DE820777C - Halbleiteranordnung - Google Patents

Halbleiteranordnung

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DE820777C
DE820777C DES1862A DES0001862A DE820777C DE 820777 C DE820777 C DE 820777C DE S1862 A DES1862 A DE S1862A DE S0001862 A DES0001862 A DE S0001862A DE 820777 C DE820777 C DE 820777C
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semiconductor arrangement
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DES1862A
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Karl Dipl-Phys Dr Thalmayer
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Siemens and Halske AG
Siemens AG
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Siemens and Halske AG
Siemens AG
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F3/00Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
    • H03F3/60Amplifiers in which coupling networks have distributed constants, e.g. with waveguide resonators
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Description

  • Halbleiteranordnung In letzter 7eit sind unter dein Namen Transistor Anordnungen bekanntgeworden, die die Eigenart der Oberflächenschicht von Halbleitern, wie z. B. Germanium, für Verstärkungszwecke ausnutzen.
  • Ein Prinzipschaltbild einer Halbleiterverstärkeranordnung zeigt die Fig. i. An eine kleine Germaniuinscheil>e a ist -zusammen mit einer Gleichstroinvorspannung (Spannure gswelle b) eine Signalspannung (Signalspannungsquelle c) gelegt, und -zwar so, da(.@ der positive Pol der Vorspannungsquelle b über eine Kontaktspitze d, die z. B. durch ein feines \Volframfädchen gebildet ist, an die Gerinaniumoberfläche geführt ist. Der Ausgangskreis, enthaltend eine Vorspaiinungsquelle e und den Verbraucher f, ist in der gleichen Weise an die Germanitimscheil>e angeschaltet; bei ihm liegt jedoch der negative Pol über eine Kontaktspitze g an der Germanitimoberfläche. DerAbstand der beidenKontaktspitzen ist sehr gering und liegt in der Größenordnung von etwa o,ooä ciii. Mit einer derartigen Anordnung lassen sich Verstärkerwirkungen erzielen, die etwa denen einer Verstärkerröhre entsprechen.
  • Die Wirkungsweise der skizzierten Halbleiterverstärkeranordnung hat man in folgender Weise zu erklären versucht: Durch den positiven Spitzenkontakt wird die Bildung von Störstellen in der Oberflächenschicht des Halbleiters angeregt. Diese breiten sich von der Spitze weg längs der Oberfläche nach allen Seiten aus und werden von dem negativen Spitzenkontakt angezogen. Sie vergrößern den Strom ins Ausgangskreis.
  • Der Einwirkungsbereich der positiven Kontaktspitze ist relativ klein und beschränkt sich auf die nächste Umgebung der Kontaktspitze. Aus diesem Grunde ordnet man die negative Kontaktspitze in unmittelbarer Nähe der positiven Kontaktspitze an. Andererseits ist der Abstand der Kontaktspitzen voneinander auch von Einfluß auf die übertragbare Frequenz. Bei einem Abstand der Kontaktspitzen von o,oo5 cm ist die Anordnung unter Verwendung von Germanium beispielsweise bis etwa io MHz verwendbar.
  • Außer der einen positiv vorgespannten Kontaktspitze kann noch mindestens eine weitere positiv vorgespannte Kontaktspitze in einem entsprechenden Abstand von der Abnahmekontaktspitze angeordnet sein. Den positiv vorgespannten Kontaktspitzen werden dabei Spannupgen verschiedener Frequenz bzw. verschiedener Frequenzbereiche zugeführt. Die Vorspannungen und/oder die Entfernungen der einzelnen Kontaktspitzen voneinander können dabei so bemessen sein, daß eine selektive Verstärkung der an die einzelnen positiv vorgespannten Kontaktspitzen angelegten Wechselspannungen erfolgt. Die Bemessungen können aber auch derart sein, daß im Ausgang eine modulierte Spannung auftritt.
