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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium,
wie beispielsweise eine magnetooptische Platte, ein magnetooptisches
Band und eine magnetooptische Karte, und betrifft im Besonderen
ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium, das zu einer Wiedergabe
mit magnetisch induzierter Superauflösung in der Lage ist, und ein
Verfahren zum Herstellen eines magnetooptischen Aufzeichnungsmediums.
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In
dem bevorstehenden Multimedia-Zeitalter wird eine magnetooptische
Platte als führender
Speicher zum Speichern massenhafter Daten angesehen, und es wird
gewünscht,
dass ihre Aufzeichnungskapazität weiter
zunimmt. Um die Aufzeichnungsdichte einer magnetooptischen Platte
zu erhöhen,
muss eine Länge
einer Aufzeichnungsmarkierung kürzer
als ein Punktdurchmesser eines Laserstrahls gemacht werden und muss das
Intervall zwischen Aufzeichnungsmarkierungen verringert werden.
Es ist vergleichsweise einfach, solch eine kleine Aufzeichnungsmarkierung
zu bilden. Jedoch ist bei der Wiedergabe einer kleinen Aufzeichnungsmarkierung
eine reproduzierbare Aufzeichnungsmarkierungslänge auf Grund der Beschränkung der
Wellenlänge λ des bei
der Wiedergabe verwendeten Laserstrahls und der numerischen Apertur
NA einer Objektivlinse begrenzt.
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Deshalb
ist ein Verfahren zu einer Wiedergabe mit magnetisch induzierter
Superauflösung
(MSR) zum Wiedergeben einer Markierung in einem Laserpunkt durch
magnetisches Maskieren von Markierungen, außer der wiederzugebenden Markierung,
mit einem initialisierenden Magnetfeld und einem Wiedergabemagnetfeld vorgeschlagen
worden, welche Markierun gen kleiner als ein Laserpunktdurchmesser
aufgezeichnet wurden.
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Als
Gegenmaßnahme
hat der jetzige Anmelder in der
japanischen
offengelegten Patentanmeldung Nr. 7-244877 (
US-Patent-Nr. 5,623,458 ) ein MSR-Wiedergabeverfahren
vorgeschlagen, das gegenüber
dem obenerwähnten
Verfahren verbessert ist. Bei diesem Wiedergabeverfahren werden
Daten von einem Zwischentemperaturbereich unter Anwendung eines
Wiedergabemagnetfeldes von mehreren Hundert Oe gelesen, und zwar
wird eine Doppelmaske in einem Niedrigtemperaturbereich und einem
Hochtemperaturbereich gebildet, um eine Wiedergabe mit hoher Auflösung zu
realisieren, ohne einen Initialisierungsmagneten zu verwenden. Die
bei diesem Wiedergabeverfahren verwendete magnetooptische Platte
enthält
eine Wiedergabeschicht, eine Zwischenschicht und eine Aufzeichnungsschicht
aus einer Seltene-Erden-Übergangsmetall-Legierung.
Eine vordere Maske wird in einem Niedrigtemperaturbereich unter
Ausnutzung einer Temperaturverteilung gebildet, die in dem Laserpunkt
durch Rotieren des Mediums und Einstrahlen eines Laserstrahls zur Wiedergabe
verursacht wird, und eine hintere Maske wird in einem Hochtemperaturbereich
gebildet. In dem Zwischentemperaturbereich wird die Magnetisierungsrichtung
der Aufzeichnungsschicht auf die Wiedergabeschicht übertragen.
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Wenn
eine magnetooptische Ausgabe in der magnetooptischen Platte detektiert
wird, kann ein magnetooptisches Signal von dem Niedrigtemperaturbereich
und dem Hochtemperaturbereich in einem Laserpunkt auf Grund der
darin gebildeten Masken nicht gelesen werden, sondern nur von dem
Zwischentemperaturbereich gelesen werden. Daher kann in der magnetooptischen
Platte, die durch den jetzigen Anmelder vorgeschlagen wird, eine
Aufzeichnungsmarkierung mit hoher Auflösung von einem Bereich, der
wesentlich schmaler als ein Laserpunkt ist, unter Anwendung eines
Magnetfeldes von mehreren Hundert Oe bei der Wiedergabe gelesen
werden, ohne einen großen
Initialisierungsmagneten zu verwenden.
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Der
Magnetfilm wie etwa die Wiedergabeschicht, Zwischenschicht und Aufzeichnungsschicht
wird auf der Basis der elementaren Zusammensetzung der Seltene-Erden-Übergangsmetall-Legierungen,
die festgelegt worden ist, durch Sputtern gebildet. Jedoch weichen
die magnetischen Charakteristiken des Magnetfilms ab, wenn der Typ
der Filmbildungsvorrichtung und die Bedingung, unter der der Film
gebildet wird, abweichen, selbst wenn die elementare Zusammensetzung
des zu bildenden Films feststeht. Dies führt zu den obigen Problemen,
wobei die Produktion der magnetooptischen Platte mit gutem Wiedergabevermögen, die
gewünschte magnetische
Charakteristiken wie z. B. den für
das Produkt benötigten
Jitter hat, behindert wird. Selbst wenn der Film unter Verwendung
derselben Vorrichtung und unter derselben Bedingung gebildet wird,
kann ferner die Filmzusammensetzung trotzdem abweichen, weil das
Target in der Vorrichtung im Laufe der sukzessiven Bearbeitung einer
großen
Anzahl von magnetooptischen Platten verschlissen ist. Dies behindert
die Produktion der magnetooptischen Platte mit gutem Wiedergabevermögen, die
verschiedenartige Charakteristiken hat, die für ein Produkt benötigt werden.
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In
einer gegenwärtig
verwendeten magnetooptischen Platte mit einer Aufzeichnungskapazität von 640 MB
auf einer Seite beträgt
die Spurteilung 1,1 μm,
und eine minimale Markierungslänge
von darin aufgezeichneten Aufzeichnungsmarkierungen beträgt 0,64 μm. Um die
Aufzeichnungskapazität weiter
zu erhöhen,
so dass die Daten zum Beispiel 1,3 GB ausmachen, müsste die
Spurteilung 0,9 μm
betragen und müsste
eine minimale Aufzeichnungsmarkierung mit einer Länge von
0,38 μm
reproduzierbar sein.
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Wenn
Daten im Umfang von 1,0 GB oder mehr in der obengenannten magnetooptischen
Platte, die zur MSR-Wiedergabe fähig
ist, aufgezeichnet werden und von ihr wiedergegeben werden, ist
die Spurteilung so eng, dass die Bildung der Masken instabil ist,
und eine Aufzeichnungsenergie-Jittertoleranz wird in Abhängigkeit
von den magnetischen Charakteristiken der Aufzeichnungsschicht,
der Zwischenschicht und der Wiedergabeschicht verringert. Obwohl
die maximale Leistung des existierenden magnetooptischen Laufwerks
auf Grund der Größenreduzierung
und Energieersparnis auf ungefähr
300 Oe begrenzt ist, ist ferner in manchen Fällen ein Wiedergabemagnetfeld
größer als
300 Oe in Abhängigkeit
von den magnetischen Charakteristiken der Aufzeichnungsschicht,
der Zwischenschicht und der Wiedergabeschicht erforderlich. Wenn
darüber
hinaus Daten mit hoher Dichte wiederholt aufgezeichnet/wiedergegeben
werden, wird in Abhängigkeit
von den magnetischen Charakteristiken der Aufzeichnungsschicht,
der Zwischenschicht und der Wiedergabeschicht die Qualität von Wiedergabesignalen
leicht verschlechtert und wird die Beständigkeit verringert.
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KURZE ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung wurde erdacht, um die obenerwähnten herkömmlichen
Probleme zu überwinden.
Eine Aufgabe der Erfindung ist das Vorsehen eines magnetooptischen
Aufzeichnungsmediums mit gutem Wiedergabevermögen, das gewünschte magnetische
Charakteristiken hat, indem der Magnet film nicht mit der elementaren
Zusammensetzung sondern mit der Sättigungsmagnetisierung spezifiziert
wird.
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Ein
anderes Ziel der Erfindung ist das Vorsehen eines Magnetfilms mit
einer Sättigungsmagnetisierung
innerhalb eines vorbestimmten Bereichs oder eines Magnetfilms mit
einer Curie-Temperatur innerhalb eines vorbestimmten Bereichs, um
ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium zur Wiedergabe mit magnetisch
induzierter Superauflösung
von Daten vorzusehen, die mit einer hohen Dichte von 1,0 GB oder
mehr auf einer Seite bei einer Größe von 3,5 Zoll aufgezeichnet
wurden, unter Anwendung eines Wiedergabemagnetfeldes von 300 Oe
oder weniger, wobei eine Aufzeichnungsenergie-Jittertoleranz auf
einem zweckmäßigen Niveau
gehalten wird.
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Ein
anderes Ziel der Erfindung ist ferner das Vorsehen eines magnetooptischen
Aufzeichnungsmediums mit hoher Beständigkeit gegenüber einer
wiederholten Aufzeichnung/Wiedergabe, worin Daten mit hoher Dichte
aufzuzeichnen sind.
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Gemäß einem
ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein magnetooptisches
Aufzeichnungsmedium vorgesehen, das eine Magnetfilmstapelstruktur
hat, enthaltend: eine Aufzeichnungsschicht und eine Wiedergabeschicht,
die jeweils aus Magnetfilmen bestehen, die eine leichte Magnetisierungscharakteristik
längs einer
Stapelrichtung haben; und eine Zwischenschicht, die zwischen der
Aufzeichnungsschicht und der Wiedergabeschicht als ein Magnetfilm
ausgebildet ist, der eine leichte Magnetisierungscharakteristik
längs einer innerhalb
der Ebene liegenden Richtung bei Raumtemperatur hat, welche Aufzeichnungsschicht,
Wiedergabeschicht und Zwischenschicht eine Sättigungsmagnetisierung in einem
Bereich von 50 emu/cc bis 150 emu/cc, 8 emu/cc bis 100 emu/cc bzw.
140 emu/cc bis 250 emu/cc bei Raumtemperatur haben; dadurch gekennzeichnet,
dass die Zwischenschicht aus einem Seltene-Erden-Übergangsmetall
von GdFeCo besteht, enthaltend ein nichtmagnetisches Metall, das
aus der Gruppe ausgewählt
ist, die aus Si, Al und Cr besteht.
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Da
bei dieser Erfindung das nichtmagnetische Metall zu der Zwischenschicht
hinzugefügt
wird, kann die Curie-Temperatur der Zwischenschicht verringert werden,
wobei ihre anderen magnetischen Charakteristiken beibehalten werden.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung werden die Bereiche der Sättigungsmagnetisierung der
Wiedergabeschicht, der Zwischenschicht und der Aufzeichnungsschicht
spezifiziert, so dass mit hoher Dichte aufgezeichnete Daten in dem
MSR-Medium durch
Anwendung eines Wiedergabemagnetfeldes von 300 Oe oder weniger reproduziert
werden können.
Eine vordere Maske, die in einem Niedrigtemperaturbereich bei der
Wiedergabe gebildet wird, hängt
mit der Sättigungsmagnetisierung
der Zwischenschicht und der Aufzeichnungsschicht zusammen, und eine
hintere Maske, die in einem Hochtemperaturbereich gebildet wird,
hängt mit
der Sättigungsmagnetisierung
der Wiedergabeschicht zusammen. In jedem der Magnetfilme wird ein
Wert der Sättigungsmagnetisierung
als untere Grenze festgelegt, bei dem beide Masken der entsprechenden
Bereiche unter Anwendung eines Wiedergabemagnetfeldes von 300 Oe
oder weniger gebildet werden können.
Ferner wird ein Wert der Sättigungsmagnetisierung
als obere Grenze festgelegt, bei dem die Wiedergabequalität durch wiederholte
Aufzeichnung/Wiedergabe nicht verschlechtert werden kann.
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EP-A-0583720 (vgl.
den Oberbegriff von Anspruch 1) offenbart ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium
mit einer Wiedergabeschicht, einer Aufzeichnungsschicht und einer dazwischenliegenden
Schaltschicht. Die Wiedergabeschicht wird hauptsächlich aus GdFeCo hergestellt
und hat eine Sättigungsmagnetisierung
Ms1 unter 150 emu/cc, falls sie TM-reich ist, bei Raumtemperatur und unter
160 emu/cc, falls sie RE-reich ist, bei Raumtemperatur. Die Schaltschicht
wird hauptsächlich
aus TbFeCo hergestellt und hat eine Curie-Temperatur, die im Bereich von 60°C bis 200°C und unter
den Curie-Temperaturen der Wiedergabe- und Aufzeichnungsschichten
liegt. Die Aufzeichnungsschicht wird hauptsächlich aus TbFeCo hergestellt
und hat eine Sättigungsmagnetisierung
Ms3 unter 100 emu/cc, falls sie TM-reich ist, bei Raumtemperatur
und unter 160 emu/cc, falls sie RE-reich ist, bei Raumtemperatur.
Die Aufzeichnungsschicht ist RE-reich, wenn die Wiedergabeschicht
TM-reich ist. Die Differenz Ms1–Ms3
zwischen der Sättigungsmagnetisierung
Ms1 und der Sättigungsmagnetisierung
Ms3 beträgt
40 emu/cc oder weniger.
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Ferner
hängt die
Größe des Wiedergabemagnetfeldes
zum Bilden einer vorderen Maske bei der Wiedergabe mit der Sättigungsmagnetisierung
der Aufzeichnungsschicht zusammen. Gemäß der vorliegenden Erfindung
ist der Bereich der Sättigungsmagnetisierung
der Aufzeichnungsschicht so spezifiziert, dass eine vordere Maske
durch Anwenden eines kleinen Magnetfeldes gebildet werden kann.
Da die Bildung einer vorderen Maske die Wiedergabe einer kleinen
Aufzeichnungsmarkierung weitgehend beeinflusst, wird die Sättigungsmagnetisierung
der Aufzeichnungsschicht darüber
hinaus so angepasst, um die Größe des für die MSR-Wiedergabe
verwendeten Wiedergabemagnetfeldes anzupassen.
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In
dem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium dieser Erfindung haben
die Wiedergabeschicht, die Zwischenschicht und die Aufzeichnungsschicht
Curie-Temperaturen von 240°C
bis 350°C,
160°C bis
220°C bzw.
240°C bis
350°C.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung sind die Bereiche der Curie-Temperaturen der Wiedergabeschicht, der
Zwischenschicht und der Aufzeichnungsschicht so spezifiziert, dass
mit hoher Dichte aufgezeichnete Daten in dem MSR-Medium unter Verwendung
eines gegenwärtig
verwendeten magnetooptischen Laufwerks wiedergegeben werden können. Die
Bereiche der Curie-Temperaturen der jeweiligen magnetischen Schichten werden
unter Berücksichtigung
der Energiegrenze einer Lichtquelle, die das magnetooptische Laufwerk
enthält,
der Bildung einer Doppelmaske unter Anwendung eines Wiedergabemagnetfeldes
von 300 Oe oder weniger und des Erhalts einer ausreichenden Wiedergabeenergietoleranz
bestimmt.
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In
dem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium dieser Erfindung werden
die Wiedergabeschicht und die Aufzeichnungsschicht aus Seltene-Erden-Übergangsmetallen
von GdFeCo bzw. TbFeCo hergestellt.
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Das
magnetooptische Aufzeichnungsmedium dieser Erfindung kann ferner
ein Substrat, eine schützende
Harzschicht und eine Wärmeleitschicht
umfassen. Und die Wiedergabeschicht, die Zwischenschicht, die Aufzeichnungsschicht
und die Wärmeleitschicht
sind in dieser Reihenfolge auf dem Substrat gestapelt, und jeweilige
unverhüllte
Oberflächen
des magnetooptischen Aufzeichnungsmediums sind mit der schützenden Harzschicht
bedeckt.
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In
dem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium dieser Erfindung werden
Daten durch Bestrahlung des Mediums durch das Substrat mit einem
Lichtstrahl aufgezeichnet/wiedergegeben. Auf Grund der Wärmeleitschicht
kann Wärme
deshalb in der planaren Richtung ausgebreitet werden, und die Beständigkeit des
magnetooptischen Aufzeichnungsmediums kann verbessert werden. Da
die Oberflächen
des Mediums mit der schützenden
Harzschicht wie beispielsweise der UV-härtenden Harzschicht bedeckt
sind, kann ferner verhindert werden, dass das Substrat und die magnetischen
Schichten von außen
beschädigt
und abgenutzt werden, was zu einer Verbesserung der Beständigkeit
führt.
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Das
magnetooptische Aufzeichnungsmedium dieser Erfindung kann ferner
ein Substrat, eine schützende
Harzschicht und eine Wärmeleitschicht
enthalten. Und die Wiedergabeschicht, die Zwischenschicht, die Aufzeichnungsschicht
und die Wärmeleitschicht
sind in dieser Reihenfolge auf dem Substrat gestapelt, und jeweilige
unverhüllte
Oberflächen
des magnetooptischen Aufzeichnungsmediums sind mit der schützenden Harzschicht
bedeckt.
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Bei
der vorliegenden Erfindung werden Daten durch Bestrahlung des magnetooptischen
Aufzeichnungsmediums durch die gegenüberliegende Seite des Substrats
mit einem Lichtstrahl aufgezeichnet/wiedergegeben. Auf Grund der
Wärmeleitschicht
kann Wärme
deshalb in der planaren Richtung des Mediums ausgebreitet werden
und kann die Beständigkeit
des magnetooptischen Aufzeichnungsmediums verbessert werden. Da
die Oberflächen
des Mediums des Weiteren mit der schützenden Harzschicht wie etwa
der UV-härtenden
Harzschicht bedeckt sind, kann verhindert werden, dass das Substrat
und die magnetischen Schichten von außen beschädigt und abgenutzt werden,
was zu einer Verbesserung der Beständigkeit führt.
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In
dem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium dieser Erfindung hat die
Wärmeleitschicht
eine Dicke von 5 nm bis 25 nm.
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Die
Dicke der Wärmeleitschicht
dieser Erfindung beträgt
vorzugsweise 5 nm bis 25 nm. In dem Wärmeleitfilm, der zum Beispiel
aus AlTi hergestellt wird, kann keine ausreichende Signalqualität erhalten
werden, wenn die Dicke kleiner als 5 nm ist. In dem Wärmeleitfilm,
der aus AlCr hergestellt wird, ist die Tendenz zu verzeichnen, dass
die Aufzeichnungsenergieempfindlichkeit verschlechtert wird, wenn
die Dicke größer als
25 nm ist.
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In
dem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium dieser Erfindung ist eine
erste dielektrische Schicht mit einer Dicke von 65 nm bis 110 nm
zwischen dem Substrat und der Wiedergabeschicht gebildet und ist
eine zweite dielektrische Schicht mit einer Dicke von 20 nm bis
60 nm zwischen der Aufzeichnungsschicht und der Wärmeleitschicht
gebildet.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung hat der erste dielektrische Film vorzugsweise eine Dicke
von 65 nm bis 110 nm und hat der zweite dielektrische Film vorzugsweise
eine Dicke von 20 nm bis 60 nm. In der Wärmeleitschicht, die zum Beispiel
aus AlCr gebildet ist, kann keine ausreichende Signalqualität erhalten
werden, wenn der erste dielektrische Film eine Dicke kleiner als
65 nm hat. In der Wärmeleitung,
die aus AlTi hergestellt ist, ist die Tendenz zu verzeichnen, dass
die Aufzeichnungsenergieempfindlichkeit verschlechtert wird, wenn
der erste dielektrische Film eine Dicke größer als 110 nm hat. Ungeachtet
dessen, ob nun AlCr oder AlTi für
die Wärmeleitschicht
verwendet wird: es kann keine ausreichende Beständigkeit gegenüber der
Umgebung erhalten werden, wenn die zweite dielektrische Schicht
eine Dicke kleiner als 20 nm hat; und die Aufzeichnungsenergieempfindlichkeit
tendiert dazu, verschlechtert zu werden, wenn sie eine Dicke größer als
60 nm hat.
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In
dem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium ist jeder Magnetfilm auf
einem Substrat gebildet, das einen Steg- oder Landteil und einen
Nutteil enthält,
und eine Aufzeichnungsmarkierung ist in dem Landteil gebildet.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung ist eine Aufzeichnungsmarkierung in dem Landteil gebildet,
und der Nutteil wird zur Spursteuerung verwendet. In dem magnetooptischen
Aufzeichnungsmedium solch eines Steg- oder Landaufzeichnungssystems
kann, selbst wenn die Spurteilung lediglich ungefähr 0,85 μm bis 0,9 μm beträgt, sowohl
eine vordere Maske als auch eine hintere Maske durch Anwenden eines
kleinen Wiedergabemagnetfeldes von 300 Oe oder weniger gebildet
werden und können
mit hoher Dichte aufgezeichnete Daten von dem MSR-Medium wiedergegeben
werden.
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Alternativ
dazu hat das magnetooptische Aufzeichnungsmedium dieser Erfindung
eine Magnetfilmstapelstruktur, die wenigstens eine Wiedergabeschicht,
eine Zwischenschicht und eine Aufzeichnungsschicht enthält, sind
die Wiedergabeschicht und die Aufzeichnungsschichten Magnetfilme,
die auf einem Substrat gebildet sind, das einen Landteil und einen
Nutteil enthält,
wobei sie eine leichte Magnetisierungscharakteristik entlang der
Stapelrichtung haben, ist die Zwischenschicht ein Magnetfilm, der
eine leichte Magnetisierungscharakteristik entlang der planaren
Richtung hat, hat der Landteil eine Breite von 0,72 μm bis 0,76 μm, wobei
er mit einer Teilung von ungefähr
0,9 μm gebildet
ist, und haben die Wiedergabeschicht, die Zwischenschicht und die
Aufzeichnungsschicht eine Sättigungsmagnetisierung
von 8 emu/cc bis 100 emu/cc, 140 emu/cc bis 250 emu/cc bzw. 50 emu/cc
bis 150 emu/cc bei Raumtemperatur und eine Curie- Temperatur von 240°C bis 350°C, 160°C bis 220°C bzw. 240°C bis 350°C.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung sind die Bereiche der Sättigungsmagnetisierung und
der Curie-Temperaturen der Wiedergabeschicht, der Zwischenschicht
und der Aufzeichnungsschicht spezifiziert. Daher kann eine Aufzeichnungsmarkierung,
die mit solch einer hohen Dichte aufgezeichnet ist, dass der Landteil mit
einer Breite von 0,72 μm
bis 0,76 μm
mit einer Teilung von ungefähr
0,9 μm gebildet
ist, nämlich
bei einer Spurteilung von ungefähr
0,9 μm,
unter Beibehaltung einer zweckmäßigen Aufzeichnungsenergie-Jittertoleranz
wiedergegeben werden.
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Gemäß einem
zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum
Herstellen eines magnetooptischen Aufzeichnungsmediums vorgesehen,
das eine Magnetfilmstapelstruktur hat, die eine Wiedergabeschicht,
eine Zwischenschicht und eine Aufzeichnungsschicht enthält, enthaltend
die Schritte: Ausbilden der Wiedergabeschicht oder der Aufzeichnungsschicht,
die eine leichte Magnetisierungscharakteristik längs einer Stapelrichtung hat,
auf einem Substrat; Ausbilden der Zwischenschicht, die eine leichte
Magnetisierungscharakteristik längs
einer in der Ebene liegenden Richtung bei Raumtemperatur hat, auf
der Wiedergabeschicht oder der Aufzeichnungsschicht; und Ausbilden
entsprechend der Aufzeichnungsschicht oder der Wiedergabeschicht,
die eine leichte Magnetisierungscharakteristik längs einer Stapelrichtung hat,
auf der Zwischenschicht, welche Wiedergabeschicht, Zwischenschicht
und Aufzeichnungsschicht so ausgebildet werden, um eine Sättigungsmagnetisierung
in einem Bereich von 8 emu/cc bis 100 emu/cc, 140 emu/cc bis 250
emu/cc bzw. 50 emu/cc bis 150 emu/cc bei Raumtemperatur zu haben,
dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenschicht aus einem Seltene-Erden-Übergangsmetall
von GdFeCo besteht, enthaltend ein nichtmagnetisches Metall, das
aus der Gruppe ausgewählt
wird, die aus Si, Al und Cr besteht.
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Bei
dem Herstellungsverfahren des magnetooptischen Aufzeichnungsmediums
dieser Erfindung wird die Wiedergabeschicht aus einem Seltene-Erden-Übergangsmetall
von GdFeCo hergestellt und wird die Aufzeichnungsschicht aus einem
Seltene-Erden-Übergangsmetall
von TbFeCo hergestellt.
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Da
bei der vorliegenden Erfindung die Wiedergabeschicht, die Zwischenschicht
und die Aufzeichnungsschicht so gebildet werden, dass deren Sättigungsmagnetisierung
spezifische Werte hat, kann mit Sicherheit ein magnetooptisches
Aufzeichnungsmedium erhalten werden, das gewünschte magnetische Charakteristiken
für die
Aufzeichnung mit hoher Dichte und Wiedergabe hat, und kann auch
die Curie-Temperatur der Zwischenschicht verringert werden, wobei
die anderen magnetischen Charakteristiken beibehalten werden. Des
Weiteren wird die Beständigkeit
des magnetooptischen Aufzeichnungsmediums auf Grund der Wärmeleitschicht
verbessert. Und da die beiden Flächen
des Mediums mit der schützenden
Harzschicht wie beispielsweise der UV-härtenden Harzschicht bedeckt
sind, kann verhindert werden, dass das Substrat und die magnetischen
Schichten von außen
beschädigt
und abgenutzt werden, was zu einer Verbesserung der Beständigkeit
führt.
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Die
obigen und weitere Ziele und Merkmale der Erfindung gehen aus der
folgenden eingehenden Beschreibung mit den beiliegenden Zeichnungen
deutlicher hervor.
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KURZE BESCHREIBUNG DER VERSCHIEDENEN ANSICHTEN
DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine Schnittansicht zum Darstellen einer Filmstruktur einer magnetooptischen
Platte der vorliegenden Erfindung;
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2 ist
ein Diagramm zum Darstellen einer Filmstruktur einer magnetooptischen
Platte gemäß der Erfindung
und eines darin bei der Wiedergabe erreichten Magnetisierungszustandes;
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3 ist
ein Graph zum Darstellen einer Aufzeichnungsenergie-Jittertoleranz
in der magnetooptischen Platte gemäß Ausführungsform 1 der Erfindung;
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4 ist
ein Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen der Sättigungsmagnetisierung
einer Wiedergabeschicht und einem Wiedergabemagnetfeld, das zum
Bilden einer Maske erforderlich ist, bei der Erfindung;
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5 ist
ein Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen der Sättigungsmagnetisierung
der Wiedergabeschicht und der Qualität eines Wiedergabesignals bei
der Erfindung;
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6 ist
ein Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen der Sättigungsmagnetisierung
einer Zwischenschicht und einem Wiedergabemagnetfeld, das zum Bilden
einer Maske erforderlich ist, bei der Erfindung;
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7 ist
ein Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen der Sättigungsmagnetisierung
der Zwischenschicht und der Qualität eines Wiedergabesignals bei
der Erfindung;
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8 ist
ein Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen der Sättigungsmagnetisierung
einer Aufzeichnungsschicht und einem Wiedergabemagnetfeld, das zum
Bilden einer Maske erforderlich ist, bei der Erfindung;
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9 ist
ein Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen der Sättigungsmagnetisierung
der Aufzeichnungsschicht und der Qualität eines Wiedergabesignals bei
der Erfindung;
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10 ist
ein Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen der Curie-Temperatur
der Aufzeichnungsschicht und der Aufzeichnungsenergie bei der Erfindung;
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11 ist
ein Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen einer Umgebungstemperatur
der magnetooptischen Platte und der Aufzeichnungsenergie bei der
Erfindung;
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12 ist
ein Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen der Curie-Temperatur
der Zwischenschicht und der Wiedergabeenergie bei der Erfindung;
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13 ist
ein Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen der Achse der leichten
Magnetisierung der Zwischenschicht und einem Wiedergabemagnetfeld
bei der Erfindung;
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14 ist
ein Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen der Curie-Temperatur
und der Achse der leichten Magnetisierung der Zwischenschicht bei
der Erfindung;
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15 ist
ein Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen der Curie-Temperatur
der Aufzeichnungsschicht und der Energie eines Laserstrahls bei
der Erfindung;
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16 ist
ein Graph zum Darstellen einer Aufzeichnungsenergie-Jittertoleranz
und eines erforderlichen Wiedergabemagnetfeldes bei einem Vergleichsbeispiel;
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17 ist
ein Graph zum Darstellen einer Wiedergabecharakteristik gegenüber einer
Spurteilung und einem erforderlichen Wiedergabemagnetfeld in einer
magnetooptischen Platte eines Landaufzeichnungssystems gemäß Ausführungsform
2;
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18 ist
ein Graph zum Darstellen einer Wiedergabecharakteristik gegenüber einer
Spurteilung und einem erfor derlichen Wiedergabemagnetfeld in einer
magnetooptischen Platte eines Nutaufzeichnungssystems gemäß Ausführungsform
2;
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19 ist
ein Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen einer Spurteilung
und einem Wiedergabemagnetfeld, das zum Bilden einer Maske erforderlich
ist, in Ausführungsform
2;
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20 ist
ein Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen einer Aufzeichnungsschicht
und einem Wiedergabemagnetfeld, das zum Bilden einer Maske erforderlich
ist, in Ausführungsform
2;
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21 ist
ein Graph zum Darstellen einer Aufzeichnungsenergie-Jittertoleranz
in einer magnetooptischen Platte gemäß Ausführungsform 5; und
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22 ist
eine Schnittansicht zum Darstellen der Filmstruktur einer magnetooptischen
Platte gemäß Ausführungsform
6.
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EINGEHENDE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung wird nun auf der Basis von Zeichnungen, die
bevorzugte Ausführungsformen
derselben zeigen, eingehend beschrieben.
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Ausführungsform
1:
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1 ist
eine Schnittansicht zum Darstellen der Filmstruktur einer magnetooptischen
Platte gemäß der Erfindung.
Die magnetooptische Platte 1 enthält eine untere dielektrische
Schicht 13 aus SiN, eine Wiedergabeschicht 14 aus
GdFeCo, eine Zwischenschicht 15 aus GdFeCoSi, eine Aufzeichnungsschicht 16 aus TbFeCo,
eine obere dielektrische Schicht 17 aus SiN und eine Wärmeleitschicht 18 aus
AlCr, die in dieser Reihenfolge auf einem Substrat 12 aus
Polycarbonat gestapelt sind. Die äußersten Schichten der beiden
Flächen der
magnetooptischen Platte 1, das heißt, die unverhüllten Oberflächen des
Substrats 12 und der Wärmeleitschicht 18,
sind mit UV-härtenden
Filmen 11 bzw. 19 bedeckt.
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Das
Substrat 12 ist ein Landsubstrat mit einer Nut zur Spurverfolgung
und hat einen Durchmesser von 3,5 Zoll und eine Dicke von 1,2 mm.
Die Tiefe der Nut beträgt
67 nm, ein Landteil ist mit einer Spurteilung von 0,9 μm gebildet,
und die Breite des Landteils beträgt 0,73 μm. Dabei ist die Tiefe der Nut
gegeben als λ/(6,5n) nm,
wobei λ eine
Wellenlänge
eines Laserstrahls ist und speziell 685 nm beträgt; n einen Brechungsindex
des Substrats angibt; und n = 1,58 ist. Die Breite des Landteils
ist als halbe Bandbreite der Tiefe der Nut gegeben.
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Die
Wiedergabeschicht 14 ist ein Film aus Gd24,6Fe61,8Co13,6 mit einer
Dicke von 41 nm, worin die Magnetisierung des Übergangsmetalls dominant ist
(welcher Zustand nachfolgend als TM-reich bezeichnet wird), und
hat eine Achse der leichten Magnetisierung in einer senkrechten
Richtung, nämlich
der Stapelrichtung. Und die Wiedergabeschicht 14 hat eine
Sättigungsmagnetisierung,
die bei Raumtemperatur (10°C
bis 35°C) niedriger
als 100 emu/cc ist und die ansteigt, wenn sich die Temperatur bis
auf ungefähr
170°C erhöht. Die Wiedergabeschicht 14 hat
eine Curie-Temperatur
von im Wesentlichen 270°C
und eine Koerzitivkraft kleiner als 1,5 kOe bei Raumtemperatur.
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Die
Zwischenschicht 15 ist ein Film aus (Gd33,8Fe62,4Co3,8)92Si8 mit einer Dicke
von 41 nm, worin die Seltenerd-Magnetisierung dominant ist (welcher
Zustand nachfolgend als RE-reich bezeichnet wird), der keine Kompensationstemperatur
bis zur Curie-Temperatur hat, wobei die Achse der leichten Magnetisierung
bei Raumtemperatur (10°C
bis 35°C)
in einer planaren Richtung liegt. Wenn die Temperatur die vorbestimmte Temperatur,
nämlich
die Raumtemperatur, erreicht und überschreitet, verändert sich
die Achse der leichten Magnetisierung von der planaren Richtung
in die senkrechte Richtung. Die Zwischenschicht 15 hat
eine Sättigungsmagnetisierung,
die bei Raumtemperatur kleiner als 250 emu/cc ist und die einfach
abnimmt, wenn sich die Temperatur bis auf eine Curie-Temperatur
von ungefähr
180°C erhöht. Die
Zwischenschicht 15 enthält
Si, das heißt
ein nichtmagnetisches Element, um die Curie-Temperatur niedrig einzustellen.
Die Zwischenschicht 15 kann ein anderes Element wie beispielsweise
Al und Cr anstelle von Si enthalten.
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Die
Aufzeichnungsschicht 16 ist ein Film aus Tb22,2Fe60,3Co17,5 mit einer
Dicke von 50 nm, ist TM-reich und hat eine Achse der leichten Magnetisierung
in der senkrechten Richtung. Die Aufzeichnungsschicht hat eine Sättigungsmagnetisierung,
die bei Raumtemperatur kleiner als 150 emu/cc ist und die zunimmt,
wenn sich die Temperatur bis auf ungefähr 150°C erhöht. Die Aufzeichnungsschicht 16 hat
eine Curie-Temperatur von im Wesentlichen 270°C und eine Koerzitivkraft, die
bei Raumtemperatur größer als
10 kOe ist. Wenn Curie-Temperaturen der Wiedergabeschicht 14,
der Zwischenschicht 15 und der Aufzeichnungsschicht 16 mit
Tc1, Tc2 bzw. Tc3 bezeichnet werden, existiert unter ihnen die Beziehung
Tc2 < Tc1 und Tc2 < Tc3. Wenn die Koerzitivkräfte bei
Raumtemperatur der Wiedergabeschicht 14 und der Aufzeichnungsschicht 16 mit
Hc1 bzw. Hc3 bezeichnet werden, existiert weiterhin zwischen ihnen
die Beziehung Hc3 > Hc1.
-
Die
untere dielektrische Schicht 13 hat eine Dicke von 70 nm,
die obere dielektrische Schicht hat eine Dicke von 25 nm, und die
Wärmeleitschicht 18 hat
eine Dicke von 15 nm. Diese gestapelten Filme werden durch Gleichstrom-Sputtern
unter Bedingungen, die unten in der Tabelle 1 aufgelistet sind,
sukzessive gebildet. Die Filmbildungsvorrichtung und die Bedingung,
unter der die Filme gebildet werden, werden im Voraus so festgelegt,
dass die Wiedergabeschicht 14, die Zwischenschicht 15 und
die Aufzeichnungsschicht 16 die obengenannten Werte der
Sättigungsmagnetisierung
aufweisen. Des Weiteren wird im Voraus auch die Lebensdauer eines
Targets getestet und so eingerichtet, dass die Magnetfilme mit den
obigen Sättigungsmagnetisierungswerten
sicher gebildet werden können.
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In
der magnetooptischen Platte mit der obengenannten Filmstruktur werden
Zufallsdaten mit einer minimalen Markierungslänge von 0,38 μm durch optische
Modulationsaufzeichnung aufgezeichnet und zur Auswertung mit einer
linearen Rate von 7,5 m/s wiedergegeben. Bei der Wiedergabe wird
ein Wiedergabemagnetfeld von 300 Oe in derselben Richtung wie beim
Aufzeichnen der Aufzeichnungsmarkierungen angewendet. Der Wiedergabelaserstrahl
wird durch das Substrat 12 der magnetooptischen Platte 1 angewendet. 2 ist ein
Diagramm zum Darstellen einer Filmstruktur der magnetooptischen
Platte in 1 und eines darin bei der Wiedergabe
erreichten Magnetisierungszustandes. Die Zeichnung zeigt nur die
Wiedergabeschicht, die Zwischenschicht und die Aufzeichnungsschicht,
wobei die anderen Filmschichten weggelassen wurden. Die Temperaturverteilung,
wie in 2 gezeigt, wird in der magnetischen Schicht bewirkt,
wenn die magnetooptische Platte rotiert wird und die magnetische
Schicht mit dem Wiedergabelaserstrahl bestrahlt wird. In einem Niedrigtemperaturbereich
gelangt, wenn das Wiedergabemagnetfeld größer als eine Austauschkopplungskraft
ist, die zwischen der Zwischenschicht 15 und der Aufzeichnungsschicht 16 wirkt,
die Magnetisierungsrichtung der Zwischenschicht 15 mit
der Richtung des Wiedergabemagnetfeldes in Übereinstimmung. Die Magnetisierungsrichtung
der Wiedergabeschicht 14, die mit der Zwischenschicht 15 austauschgekoppelt
ist, gelangt mit der umgekehrten Richtung zu dem Wiedergabemagnetfeld
ungeachtet der Aufzeichnungsmarkierung in Übereineinstimmung, mit dem
Resultat, dass eine vordere Maske gebildet wird. In einem Hochtemperaturbereich wird
die Austauschkopplungskraft, die zwischen der Wiedergabeschicht 14 und
der Zwischenschicht 15 wirkt, abgestellt, und die Magnetisierungsrichtung
der Wiedergabeschicht 31 gelangt mit der Richtung des Wiedergabemagnetfeldes
in Übereinstimmung,
mit dem Resultat, dass eine hintere Maske gebildet wird. In einem Zwischentemperaturbereich
wirkt eine Austauschkopplungskraft, die größer als das Wiedergabemagnetfeld ist,
zwischen der Wiedergabeschicht 14, der Zwischenschicht 15 und
der Aufzeichnungsschicht 16. Daher wird die Magnetisierungsrichtung
der Aufzeichnungsschicht 16 auf die Wiedergabeschicht 14 übertragen.
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Wenn
eine magnetooptische Ausgabe in der magnetooptischen Platte 1 detektiert
wird, kann in einem Laserpunkt auf Grund der darin gebildeten Masken
ein magnetooptisches Signal von dem Niedrigtemperaturbereich und
dem Hochtemperaturbereich nicht gelesen werden, sondern lediglich
von dem Zwischentemperaturbereich gelesen werden.
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3 ist
ein Graph zum Darstellen einer Aufzeichnungsenergie-Jittertoleranz
der magnetooptischen Platte 1. Die Ordinate kennzeichnet
den Zufallsjitter, und die Abszisse kennzeichnet die Aufzeichnungsenergie eines
Laserstrahls. Im praktischen Einsatz beträgt der Zufallsjitter vorzugsweise
12,5% oder weniger. Aus dem Graphen geht hervor, dass die Aufzeichnungsenergie-Jittertoleranz
der magnetooptischen Platte 1 ±11% beträgt und somit praktisch ausreicht.
-
In
dieser Weise beträgt
in der magnetooptischen Platte 1 von Ausführungsform
1 die Spurteilung 0,9 μm
und die minimale Aufzeichnungsmarkierungslänge 0,38 μm. Deshalb kann eine magnetooptische
Platte bei einer Aufzeichnung mit hoher Dichte mit einer Aufzeichnungskapazität von 1,3
GB mit einer ausreichenden Aufzeichnungsenergie-Jittertoleranz wiedergegeben
werden.
-
In
der magnetooptischen Platte, die die obige Filmstruktur hat, werden
die magnetischen Charakteristiken der Magnetfilme, die zum Erreichen
der MSR-Wiedergabe der mit hoher Dichte aufgezeichneten Daten verwendbar
sind, überprüft. Zuerst
werden die Bereiche der Sättigungsmagnetisierung
der magnetischen Schichten, die zur Wiedergabe verwendbar sind,
durch Anwenden eines Wiedergabemagnetfeldes von 300 Oe geprüft. 4 ist
ein Graph zum Darstellen einer Veränderung eines Wiedergabemagnetfeldes,
das zum Bilden einer hinteren Maske erforderlich ist, gemäß der Zusammensetzung
der Wiedergabeschicht. Die Ordinate kennzeichnet das Wiedergabemagnetfeld
Hrear, das zum Bilden der hinteren Maske erforderlich ist, und die
Abszisse kennzeichnet die Sättigungsmagnetisierung
Ms1 der Wiedergabeschicht. Aus dem Graphen geht hervor, dass die
Sättigungsmagnetisierung
Ms1 der Wiedergabeschicht 14 8 emu/cc oder mehr betragen
sollte, um Daten durch Anwendung eines Magnetfeldes von 300 Oe oder
weniger zu reproduzieren.
-
Wenn
die Sättigungsmagnetisierung
der Wiedergabeschicht 14 größer ist, wird die Qualität eines
Wiedergabesignals in zunehmendem Maße verschlechtert. 5 ist
ein Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen der Sättigungsmagnetisierung
der Wiedergabeschicht und der Qualität eines Wiedergabesignals.
Die Ordinate kennzeichnet ΔCNR,
das heißt,
eine Differenz gegenüber
dem Referenz-CNR, und die Abszisse kennzeichnet die Sättigungsmagnetisierung
Ms1 der Wiedergabeschicht. ΔCNR
wird erhalten, indem der Verschlechterungsgrad der Signalqualität gemessen
wird, der aus 100000 wiederholten Löschvorgängen mit einer Löschenergie
resultiert, die um etwa 13% größer als
die optimale Aufzeichnungsenergie ist. Aus dem Graphen geht hervor,
dass die Sättigungsmagnetisierung
Ms1 der Wiedergabeschicht 14 100 emu/cc oder weniger beträgt, wenn ΔCNR in einem
zulässigen
Bereich, nämlich
unter 1 dB liegt.
-
6 ist
ein Graph zum Darstellen der Veränderung
eines Wiedergabemagnetfeldes, das zum Bilden einer vorderen Maske
erforderlich ist, gemäß der Zusammensetzung
der Zwischenschicht. Die Ordinate kennzeichnet das Wiedergabemagnetfeld
Hfront, das zum Bilden der vorderen Maske erforderlich ist, und
die Abszisse kennzeichnet die Sättigungsmagnetisierung
Ms2 der Zwischenschicht. Aus dem Graphen geht hervor, dass die Sättigungsmagnetisierung
Ms2 der Zwischenschicht 15 140 emu/cc oder mehr betragen
sollte, um Daten durch Anwenden eines Magnetfeldes von 300 Oe oder
weniger zu reproduzieren. 7 ist ein
Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen der Sättigungsmagnetisierung
der Zwi schenschicht und der Qualität eines Wiedergabesignals.
Die Ordinate kennzeichnet ΔCNR,
das heißt,
eine Differenz gegenüber
dem Referenz-CNR, und die Abszisse kennzeichnet die Sättigungsmagnetisierung
Ms2 der Zwischenschicht. ΔCNR wird
durch Messen des Grades der Verschlechterung der Signalqualität erhalten,
der aus 100000 wiederholten Löschvorgängen mit
einer Löschenergie
resultiert, die um etwa 13% größer als
die optimale Aufzeichnungsenergie ist. Aus dem Graphen geht hervor,
dass die Sättigungsmagnetisierung
Ms2 der Zwischenschicht 15 250 emu/cc oder weniger beträgt, wenn ΔCNR in einem
zulässigen
Bereich, nämlich
unter 1 dB liegt.
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8 ist
ein Graph zum Darstellen der Veränderung
des Magnetfeldes, das zum Bilden der vorderen Maske erforderlich
ist, gemäß der Zusammensetzung
der Aufzeichnungsschicht. Die Ordinate kennzeichnet das Wiedergabemagnetfeld
Hfront, das zum Bilden der vorderen Maske erforderlich ist, und
die Abszisse kennzeichnet die Sättigungsmagnetisierung
Ms3 der Aufzeichnungsschicht. Aus dem Graphen geht hervor, dass
die Sättigungsmagnetisierung
Ms3 der Aufzeichnungsschicht 16 50 emu/cc oder mehr betragen
sollte, um Daten durch Anwenden eines Magnetfeldes von 300 Oe oder
weniger zu reproduzieren. 9 ist ein Graph
zum Darstellen der Beziehung zwischen der Sättigungsmagnetisierung der
Aufzeichnungsschicht und der Qualität eines Wiedergabesignals.
Die Ordinate kennzeichnet ΔCNR,
das heißt
eine Differenz gegenüber dem
Referenz-CNR, und die Abszisse kennzeichnet die Sättigungsmagnetisierung
Ms3 der Aufzeichnungsschicht. ΔCNR
wird durch Messen des Grades der Verschlechterung der Signalqualität erhalten,
der aus 100000 wiederholten Löschvorgängen mit
einer Löschenergie
resultiert, die um etwa 13% größer als die
optimale Aufzeichnungsenergie ist. Aus dem Graphen geht hervor,
dass die Sättigungsmagnetisierung
Ms3 der Aufzeichnungsschicht 16 150 emu/cc oder weniger
beträgt,
wenn ΔCNR
in einem zulässigen
Bereich, nämlich unter
1 dB liegt.
-
Auf
der Basis der obigen Prüfung
liegen, um Daten von der magnetooptischen Platte, die eine Aufzeichnungskapazität von ungefähr 1,3 GB
hat, durch Anwenden eines Wiedergabemagnetfeldes von 300 Oe oder
weniger wiederzugeben, die Bereiche der Sättigungsmagnetisierung zwischen
8 emu/cc und 100 emu/cc in der Wiedergabeschicht 14, zwischen
140 emu/cc und 250 emu/cc in der Zwischenschicht 15 und
zwischen 50 emu/cc und 150 emu/cc in der Aufzeichnungsschicht 16.
In der magnetooptischem Platte 1 von Ausführungsform
1 werden diese Bedingungen erfüllt.
-
Als
Nächstes
werden die Bereiche der Curie-Temperaturen der magnetischen Schichten
geprüft,
die unter Verwendung eines gegenwärtig verwendeten magnetooptischen
Laufwerks reproduzierbar sind. 10 ist
ein Graph zum Darstellen der Empfindlichkeit der Aufzeichnungsenergie,
die sich gegenüber
der Curie-Temperatur der Aufzeichnungsschicht verändert, bei
Raumtemperatur, wobei Werte gezeigt sind, die in dem äußersten
peripheren Abschnitt einer Platte von 3,5 Zoll erhalten werden.
Die Ordinate kennzeichnet die Aufzeichnungsenergie des Laserstrahls,
und die Abszisse kennzeichnet die Curie-Temperatur Tc3 der Aufzeichnungsschicht 16.
Als Empfindlichkeit der Aufzeichnungsenergie ist sowohl die Energie
Pwth gezeigt, bei der ein Signal zu erscheinen beginnt, als auch
die Energie Pw, bei der ein Signal ausreichend erhalten werden kann. 11 ist
ein Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen der Umgebungstemperatur
und der Aufzeichnungsenergie in der magnetooptischen Platte. Die Ordinate
kennzeichnet die Aufzeichnungsenergie, und die Abszisse kennzeichnet
die Umgebungstemperatur, und es sind Werte gezeigt, die bei einer
linearen Rate von 12,6 m/s erhalten werden. Aus 11 geht
hervor, dass eine höhere
Aufzeichnungsenergie erforderlich ist, wenn die Umgebungstemperatur
höher ist.
-
Wenn
die Energiegrenze einer Laserdiode des magnetooptischen Laufwerks
ungefähr
13 mW beträgt, kann
die Curie-Temperatur
Tc3 bezüglich
der Aufzeichnungsenergie Pwth eine Höhe von 450°C haben, wie in 10 gezeigt.
Da tatsächlich
eine Aufzeichnungsenergie zum ausreichenden Erhalten eines Signals
verwendet wird und eine höhere
Aufzeichnungsenergie zum Garantieren der Operation bis hinab zu
der Umgebungstemperatur von 0°C
erforderlich ist, beträgt
die obere Grenze der Curie-Temperatur Tc3 der Aufzeichnungsschicht 16 jedoch
350°C.
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12 ist
ein Graph zum Darstellen der Empfindlichkeit der Wiedergabeenergie,
die sich gemäß der Curie-Temperatur
der Zwischenschicht verändert.
Die Ordinate kennzeichnet die Wiedergabeenergie eines Laserstrahls,
und die Abszisse kennzeichnet die Curie-Temperatur Tc2 der Zwischenschicht 15.
Als Empfindlichkeit der Wiedergabeenergie ist die Energie Prth,
bei der ein Signal zu erscheinen beginnt, bei Raumtemperaturen von
0°C und
25°C als
auch die Energie Pr, bei der ein Signal ausreichend erhalten werden
kann, bei 0°C
gezeigt. Aus dem Graphen geht hervor, dass bei 0°C eine höhere Wiedergabeenergie als
bei 25°C
benötigt
wird. Die Wiedergabeenergie Pr, bei der ein Signal ausreichend erhalten
werden kann, hat größere Werte. Wenn
die Grenze der Hochfrequenzüberlagerung
6,4 mW beträgt,
beträgt
die obere Grenze der Curie-Temperatur Tc2 der Zwischenschicht 15 220°C.
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13 ist
ein Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen der Charakteristik
der Achse der leichten Magnetisierung der Zwischenschicht und dem
Wiedergabemagnetfeld. Die Ordinate kennzeichnet das Wiedergabemagnetfeld,
und die Abszisse kennzeichnet die Temperatur, bei der sich die Magnetisierung
der Zwischenschicht 15 von der planaren Magnetisierung
in die senkrechte Magnetisierung verändert. Wie aus dem Graphen
hervorgeht, hat das Wiedergabemagnetfeld einen kleineren Wert, wenn
die Temperatur, bei der sich die Magnetisierung der Zwischenschicht
in die senkrechte Magnetisierung verändert, höher ist. Um Daten unter Verwendung
eines Wiedergabemagnetfeldes von 300 Oe oder weniger wiederzugeben,
muss die Temperatur, bei der sich die Magnetisierung in die senkrechte
Magnetisierung verändert,
130°C oder
mehr betragen. Ferner ist 14 ein
Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen der Curie-Temperatur
und der Charakteristik der Achse der leichten Magnetisierung der
Zwischenschicht. Die Ordinate kennzeichnet die Temperatur, bei der
sich die Magnetisierung der Zwischenschicht 15 von der
planaren Magnetisierung in die senkrechte Magnetisierung verändert, und
die Abszisse kennzeichnet die Curie-Temperatur Tc2 der Zwischenschicht 15. Aus
dem Graphen geht hervor, dass die Zwischenschicht 15, in
der sich die Magnetisierung bei 130°C oder mehr in die senkrechte
Magnetisierung verändert,
die Curie-Temperatur Tc2 von 160°C
oder mehr hat.
-
Wenn
die Curie-Temperatur Tc2 der Zwischenschicht 15 160°C oder mehr
beträgt,
beläuft
sich die Wiedergabeenergie Prth auf ungefähr 4,1 mW oder mehr, wie in 12 gezeigt.
Um eine ausreichende Wiedergabeenergietoleranz von etwa ±20% zwischen
dem Auftreten und dem Beginn des Löschens eines Wiedergabesignals
zu sichern, unter der Annahme, dass das Wiedergabesignal bei 4,1
mW erscheint, beträgt
die Wiedergabeenergie Peth, bei der das Löschen des Wiedergabesignals
beginnt, 6,2 mW. 15 ist ein Graph zum Darstellen
der Beziehung zwischen der Curie-Temperatur der Aufzeichnungsschicht
und der Energie eines Laserstrahls. Die Ordinate kennzeichnet die
Energie des Laserstrahls, und die Abszisse kennzeichnet die Curie-Temperatur
Tc3 der Aufzeichnungsschicht 16. Aus dem Graphen geht hervor,
dass die Curie-Temperatur der Aufzeichnungsschicht 16 240°C oder mehr
betragen muss, wenn die Wiedergabeenergie Peth 6,2 mW oder mehr
beträgt.
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Da
die Wiedergabeschicht 14 eine Aufzeichnungsmarkierung,
die in der Aufzeichnungsschicht 16 gebildet wurde, wiedergeben
muss, ist der Bereich der Curie-Temperatur Tc1 der Wiedergabeschicht 14 derselbe wie
jener der Aufzeichnungsschicht 16 und liegt speziell zwischen
240°C und
350°C.
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Um
Daten von der magnetooptischen Platte, die eine Aufzeichnungskapazität von etwa
1,3 GB hat, unter Verwendung eines gegenwärtig verwendeten magnetooptischen
Laufwerks wiederzugeben, liegen daher die Bereiche der Curie-Temperaturen
zwischen 240°C
und 350°C
in der Wiedergabeschicht 14, zwischen 160°C und 220°C in der
Zwischenschicht 15 und zwischen 240°C und 350°C in der Aufzeichnungsschicht 16. In
der obigen magnetooptischen Platte 1 von Ausführungsform
1 werden diese Bedingungen erfüllt.
-
Hinsichtlich
einer magnetooptischen Platte eines Vergleichsbeispiels, die magnetische
Schichten enthält,
deren Sättigungsmagnetisierung
und Curie-Temperaturen außerhalb der
obengenannten Bereiche liegen, wird zur Auswertung eine Aufzeichnungsmarkierung
wiedergegeben, die in derselben Weise wie in Ausführungsform
1 gebildet ist. In dieser magnetooptischen Platte ist ein Substrat
dasselbe wie jenes in Ausführungsform
1, haben eine Wiedergabeschicht 14 und eine Aufzeichnungsschicht 16 Kompensationszusammensetzungen,
nämlich
eine spontane Magnetisierung Ms von im Wesentlichen 0, und hat eine
Zwischenschicht 15 eine Curie-Temperatur Tc2 von 150°C. 16 ist
ein Graph zum Darstellen der Aufzeichnungsenergie-Jittertoleranz
und des erforderlichen Wiedergabemagnetfeldes der magnetooptischen
Platte des Vergleichsbeispiels. Die Ordinate kennzeichnet den Zufallsjitter,
und die Abszisse kennzeichnet die Aufzeichnungsenergie eines Laserstrahls.
In diesem Graphen ist das Resultat, das durch ein Wiedergabemagnetfeld
von 300 Oe erhalten wird, mit dem Kennzeichen "O" dargestellt,
ist das Resultat, das durch ein Wiedergabemagnetfeld von 350 Oe
erhalten wird, mit einem Kennzeichen "ρ" dargestellt und
ist das Resultat, das durch ein Wiedergabemagnetfeld von 400 Oe
erhalten wird, mit einem Kennzeichen "☐" dargestellt.
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Die
magnetooptische Platte des Vergleichsbeispiels hat eine hohe Beständigkeit
beim wiederholten kontinuierlichen Löschen, und die Signalqualität wird durch
100000 Löschvorgänge kaum
verschlechtert. Jedoch ist im Vergleich zu der magnetooptischen
Platte von Ausführungsform
1 (in 3 gezeigt) der Grundjitter größer. Ferner beträgt die Aufzeichnungsenergietoleranz
bei Erreichen des Zufallsjitters von 12,5% oder weniger ±8,3% und
ist somit enger als jene der magnetooptischen Platte 1 von
Ausführungsform
1. Des Weiteren kann die Aufzeichnungsmarkierung durch Anwendung eines
Wiedergabemagnetfeldes von 300 Oe nicht wiedergegeben werden, sondern
ein Wiedergabemagnetfeld von 350 Oe oder mehr ist für die Wiedergabe
erforderlich.
-
Ausführungsform
2:
-
Magnetooptische
Platten mit derselben Filmstruktur wie jener von Ausführungsform
1 werden unter Verwendung von Substraten mit verschiedenen Spurteilungen
hergestellt, und eine Aufzeichnungsmarkierung mit 2T von 0,4 μm wird in
jeder der Platten aufgezeichnet. Die jeweiligen magnetooptischen
Platten werden hinsichtlich des erforderlichen Wiedergabemagnetfeldes
und des CNR geprüft. 17 ist
ein Graph zum Darstellen der Resultate, wobei die Ordinate das CNR
und das erforderliche Wiedergabemagnetfeld Hrth kennzeichnet und
die Abszisse die Spurteilung kennzeichnet. Wie in dem Graphen gezeigt,
tendiert das CNR dazu, verringert zu werden, wenn die Spurteilung
schmaler ist. Im Besonderen wird, wenn die Spurteilung kleiner als 0,9 μm ist, das
CNR um 1,5 dB oder mehr im Vergleich zu dem Fall reduziert, wenn
die Spurteilung 1,1 μm beträgt. Das
erforderliche Wiedergabemagnetfeld wird gemäß der Spurteilung nicht groß verändert.
-
Als
Nächstes
werden magnetooptische Platten mit derselben Filmstruktur wie jener
von Ausführungsform
1 unter Verwendung von Nutsubstraten mit verschiedenen Spurteilungen
hergestellt und ähnlich
hinsichtlich des erforderlichen Wiedergabemagnetfeldes und des CNR
geprüft. 18 ist
ein Graph zum Darstellen der Resultate, wobei die Ordinate das CNR
und das erforderliche Wiedergabemagnetfeld Hath kennzeichnet und
die Abszisse die Spurteilung kennzeichnet. In den magnetooptischen
Platten unter Verwendung der Nutsub strate wird das CAR nicht verringert,
wenn die Spurteilung 1,1 μm
bis 0,85 μm
beträgt,
aber das erforderliche Wiedergabemagnetfeld wird abrupt erhöht, wenn
die Spurteilung kleiner als 0,9 μm
ist, wie in dem Graphen gezeigt. Auf der Basis der Graphen von 17 und 18 kann,
um eine Aufzeichnungskapazität
von 1 GB oder mehr unter Verwendung einer magnetooptischen Platte
zu realisieren, die die obige Filmstruktur hat, die Spurteilung
0,9 μm schmal
sein. Wenn ferner ein Landsubstrat verwendet wird, kann die MSR-Wiedergabe
mit einer schmaleren Spurteilung unter Anwendung eines Wiedergabemagnetfeldes
von 300 Oe oder weniger erfolgen.
-
Um
eine Wiedergabe mit einer noch schmaleren Spurteilung zu realisieren,
werden erforderliche Wiedergabemagnetfelder für die vordere Maske und die
hintere Maske jeweilig unter Verwendung der obenerwähnten Nutsubstrate
geprüft.
19 ist
ein Graph zum Darstellen der Resultate, wobei die Ordinate das erforderliche
Wiedergabemagnetfeld kennzeichnet und die Abszisse die Spurteilung
kennzeichnet. Wie aus dem Graphen hervorgeht, wird, wenn die Spurteilung
schmaler als 0,9 μm
ist, das zum Bilden der vorderen Maske erforderliche Wiedergabemagnetfeld
abrupt erhöht.
Dies bedeutet, dass das erforderliche Wiedergabemagnetfeld bei sich
verringernder Spurteilung wegen der Bildung der vorderen Maske zunimmt.
Deshalb wird die Zusammensetzung der Aufzeichnungsschicht
16 zum
Reduzieren des Wiedergabemagnetfeldes wegen des Bildens der vorderen
Maske geprüft.
20 ist
ein Graph zum Darstellen des Resultats, wobei die Ordinate das erforderliche
Wiedergabemagnetfeld zum Bilden der vorderen Maske kennzeichnet
und die Abszisse den Gehalt an Tb in der Aufzeichnungsschicht
16 kennzeichnet.
In diesem Graphen ist das Resultat, das von einem Landsubstrat erhalten
wird, mit einem Kennzeichen "O" dargestellt und
ist das Resultat, das von einem Nutsubstrat erhalten wird, mit einem
Kennzeichen
dargestellt.
Aus dem Graphen geht hervor, dass der Zusammensetzungsbereich der
Aufzeichnungsschicht
16, die unter Verwendung eines Wiedergabemagnetfeldes
von 300 Oe oder weniger reproduzierbar ist, bei Verwendung des Nutsubstrats
schmaler als bei Verwendung des Landsubstrats ist.
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In
dieser Weise ist auf der Basis der Graphen von 18 bis 20 ein
Landsubstrat für
die MSR-Wiedergabe unter Verwendung eines Wiedergabemagnetfeldes
von 300 Oe oder weniger bei einer schmalen Spurteilung von etwa
0,9 μm mehr
als ein Nutsubstrat geeignet. Obwohl ein Nutsubstrat auf die MSR-Wiedergabe
durch Anpassen des Gehaltes an Tb in der Aufzeichnungsschicht 16 anwendbar
ist, ist ferner die Zusammensetzungstoleranz der Aufzeichnungsschicht 16 in
einem Nutsubstrat kleiner als in einem Landsubstrat. Des Weiteren
versteht sich, dass das erforderliche Wiedergabemagnetfeld durch
Anpassen der Sättigungsmagnetisierung
der Aufzeichnungsschicht 16 sowohl in einem Landsubstrat
als auch in einem Nutsubstrat angepasst werden kann. Mit anderen
Worten: die MSR-Wiedergabe kann durch Festlegen der Zusammensetzung
der Aufzeichnungsschicht 16 entsprechend der Spurteilung
des Substrats und durch Anwenden eines vorbestimmten Wiedergabemagnetfeldes
erfolgen.
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Ausführungsform
3:
-
Magnetooptische
Platten mit derselben Struktur wie jener von Ausführungsform
1, nur die Dicke der Wärmeleitschicht 18 aus
AlCr ausgenommen, werden hergestellt, und die Aufzeichnungsenergieempfindlichkeit
und das SNR als Signalqualität
werden gemessen. Als Resultat ist, wenn die Wärmeleitschicht 18 eine Dicke
von 8 nm hat, das SNR um etwa 2 dB niedriger als wenn sie eine Dicke
von 20 nm hat, und daher kann der Minimalwert des Jitters nicht
klein genug sein. Wenn ferner die Wärmeleitschicht 18 eine
Dicke von 10 nm oder mehr hat, ist der Jitter so niedrig wie in
Ausführungsform
1 (siehe 3). Wenn die Wärmeleitschicht 18 des
Weiteren eine Dicke von 30 nm hat, ist die Aufzeichnungsenergieempfindlichkeit
um etwa 2 mW niedriger als wenn sie eine Dicke von 8 nm hat, und
daher ist es schwierig, Daten unter Einsatz des gegenwärtig verwendeten
magnetooptischen Laufwerks wiederzugeben. Diese Fakten lassen erkennen,
dass die Dicke der Wärmeleitschicht 18 aus
AlCr vorzugsweise 10 nm bis 25 nm beträgt.
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Wenn
ferner als Wärmeleitschicht 18 ein
AlTi-Film verwendet wird, weist die resultierende magnetooptische
Platte dieselbe Wiedergabecharakteristik wie jene von Ausführungsform
1 auf. Ferner werden magnetooptische Platten durch ledigliches Variieren
der Dicke des AlTi-Films hergestellt, und die Aufzeichnungsenergieempfindlichkeit
und das SNR werden gemessen. Wenn die Wärmeleitschicht 18 eine
Dicke von 3 nm hat, ist das SNR als Resultat um etwa 2 dB niedriger
als wenn sie eine Dicke von 15 nm hat, und daher kann der Minimalwert
des Jitters nicht klein genug sein. Wenn die Wärmeleitschicht 18 eine
Dicke von 25 nm hat, ist die Aufzeichnungsenergieempfindlichkeit
um etwa 2 mW niedriger als wenn sie eine Dicke von 3 nm hat, und
daher ist es schwierig, Daten unter Einsatz des gegenwärtig verwendeten
magnetooptischen Laufwerks wiederzugeben. Diese Fakten lassen erkennen,
dass die Dicke der Wärmeleitschicht 18 aus
AlTi vorzugsweise 5 nm bis 20 nm beträgt. Daher beträgt die optimale
Dicke der Wärmeleitschicht 18 der
magnetooptischen Platte dieser Erfindung 5 nm bis 25 nm.
-
Ausführungsform
4:
-
Magnetooptische
Platten mit derselben Struktur wie jener von Ausführungsform
1, die Dicke der unteren dielektrischen Schicht 13 aus
SiN ausgenommen, werden hergestellt, und die Reflektanz, die Aufzeichnungsenergieempfindlichkeit
und das SNR werden gemessen. Als Resultat weist die magnetooptische
Platte, die die untere dielektrische Schicht 13 mit einer
Dicke von etwa 75 nm enthält,
die kleinste Reflektanz auf. Wenn die untere dielektrische Schicht
eine Dicke von 60 nm hat, ist das SNR um etwa 1,6 dB niedriger als wenn
sie eine Dicke von 90 nm hat, und wenn die untere dielektrische
Schicht 13 eine Dicke von 98 nm hat, ist die Aufzeichnungsenergieempfindlichkeit
um etwa 1,5 mW niedriger als wenn sie eine Dicke von 60 nm hat. Diese
Fakten lassen erkennen, dass die Dicke der unteren dielektrischen
Schicht 13 der magnetooptischen Platte 1 vorzugsweise
zwischen 65 nm und 95 nm liegt, während die Wärmeleitschicht 18 aus
einem AlCr-Film hergestellt ist. In dem Fall, wenn die Wärmeleitschicht 18 aus
einem AlTi-Film ist, kann eine ausreichende Aufzeichnungsenergie
erhalten werden, wenn die untere dielektrische Schicht 13 eine
Dicke von 105 nm hat, und die Aufzeichnungsenergie, die durch eine
untere dielektrische Schicht mit einer Dicke von 115 nm erhalten wird,
liegt außerhalb
des zulässigen
Bereichs. Daher beträgt
die optimale Dicke der unteren dielektrischen Schicht 13 der
magnetooptischen Platte dieser Erfindung 65 nm bis 110 nm.
-
Als
Nächstes
werden magnetooptische Platten mit derselben Struktur wie jener
von Ausführungsform 1
hergestellt, die Dicke der oberen dielektrischen Schicht 17 aus
SiN ausgenommen, und die Aufzeichnungsenergieempfindlichkeit und
die Umgebungstemperaturbeständigkeit
werden gemessen. Als Resultat werden in der magnetooptischen Platte,
die die obere dielektrische Schicht 17 mit einer Dicke
von 15 nm enthält,
solche Defekte wie beispielsweise Korrosion verursacht, wenn sie
200 Stunden lang einer Temperatur von 80°C und einer Feuchtigkeit von
85% ausgesetzt wird. Wenn ferner die obere dielektrische Schicht 17 eine
Dicke von 65 nm hat, ist die Aufzeichnungsenergieempfindlichkeit
um etwa 2 mW niedriger als wenn sie eine Dicke von 20 nm hat. Diese
Fakten lassen erkennen, dass die Dicke der oberen dielektrischen
Schicht 17 der magnetooptischen Platte dieser Erfindung
vorzugsweise zwischen 20 nm und 60 nm liegt.
-
Ausführungsform
5:
-
Eine
magnetooptische Platte mit derselben Struktur wie jener von Ausführungsform
1, ein Substrat 12 ausgenommen, wird hergestellt. Das in
Ausführungsform
5 verwendete Substrat ist ein Landsubstrat aus Polycarbonat mit
einer Nuttiefe von 93 nm (λ/(4,4n)
nm) und einer Landbreite von 0,75 μm. Die anderen Maße und die
Struktur sind dieselben wie in der Ausführungsform 1, und die Beschreibung
wird weggelassen. Diese magnetooptische Platte wird hinsichtlich
des Zufallsjitters bewertet. Die Resultate sind in einem Graphen
von 21 gezeigt. Die Ordinate kennzeichnet den Zufallsjitter,
und die Abszisse kennzeichnet die Aufzeichnungsenergie eines Laserstrahls.
Aus diesem Graphen geht hervor, dass eine Aufzeichnungsenergietoleranz beim
Erreichen eines Zufallsjitters von 12,5% oder weniger ±11% beträgt. Daher
hat die magnetooptische Platte, bei der Daten mit einer hohen Dichte
aufzuzeichnen sind, eine Aufzeichnungsenergietoleranz von ±11%, die
praktisch ausreicht.
-
Ausführungsform
6:
-
22 ist
eine Schnittansicht zum Darstellen der Filmstruktur einer magnetooptischen
Platte gemäß Ausführungsform
6. Die magnetooptische Platte 2 enthält eine Wärmeleitschicht 18 aus
AlCr, eine untere dielektrische Schicht 13 aus SiN, eine
Aufzeichnungsschicht 16 aus TbFeCo, eine Zwischenschicht 15 aus
GdFeCoSi, eine Wiedergabeschicht 14 aus GdFeCo und eine
obere dielektrische Schicht 17 aus SiN, die auf einem Substrat 12 aus
Polycarbonat gestapelt sind. Die äußersten Schichten der magnetooptischen
Platte 2, nämlich
die Oberflächen
des Substrats 12 und der oberen dielektrischen Schicht 17,
sind mit UV-härtenden Filmen 11 bzw. 19 bedeckt.
Die magnetooptische Platte 2 ist dieselbe wie die in 1 gezeigte
magnetooptische Platte 1, von der Stapelreihenfolge der
Filme abgesehen. Deshalb werden Beschreibungen der magnetischen
Charakteristiken wie beispielsweise der Sättigungsmagnetisierung, der
Curie-Temperatur und dergleichen, der Magnetfilme, der Filmdicke
und der Spezifikation des Substrats weggelassen.
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In
der magnetooptischen Platte 2 mit der obigen Filmstruktur
werden Zufallsdaten mit einer minimalen Markierungslänge von
0,38 μm
durch optische Modulationsaufzeichnung aufgezeichnet und mit einer
linearen Rate von 7,5 m/s zur Auswertung wiedergegeben. Bei der
Wiedergabe wird ein Wiedergabemagnetfeld von 300 Oe in derselben
Richtung wie beim Aufzeichnen der Aufzeichnungsmarkierungen angewendet.
Der Wiedergabelaserstrahl wird durch die Seite angewendet, die von
dem Substrat 12 fern ist, nämlich durch die Seite, die
der Wiedergabeschicht 14 näher ist. Das Resultat zeigt,
dass eine magnetooptische Platte 2 zur Aufzeichnung mit
hoher Dichte mit einer Aufzeichnungskapazität von 1,3 GB mit einer ausreichenden
Aufzeichnungsenergie-Jittertoleranz ähnlich wie in Ausführungsform
1 reproduziert werden kann.
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Die
Wiedergabeschicht, die Zwischenschicht und die Aufzeichnungsschicht
der vorliegenden magnetooptischen Platte sind nicht auf die in den
magnetooptischen Platten der Ausführungsformen 1 bis 6 verwendeten
Magnetfilme begrenzt. Solange ein Magnetfilm verwendet wird, der
die oben angeführten
magnetischen Charakteristiken hat, ist ein Medium, worin Daten mit
einer hohen Dichte von 1,3 GB auf einer Seite bei einem Durchmesser
von 3,5 Zoll aufzuzeichnen sind, für die MSR-Wiedergabe verwendbar.
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Wie
bislang beschrieben, werden bei einem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium
dieser Erfindung Magnetfilme eingesetzt, die jeweils eine Sättigungsmagnetisierung
innerhalb eines vorbestimmten Bereichs haben. Daher kann ein Aufzeichnungsmedium
mit hoher Dichte mit einer Spurteilung von 0,9 μm und einer minimalen Markierungslänge von
etwa 0,38 μm
mit MSR reproduziert werden, indem ein Wiedergabemagnetfeld von
300 Oe oder weniger angewendet wird. Weiterhin werden bei dem vorliegenden
magnetooptischen Aufzeichnungsmedium die Magnetfilme eingesetzt,
die jeweils eine Curie-Temperatur innerhalb eines vorbestimmten
Bereichs haben. Daher kann das magnetooptische Aufzeichnungsmedium
unter Einsatz eines gegenwärtig
verwendeten magnetooptischen Laufwerks reproduziert werden, und
es ist mit gegenwärtig verwendeten
Medien kompatibel. Des Weiteren zeichnet sich das vorliegende magnetooptische
Aufzeichnungsmedium in der Beständigkeit
gegenüber
einer wiederholten Aufzeichnung/Wiedergabe aus. Zudem kann das magnetooptische
Aufzeichnungsmedium, das gewünschte
magnetische Charakteristiken hat, mit guter Reproduzierbarkeit hergestellt
werden, indem die Filme so gebildet werden, um die vorbestimmte
Sättigungsmagnetisierung
zu erreichen, wodurch eine Aufzeichnung und Wiedergabe mit hoher
Dichte gewährleistet
werden. Tabelle 1
| Gestapelter
Film | Ar-Gasdruck
(Pa) | Zugeführte Energie
(kW) |
| Untere
dielektrische Schicht | 2,0 | 2,7 |
| Wiedergabeschicht | 5,0 | 1,0 |
| Zwischenschicht | 5,0 | 1,0 |
| Aufzeichnungsschicht | 7,0 | 1,0 |
| Wärmeleitschicht | 0,8 | 2,2 |
| Obere
dielektrische Schicht | 2,2 | 2,5 |
