DE911061C

DE911061C - Objekttisch fuer elektronenoptische Untersuchungen

Info

Publication number: DE911061C
Application number: DES18795A
Authority: DE
Inventors: Manfred Eisfeldt
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1948-10-01
Filing date: 1950-08-26
Publication date: 1956-08-16

Description

Das Patent 902 286 betrifft einen zum Einsetzen von mehreren Objekten eingerichteten Objekttisch für Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope, bei dem zur Kreuztischver-Schiebung des jeweils in der Betriebs stellung befindlichen Objektes der gemeinsame alle Objekte aufnehmende Tisch quer zur Strahlachse in zwei sich kreuzenden Richtungen beweglich angeordnet ist. Bei einem Ausführungsbeispiel des- Hauptpatents ist der Träger der einzelnen Objekipatronen mit dem Objekttisch selbst fest zusammengebaut, bei der Beschickung des Tisches werden daher die Patronen einzeln durch eine öffnung der Wandung des Mikroskops in den im Mikroskopinnern verbleibenden Tisch eingesetzt. In Abänderung dieses Konstruktionsgedankens wird erfindungsgemäß der Mehrfachobjekthalter so eingerichtet, daß er zur Beschickung mit den Objektträgern aus- dem Korpuskularstrahlapparat entfernbar ist.

Eine besonders einfache Konstruktion ergibt sich dadurch, daß der Mehrfachobjekthalter aus dem Objekttisch herausnehmbar gemacht¹ und in einer Schlittenführung dieses Tisches geradlinig quer zur Strahlachse verstellbar ist. Eine andere

Ausführungsmöglichkeit der Erfindung besteht darin, daß man den herausnehmbaren Mehrfachobjekthalter drehbar am Objekttisch haltert.

Die Wand des Korpuskularstrahlapparates wird man mit einer beispielsweise durch eine Klappe verschließbaren öffnung versehen, durch die hindurch die Objektträger einzeln oder auch mit dem Mehrfachobjekthalter zusammen eingesetzt und entnommen werden können,. Weitere für die Erfindung wesentliche Merkmale ergeben sich aus dem in folgendem beschriebenen. Ausführungsbeispiel.

In Fig. ι ist ein Längsschnitt und in Fig. 2 ein Querschnitt durch eine Anordnung nach der Erfuir dung dargestellt. In das Gehäuse 1 sind zwei mit Permanentmagneterregung arbeitende Abbildungslinsen;, nämlich, ein Objektive und Projektiv 3 eingebaut. Auf der Oberseite des oberen Objektivpoilschuhs ist der Objektverschiebetisch 4 angeordnet, der mit Hilfe der Federn 5 an, den Polschuh angedrückt wird. Die Einrichtungen zum Quer- verschieben, des Tisches sind in den Figuren niicht dargestellt. In den Tisch ist mit Hilfe einer Schlittenführung ein Mehrfachobjekthalter 6 ein^ führbar, in den eine Vielzahl von Objektträgerblenden nebeneinander eingesetzt werden können..

Durch eine seitliche öffnung 7, die sich in der Ummantelung des Linsenkörpers befindet, kann der Objekthalter 6 nach öffnen der Verschlußklappe 8 zum Beschicken oder Entnehmen von Objekten völlig herausgezogen werden. Zum schrittweisen Verstellen des Mehrfachobjekthai tiers dient ein Zahntrieb 9, 10, dessen Antriebsachse 11 im-geeigneter Weise vakuumdicht nach außen geführt wird. Der Halteschiene des Objekthalters 6 sind mit einer Feder 12 zusammenarbeitende zahnförmige Rasten 13 zugeordnet, die das Einlaufen des jeweils zu untersuchenden. Objektes in die Betriebslage am äußeren Handgriff der Vorschubeinrichtung 9, 10, 11 fühlbar machen» Außen kann am Antrieb des Mehrfachobjekthalters auch noch ein Zählwerk angeordnet sein, das anzeigt, welcher der eingesetzten Objektträger sich jeweils in der Betriebslage befindet.

Claims

Patentansprüche·.

1. Objekttisch für elektronenoptische Untersuchungen, der mit Einstellmitteln versehen ist, um beliebige Querbewegungen des Objektes gegenüber dem Strahlengang durchzuführen, und der einen, zur Aufnahme mehrerer Objektträger eingerichteten Halter trägt, der unabhängig von der Beweglichkeit des Tisches schrittweise verstellbar ist, um den jeweils zu untersuchenden Objektträger in die Betriebslage zu bringen nach Patent 902 286, dadurch gekennzeichnet, daß der Mehrfachobjekthalter zur Beschickung mit den Objektträgern aus dem Korpuskularstrahlapparat entfernbar ist.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch, gekennzeichnet, daß der aus dem Tisch, herausnehmbare Mehrfachobjekthalter in einer Schlittenführung des Objekttisches geradlinig quer zur Strahlachse verstellbar ist.

3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der herausnehmbare Mehr- fachobjekthalter drehbar am Objekttisch gehaltert ist.

4. Anordnung nach Anpruch 1 oder einem der folgenden, gekennzeichnet durch eine mit einer Klappe od. dgl. verschließbare öffnung der Wand des Koipuskularstrahlapparates, durch die hindurch die Objektträger einzeln oder mit dem Mehrfachobjekthalter zusammen eingesetzt und entnommen werden können.

5. Anordnung nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet¹, daß zur schrittweisen Verstellung des Mehrfachobjekthalters ein Zahntrieb dient, dessen, Antriebsachse vakuumdicht nach außen geführt ist.

6. Anordnung nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß dem Mehrfachobjekthalter mit einer Feder zusammenarbeitende Rasten zugeordnet sind, die das Einlaufen des jeweils zu untersuchenden Objektträgers in die Betriebslage am äußeren Trieb fühlbar machen.

7. Anordnung nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, gekennzeichnet durch ein am äußeren, Trieb des Mehrfachobjekthalters vorgesehenes Zählwerk, das den. jeweils in der Betriebslage befindlichen Objektträger anzeigt.