  • Eingangskreis und Ausgangskreis können für sich koaxial aufgebaut werden und der Halbleiter, z. B. in Form einer Scheibe, zwischen dem koaxialen Eingangskreis und dem koaxialen Ausgangskreis angeordnet und mit dem gemeinsamen Rückleiter leitend verbunden sein. Es wird so eine induktive und kapazitive Kopplung der Kreise weitgehend vermieden und die Anordnung in koaxiale Systeme einschaltbar. Damit wird auch die Möglichkeit geschaffen, die Halbleiteranordnung bis zu sehr hohen Frequenzen zu verwenden.
  • Eine besondere Schwierigkeit bei koaxialen Halbleiteranordnungen, insbesondere Verstärkeranordnungen, besteht darin, daß sich die Lage der Kontaktspitzen zueinander nicht ohne weiteres eindeutig ergibt. Die Erfindung sieht daher bis dicht an die Kontaktspitze reichende Führungen für die sich zu beiden Seiten der Halbleiterscheibe befindlichen Kontaktdrähte vor, um die Lage der Kontaktspitzen festzulegen. Man benutzt hierzu insbesondere Isolierkörper mit sich zum Halbleiter hin verjüngender Führungsöffnung. Beispielsweise können Stäbe aus Isoliermaterial paarweise über Kreuz angeordnet sein, so daß sich eine Führungsöffnung ergibt, wobei die Stäbe zur Führungsöffnung hin etwas abgeschrägt sind. Der Durchmesser der Führungsöffnung soll wenigstens auf einer dem fünffachen Drahtdurchmesser entsprechenden Länge dem Drahtdurchmesser entsprechen, um eine ausreichend genaue Führung sicherzustellen.
  • Die Erfindung sieht insbesondere scheibenförmige Führungskörper aus Isoliermaterial, z. B. Glas oder Keramik vor; die Halbleiterscheibe ist dann zweckmäßig zwischen den Führungskörpern zu haltern, insbesondere wird die Halbleiterscheibe unmittelbar auf einem Führungskörper aufgebracht.
  • Eine besonders bevorzugte Ausführungsform der Erfindung, durch die sehr kleine Abmessungen erreichbar sind, sieht eine Zusammenfassung des Halbleiters und der Führungskörper in einer gemeinsamen Halterung vor, die z. B. beidseitig schraubbar und mit den die Kontaktdrähte aufweisenden Anordnungen insbesondere lösbar verbunden ist.
  • Weitere Einzelheiten der Erfindung werden an Hand der in den Fig. 2 bis 5 für koaxiale Halbleiterverstärker dargestellten Ausführungsbeispiele erläutert.
  • Um die Lage der Kontaktspitzen der Kontaktdrähte 1, 2 eindeutig festzulegen, weisen die scheibenförmigen Führungskörper 3, q, z. B. Glas- oder Keramikscheiben, zentrale Bohrungen 3', . auf, die sich nach außen erweitern, um das Einführen der Drähte zu erleichtern, und bis dicht zur Halbleiterscheibe 5 reichen. In der Nähe des Halbleiters ist die Bohrung im wesentlichen gleich der Drahtstärke, und zwar auf einer größeren Länge, z. B. wenigstens auf einer Länge, die dem fünffachen des Drahtdurchmessers entspricht. Die Halbleiterscheibe 5 ist zwischen den Führungskörpern 3, .4 gehaltert, insbesondere ist sie unmittelbar auf einem dieser Körper aufgebracht, z. B. aufgedampft oder aufgestäubt. Zwischen den beiden Führungskörpern ist noch eine gut leitende Folie 6, z. B. Kupferfolie, eingelegt, die eine mittlere Aussparung aufweist und mit dem Halbleiterkörper 5 gut leitend verbunden ist. Man kann beispielsweise die ringförmige Folie 6 auf den Körper 3 aufbringen, z. B. aufkleben, und dann die Halbleiterschicht aufbringen oder aber zunächst die Halbleiterschicht in einer :'Aussparung des Körpers 3 aufbringen. Zweckmäßig verschließt man dabei die Bohrung 3' auf der Halbleiterseite mit einem Stoff, der sich nach Aufbringen der Schicht wieder leicht herauslösen läßt, z. B. kann man Paraffin oder einen lösbaren Klebstoff verwenden. Die Halbleiterschicht kann unmittelbar in der erforderlichen dünnen Schichtstärke aufgebracht, z. B. aufgedampft werden. Zweckmäßigerweise schleift man aber nachträglich die Schichtdicke auf das notwendige Maß ab.
  • Die die Kontaktdrähte 1, 2 tragenden Innenleiter 7, 8 sind in scheibenförmigen Haltekörpern 9, io aus Keramik o. dgl. befestigt. Die Innenleiter sind zweckmäßig mit Anschlüssen, insbesondere Steckanschlüssen versehen. Der Rückleiter i 1, 12 kann an beiden Enden eingedreht sein, so daß sich die gesamte Halbleiteranordnung aufstecken oder schrauben läßt.
  • Die Gleichstromvorspannung der Halbleiter erfolgt über die Kontaktdrähte 1, 2 und über die Kupferfolie 6. Die Herausführung der Gleichstromzuleitung erfolgt zweckmäßig unter Verwendung von Durchführungskondensatoren 14, 15. In die Gleichstromzuleitung können noch Hochfrequenzdrosseln 16, 17 eingeschaltet sein, und zwar sind diese zweckmäßig in den Innenleitern angeordnet. Die Gleichstromquellen 18, i9 sind insbesondere in einer Schirmung 20 untergebracht, die zweckmäßig mit der Halbleiteranordnung baulich vereinigt ist. In den Innenleitern und/oder Außenleitern sind zweckmäßig Kondensatoren anzuordnen, um eine gleichstrommäßige Trennung sicherzustellen. Beispielsweise ist eine konzentrische kapazitive Überbrückung der Außenleiter bei 21 angedeutet.
  • In Fig.3 ist eine andere Ausführungsform der Führung vergrößert, und zwar nur zum Teil dargestellt. Bei dieser Ausführungsform sind in zentrale Öffnungen der Führungskörper 3, .I zusätzliche Körper 22, 23 eingesetzt, die aus einem gut bearbeitbaren Isolierstoff bestehen und den Führungskanal enthalten. Der Halbleiterkörper 5 ist zwischen den Führungskörpern 1,4 angeordnet und konkav ausgebildet. Die Verbindung mit dem Außenleiter eifolgt über Ringfolien 24, 25.
  • Besonders vorteilhaft wird der Halbleiter mit den Führungen für die Kontaktdrähte als z. B. einschraubbare Einheit ausgebildet, wie es das Ausführungsbeispiel nach Fig.4 zeigt, bei dem eine weitgehende Entkopplung zwischen Eingang und Ausgang erreicht ist. Der Halbleiter 5 ist hier in einem Metallring 26 gefaßt, der in einer die beidseitigen Führungen 3, 4 enthaltenden metallischen Halterung 27 angeordnet ist. Die Halterung kann dabei z. B. aus zwei zusammenschraubbaren Teilen bestehen und beidseitig Schraubanschlüsse tragen. Die so gewonnene Einheit kann sehr klein sein. Die Außenleiter i i, 12 verjüngen sich zu der Halbleitereinheit hin und tragen z. B. Schraubanschlüsse. In den so gebildeten Kegeln können in an sichbekannter Weise in die Innenleiter 7, 8 Widerstände 28, 29 eingefügt sein, die einen wellenwiderstandsrichtigen Abschluß bewirken. Die Widerstände können als Träger der Kontaktdrähte i, 2 ausgebildet sein. Die Innenleiter 7, 8 sind wie im Ausführungsbeispiel der Fig. 2 durch Keramikscheiben 9, 1o o.dgl. gehaltert und können in ihrem Innern die in die Gleichstromzuleitung eingeschalteten Hochfrequenzdrösseln 16, 17 enthalten. Der beidseitige Anschluß an die ankommende und abgehende konzentrische Leitung erfolgt z. B. über Steckanschlüsse. Bei der Verbindungsherstellung ist mit Vorteil für eine gleichstrommäßige Trennung zu sorgen. Beispielsweise können in den Innenleitern rohrförmige und in den Außenleitern scheibenförmige Kondensatoren angeordnet sein.
  • Der Abschlußwiderstand könnte beispielsweise auch scheibenförmig ausgebildet sein. Eine mögliche Ausführungsform zeigt die Fig. 5. Der Halbleiter 5 mit den Führungskörpern 3, 4 befindet sich z. B. zwischen Keramikscheiben 30, 3i, die mit den Außenleitern in Verbindung stehen und auf ihren insbesondere konisch verlaufenden Außenseiten Widerstandsbeläge 32, 33 tragen, die mit den Außenleitern i i, 12 und der metallischen Fassung 26 des Halbleiters in Verbindung stehen.

Claims (7)

  1. PATENTANSPROCHE: i. Halbleiteranordnung, insbesondere Verstärkeranordnung, bei welcher Eingangs- und Ausgangskreis als koaxiale Systeme mit gemeinsamen Rückleiter ausgebildet und der Halbleiter z. B. in Form einer koaxialen Scheibe zwischen den beiden Systemen angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß bis dicht an die Kontaktspitze reichende Führungen für die sich zu beiden Seiten der Halbleiterscheibe befindlichen Kontaktdrähte vorgesehen sind, um die Lage der Kontaktspitzen festzulegen.
  2. 2. Halbleiteranordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß ein, gegebenenfalls zusammengesetzter, Isolierkörper mit sich zum Halbleiter hin verjüngender Führungsöffnung benutzt ist.
  3. 3. Halbleiteranordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Durchmesser der Führungsöffnung mindestens auf einer dem fünffachen Drahtdurchmesser entsprechenden Länge dem Drahtdurchmesser entspricht.
  4. 4. Halbleiteranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch scheibenförmige Führungskörper aus Isoliermaterial, z. B. Glas oder Keramik.
  5. 5. Halbleiteranordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterscheibe zwischen den Führungskörpern gehaltert ist.
  6. 6. Halbleiteranordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterscheibe auf einem Führungskörper aufgebracht ist.
  7. 7. Halbleiteranordnung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Führungskörpern eine mit dem Halbleiter leitend verbundene metallische oder metallisierte, insbesondere scheibenförmige Folie eingelegt ist. B. Halbleiteranordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Folie auf einem der Führungskörper aufgebracht und konzentrisch mit dem Halbleiter verbunden ist. 9. Halbleiteranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Halbleiter und Führungskörper gemeinsam gehaltert sind. io. Halbleiteranordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die die Kontaktdrähte tragende Anordnung mit der Halterung von Halbleiter und Führungskörper, insbesondere lösbar, verbunden ist. i i. Halbleiteranordnung nach Anspruch 9 oder io, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Außenleiter zum Haltekörper des Halbleiters hin konisch verjüngen. 12. Halbleiteranordnung nach Anspruch ii, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb des Konus ein den wellenwiderstandsrichtigen Abschluß bewirkender Widerstand in den Innenleiter eingebaut ist. 13. Halbleiteranordnung nach Anspruch 9 oder io, dadurch gekennzeichnet, daß der Haltekörper für den Halbleiter zwischen Keramikscheiben o. dgl. angeordnet ist, die auf ihren trichterförmigen Außenseiten mit einem Widerstandsbelag versehen sind, durch den der Außenleiter mit der Halbleiterfassung verbunden ist. 14. Halbleiteranordnung'nach einem der vorhergehendenAnsprüche, dadurchgekennzeichnet, daß die die Kontaktdrähte tragende Anordnung mit Anschlüssen, insbesondere Steckanschlüssen versehen ist. 15. Halbleiteranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie mit den Vorspannungsquellen eine bauliche Einheit bildet.
DES1862A 1950-02-25 1950-02-25 Halbleiteranordnung Expired DE820777C (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1104573B (de) * 1956-03-09 1961-04-13 British Thomson Houston Co Ltd Hermetisch abgeschlossenes elektrisches Bauelement zum Anschluss an einen Wellenleiter

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1104573B (de) * 1956-03-09 1961-04-13 British Thomson Houston Co Ltd Hermetisch abgeschlossenes elektrisches Bauelement zum Anschluss an einen Wellenleiter

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