DE3144396C2 - - Google Patents
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- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 10
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims 6
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- WYOHGPUPVHHUGO-UHFFFAOYSA-K potassium;oxygen(2-);titanium(4+);phosphate Chemical compound [O-2].[K+].[Ti+4].[O-]P([O-])([O-])=O WYOHGPUPVHHUGO-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Frequenz
verdoppelung eines Laserstrahles entsprechend dem Oberbegriff
des Anspruchs 1.
Eine Vorrichtung dieser Art, jedoch mit einem dritten Spiegel
(Kristall G. P), ist in der Literaturstelle JP-Z.: Japan.
J. Appl. Phys., Vol. 15 (1976), No. 8, S. 1595-1596 beschrieben. In
dieser Literaturstelle ist ausgeführt, daß bei dieser Art von
Frequenzverdoppelung zwischen den beiden harmonischen Strahlen
eine Interferenz durch einen sog. "phase mismatch" auftreten
kann. Dieser "phase mismatch" muß auf Null reduziert werden,
was durch Justieren der Lage der verschiedenen Elemente der
Vorrichtung erreicht wird.
Ähnliche Vorrichtungen zur Frequenzverdoppelung eines
Laserstrahles sind in den Literaturstellen "IEEE Journal of
Quantum Electronics, Vol. QE-10, No. 2, 1974, S. 253-262" und "IEEE
Journal of Quantum Electronics, Vol. QE-11, No. 7, 1975, S. 365-
367" sowie in den US 41 27 827 und US 39 75 693 beschrieben.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der
gattungsgemäßen Art zu schaffen, bei der eine Interferenz zwi
schen den beiden harmonischen Strahlen vermieden ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im Kennzeichen des
Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.
Bei dem erfindungsgemäßen Vorschlag sind die beiden Strahlen
automatisch orthogonal, d. h. senkrecht zueinander polarisiert,
so daß kein "phasen-mismatch" auftritt. Demzufolge ist die
Lage der Elemente der Vorrichtung unkritisch.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den
Unteransprüchen angegeben.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden unter
Bezugnahme auf die Zeichnung beschrieben.
Aus Gründen der besseren Anschaulichkeit sind die verschiedenen
Strahlen in einem Abstand voneinander dargestellt, während
tatsächlich die parallelen Strahlen zusammenfallen.
Ein Laser 10 emittiert einen Strahl 12 mit der gewünschten
Grundfrequenz. Bei dieser Ausführung der Erfindung wurde ein
YAG-Laser verwendet zur Emission
eines Strahles mit einer Wellenlänge von 1064 nm. Diese
Wellenlänge ist im infraroten Bereich.
Ein Generator 16 in Form eines nicht linearen Kristalls ist
zur Erzeugung der zweiten Harmonischen in der Laser-Resona
torkammer im Pfad des von dem Laser 10 ausgesandten
Strahles 12 angeordnet. Der Kristall kann beispielsweise
aus Kaliumtitanylphosphat bestehen. Zwischen dem Laser
10 und dem Kristall 16 ist eine dichroitische Brewster-Platte
18 angeordnet, um die Polarisation der Grundfrequenz auf
rechtzuerhalten. Die dichroitische Brewster-Platte 18 läßt
im wesentlichen 100% des p-polarisierten 1064 nm-Strahles
12 durch und reflektiert im wesentlichen 100% eines 532 nm-
Strahles 14 in willkürlicher Polarisierung, entweder p oder
s.
Eine Viertelwellenlängenplatte 20 für die zweite harmonische
Frequenz ist oberhalb der dichroitischen dielektrischen
Brewster-Platte 18 im Pfad des von diesem reflektierten
Lichtes angeordnet. Die optische Achse der Platte 20 ist in
einem Winkel von 45° zu der Polarisation des harmonischen
Strahls geneigt. Ein Spiegel 22 reflektiert den Strahl 14,
der die Viertelwellenlängenplatte 20 durchläuft, zurück
durch die Viertelwellenlängenplatte hindurch auf die Brewster-
Platte 18. Der Spiegel 22 und die Viertelwellenlängenplatte
20 können in der Praxis aufeinander angeordnet werden.
Am vorderen Ende der Vorrichtung ist ein Endspiegel 24
angeordnet, durch den das Licht mit 532 nm Wellenlänge hin
durchgeht und der alle Strahlen mit 1064 nm Wellenlänge
reflektiert. Am anderen Ende der Vorrichtung ist ein End
spiegel 26 vorgesehen, der die Strahlen mit 1064 nm Wellen
länge zu 100% reflektiert.
