DE737613C - Verfahren zur Metallisierung durch Kathodenzerstaeubung mittels durch Stromdurchgang erhitzter gestreckter Kathoden - Google Patents

Verfahren zur Metallisierung durch Kathodenzerstaeubung mittels durch Stromdurchgang erhitzter gestreckter Kathoden

Info

Publication number
DE737613C
DE737613C DEB173069D DEB0173069D DE737613C DE 737613 C DE737613 C DE 737613C DE B173069 D DEB173069 D DE B173069D DE B0173069 D DEB0173069 D DE B0173069D DE 737613 C DE737613 C DE 737613C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
cathode
current
heating
wires
cathodes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DEB173069D
Other languages
German (de)
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to BE419966D priority Critical patent/BE419966A/xx
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DEB173069D priority patent/DE737613C/de
Priority to FR817807D priority patent/FR817807A/fr
Priority to GB438437A priority patent/GB470614A/en
Priority to US126504A priority patent/US2163480A/en
Application granted granted Critical
Publication of DE737613C publication Critical patent/DE737613C/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
    • C23C14/3421—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target using heated targets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Microwave Tubes (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
DEB173069D 1936-02-21 1936-02-21 Verfahren zur Metallisierung durch Kathodenzerstaeubung mittels durch Stromdurchgang erhitzter gestreckter Kathoden Expired DE737613C (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
BE419966D BE419966A (fr) 1936-02-21
DEB173069D DE737613C (de) 1936-02-21 1936-02-21 Verfahren zur Metallisierung durch Kathodenzerstaeubung mittels durch Stromdurchgang erhitzter gestreckter Kathoden
FR817807D FR817807A (fr) 1936-02-21 1937-02-12 Procédé pour la métallisation par pulvérisation cathodique au moyen de cathodes chauffées
GB438437A GB470614A (en) 1936-02-21 1937-02-13 An improved method of metallisation by cathode disintegration
US126504A US2163480A (en) 1936-02-21 1937-02-18 Metallization by cathode disintegration

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEB173069D DE737613C (de) 1936-02-21 1936-02-21 Verfahren zur Metallisierung durch Kathodenzerstaeubung mittels durch Stromdurchgang erhitzter gestreckter Kathoden
DE470614X 1936-03-10

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE737613C true DE737613C (de) 1943-07-17

Family

ID=32327363

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEB173069D Expired DE737613C (de) 1936-02-21 1936-02-21 Verfahren zur Metallisierung durch Kathodenzerstaeubung mittels durch Stromdurchgang erhitzter gestreckter Kathoden

Country Status (4)

Country Link
BE (1) BE419966A (fr)
DE (1) DE737613C (fr)
FR (1) FR817807A (fr)
GB (1) GB470614A (fr)

Also Published As

Publication number Publication date
GB470614A (en) 1937-08-18
BE419966A (fr)
FR817807A (fr) 1937-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2729286C2 (fr)
DE2417288A1 (de) Zerstaeubungsvorrichtung
DE2213419A1 (de) Verfahren zur verringerung der ozonerzeugung
DE737613C (de) Verfahren zur Metallisierung durch Kathodenzerstaeubung mittels durch Stromdurchgang erhitzter gestreckter Kathoden
DE1953659B2 (de) Ionenquelle für die Zerstäubung mit langsamen Ionen
DE2341541A1 (de) Verfahren und einrichtung zur elektrostatischen schwebstoffabscheidung
DE2527609B2 (de) Verfahren zur erzeugung eines magnetfeldes in einer eine anode und eine kathode enthaltenden ionenquelle
DE1204342B (de) Vorrichtung zum Ablenken von Elektronen-strahlen hoher Energie und Intensitaet
DE935262C (de) Hochvakuum-Roentgenblitzroehre, bei der einer kegelfoermigen Anode eine hohlkegelfoermige Kathode gegenuebersteht
AT152816B (de) Verfahren und Vorrichtung zur Metallisierung durch Kathodenzerstäubung mittels erhitzter Kathoden.
CH195666A (de) Verfahren zur Metallisierung durch Kathodenzerstäubung mittels erhitzter Kathode.
DE627634C (de) Anordnung zur elektrischen Gasreinigung
DE574652C (de) Verfahren zum Betriebe von Elektrofiltern
DE343532C (de) Schaltungsanordnung zur Erzielung zeitlich gleichmaessig steigender oder fallender elektrischer Spannungen, insbesondere fuer Messzwecke
DE751159C (de) Entladungsroehre mit mindestens folgenden Elektroden: einer Kathode, einem Steuergitter, einer Anode und einem Schirmgitter zwischen Anode und Steuergitter, zwischen deren Schirmgitter und Anode sich eine Bremsraumladung ausbilden soll
DE1690684A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Spruehen mit Hochfrequenz
DE1772154C3 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Aufladen einer elektrisch isolierenden Fläche durch Korona-Entladung mit negativen Ladungsträgern
DE704505C (de) Verfahren zur Verbesserung des Wirkungsgrades der Stromerzeugung in Gas- oder Dampfentladungsgefaessen
DE922357C (de) Mehrfachgenerator mit einem Elektronenstrahlrohr
DE3132710A1 (de) Vorrichtung zur herstellung von schichten auf einem flaechenhaften traeger
DE903610C (de) Einrichtung zur Frequenzumwandlung
DE911874C (de) Gasgefuellte Kaltkathoden-Entladungsroehre
DE495562C (de) Gluehkathodengleichrichterroehre
DE1557192A1 (de) Elektrofilter
DE2925712A1 (de) Verfahren zur herstellung von elektrodensystemen und durch dieses verfahren hergestellte elektrodensysteme