiegelnd reflektierte Strahlungsstrahl (78) mit einem Drehsinn zirkular polarisiert ist, der dem ersten Drehsinn entgegengesetzt ist.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 8, weiterhin mit mindestens einem weiteren linear polarisierenden Mittel (58) mit einer optischen Achse (52), die mit der ersten Ausbreitungsachse (18) zusammenfällt, und einer Übertragungsachse, die zu der zweiten Polarisationsachse (38) im wesentlichen parallel verläuft, zum Ausrichten der jeweiligen Ebenen der linearen Polarisation des spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahls (78) und des diffus reflektierten Strahlungsstrahls (80) im wesentlichen parallel zur zweiten Polarisationsachse (38), wobei das mindestens weitere linear polarisierende Mittel (58) so zwischen dem zweiten linear polarisierenden Mittel (34) und dem ersten zirkular polarisierenden Mittel (60) angeordnet ist, daß der sich vorwärts ausbreitende Strahlungsstrahl (16, 404), der spiegelnd reflektierte Strahlungsstrahl (78) und der diffus reflektierte Strahlungsstrahl (80) jeweils durch es hindurchlaufen.
  10. Vorrichtung (10) nach Anspruch 8, wobei der sich vorwärts ausbreitende Strahlungsstrahl (16, 100), dessen Ebene der linearen Polarisation im wesentlichen parallel zur zweiten Polarisationsachse (38) verläuft, geteilt wird (102), wodurch mindestens ein weiterer sich vorwärts ausbreitender Strahlungsstrahl (104) mit mindestens einer weiteren Ausbreitungsachse 106 gebildet wird, der auf mindestens eine weitere Grenzfläche (122) auftrifft, wodurch mindestens ein weiterer spiegelnd reflektierter Strahlungsstrahl 78 und mindestens ein weiterer diffus reflektierter Strahlungsstrahl (80) erzeugt werden, die sich jeweils entlang der mindestens weiteren Ausbreitungsachse (106) und der ersten Ausbreitungsachse (18) in einer Richtung ausbreiten, die der Ausbreitungsrichtung des ersten (100) und des mindestens weiteren (104) sich vorwärts ausbreitenden Strahlungsstrahls im wesentlichen entgegengesetzt ist, wobei die Vorrichtung (10) weiterhin mindestens ein weiteres zirkular polarisierendes Mittel (120) mit einer optischen Achse umfaßt, die mit der mindestens weiteren Ausbreitungsachse (106) im wesentlichen zusammenfällt, wobei das mindestens weitere zirkular polarisierende Mittel (120) zwischen dem zweiten linear polarisierenden Mittel (34) und der mindestens weiteren Grenzfläche (122) angeordnet ist, zum Zirkularpolarisieren des mindestens weiteren sich vorwärts ausbreitenden Strahlungsstrahls (104), dessen Ebene der linearen Polarisation im wesentlichen parallel zur zweiten Polarisationsachse (38) verläuft, mit einem ersten Drehsinn und zum linearen Polarisieren des mindestens weiteren spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahls (78), wodurch die Ebene der linearen Polarisation des mindestens weiteren spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahls (78) so ausgerichtet wird, daß sie zur zweiten Polarisationsachse (38) im wesentlichen senkrecht verläuft, wenn der mindestens weitere spiegelnd reflektierte Strahlungsstrahl (78) mit einem Drehsinn zirkular polarisiert ist, der dem ersten Drehsinn entgegengesetzt ist.
  11. Vorrichtung (10) nach Anspruch 10, weiterhin mit mindestens einem weiteren linear polarisierenden Mittel (118) mit einer optischen Achse, die mit der mindestens weiteren Ausbreitungsachse (106) im wesentlichen zusammenfällt, und einer Übertragungsachse, die im wesentlichen parallel zur zweiten Polarisationsachse (38) verläuft, zum Ausrichten der Ebene der linearen Polarisation des mindestens weiteren spiegelnd reflektierten Strahlungsstrahls (78) und des mindestens weiteren diffus reflektierten Strahls (80) im wesentlichen parallel auf die zweite Polarisationsachse (38), wobei das mindestens weitere linear polarisierende Mittel (118) so zwischen dem zweiten linear polarisierenden Mittel (34) und dem mindestens weiteren zirkular polarisierenden Mittel (120) angeordnet ist, daß der mindestens weitere sich vorwärts ausbreitende Strahlungsstrahl (104), der mindestens weitere spiegelnd reflektierte Strahlungsstrahl (78) und der mindestens weitere diffus reflektierte Strahl (80) jeweils durch es hindurchlaufen.
  12. Vorrichtung (10) nach Anspruch 11, weiterhin mit mindestens einem weiteren linear polarisierenden Mittel (58) mit einer optischen Achse, die mit der ersten Ausbreitungsachse (18) zusammenfällt, und einer Übertragungsachse, die im wesentlichen parallel zur zweiten Polarisationsachse (38) verläuft, zum Ausrichten der Ebene der linearen Polarisation des spiegelnd reflektierten Strahls (78), des diffus reflektierten Strahls (80), des mindestens weiteren spiegelnd reflektierten Strahls (78) und des mindestens weiteren diffus reflektierten Strahlungsstrahls (80) im wesentlichen parallel auf die zweite Polarisationsachse (38), wobei das mindestens weitere linear polarisierende Mittel (58) so zwischen dem zweiten linear polarisierenden Mittel (34) und dem ersten zirkular polarisierenden Mittel (60) angeordnet ist, daß der sich vorwärts ausbreitende Strahlungsstrahl (100), der spiegelnd reflektierte Strahl (78), der diffus reflektierte Strahl (80), der mindestens weitere spiegelnd reflektierte Strahl (78) und der mindestens weitere diffus reflektierte Strahlungsstrahl (80) jeweils durch es hindurchlaufen.
  13. Vorrichtung (10) nach einem der Ansprüche 8 bis 12, wobei die linear polarisierenden Mittel (34, 58) aus der Gruppe bestehend aus dichroitischen, reflektierenden, streuenden oder doppelbrechenden Polarisatoren ausgewählt sind.
  14. Vorrichtung (10) nach einem der Ansprüche 8 bis 13, wobei der Strahlungsstrahl (16, 100) ein Laserstrahl ist.
  15. Vorrichtung nach Anspruch 14, wobei der Laserstrahl (16, 100) zeilenweise über mindestens eine der Grenzflächen (70, 204) geführt wird (202).
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