Im Betrieb emittiert der YAG-Laser einen Strahl 12 mit ei
ner Wellenlänge von 1064 nm. Der Strahl passiert die
Brewster-Platte 18, und ein Teil desselben wird durch den
nicht linearen Kristall 16 frequenzverdoppelt. Ein zweiter
frequenzverdoppelter Strahl wird entlang der Laserachse in
der umgekehrten Richtung durch den 1064 nm-Strahl erzeugt,
der von dem Endspiegel 24 reflektiert wird. Wie aus der
Zeichnung hervorgeht, zeigt ein Pfeil senkrecht zum Strahl
12 oder 14 die Polarisation des betreffenden Strahls an.
Zwei koinzidente Strahlen 14 werden durch den Endspiegel
24 hindurchgelassen und sind in Bezug aufeinander orthogonal
polarisiert. Diese Wirkung wird erreicht durch Verwendung
der vorher beschriebenen dichroitischen Brewster-Platte 18,
der Viertelwellenlängenplatte 20 und des Spiegels 22. Der
532 nm-Strahl, der von der dichroitischen Brewster-Platte
18 reflektiert wird, läuft aufgrund der Orientierung der
Brewster-Platte 18 und des Spiegels 22 durch das Viertel
wellenlängenplättchen 20 hindurch und wieder zurück. Dadurch
entsteht eine 90°-Drehung der Polarisation. Dieser reflek
tierte 532 nm-Strahl kann nicht in Interferenz treten mit
dem 532 nm-Strahl, der von dem 1064 nm-Strahl erzeugt wurde,
welcher zum Endspiegel hin gerichtet ist, weil seine
Polarisierung um 90° gegenüber derjenigen dieses 532 nm-
Strahls gedreht ist. Auf diese Weise wird eine Interferenz
und die dadurch entstehende Instabilität mit Leistungs
verlust bei 532 nm vermieden.
Offensichtlich kann die hier vorgeschlagene Technik auch
dazu verwendet werden, andere Grundfrequenzen zu verdoppeln.
Claims (6)
1. Vorrichtung zur Frequenzverdoppelung eines Laserstrahles
innerhalb einer Laser-Resonatorkammer, auf deren Achse folgende
Komponenten angeordnet sind:
- - zwei Endspiegel (24, 26), die die Laser-Resonatorkammer begrenzen,
- - ein Laser (10),
- - ein nicht linearer Kristall (16) zur Frequenzverdoppelung eines vom Laser (10) emittierten Strahles (12), wobei die frequenz verdoppelten Strahlen in entgegengesetzten Richtungen entlang der Achse der Laser-Resonatorkammer laufen, und
- - ein Reflektor (18) zwischen dem Laser (10) und dem nicht linearen Kristall (16) zur Frequenzverdoppelung, der Strahlung der doppel ten Grundfrequenz aus der Laser-Resonatorkammer heraus reflektiert und Strahlung der Grundfrequenz durchläßt,
gekennzeichnet durch
- - zwei koinzidente, linear polarisierte Ausgangstrahlen (14) der doppelten Frequenz, die die Laser-Resonatorkammer durch einen (24) der beiden Endspiegel (24, 26) verlassen und deren Polarisations ebenen senkrecht aufeinander stehen,
- - Mittel (20) zum Drehen der Polarisationsebene der von dem Reflektor (18) reflektierten Strahlung und Mittel (22) zum Zurückführen der Strahlung zum Reflektor (18) mit einer um 90° gedrehten Polarisationsebene, und
- - einen Endspiegel (24), der die Strahlung der Grundfrequenz reflektiert und Strahlung der doppelten Frequenz durchläßt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen
Endspiegel (26), der in der Lage ist, den Strahl (12) mit der
Grundfrequenz zu reflektieren.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur
Rückführung des Strahles mit der gedrehten Polarisation ein
Spiegel (22) vorgesehen ist und daß eine Viertelwellenlängenplatte
(20) zwischen dem Reflektor (18) und dem Spiegel (22) angeordnet
ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der
Laser (10) einen Strahl mit einer Wellenlänge von 1064 nm
emittiert.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der
Reflektor (18) eine dichroitische Brewster-Platte ist.
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US06/208,511 US4413342A (en) | 1980-11-20 | 1980-11-20 | Method and apparatus for frequency doubling a laser beam |
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Family
ID=22774856
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Country | Link |
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US (1) | US4413342A (de) |
JP (1) | JPS57115891A (de) |
CA (1) | CA1170346A (de) |
DE (1) | DE3144396A1 (de) |
FR (1) | FR2494513B1 (de) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |