DE4439322C2 - Magnetooptisches Aufzeichnungsgerät - Google Patents
Magnetooptisches AufzeichnungsgerätInfo
- Publication number
- DE4439322C2 DE4439322C2 DE4439322A DE4439322A DE4439322C2 DE 4439322 C2 DE4439322 C2 DE 4439322C2 DE 4439322 A DE4439322 A DE 4439322A DE 4439322 A DE4439322 A DE 4439322A DE 4439322 C2 DE4439322 C2 DE 4439322C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- magneto
- magnetic
- magnetic layer
- magnets
- optical disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/1055—Disposition or mounting of transducers relative to record carriers
- G11B11/10552—Arrangements of transducers relative to each other, e.g. coupled heads, optical and magnetic head on the same base
- G11B11/10554—Arrangements of transducers relative to each other, e.g. coupled heads, optical and magnetic head on the same base the transducers being disposed on the same side of the carrier
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10502—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing characterised by the transducing operation to be executed
- G11B11/10517—Overwriting or erasing
- G11B11/10519—Direct overwriting, i.e. performing erasing and recording using the same transducing means
- G11B11/10521—Direct overwriting, i.e. performing erasing and recording using the same transducing means using a single light spot
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10502—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing characterised by the transducing operation to be executed
- G11B11/10523—Initialising
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/1055—Disposition or mounting of transducers relative to record carriers
- G11B11/10552—Arrangements of transducers relative to each other, e.g. coupled heads, optical and magnetic head on the same base
Description
Die Erfindung betrifft ein magnetooptisches Aufzeichnungs
gerät zum Aufzeichnen von Information von einem magnetoop
tischen Aufzeichnungsmedium wie einer magnetooptischen Plat
te.
In letzter Zeit haben magnetooptische Speichermedien wie
magnetooptische Platten viel Aufmerksamkeit als Speicher
vorrichtungen mit hoher Dichte und hoher Kapazität auf sich
gezogen, in denen Information überschrieben werden kann. Zur
Verwendung in Computern sind bereits in großem Umfang mag
netooptische Platten mit 5 Zoll und mit 3,5 Zoll Durchmesser
mit hoher Kapazität auf dem Markt.
Bei diesen magnetooptischen Platten der ersten Generation
werden neue Daten überschrieben, nachdem vorige Daten ge
löscht wurden. Aus diesem Grund ist es erforderlich, die
Richtung eines extern angelegten Hilfsmagnetfelds abhängig
vom Aufzeichnungsbetrieb und vom Löschbetrieb umzukehren.
Bei magnetooptischen Aufzeichnungsmedien besteht in den
letzten Jahren Nachfrage nach solchen, bei denen Überschrei
ben durch Lichtmodulation ausgeführt werden kann, da sie es
ermöglichen, Information zu überschreiben, ohne daß vorige
Information zu löschen ist, und bei denen es möglich ist,
doppelseitig aufzuzeichnen, und die leicht zur Verwendung
bei Mehrstrahlbetrieb ausgebildet werden können.
Hierzu wurde in Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 26 (1987), Suppl.,
S. 155-159 ein magnetooptisches Speichermedium vorgestellt,
das dazu in der Lage ist, Überschreiben mit Lichtmodulation
auszuführen und das eine Aufzeichnungsschicht und eine
Hilfsschicht aufweist, die aus rechtwinklig magnetisierten
Filmen bestehen. Im Fall des Überschreibens von Daten wird
nach dem Ausrichten der Magnetisierung in der Hilfsschicht
in eine Richtung unter Verwendung eines Magnets zu Initiali
sierungszwecken ein Lichtstrahl, dessen Modulation abhängig
von den aufzuzeichnenden Daten moduliert wird, aufgestrahlt,
während ein Hilfsmagnetfeld von einem Magnet für Aufzeich
nungszwecke angelegt wird.
Bei dieser herkömmlichen Anordnung muß jedoch zur Initiali
sierung ein großer Magnet bereitgestellt werden, da eine
große Magnetfeldstärke von 400 bis 500 kA/m erforderlich
ist; dies führt zu einer nachteiligen Auswirkung, wenn ein
magnetooptisches Plattengerät kompakter, insbesondere fla
cher ausgebildet werden soll.
Aus der JP-A-1-184645 ist ein magnetooptisches Aufzeichnungs
gerät mit einem Paar Magnete zum Anlegen eines externen Magnet
felds bekannt, die auf derselben Seite eines Aufzeichnungsme
diums angeordnet sind wie eine Objektivlinse zum Fokussieren
eines Lichtstrahls auf das Aufzeichnungsmedium. Die Magnete
sind so symmetrisch zur optischen Achse angeordnet, daß sich
gleiche Pole der Magnete gegenüberliegen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein magnetooptisches
Aufzeichnungsgerät mit verbesserten magnetischen Eigenschaften
zu schaffen.
Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt mit einer Anordnung mit
den im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen. Vorteilhafte Weiter
bildungen sind Gegenstand der Unteransprüche.
Bei dieser Anordnung bildet das Paar Anlegeeinrichtungen für
ein externes Magnetfeld praktisch einen geschlossenen magne
tischen Kreis. Aus diesem Grund wird es möglich, den magne
tischen Fluß der Anlegeeinrichtungen für ein externes Mag
netfeld wirkungsvoll zu nutzen. Dies ermöglicht es, diese
Einrichtungen zu miniaturisieren. Daher kann das magnetoop
tische Aufzeichnungsgerät, das Überschreiben durch Lichtmo
dulation ermöglicht und bei dem ein übliches magnetoopti
sches Aufzeichnungsmedium ohne Hilfsschicht verwendet werden
kann, kompakt, insbesondere flach ausgebildet sein.
Für ein vollständigeres Verständnis der Art und der Vorteile
der Erfindung ist auf die folgende detaillierte Beschreibung
in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen Bezug zu neh
men.
Fig. 1(a), 1(b) und 1(c), die das erste Ausführungsbeispiel
der Erfindung zeigen, sind ein Vertikalschnitt, eine Drauf
sicht bzw. eine perspektivische Ansicht, die schematisch
den Aufbau eines magnetooptischen Plattengeräts zeigen:
Fig. 2 ist ein Vertikalschnitt, der ein Beispiel einer mag
netooptischen Platte zeigt, wie sie im magnetooptischen
Plattengerät gemäß Fig. 1(a) verwendet wird.
Fig. 3 ist ein Diagramm, das die Temperaturabhängigkeit der
Koerzitivkraft jeweiliger magnetischer Schichten zeigt, wie
sie in der magnetooptischen Platte von Fig. 2 verwendet wer
den.
Fig. 4 ist eine erläuternde Zeichnung, die einen Aufzeich
nungsprozeß für Information auf die magnetooptische Platte
von Fig. 2 veranschaulicht.
Fig. 5 ist eine erläuternde Zeichnung, die die Intensität
eines Lichtstrahls veranschaulicht, der auf die magnetoopti
sche Platte von Fig. 2 zu strahlen ist.
Fig. 6 ist eine schematische Darstellung eines magnetoopti
schen Plattengeräts.
Fig. 7 ist ein Vertikalschnitt, der ein anderes Beispiel ei
ner magnetooptischen Platte zeigt, wie sie im magnetoopti
schen Plattengerät von Fig. 1(a) verwendet wird.
Fig. 8 ist ein Diagramm, das die Temperaturabhängigkeit der
Koerzitivkraft jeweiliger magnetischer Schichten zeigt, wie
sie in der magnetooptischen Platte von Fig. 7 verwendet wer
den.
Fig. 9 ist eine erläuternde Zeichnung, die einen Aufzeich
nungsprozeß für Information auf die magnetooptische Platte
von Fig. 7 veranschaulicht.
Fig. 10 ist ein Vertikalschnitt, der noch ein anderes Bei
spiel einer magnetooptischen Platte zeigt, wie sie im mag
netooptischen Plattengerät von Fig. 1(a) verwendet wird.
Fig. 11, die das zweite Ausführungsbeispiel der Erfindung
zeigt, ist eine schematische Darstellung eines magnetoopti
schen Plattengeräts.
Fig. 12 ist ein Vertikalschnitt, der ein Beispiel einer mag
netooptischen Platte zeigt, wie sie im magnetooptischen
Plattengerät von Fig. 11 verwendet wird.
Fig. 13 ist ein Diagramm, das die Temperaturabhängigkeit der
Koerzitivkraft jeweiliger magnetischer Schichten zeigt, wie
sie in der magnetooptischen Platte von Fig. 12 verwendet
werden.
Fig. 14 ist eine erläuternde Zeichnung, die einen Aufzeich
nungsprozeß für Information auf die magnetooptische Platte
von Fig. 12 zeigt.
Fig. 15, die das dritte Ausführungsbeispiel der Erfindung
zeigt, ist eine schematische Darstellung eines magnetoopti
schen Plattengeräts.
Fig. 16 ist ein Vertikalschnitt, der ein Beispiel einer mag
netooptischen Platte zeigt, wie sie im magnetooptischen
Plattengerät von Fig. 15 verwendet wird.
Fig. 17, die ein Vergleichsbeispiel zeigt, ist eine schema
tische Darstellung eines magnetooptischen Plattengeräts.
Fig. 18 ist ein Vertikalschnitt, der ein anderes Beispiel
einer magnetooptischen Platte zeigt, wie sie im magnetoopti
schen Plattengerat von Fig. 15 verwendet wird.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 1(a) bis 10 erörtert die fol
gende Beschreibung das erste Ausführungsbeispiel der Erfin
dung.
Das magnetooptische Plattengerät gemäß den Fig. 1(a), 1(b)
und 1(c) besteht hauptsächlich aus folgendem: einer Objek
tivlinse 9 zum Konvergieren eines Lichtstrahls auf eine mag
netooptische Aufzeichnungsschicht 21 einer magnetooptischen
Platte (magnetooptisches Aufzeichnungsmedium) und Magneten
10 und 10′ (Anlegeeinrichtungen für ein externes Magnet
feld), die auf den jeweiligen Seiten der magnetooptischen
Platte 11 angeordnet sind und ein Initialisierungsmagnet
feld (Hinit) und ein Schreibmagnetfeld (Hw) erzeugen.
Wie durch Fig. 1(b) veranschaulicht, sind die Magnete 10 und
10′, die hinsichtlich der Bewegungsrichtung der magnetooptischen
Platte 11 vor einem durch den Lichtstrahl zu beleuch
tenden Bereich angeordnet sind, so ausgebildet, daß die
Magnetisierungen derselben zueinander entgegengesetzte
Richtungen aufweisen, und sie sind praktisch parallel zu den
Oberflächen der magnetooptischen Platte 11. Bei dieser
Anordnung wird das rechtwinklig zur magnetooptischen Platte
11 stehende Magnetfeld Hinit in bezug auf die Bewegungsrich
tung der magnetooptischen Platte 11 vor dem mit dem Licht
strahl zu beleuchtenden Bereich angewandt, während das
Magnetfeld Hw, das praktisch parallel zu Hinit ist und
schwächer als Hinit ist, im durch den Lichtstrahl zu be
leuchtenden Bereich angelegt wird.
Bei der vorstehend genannten Anordnung werden die Magnetfel
der Hinit und Hw, die rechtwinklig zur magnetooptischen
Platte 11 nach oben zeigen, von den Magneten 10 und 10′ an
gelegt. Da diese Magneten an den jeweiligen Seiten der mag
netooptischen Platte 11 mit zueinander entgegengesetzten
Magnetisierungen angeordnet sind, bilden sie praktisch einen
geschlossenen magnetischen Kreis. Aus diesem Grund ist es
möglich, selbst dann, wenn kleine Magnete verwendet werden,
ein starkes Magnetfeld Hinit zu erzielen. Dies ermöglicht
es, das magnetooptische Plattengerät zu miniaturisieren.
Speziell ist es möglich, das magnetooptische Plattengerät
flach auszubilden, da die Magnete 10 und 10′ so angeordnet
sind, daß ihre Magnetisierungen praktisch parallel zu den
Oberflächen der magnetooptischen Platte 11 liegen. Ferner
ist es möglich, nicht nur das Feld Hinit, sondern auch das
Feld Hw nur unter Verwendung der Magnete 10 und 10′ anzule
gen.
Zum Beispiel werden Permantentmagnete aus einem Nd enthaltenden Ma
terial mit einer magnetischen Restflußdichte von 1,21 T als
Magnete 10 und 10′ verwendet. Die Größe der Magnete 10 und
10′ liegt in der Größenordnung einer Breite von 10 mm ent
lang dem Radius der magnetooptischen Platte 11, einer Länge
von 20 mm entlang der Spurrichtung der magnetooptischen
Platte 11 und einer Dicke von 2 mm.
Wenn diese Magnete 10 und 10′ an Positionen 0,5 mm entfernt
von den Substraten 1 einer magnetooptischen Platte 11 mit
einer Dicke von 1,2 mm angeordnet werden, d. h. an Positionen
1,7 mm entfernt von einer Aufzeichnungsmediumsschicht 21,
wie auch 4 mm entfernt von einem Lichtstrahlfleck, wird ein
magnetisches Feld Hinit von 2,5 kOe und ein Magnetfeld Hw
von 500 Oe an die magnetooptische Platte 11 angelegt.
Fig. 2 zeigt ein Beispiel einer magnetooptischen Platte 1,
wie sie in diesem magnetooptischen Plattengerät verwendet
wird.
Diese magnetooptische Platte 11, die eine sogenannte doppel
seitige Platte ist, weist eine Anordnung auf, bei der zwei
magnetooptische Aufzeichnungsmedien, die jeweils aus einem
lichtdurchlässigen Substrat 1 (Trägersubstrat) und einer
darauf ausgebildeten magnetooptischen Aufzeichnungsschicht
21 bestehen, mit den Oberseiten unter Verwendung einer da
zwischenliegenden Klebeschicht 7 miteinander verbunden sind.
Die magnetooptische Aufzeichnungsschicht 21 besteht aus ei
ner dielektrischen Schicht 2 mit Lichttransmissionseigen
schaft, einer magnetischen Schicht 3 (erste magnetische
Schicht), einer magnetischen Schicht 4 (zweite magnetische
Schicht) und einer Schutzschicht 6, die in dieser Reihenfol
ge auf das Substrat 1 auflaminiert sind.
Die magnetischen Schichten 3 und 4 bestehen aus Seltenerdme
tall-Übergangsmetall-Legierungen.
Wie in Fig. 3 dargestellt, zeigt die magnetische Schicht 3,
die bei Raumtemperatur einen tieferen Curiepunkt (Tc1) und
eine höhere Koerzitivkraft (Hc1) als die magnetische Schicht
4 aufweist, solche magnetische Eigenschaften, daß von Raum
temperatur bis Tc1 rechtwinklige magnetische Anisotropie
vorherrschend ist.
Die magnetische Schicht 4, die bei Raumtemperatur einen
Curiepunkt (Tc2) über dem Curiepunkt Tc1 der magnetischen
Schicht 3 und eine Koerzitivkraft (Hc2) unter der Koerzitiv
kraft Hc1 der magnetischen Schicht 3 aufweist, zeigt solche
magnetische Eigenschaften, daß von Raumtemperatur bis Tc2
rechtwinklige magnetische Anisotropie vorherrschend ist, und
es existiert ein Kompensationspunkt (Tcomp2).
Beim Aufzeichnen von Information auf die magnetooptische
Platte 11 wird zunächst ein Initialisierungsvorgang ausge
führt. Anders gesagt, wird, wie es in Fig. 4 dargestellt
ist, nur die Magnetisierung der magnetischen Schicht 4 durch
Anlegen eines nach oben gerichteten Initialisierungsmagnet
felds (Hinit) in eine Richtung ausgerichtet. Hierbei ist in
Fig. 4 die Richtung der vom Übergangsmetall herrührenden Un
tergittermagnetisierung durch Pfeile in der magnetischen
Schicht 4 angedeutet, die aus einer Zusammensetzung besteht,
die reich an Seltenerdmetallen ist, bei der die vom Selten
erdmetall herrührende Untergittermagnetisierung größer als
die vom Übergangsmetall herrührende ist.
Der Initialisierungsvorgang wird immer ausgeführt, oder er
wird nur beim Aufzeichnen ausgeführt. Da Hc1 der magneti
schen Schicht 3 größer als Hinit ist, tritt in der Magneti
sierung der magnetischen Schicht 3 keine Umkehr auf.
Ein Aufzeichnungsvorgang wird dadurch ausgeführt, daß ein
Lichtstrahl aufgestrahlt wird, dessen Stärke auf ein hohes
Niveau I und ein niedriges Niveau II moduliert wird, wie in
Fig. 5 dargestellt, während das Schreibmagnetfeld (Hw) ange
legt wird, das dieselbe Richtung wie das Initialisierungs
magnetfeld Hinit aufweist, jedoch mit deutlich geringerer
Stärke.
Das hohe Niveau I und das niedrige Niveau II sind auf fol
gende Weise eingestellt: wenn ein Lichtstrahl mit hohem Ni
veau T aufgestrahlt wird, erreichen beide Magnetschichten 3
und 4 hohe Temperatur (TH) in der Nähe von Tc1 und Tc2 oder
höher, und wenn ein Lichtstrahl mit dem niedrigen Niveau II
aufgestrahlt wird, erreicht nur die magnetische Schicht 3
eine Temperatur (TL) in der Nähe von Tc1 oder höher.
Daher wird dann, wenn ein Lichtstrahl mit dem hohen Niveau I
aufgestrahlt wird, die Magnetisierung der Magnetisierungs
schicht 4 aufgrund von Hw in der Richtung nach oben umge
kehrt, und während des Abkühlprozesses fällt die Magnetisie
rungsrichtung der magnetischen Schicht 3 mit der Magnetisie
rungsrichtung der magnetischen Schicht 4 zusammen, da die
Magnetisierungsrichtung der letzteren in diejenige der mag
netischen Schicht 3 überführt wird, und zwar aufgrund einer
Austauschwechselwirkungskraft, die an der Grenzfläche zwi
schen diesen beiden Schichten wirkt. So wird die Magnetisie
rung der magnetischen Schicht 3 nach oben gerichtet.
Dagegen kehrt Hw die Magnetisierung der magnetischen Schicht
4 nicht um, wenn ein Lichtstrahl mit niedrigem Niveau II
eingestrahlt wird. Während des Abkühlens kommt die Magneti
sierungsrichtung der magnetischen Schicht 3 zur Übereinstim
mung mit der Magnetisierungsrichtung der magnetischen
Schicht 4, da die Magnetisierungsrichtung der letzteren auf
grund der an der Grenzfläche zwischen diesen wirkenden Aus
tauschkopplungskräfte auf die magnetische Schicht 3 übertra
gen wird. So wird die Magnetisierungsrichtung der magneti
schen Schicht 3 nach unten gerichtet.
Anders gesagt wird es möglich, einen Überschreibvorgang un
ter Verwendung von Lichtstrahlen mit hohem Niveau I und
niedrigem Niveau II auszuführen.
Beim Abspielen wiedergegebener Information wird ein anderer
Lichtstrahl mit einem Niveau III, das deutlich tiefer liegt
als die beim Aufzeichnen verwendeten Niveaus, aufgestrahlt,
und es wird eine Verdrehung der Polarisationsebene im re
flektierten Lichtstrahl gemessen.
Ein Beispiel #1 für die magnetooptische Platte 11 ist das
folgende: das lichtdurchlässige Substrat 1 besteht aus einer
Glasplatte mit einem Durchmesser von 86 mm, einem Innen
durchmesser von 15 mm und einer Dicke von 1,2 mm. Auf einer
Fläche des Substrats 1 sind über ein reaktives Ionenätzver
fahren direkt Führungsspuren in Form von Gräben und erhabe
nen Bereichen zur Verwendung beim Führen eines Lichtstrahls
ausgebildet. Der Spurabstand beträgt 1,6 µm und die Breite
eines Grabens (vertiefter Bereich) beträgt 0,8 µm und die
Breite eines erhabenen Bereichs (vorspringender Bereich) be
trägt 0,8 µm.
Auf der Fläche des Substrats 1 mit den Führungsspuren sind
die folgenden Schichten auflaminiert: eine dielektrische
Schicht 2 aus AlN mit einer Filmdicke von 70 nm, die durch
reaktives Sputtern hergestellt wird; eine magnetische
Schicht 3 aus DyFeCo mit einer Filmdicke von 50 nm, die
durch gleichzeitiges Sputtern von Dy-, Fe- und Co-Targets
hergestellt wird; eine magnetische Schicht 4 aus GdDyFeCo
mit einer Filmdicke von 50 nm, die durch gleichmäßiges Sput
tern von Gd-, Dy-, Fe- und Co-Targets hergestellt wird, und
eine Schutzschicht 6 aus AlN mit einer Filmdicke von 70 nm.
Die Sputterbedingungen, bei denen die magnetischen Schichten
3 und 4 hergestellt werden, sind die folgenden: Endvakuum
von nicht mehr als 2,0 × 10-4 Pa, Ar-Gasdruck von 6,5 × 10-1
Pa und elektrische Entladungsleistung von 300 W. Die Sput
terbedingungen, bei denen die dielektrische Schicht 2 und
die Schutzschicht 6 hergestellt werden, sind die folgenden:
Endvakuum von nicht mehr als 2,0 × 10-4 Pa; N₂-Gasdruck von
3,0 × 10-1 Pa und elektrische Entladungsleistung von 800 W.
Die magnetische Schicht 3 weist eine an Übergangsmetall rei
che Zusammensetzung gemäß Dy0,19(Fe0,86Co0,14)0,81 mit Tc1 =
170°C und Hc1 = 12 kOe bei Raumtemperatur auf. Ferner weist
die magnetische Schicht 4 eine an Seltenerdmetall reiche Zu
sammensetzung aus (Gd0,50Dy0,50)0,30(Fe0,72Co0,28)0,70 mit
Tc2 = 250°C, Tcomp2 = 210°C und Hc2 = 1,5 kOe bei Raumtempe
ratur auf.
Zwei Platten der so hergestellten magnetooptischen Medien
werden unter Verwendung einer Kleberschicht 7 miteinander
verbunden, wodurch sich die Probe #1 der doppelseitigen mag
netooptischen Platte 11 ergibt.
Für die Kleberschicht 7 wurde ein Material aus Polyurethan
acrylaten verwendet, die in Kombination Aushärtungsfunktio
nen der folgenden drei Typen aufweisen: bei ultraviolettem
Licht, durch Wärme und ohne Luft. Unter Verwendung dieser
Kleberschicht 7 wird es möglich, selbst abgeschattete Berei
che der magnetooptischen Schicht 21 auszuhärten, durch die
keine ultravioletten Strahlen hindurchtreten können, und zwar
wegen ihrer Aushärtungseigenschaften bei Wärme und ohne
Luft. Dies ermöglicht es, eine magnetooptische Platte 11 mit
extremer Feuchtigkeitsbeständigkeit wie auch Langzeitstabi
lität herzustellen.
Auf dieser Probe #1 einer magnetooptischen Platte 11 wurden
bei einer Laserleistung (PH) vom hohen Niveau I von 10 mW
und einer Laserleistung (PL) vom niedrigen Niveau II mit
2 mW unter Verwendung der vorstehend genannten Magnete 10
und 10′ mit einer Länge von 0,65 µm aufgezeichnet. Dieser
Versuch führte zu einem erfolgreichen Überschreibvorgang
durch Lichtmodulation ohne nichtgelöschte Bereiche. Wenn die
sich ergebenden Aufzeichnungsbits mit einer Laserleistung
(PR) vom Niveau III mit 1 mW abgespielt wurden, ergab sich
ein Trägersignal/Störsignal-Verhältnis (T/R) von 46 dB.
Zu Vergleichszwecken wurden, wie es durch Fig. 6 veranschau
licht ist, Aufzeichnungs- und Abspielversuche auf dieselbe
Weise wie vorstehend beschrieben dadurch ausgeführt, daß nur
der untere Magnet 10′ verwendet wurde, und es stellte sich
heraus, daß der Spalt, d. h. der Abstand zur magnetooptischen
Aufzeichnungsschicht 21, auf nicht mehr als 0,7 mm einge
stellt werden könnte, um ein T/R-Verhältnis von 46 dB zu er
halten. Aus diesem Grund ist es unmöglich, eine magnetoopti
sche Platte 11 mit doppelseitiger Struktur zu verwenden. Ge
nauer gesagt, ist es dann, wenn nur einer der Magnete 10,
10′ verwendet wird, erforderlich, daß der entsprechende Mag
net über sehr große Abmessungen verfügt, um Hinit und Hw mit
den erforderlichen Stärken an die magnetischen Schichten 3
und 4 anzulegen, wenn ein ausreichend großer Spalt aufrecht
erhalten werden soll.
Fig. 7 zeigt ein anderes Beispiel einer magnetooptischen
Platte, wie sie in einem magnetooptischen Plattengerät ver
wendet wird.
Die magnetooptische Platte zeichnet sich durch eine magneti
sche Schicht 5 (dritte magnetische Schicht) aus, die zwi
schen den in Fig. 2 dargestellten magnetischen Schichten 3
und 4 ausgebildet ist.
Genauer gesagt, besteht die magnetooptische Schicht 21 aus
folgendem: einer lichtdurchlässigen elektrischen Schicht 2,
der magnetischen Schicht 3 (erste magnetische Schicht), der
magnetischen Schicht 5 (dritte magnetische Schicht), der
magnetischen Schicht 4 (zweite magnetische Schicht) und ei
ner Schutzschicht 6, die in dieser Reihenfolge auf das Sub
strat 1 auflaminiert sind.
Die magnetischen Schichten 3, 4 und 5 bestehen aus Selten
erdmetall-Übergangsmetall-Legierungen.
Wie in Fig. 8 dargestellt, zeigt die magnetische Schicht 3,
die bei Raumtemperatur einen niedrigeren Curiepunkt (Tc1)
und eine höhere Koerzitivkraft (Hc1) als die magnetischen
Schichten 4 und 5 aufweist, solche magnetische Eigenschaf
ten, daß die rechtwinklige magnetische Anisotropie von Raum
temperatur bis Tc1 vorherrscht.
Die magnetische Schicht 5, die einen Curiepunkt (Tc3) auf
weist, der höher als der Curiepunkt Tc1 der magnetischen
Schicht 3 ist, und die eine Koerzitivkraft (Hc3) aufweist,
die bei Raumtemperatur praktisch Null ist, zeigt folgende
Eigenschaften: bei Raumtemperatur sind die Anisotropie der
in der Ebene liegenden Magnetisierung und die Anisotropie
der rechtwinkligen Magnetisierung einander praktisch gleich
und die Anisotropie der rechtwinkligen Magnetisierung wird
bei Temperaturen nicht unter einer vorgegebenen Temperatur
vorherrschend. Die magnetische Schicht 5 weist auch eine
Kompensationstemperatur (Tcomp3) auf.
Die magnetische Schicht 4, die bei Raumtemperatur einen
Curiepunkt (Tc2) über dem Curiepunkt Tc1 der magnetischen
Schicht 3 und eine Koerzitivkraft (Hc2) unter der Koerzitiv
kraft Hc1 der magnetischen Schicht 3 aufweist, verfügt über
solche Eigenschaften, daß die Anisotropie der rechtwinkli
gen Magnetisierung von Raumtemperatur bis Tc2 vorherrschend
ist, und sie verfügt über eine Kompensationstemperatur
(Tcomp2).
Beim Aufzeichnen von Information auf die magnetooptische
Platte 11 wird zunächst ein Initialisierungsvorgang ausge
führt. Anders gesagt, wird, wie es in Fig. 9 dargestellt
ist, nur die Magnetisierung der magnetischen Schicht 4 da
durch in eine Richtung ausgerichtet, daß das nach oben ge
richtete Initialisierungsmagnetfeld (Hinit) angelegt wird.
Hierbei ist in Fig. 9 die Richtung der vom Übergangsmetall
herrührenden Untergittermagnetisierung durch Pfeile in der
magnetischen Schicht 4 angedeutet, die aus einer an Selten
erdmetall reichen Zusammensetzung besteht, bei der die vom
Seltenerdmetall herrührende Untergittermagnetisierung grö
ßer als die vom Übergangsmetall herrührende ist.
Der Initialisierungsvorgang wird immer ausgeführt, oder er
wird nur beim Aufzeichnen ausgeführt. Da Hc1 der magneti
schen Schicht 3 größer als Hinit ist und da die magnetische
Schicht 5 solche Eigenschaften aufweist, daß die Anisotropie
der in der Ebene liegenden Magnetisierung praktisch gleich
groß ist wie die Anisotropie der rechtwinkligen Magnetisie
rung, wird die Magnetisierungsrichtung der magnetischen
Schicht 4 nicht über die magnetische Schicht 5 auf die mag
netische Schicht 3 übertragen. Daher erfolgt hinsichtlich
der Magnetisierung der magnetischen Schicht 3 keine Umkehr.
Ein Aufzeichnungsvorgang wird dadurch ausgeführt, daß ein
Lichtstrahl, dessen Intensität auf hohes Niveau I und nied
riges Niveau II moduliert wird, wie in Fig. 5 dargestellt,
eingestrahlt wird, während das Schreibmagnetfeld (Hw) ange
legt wird, das dieselbe Richtung wie das Initialisierungs
magnetfeld Hinit hat, jedoch mit wesentlich geringerer Stär
ke. Das hohe Niveau I und das niedrige Niveau II sind auf
folgende Weise eingestellt: wenn ein Lichtstrahl mit hohem
Niveau I eingestrahlt wird, erreichen beide magnetischen
Schichten 3 und 4 hohe Temperatur (TH) in der Nähe von Tc1
und Tc2 oder höher, und wenn ein Lichtstrahl mit niedrigem
Niveau II eingestrahlt wird, erreicht nur die magnetische
Schicht 3 eine Temperatur (TL) in der Nähe von Tc1 oder hö
her.
Daher wird, wenn ein Lichtstrahl von hohem Niveau I einge
strahlt wird, die Magnetisierung der magnetischen Schicht 4
durch Hw nach oben umgekehrt, und während des Abkühlens er
reicht auch die magnetische Schicht 5 Anisotropie der recht
winkligen Magnetisierung; daher wird die Magnetisierungs
richtung der magnetischen Schicht 4 aufgrund von an der
Grenze zur magnetischen Schicht 5 bestehenden Austauschkopp
lungskräften auf die letztere übertragen, und die Magneti
sierungsrichtung der magnetischen Schicht 5 wird weiter auf
die magnetische Schicht 3 übertragen, was es ermöglicht, daß
die Magnetisierungsrichtung der magnetischen Schicht 3 mit
derjenigen der magnetischen Schicht 4 übereinstimmt. So wird
die Magnetisierung der magnetischen Schicht 3 nach oben ge
richtet.
Wenn dagegen ein Lichtstrahl mit dem niedrigen Niveau II
eingestrahlt wird, kehrt Hw die Magnetisierung der magneti
schen Schicht 4 nicht um. Während des Abkühlens erreicht
auch die magnetische Schicht 5 Anisotropie der rechtwinkli
gen Magnetisierung; daher wird die Magnetisierungsrichtung
der magnetischen Schicht 4 aufgrund der an der Grenzfläche
zur magnetischen Schicht 5 wirkenden Austauschkopplungskräf
te auf diese übertragen und die Magnetisierungsrichtung der
magnetischen Schicht 5 wird weiter auf die magnetische
Schicht 3 übertragen, wodurch die Magnetisierungsrichtung
der magnetischen Schicht 3 mit derjenigen der magnetischen
Schicht 4 übereinstimmen kann. So wird die Magnetisierungs
richtung der magnetischen Schicht 3 nach unten gerichtet.
Anders gesagt, wird es möglich, unter Verwendung der Licht
strahlen von hohem Niveau I und niedrigem Niveau II einen
Überschreibvorgang auszuführen.
Beim Wiedergeben aufgezeichneter Information wird ein ande
rer Lichtstrahl mit einem Niveau III, das deutlich schwä
cher als die beim Aufzeichnen verwendeten Niveaus ist, ein
gestrahlt, und es wird die Verdrehung der Polarisationsebene
des reflektierten Lichts erfaßt.
Nachfolgend wird ein Beispiel #2 einer solchen magnetoopti
schen Platte dargelegt, das mit der Ausnahme, daß die magne
tische Schicht 5 zusätzlich vorhanden ist, mit dem Beispiel
#1 übereinstimmt.
Die magnetische Schicht 5 ist eine an Seltenerdmetall reiche
Zusammensetzung aus Gd0,28(Fe0,61Co0,39)0,72 mit einer Dik
ke von 50 nm und sie weist folgende Eigenschaften auf:
Tc3 300°C; Tcomp3 = 150°C und Hc3 ≃ 0 kOe bei Raumtempe
ratur.
Aufzeichnungs- und Abspielversuche, die mit dem beim Bei
spiel #1 Ausgeführten übereinstimmen, wurden mit der magne
tooptischen Platte 11 gemäß dem Beispiel #2 unter Verwendung
der vorstehend genannten Magnete 10 und 10′ ausgeführt.
Diese Versuche führten zu erfolgreichem Überschreibbetrieb
durch Lichtmodulation ohne nichtgelöschte Bereiche, und es
wurde ein Trägersignal/Störsignal-Verhältnis (T/R) von 46 dB
erhalten.
Fig. 10 zeigt noch ein anderes Beispiel einer magnetoopti
schen Platte, wie sie im vorstehend genannten magnetoopti
schen Plattengerät verwendet wird.
Diese magnetooptische Platte 11 zeichnet sich durch eine
magnetische Schicht 8 (0-te magnetische Schicht) aus, die
zwischen der dielektrischen Schicht 2 und der magnetischen
Schicht 3, wie in Fig. 2 dargestellt, ausgebildet ist.
Genauer gesagt, besteht die magnetooptische Aufzeichnungs
schicht 21 aus folgendem: der lichtdurchlässigen dielektri
schen Schicht 2, der magnetischen Schicht 8 (0-te magneti
sche Schicht), der magnetischen Schicht 3 (erste magnetische
Schicht), der magnetischen Schicht 5 (dritte magnetische
Schicht), der magnetischen Schicht 4 (zweite magnetische
Schicht) und einer Schutzschicht 6, die in dieser Reihenfol
ge auf das Substrat 1 auflaminiert sind.
Die magnetische Schicht 8, die bei Raumtemperatur einen
Curiepunkt (Tc0) aufweist, der höher als der der magneti
schen Schicht 3 ist, und die eine Koerzitivkraft (Hc0) mit
praktisch dem Wert Null hat, zeigt bei Raumtemperatur Aniso
tropie der in der Ebene liegenden Magnetisierung, und sie
zeigt bei Temperaturen nicht unter einer vorgegebenen Tem
peratur auch Anisotropie der rechtwinkligen Magnetisierung.
Die Initialisierungs- und Aufzeichnungsvorgänge für die mag
netooptische Platte 11 wurden auf dieselbe Weise wie oben
beschrieben ausgeführt.
Beim Abspielen wiedergegebener Information wird ein anderer
Lichtstrahl mit einem Niveau III, das deutlich unter den
beim Aufzeichnen verwendeten Niveaus liegt, eingestrahlt,
und es wird die Drehung der Polarisationsebene des reflek
tierten Lichts erfaßt. Die magnetische Schicht 8 zeigt bei
Raumtemperatur Anisotropie der in der Ebene liegenden Mag
netisierung, wenn sie jedoch mit einem Lichtstrahl vom Ni
veau III beleuchtet wird, erreicht der im Zentrum des Licht
flecks liegende Bereich Anisotropie der rechtwinkligen Mag
netisierung. Dadurch ist es möglich, Information unter Ver
wendung des aus diesem Bereich, der Anisotropie der recht
winkligen Magnetisierung zeigt, reflektierten Lichtstrahls
abzuspielen. Die Größe des Anisotropie der rechtwinkligen
Magnetisierung zeigenden Bereichs ist kleiner als die Größe
des Lichtflecks; daher ist diese Anordnung für nachteilige
Effekte weniger anfällig, wie sie durch benachbarte Bits
hervorgerufen werden, und zwar im Vergleich zu einer Anord
nung ohne magnetische Schicht 8. So wird es möglich, kürzere
Aufzeichnungsbits abzuspielen.
Ein Beispiel #3 für eine solche magnetooptische Platte 11
ist das folgende, das mit Ausnahme der zusätzlichen magneti
schen Schicht 8 mit dem Beispiel #2 übereinstimmt.
Die magnetische Schicht 8 mit einer an Seltenerdmetall rei
chen Zusammensetzung aus Gd0,25(Fe0,80Co0,20)0,75 mit einer
Dicke von 50 nm weist folgende Eigenschaften auf: Tc0 =
300°C; keine Kompensationstemperatur; Hc3 ≃ 0 kOe bei Raum
temperatur und Anisotropie der rechtwinkligen Magnetisierung
bei ungefähr 100°C.
Die Aufzeichnungs- und Abspielversuche, wie sie beim Bei
spiel #1 ausgeführt wurden, wurden auch beim Beispiel #3 ei
ner magnetooptischen Platte 11 unter Verwendung der vorste
hend genannten Magnete 10 und 10′ ausgeführt. Diese Versu
che führten zu einem erfolgreichen Überschreibvorgang durch
Lichtmodulation ohne nichtgelöschte Bereiche, und es wurde
ein Trägersignal/Störsignal-Verhältnis (T/R) von 48 dB er
halten. Im Vergleich zum Beispiel #2 mit einem T/R-Verhält
nis von 46 dB wurde beim Beispiel #3 bessere Signalqualität
erzielt. Es wird angenommen, daß der Grund hierfür in der
Tatsache liegt, daß es die Vorgabe Tc0 < Tc1 ermöglicht,
daß der Kerr-Rotationswinkel größer wird.
Darüber hinaus fällt dann, wenn die Aufzeichnungsbits grö
ßer werden, das T/R-Verhältnis beim Beispiel #2 stark ab,
während dies beim Beispiel #3 nicht so stark der Fall ist.
Es wird angenommen, daß der Grund hierfür im Vorhandensein
der magnetischen Schicht 8 liegt, wie bereits beschrieben.
Wie vorstehend beschrieben, ermöglichen es die Magnete 10
und 10′ des vorliegenden Ausführungsbeispiels, ein kompak
tes, insbesondere flaches magnetooptische Plattengerät zu
schaffen, das Überschreiben durch Lichtmodulation auf einer
doppelseitigen magnetooptischen Platte 11 ausführen kann.
Beim vorstehend angegebenen Ausführungsbeispiel sind die
paarweise vorhandenen Magnete 10 und 10′ hinsichtlich der
Bewegungsrichtung der magnetooptischen Platte 11 vor dem
Bereich angeordnet, der durch einen Lichtstrahl zu bestrah
len ist; jedoch kann eine andere Anordnung verwendet werden,
bei der ein anderes Paar Magnete 10 und 10′ hinsichtlich der
Bewegungsrichtung der magnetooptischen Platte 11 auf der
anderen Seite des genannten Bereichs angeordnet ist. In
diesem Fall wird die Magnetisierung der zusätzlichen Magnete
10 und 10′ so eingestellt, daß sie zur Magnetisierung der
ursprünglichen Magnete 10 und 10′ entgegengesetzt ist.
Anders gesagt, ist die Anordnung so, daß die Magnetpole der
zusätzlichen Magnete 10, 10′ und diejenigen der ursprüngli
chen Magnete 10, 10′ dergestalt sind, daß die einander
gegenüberstehenden Magnete in den Paaren jeweils dieselbe
Polarität aufweisen.
Bei dieser Anordnung hat das magnetische Streufeld, das von
den Magneten 10 und 10′ auf den (nicht dargestellten) Stell
gliedabschnitt eines optischen Aufnehmers wirkt, symmetri
sche, gleichmäßige Verteilung, da zwei geschlossene magneti
sche Kreise vorliegen, von denen jeder aus den Magneten 10
und 10′ besteht, die symmetrisch zum Lichtstrahl angeordnet
sind. Dies ermöglicht es, nachteilige Auswirkungen auf den
Stellgliedabschnitt zu vermeiden, wie sie durch Streumagnet
felder ausgeübt werden.
Da das kombinierte Magnetfeld von den zwei Paaren von Magne
ten 10 und 10′ auf den vom Lichtstrahl beleuchteten Bereich
als Magnetfeld Hw einwirkt, kann der Abstand der Magnete 10
und 10′ zum Lichtfleck weiter erhöht werden, wodurch es er
möglicht ist, nachteilige Auswirkungen auf den Stellgliedab
schnitt, wie durch Streumagnetfelder verursacht, weiter zu
verringern.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 11 bis 14 erörtert die folgen
de Beschreibung das zweite Ausführungsbeispiel der Erfin
dung. Hier sind zum Vereinfachen der Erläuterung diejenigen
Teile, die dieselben Funktionen wie beim vorstehenden Aus
führungsbeispiel aufweisen und die dort beschrieben wurden,
mit denselben Bezugszahlen versehen und die Beschreibung da
zu wird weggelassen.
Das magnetooptische Plattengerät des vorliegenden Ausfüh
rungsbeispiels unterscheidet sich vom vorstehend beschriebe
nen Ausführungsbeispiel dahingehend, daß, wie es in Fig. 11
dargestellt ist, das Paar der Magnete 10 und 10′ an der an
deren Seite des von einem Lichtstrahl zu bestrahlenden Be
reichs angeordnet ist, d. h. auf derjenigen Seite, zu der hin
sich die magnetooptische Platte 11 dreht (nach rechts in
Fig. 11). Bei dieser Anordnung wird das Initialisierungsmag
netfeld Hinit, das rechtwinklig zur magnetooptischen Platte
11 steht, an der anderen Seite, jenseits des vom Licht
strahl beleuchteten Bereichs, angelegt, und das Schreibmag
netfeld Hw, das praktisch antiparallel zu Hinit und schwä
cher als dieses Feld ist, wird im vom Lichtstrahl beleuchte
ten Bereich angelegt.
Fig. 12 zeigt ein Beispiel einer magnetooptischen Platte 11,
wie sie beim vorstehend genannten magnetooptischen Platten
gerät verwendet wird.
Die magnetooptische Platte 11, die eine sogenannte doppel
seitige Platte ist, weist eine Anordnung auf, bei der zwei
magnetooptische Aufzeichnungsmedien, die jeweils aus einem
lichtdurchlässigen Substrat 1 (Trägersubstrat) und einer
darauf ausgebildeten magnetooptischen Aufzeichnungsschicht
21 bestehen, mit ihren Oberseiten unter Verwendung einer
dazwischenliegenden Kleberschicht 7 miteinander verbunden
sind.
Die magnetooptische Aufzeichnungsschicht 21 besteht aus ei
ner dielektrischen Schicht 2 mit Lichttransmissionseigen
schaft, einer magnetischen Schicht 3 (erste magnetische
Schicht), einer magnetischen Schicht 4 (zweite magnetische
Schicht) und einer Schutzschicht 6, die in dieser Reihenfol
ge auf das Substrat 1 auflaminiert sind.
Die magnetischen Schichten 3 und 4 bestehen aus Seltenerdme
tall-Übergangsmetall-Legierungen.
Wie in Fig. 13 dargestellt, zeigt die magnetische Schicht 3,
die bei Raumtemperatur einen tieferen Curiepunkt (Tc1) und
eine höhere Koerzitivkraft (Hc1) als die magnetische Schicht
4 aufweist, solche Eigenschaften, daß von Raumtemperatur bis
Tc1 die Anisotropie der rechtwinkligen Magnetisierung vor
herrschend ist.
Die magnetische Schicht 4, deren Curiepunkt (Tc2) bei Raum
temperatur höher als Tc1 der magnetischen Schicht 3 ist, und
deren Koerzitivkraft (Hc2) tiefer als Hc1 der magnetischen
Schicht 3 ist, zeigt solche Eigenschaften, daß Anisotropie
der rechtwinkligen Magnetisierung von Raumtemperatur bis Tc2
vorherrschend ist, und sie weist keinen Kompensationspunkt
auf.
Beim Aufzeichnen von Information auf die magnetooptische
Platte 11 wird zunächst ein Initialisierungsvorgang ausge
führt. Anders gesagt, wird, wie in Fig. 14 dargestellt, nur
die Magnetisierung der Magnetisierungsschicht 4 durch Anle
gen des nach oben gerichteten Initialisierungsmagnetfelds
(Hinit) in einer Richtung ausgerichtet. Hierbei ist in Fig.
14 die Richtung der vom Übergangsmetall hervorgerufenen Un
tergittermagnetisierung durch Pfeile in der magnetischen
Schicht 4 angedeutet, die eine an Seltenerdmetall reiche Zu
sammensetzung ist, bei der die Untergittermagnetisierung
durch das Seltenerdmetall größer als die durch das Über
gangsmetall ist.
Der Initialisierungsvorgang wird immer ausgeführt, oder er
wird nur beim Aufzeichnen ausgeführt. Da Hc1 der magneti
schen Schicht 3 größer als Hinit ist, tritt in der Magneti
sierung der magnetischen Schicht 3 keine Umkehr auf.
Ein Aufzeichnungsvorgang wird dadurch ausgeführt, daß ein
Lichtstrahl aufgestrahlt wird, dessen Intensität mit einem
hohen Niveau I und einem niedrigen Niveau II moduliert wird,
während ein Schreibmagnetfeld (Hw) angelegt wird, dessen
Richtung entgegengesetzt zu der des Initialisierungsmagnet
felds Hinit ist und das wesentlich schwächer als Hinit ist.
Das hohe Niveau und das niedrige Niveau sind auf folgende
Weise vorgegeben: wenn ein Lichtstrahl mit hohem Niveau I
eingestrahlt wird, erreichen beide magnetische Schichten 3
und 4 hohe Temperatur (TH) in der Nähe von Tc1 und Tc2 oder
darüber, und wenn ein Lichtstrahl mit niedrigem Niveau II
eingestrahlt wird, erreicht nur die magnetische Schicht 3
eine Temperatur (TL) in der Nähe von Tc1 oder darüber.
Daher wird, wenn ein Lichtstrahl von hohem Niveau I einge
strahlt wird, die Magnetisierung der magnetischen Schicht 4
aufgrund von Hw nach oben umgekehrt, und während des Abküh
lens kommt die Magnetisierungsrichtung der magnetischen
Schicht 3 zur Übereinstimmung mit der Magnetisierungsrich
tung der magnetischen Schicht 4, da die letztere aufgrund
der Austauschkopplungskräfte, wie sie an der Grenzfläche zur
magnetischen Schicht 3 wirken, auf die letztere übertragen
wird. So erhält die magnetische Schicht 3 eine nach oben ge
richtete Magnetisierung.
Wenn dagegen ein Lichtstrahl mit niedrigem Niveau II einge
strahlt wird, dreht Hw die Magnetisierung der magnetischen
Schicht 4 nicht um. Während des Abkühlens kommt die Magneti
sierungsrichtung der magnetischen Schicht 3 zur Übereinstim
mung mit der Magnetisierungsrichtung der magnetischen
Schicht 4, da die letztere aufgrund von Austauschkopplungs
kräften, die an der Grenzfläche zur magnetischen Schicht 3
wirken, auf diese übertragen wird. So wird die Magnetisie
rung in der magnetischen Schicht 3 nach unten gerichtet.
Anders gesagt, wird es möglich, einen Überschreibvorgang un
ter Verwendung von Lichtstrahlen mit hohem Niveau I und
niedrigem Niveau II auszuführen.
Beim Abspielen aufgezeichneter Information wird ein anderer
Lichtstrahl mit einem Niveau III, das wesentlich kleiner als
die beim Aufzeichnen verwendeten Niveaus ist, eingestrahlt,
und es wird die Drehung der Polarisationsebene des reflek
tierten Lichts erfaßt.
Ein Beispiel #4 für eine solche magnetooptische Platte 11
ist das folgende, das mit dem Beispiel #1 mit Ausnahme der
magnetischen Schicht 4 übereinstimmt.
Die magnetische Schicht 4 mit einer an Seltenerdmetall rei
chen Zusammensetzung gemäß (Gd0,50Dy0,50)0,32(Fe0,68Co0,32)
0,68 weist folgende Eigenschaften auf: Tc2 = 250°C und Hc2 =
1,5 kOe bei Raumtemperatur, ohne Kompensationstemperatur.
Die beim Beispiel #1 ausgeführten Aufzeichnungs- und Ab
spielversuche wurden auch beim Beispiel #4 einer magnetoop
tischen Platte 11 unter Verwendung der vorstehend genannten
Magnete 10 und 10′ ausgeführt. Diese Versuche führten zu er
folgreichem Überschreibbetrieb durch Lichtmodulation, ohne
nichtgelöschte Bereiche, und es wurde ein Trägersignal/Stör
signal-Verhältnis (T/R) von 46 dB erhalten.
Auch beim vorliegenden Ausführungsbeispiel ist es möglich,
das magnetooptische Plattengerät unter Verwendung der Magne
te 10 und 10′ kompakt, insbesondere flach auszubilden, auf
dieselbe Weise wie beim zuerst beschriebenen Ausführungsbei
spiel.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 15 bis 18 erörtert die folgen
de Beschreibung das dritte Ausführungsbeispiel der Erfin
dung. Hierbei sind zum Vereinfachen der Erläuterung diejeni
gen Teile, die dieselben Funktionen wie beim ersten Ausfüh
rungsbeispiel aufweisen und die dort beschrieben wurden, mit
denselben Bezugszahlen gekennzeichnet und die Beschreibung
hierzu wird weggelassen.
Das magnetooptische Plattengerät des vorliegenden Ausfüh
rungsbeispiels unterscheidet sich von dem beim vorstehenden
Ausführungsbeispiel beschriebenen dahingehend, daß, wie es
in Fig. 15 veranschaulicht ist, das Paar der Magnete 10 und
10′ so angeordnet ist, daß sie parallel zur Oberfläche der
magnetooptischen Platte 11 verschiebbar sind. Durch diese
Parallelverschiebung der Magnete 10 und 10′ wird es möglich,
die Richtung des Magnetfelds Hw, das im durch einen Licht
strahl beleuchteten Bereich anzulegen ist, zwischen der Auf
wärts- und der Abwärtsrichtung umzuschalten.
Fig. 16 zeigt ein Beispiel für eine magnetooptische Platte
11, wie sie beim vorstehend genannten magnetooptischen Plat
tengerät verwendet wird.
Diese magnetooptische Platte 11, die eine sogenannte doppel
seitige Platte ist, weist eine Anordnung auf, bei der zwei
magnetooptische Aufzeichnungsmedien, die jeweils aus einem
lichtdurchlässigen Substrat 1 (Trägersubstrat) und einer
darauf ausgebildeten magnetooptischen Aufzeichnungsschicht
bestehen, mit den Oberseiten unter Verwendung einer dazwi
schen eingebetteten Kleberschicht 7, miteinander verbunden
sind.
Die magnetooptische Aufzeichnungsschicht 21, die eine soge
nannte vierschichtige Reflexionsfilmstruktur aufweist, be
steht aus einer dielektrischen Schicht 2 mit Lichttransmis
sionseigenschaft, einer magnetischen Schicht 3 mit einer
Achse leichter Magnetisierung rechtwinklig zur Schichtober
fläche, einer dielektrischen Schicht 12 mit Lichttransmis
sionseigenschaft und einer Reflexionsschicht 13, die in die
ser Reihenfolge auf das Substrat 1 auflaminiert sind.
Beim Aufzeichnen von Information auf die magnetooptische
Platte 11 wird zunächst unter Einstrahlen eines Lichtstrahls
beim Anlegen von Hw ein Löschvorgang ausgeführt. Dann wird
die Richtung von Hw durch eine Parallelverschiebung der Mag
nete 10 und 10′ umgekehrt. In diesem Zustand wird Aufzeich
nung durch Lichtmodulation ausgeführt.
Beim Wiedergeben aufgezeichneter Information wird ein ande
rer Lichtstrahl, der wesentlich schwächer als der beim Auf
zeichnen verwendete ist, eingestrahlt, und es wird die Dre
hung der Polarisationsebene des reflektierten Lichts erfaßt.
Ein Beispiel #5 für eine solche magnetooptische Platte 11
stimmt mit dem Beispiel #1 mit der Ausnahme überein, daß ei
ne magnetische Schicht 3, eine dielektrische Schicht 12 mit
Lichttransmissionseigenschaft und eine Reflexionsschicht 13
vorhanden sind.
Die magnetische Schicht 3 besteht aus Dy0,23(Fe0,78Co0,22)
0,77 mit einer Filmdicke von 20 nm, wobei Hc1 bei Raumtempe
ratur nicht kleiner als 16 kOe ist. Die dielektrische
Schicht 12 besteht aus AlN mit einer Filmdicke von 25 nm,
und die Reflexionsschicht 13 besteht aus Al mit einer Film
dicke von 50 nm.
Mit diesem Beispiel #5 einer magnetooptischen Platte 11 wur
den Aufzeichnungs- und Abspielversuche ausgeführt. Als Mag
nete 10 und 10′ wurden Nd enthaltende Permanentmagnete,
identisch zu den beim ersten Ausführungsbeispiel verwendeten
Magneten, verwendet. Wenn diese Magnete 10 und 10′ 0,5 mm
entfernt von den Substraten 1 der magnetooptischen Platte 11
und 7 mm entfernt vom Lichtfleck angeordnet wurden, war es
möglich, ein Magnetfeld Hw von 250 Oe an die magnetooptische
Platte 11 anzulegen. Aufzeichnungsbits mit einer Länge von
0,76 µm wurden unter Verwendung einer Aufzeichnungs- und
Löschlaserleistung von 5,5 mW aufgezeichnet und die sich er
gebenden Aufzeichnungsbits wurden abgespielt; dieser Versuch
führte zu einem T/R-Verhältnis von 50 dB. Das T/R-Verhältnis
war im Vergleich zum Fall des vorstehenden Beispiels ver
bessert, was vermutlich auf verbessertem Kerr-Effekt beruht.
Auch beim vorliegenden Ausführungsbeispiel ist es möglich,
ein kompaktes, insbesondere flaches magnetooptisches Plat
tengerät unter Verwendung der Magnete 10 und 10′ herzustel
len, auf dieselbe Weise wie bei den vorstehend genannten
Ausführungsbeispielen.
Zu Vergleichszwecken wurde derselbe Aufzeichnungs- und Ab
spielversuch wie vorstehend beschrieben, nur unter Verwen
dung des Magnets 10′ an der Unterseite, ausgeführt, wie in
Fig. 17 dargestellt, und es wurde ein T/R-Verhältnis iden
tisch zum vorstehend beschriebenen erhalten. In diesem Fall
ist es jedoch erforderlich, einen Schwenkmechanismus für den
Magnet 10′ anzubringen, um die Polarität von Hw umzukehren;
dies führt zu Schwierigkeiten beim Herstellen eines flachen
magnetooptischen Plattengeräts.
Fig. 18 zeigt ein anderes Beispiel einer magnetooptischen
Platte 11, wie sie im vorstehend genannten magnetooptischen
Plattengerät verwendet wird.
Die magnetooptische Platte 11, die eine sogenannte doppel
seitige Platte ist, weist eine Anordnung auf, bei der zwei
magnetooptische Aufzeichnungsmedien, die jeweils aus einem
lichtdurchlässigen Substrat 1 (Trägersubstrat) und einer
darauf ausgebildeten magnetooptischen Aufzeichnungsschicht
bestehen, mit ihren Oberseiten unter Verwendung einer dazwi
schen eingebetteten Kleberschicht 7, miteinander verbunden
sind.
Die magnetooptische Aufzeichnungsschicht 21 besteht aus ei
ner dielektrischen Schicht 2 mit Lichttransmissionseigen
schaft, einer magnetischen Schicht 8 (0-te magnetische
Schicht), einer magnetischen Schicht 3 mit einer Achse
leichter Magnetisierung rechtwinklig zur Schichtoberfläche
und einer Schutzschicht 6, die in dieser Reihenfolge auf das
Substrat 1 auflaminiert sind.
Die magnetische Schicht 8, die bei Raumtemperatur einen
Curiepunkt (Tc0) über dem der magnetischen Schicht 3 und
praktisch eine Koerzitivkraft (Hc0) vom Wert Null aufweist,
zeigt bei Raumtemperatur Anisotropie der in der Ebene lie
genden Magnetisierung, und sie zeigt auch bei Temperaturen
nicht unter einer vorgegebenen Temperatur Anisotropie der
rechtwinkligen Magnetisierung.
Ein Beispiel #6 einer solchen magnetooptischen Platte ver
fügt über eine an Seltenerdmetall reiche Zusammensetzung aus
Gd0,26(Fe0,82Co0,18)0,74 mit einer Filmdicke von 50 nm und
sie weist die folgenden Eigenschaften auf: Tc2 = 300°C und
Hc3 ≃ 0 kOe bei Raumtemperatur, und sie zeigt bei ungefähr
100°C Anisotropie der rechtwinkligen Magnetisierung.
Die magnetische Schicht 3 besteht aus Dy0,23(Fe0,78Co0,22)0,77
mit einer Filmdicke von 50 nm und sie weist einen Wert
von Hc1 nicht unter 16 kOe bei Raumtemperatur auf.
Mit dem Beispiel #6 einer magnetooptischen Platte 11 wurden
unter denselben Bedingungen, wie sie beim Beispiel #5 ver
wendet wurden, Aufzeichnungs- und Abspielversuche ausge
führt. Diese Versuche führten zu einem T/R-Verhältnis von 50
dB. Es wird angenommen, daß das sich ergebende T/R-Verhält
nis, das mit dem beim Beispiel #5 übereinstimmt, durch die
Verwendung der magnetischen Schicht 8 mit hohem Curiepunkt
Tc0 bedingt ist. Darüber hinaus fiel, wie beim Beispiel #3
beim oben genannten Ausführungsbeispiel, selbst dann, wenn
die Aufzeichnungsbits verkürzt wurden, das T/R-Verhältnis
beim Beispiel #6 nicht stark ab. Es wird angenommen, daß der
Grund hierfür in der Verwendung der magnetischen Schicht 8
liegt, wie zuvor beschrieben.
Bei den Ausführungsbeispielen, wie sie vorste
hend beschrieben wurden, wird Glas als Substrat 1 der Proben
#1 bis #6 einer magnetooptischen Platte 11 verwendet. Dane
ben ist es möglich, die folgenden Materialien als Substrat
zu verwenden: chemisch verstärktes Glas; ein sogenanntes
Glassubstrat mit 2P-Schicht, bei dem ein durch Ultraviolett
strahlung aushärtendes Harz auf einem aus dem vorstehend
genannten Glas bestehenden Substrat ausgebildet ist; Poly
carbonat (PC); Polymethylmethacrylat (PMMA); amorphes Poly
olefin (APO); Polystyrol (PS); Polychlorbiphenyl (PVC);
Epoxid usw.
Die Filmdicke von AlN bei der transparenten dielektrischen
Schicht 2 muß nicht auf 80 nm beschränkt sein. Die Film
dicke der transparenten dielektrischen Schicht 2 wird unter
Berücksichtigung der sogenannten Kerr-Effektverstärkung
festgelegt, durch die beim Abspielen einer magnetooptischen
Platte der polare Kerr-Rotationswinkel der Aufzeichnungs
schicht 3 unter Verwendung kohärenter Lichteffekte verstärkt
wird. Um die Signalqualität (T/R) so groß wie möglich zu
machen, ist es erforderlich, den polaren Kerr-Rotationswin
kel zu erhöhen; daher wird die Filmdicke der transparenten
dielektrischen Schicht 2 so festgelegt, daß der polare Kerr-
Rotationswinkel maximal wird.
Die Filmdicke ändert sich abhängig von der Wellenlänge des
10 bei der Wiedergabe verwendeten Lichts und dem Brechungsin
dex der transparenten dielektrischen Schicht 2. Beim vorlie
genden Ausführungsbeispiel wird AlN mit einem Brechungsindex
von 2,0 verwendet; daher ist es dann, wenn Wiedergabelicht
mit einer Wellenlänge von 780 nm verwendet wird, wenn die
Filmdicke von AlN der transparenten dielektrischen Schicht 2
in der Größenordnung von 30 bis 120 nm eingestellt wird,
möglich, eine größere Kerr-Effektverstärkung zu erzielen.
Daher ist es erwünscht, die Filmdicke von AlN der transpa
renten dielektrischen Schicht 2 in der Größenordnung von 70
bis 100 nm einzustellen, und innerhalb dieses Bereichs wird
der polare Kerr-Rotationswinkel praktisch am größten.
Ferner ist es dann, wenn Wiedergabelicht mit einer Wellen
länge von 400 nm verwendet wird, bevorzugt, die Filmdicke
der transparenten dielektrischen Schicht 2 auf ungefähr die
Hälfte (= 400/780) des vorstehend angegebenen Werts einzu
stellen. Wenn der Brechungsindex vom vorstehend angegebenen
Wert verschieden ist, und zwar wegen anderer Materialien
oder anderer Herstellverfahren, wird die Dicke der transpa
renten dielektrischen Schicht 2 vorzugsweise so festgelegt,
daß der Wert, wie er durch Multiplizieren dieses Brechungs
index mit der Filmdicke (Lichtpfadlänge) erhalten wird, der
selbe bleibt.
Wie vorstehend erläutert, muß die Filmdicke umso kleiner
sein, je größer der Brechungsindex der transparenten dielek
trischen Schicht 2 ist. Ferner ist die Verstärkungswirkung
auf den polaren Kerr-Rotationswinkel umso größer, je grö
ßer der Brechungsindex ist.
Der Brechungsindex von AlN ändert sich abhängig von Änderun
gen des Materialverhältnisses, des Gasdrucks und anderer
Faktoren von Ar und N₂, die während eines Sputterprozesses
verwendete Sputtergase sind. Jedoch weist AlN einen relativ
großen Brechungsindex praktisch im Bereich von 1,8 bis 2,1
auf und es wird vorzugsweise als Material für die transpa
rente dielektrische Schicht 2 verwendet.
Ferner dient die transparente dielektrische Schicht 2 nicht
nur zur Verstärkung des Kerr-Effekts, sondern sie wird auch
in Zusammenwirkung mit der Schutzschicht 6 zum Verhindern
von Oxidation der magnetischen Schichten aus den jeweiligen
Seltenerdmetall-Übergangsmetall-Legierungen, wie der magne
tischen Schichten 3 bis 5 und der magnetischen Schichten 8
sowie 3 bis 5 verwendet.
Magnetische Filme aus Seltenerdmetall-Übergangsmetall-Legie
rungen neigen dazu, daß sie unter Oxidation leiden, und ins
besondere gilt dies für Seltenerdmetalle. Aus diesem Grund
würden sich ihre Eigenschaften aufgrund von Oxidation stark
verschlechtern, wenn nicht geeignete Maßnahmen ergriffen
würden, um das Eintreten von Sauerstoff und Wasserdampf von
außen in die Filme zu verhindern.
Daher ist bei den Beispielen #1 bis #6 die Ausbildung der
gestalt, daß beide Seiten der magnetischen schichten 3 bis 5
oder der magnetischen schichten 8 und 3 bis 5 in AlN einge
bettet sind. AlN bildet einen Nitridfilm ohne Sauerstoff als
Bestandteil und es ist ein ausgezeichnetes Material hin
sichtlich der Beständigkeit gegen Wasserdampf.
Außerdem werden AlN-Filme durch einen reaktiven Gleichstrom
sputtervorgang erhalten, bei dem ein Al-Target in N₂-Gas
atmosphäre oder einer Mischgasatmosphäre aus Ar und N₂ ver
wendet wird. Dieser Betrieb ist wegen seiner hohen Filmbil
dungsgeschwindigkeit vorteilhafter als HF-Sputtern.
Was Materialien für die transparente dielektrische Schicht 2
neben AlN betrifft, werden vorzugsweise die folgenden Mate
rialien mit relativ großen Brechungsindizes verwendet: SiN,
AlSiN, AlTaN, SiAlON, TiN, TiON, BN, ZnS, TiO₂, BaTiO₃,
SrTiO₃, usw.
Unter diesen Materialien werden insbesondere SiN, AlSiN,
AlTaN, TiN, BN und ZnS am bevorzugtesten zum Herstellen mag
netooptischer Platten mit ausgezeichneter Wasserdampfbestän
digkeit verwendet, da sie keinen Sauerstoff als Bestandteil
enthalten.
Die Zusammensetzungen von DyFeCo der magnetischen Schicht 3,
von GdFeCo der magnetischen Schicht 4 und von GdDyFeCo der
magnetischen Schicht 5 sollen nicht auf die vorstehend ange
gebenen Zusammensetzungen beschränkt sein. Was die Materia
lien der magnetischen Schichten 3 bis 5 betrifft, werden
dieselben Wirkungen erzielt, wenn Legierungen verwendet wer
den, die aus mindestens einem aus der aus Gd, Tb, Dy, Ho und
Nd bestehenden Gruppe ausgewählten Seltenerdmetall und min
destens einem aus der aus Fe und Co bestehenden Gruppe aus
gewählten Übergangsmetall hergestellt sind.
Wenn mindestens ein aus der aus Cr, V, Nb, Mn, Be, Ni, Ti,
Pt, Rh und Cu bestehenden Gruppe ausgewähltes Element den
vorstehend angegebenen Materialien zugesetzt wird, wird es
möglich, die Widerstandsfähigkeit der magnetischen Schichten
3 bis 5 gegen verschiedene Umgebungseinflüsse zu verbessern.
Anders gesagt, verringert diese Anordnung die Verschlechte
rung von Eigenschaften der magnetischen Schichten 3 und 5
aufgrund des Eindringens von Sauerstoff mit der sich daraus
ergebenden Oxidation, wodurch magnetooptische Platten mit
hervorragender Langzeitzuverlässigkeit hergestellt werden.
Die Filmdicken der magnetischen Schichten 3 bis 5 werden da
durch festgelegt, daß die Korrelation zwischen den Materia
lien, Zusammensetzung und Filmdicken dieser Schichten be
rücksichtigt werden. Die Filmdicke der magnetischen Schicht
3 wird vorzugsweise nicht kleiner als 20 nm, bevorzugter
nicht kleiner als 30 nm eingestellt. Wenn diese Schicht zu
dick ist, wird in der magnetischen Schicht 5 vorhandene In
formation nicht in sie kopiert, weswegen die Filmdicke vor
zugsweise nicht mehr als 100 nm beträgt. Die Filmdicke der
magnetischen Schicht 4 wird vorzugsweise auf nicht weniger
als 5 nm, bevorzugter auf einen Bereich von 10 bis 50 nm
eingestellt. Wenn die Schicht zu dick ist, wird die Informa
tion in der magnetischen Schicht 5 nicht in sie kopiert,
weswegen die Filmdicke vorzugsweise nicht mehr als 100 nm
beträgt. Die Filmdicke der magnetischen Schicht 5 wird vor
zugsweise auf nicht weniger als 20 nm, bevorzugter in einem
Bereich von 10 bis 50 nm eingestellt. Da zu große Dicke zu
verringerter Aufzeichnungsempfindlichkeit führt, wird die
Filmdicke vorzugsweise auf nicht mehr als 200 nm einge
stellt.
Hierbei sinkt, wenn die Curietemperatur Tc1 der magnetischen
Schicht 3 unter 100°C liegt, das T/R-Verhältnis unter 45 dB,
was der Minimalpegel ist, wie er für einen digitalen Auf
zeichnungs-Wiedergabe-Vorgang erforderlich ist. Darüber
hinaus führt ein Wert von Tc1 über 250°C zu verringerter
Aufzeichnungsempfindlichkeit. Daher wird die Curietempera
tur Tc1 der magnetischen Schicht 3 vorzugsweise in einem Be
reich von 100 bis 250°C eingestellt. Wenn der Wert von Hc1
der magnetischen Schicht 3 kleiner als 5 kOe bei Raumtempe
ratur ist, kann diese Schicht durch Hinit teilweise initia
lisiert werden. Aus diesem Grund wird der Wert von Hc1 der
magnetischen Schicht 3 bei Raumtemperatur auf vorzugsweise
nicht weniger als 5 kOe eingestellt.
Wenn die Temperatur, ab der die Magnetschicht 4 Anisotropie
der rechtwinkligen Magnetisierung zeigt, unter 80°C liegt,
erfolgt ein Kopieren der Magnetisierung von der magnetischen
Schicht 5 in die magnetische Schicht 4, wie auch ein Kopie
ren der Magnetisierung von der magnetischen Schicht 4 in die
magnetische Schicht 3 bei einer Temperatur zwischen der
Raumtemperatur und der durch Einstrahlung des Lichtstrahls
PR erreichten Temperatur. Daher initialisiert Hinit nicht
nur die magnetische Schicht 5 sondern auch die magnetische
Schicht 3, was ein Aufzeichnen unmöglich macht. Aus diesem
Grund ist es bevorzugt, die Temperatur, ab der die magneti
sche Schicht 4 Anisotropie der rechtwinkligen Magnetisierung
zeigt, auf nicht weniger als 80°C einzustellen.
Darüber hinaus wird, wenn Tc2 der magnetischen Schicht 4
kleiner als Tc1 der magnetischen Schicht 3 ist, das Kopie
ren der Magnetisierung nicht gut ausgeführt, wenn ein Über
schreibvorgang durch Lichtmodulation erfolgt. Daher ist es
zweckmäßig, Tc2 der magnetischen Schicht 4 auf nicht weniger
als Tc1 einzustellen.
Wenn Tc3 der magnetischen Schicht 5 kleiner als 150°C ist,
wird ein Überschreibvorgang durch Lichtmodulation nicht gut
ausgeführt, da die Differenz zwischen PL und PR minimal ist.
Ferner führt ein Wert von Tc3 unter 400°C zu verringerter
Signalempfindlichkeit. Daher ist es zweckmäßig, den Curie
punkt Tc3 der magnetischen Schicht 5 im Bereich von 150 bis
400°C einzustellen. Es ist nicht bevorzugt, daß Hc3 der mag
netischen Schicht 5 bei Raumtemperatur 3 kOe überschreitet,
da dies dazu führen würde, daß ein Magnet zum Erzeugen des
Felds Hinit voluminös würde. Aus diesem Grund ist es zweck
mäßig, den Wert Hc3 für die magnetische Schicht 5 bei Raum
temperatur auf nicht mehr als 3 kOe einzustellen.
Darüber hinaus ist es bevorzugt, daß Tcomp3 für die magneti
sche Schicht 5 niedriger als Tcomp2 für die magnetische
Schicht 4 ist, da dann die Toleranz der Intensität des
Lichtstrahls I hohen Pegels, wie auch die Toleranz der In
tensität des Lichtstrahls II niedrigen Pegels ansteigen
kann, und da die statische magnetische Kraft der magneti
schen Schicht 4 verwendet wird, wenn Information der magne
tischen Schicht 4 während des Abkühlens an die magnetische
Schicht 5 übertragen wird und die Information weiter an die
magnetische Schicht 3 übertragen wird.
Die Filmdicke von AlN der Schutzschicht 6 beträgt bei den
vorliegenden Ausführungsbeispielen 80 nm, jedoch soll die
Erfindung nicht auf diesen Wert beschränkt sein. Die Film
dicke der Schutzschicht 6 ist vorzugsweise im Bereich von
1 bis 200 nm eingestellt.
Bei den vorliegenden Ausführungsbeispielen betragen die zu
sammengefaßten Filmdicken der magnetischen Schichten 3 bis 5
oder der magnetischen Schichten 3 bis 5 sowie 8 nicht weni
ger als 100 nm, und eine Filmdicke dieses Ausmaßes erlaubt
es dem vom optischen Aufnehmer einfallenden Licht kaum, die
magnetischen Schichten zu durchstrahlen. Daher besteht keine
spezielle Beschränkung für die Filmdicke der Schutzschicht 6
und jede Filmdicke kann verwendet werden, solange sie dazu
ausreicht, über lange Zeit Oxidation der magnetischen
Schichten zu verhindern. Wenn das Material über geringe
Antioxidationseigenschaften verfügt, muß die Dicke größer
sein, während andernfalls die Filmdicke dünner sein kann.
Die thermische Leitfähigkeit der Schutzschicht 6, wie auch
die der transparenten dielektrischen Schicht 2, hat Auswir
kung auf die Aufzeichnungsempfindlichkeit der magnetoopti
schen Platte. Die Aufzeichnungsempfindlichkeit gibt an, wie
viel Laserleistung zum Aufzeichnen oder Löschen erforderlich
ist. Wenn Licht auf eine magnetooptische Platte fällt, läuft
das meiste Licht durch den transparenten dielektrischen Film
2 und wird durch Absorption durch die magnetischen Schichten
3 bis 5 oder die magnetischen Schichten 3 bis 5 sowie 8, die
absorbierende Filme sind, in Wärme umgesetzt. In diesem Fall
wird die Wärme der magnetischen Schichten 3 bis 5 oder der
magnetischen Schichten 3 bis 5 sowie 8 durch Wärmeleitung
zur transparenten dielektrischen Schicht 2 und zur Schutz
schicht 6 geleitet. Daher haben die Wärmeleitfähigkeiten und
Wärmekapazitäten (spezifische Wärme) der transparenten di
elektrischen Schicht 2 und der Schutzschicht 6 Auswirkung
auf die Aufzeichnungsempfindlichkeit.
Dies bedeutet, daß die Aufzeichnungsempfindlichkeit einer
magnetooptischen Platte dadurch in gewissem Ausmaß einge
stellt werden kann, daß die Filmdicke der Schutzschicht 6
verändert wird. Um z. B. die Aufzeichnungsempfindlichkeit zu
erhöhen (um Aufzeichnen und Löschen unter Verwendung eines
Lasers geringer Leistung zu ermöglichen), wird die Filmdicke
der Schutzschicht 6 verringert. Im allgemeinen ist es von
Vorteil, die Aufzeichnungsempfindlichkeit in gewissem Ausmaß
zu erhöhen, um die Lebensdauer des Lasers zu verlängern; da
her ist es umso besser, je geringer die Filmdicke der
Schutzschicht 6 ist.
AlN, das aus dem vorstehend genannten Gesichtspunkt vorteil
haft ist, weist auch hervorragende Wasserdampfbeständigkeit
auf; daher wird, wenn es als Schutzschicht 6 verwendet wird,
geringere Filmdicke ermöglicht, und es wird eine magnetoop
tische Platte mit hoher Aufzeichnungsempfindlichkeit er
zielt.
Durch Verwenden desselben AlN zum Ausbilden der Schutz
schicht 6 und der transparenten dielektrischen Schicht 2,
schaffen die vorliegenden Ausführungsbeispiele magnetoopti
sche Platten mit hervorragender Wasserdampfbeständigkeit,
und es ist auch die Produktivität verbessert.
Was andere Materialien als AlN für die Schutzschicht 6 be
trifft, werden die folgenden Materialien, die mit den für
die transparente dielektrische Schicht 2 verwendeten Mate
rialien übereinstimmen, vorzugsweise verwendet, wenn die
vorstehend genannten Aufgaben und Wirkungen berücksichtigt
werden: SiN, AlSiN, AlTaN, SiAlON, TiN, TiON, BN, ZnS, TiO₂,
BaTiO₃ und SrTiO₃. Unter diesen Materialien werden insbeson
dere SiN, AlSiN, AlTaN, TiN, BN und ZnS am bevorzugtesten
zum Herstellen magnetooptischer Platten mit ausgezeichneter
Wasserdampfbeständigkeit verwendet, da sie keinen Sauerstoff
als Bestandteil enthalten.
Was Materialien für die Kleberschicht 7 betrifft, werden am
bevorzugtesten Kleber aus Polyurethanacrylaten verwendet.
Diese Kleber, die kombiniert Härtungsfunktionen von drei Ty
pen aufweisen, d. h. hinsichtlich Ultravioletthärtung, Wärme
härtung und Härtung unter Luftabschluß, sind dahingehend
vorteilhaft, daß es möglich ist, abgeschattete Bereich der
Aufzeichnungsmediumsschicht auszuhärten, durch die keine Ul
traviolettstrahlung hindurchdringen kann, und zwar wegen der
Härtungsfunktionen durch Wärme und unter Luftabschluß. Dies
ermöglicht es, eine magnetooptische Platte vom doppelseiti
gen Typ zu schaffen, die über extrem hohe Feuchtigkeitsbe
ständigkeit und Langzeitstabilität verfügt.
Einseitige Platten, die halb so dick wie doppelseitige mag
netooptische Platten sind, sind z. B. für die Verwendung bei
einem Aufzeichnungsgerät von Vorteil, bei dem große Kompakt
heit erforderlich ist.
Doppelseitige Platten, die doppelseitige Wiedergabe ermögli
chen, sind z. B. bei der Verwendung in einem Aufzeichnungs-
Wiedergabe-Gerät hoher Kapazität von Vorteil.
Bei den vor stehend genannten Ausführungsbeispielen erfolgten
Erläuterungen zum Veranschaulichen einer magnetooptischen
Platte als magnetooptisches Aufzeichnungsmedium; jedoch kann
die Erfindung auch auf ein magnetooptisches Band oder eine
magnetooptische harte angewandt werden.
Ferner erfolgten bei den vor stehend genannten Ausführungs
beispielen Erläuterungen zum Veranschaulichen eines magneto
optischen Plattengeräts als magnetooptisches Aufzeichnungs
gerät; jedoch kann die Erfindung auf magnetooptische Bandge
räte, magnetooptische Kartengeräte oder magnetooptische Auf
zeichnungs-Wiedergabe-Geräte angewandt werden.
Darüber hinaus werden bei der Anlegeeinrichtung für ein ex
ternes Magnetfeld bei den Ausführungsbeispielen Permanent
magnete verwendet, jedoch können auch Elektromagnete verwen
det werden.
Das erste magnetooptische Plattengerät gemäß der Erfindung
ist mit folgendem versehen: einer Objektivlinse 9 zum Fokus
sieren eines Lichtstrahls auf eine magnetooptische Platte 11
und einem Paar Magnete 10 und 10′, die an den jeweiligen
Seiten der magnetooptischen Platte 11 angelegt sind und ein
Schreibmagnetfeld im Bereich der magnetooptischen Platte 11
anlegen, der vom Lichtstrahl beleuchtet wird, während ein
Initialisierungsmagnetfeld, das stärker als das Schreibmag
netfeld ist, in einem anderen Bereich angelegt wird. Ferner
ist das Paar Magnete 10 und 10′ so angeordnet, daß jede Li
nie, die von einem N- zu einem S-Pol geht, praktisch paral
lel zur magnetooptischen Platte 11 ist und die Linien, die
vom jeweiligen N- zum jeweiligen S-Pol gehen, antiparallel
zueinander sind.
Durch diese Anordnung wird es möglich, den magnetischen Fluß
von den Magneten 10 und 10′ wirkungsvoll zu nutzen, da das
Paar Magnete 10 und 10′ praktisch einen geschlossenen magne
tischen Kreis bildet. Dies ermöglicht es, die Magnete 10 und
10′ zu miniaturisieren. Daher kann ein magnetooptisches
Plattengerät, das Überschreiben durch Lichtmodulation ermög
licht, kompakt, insbesondere flach hergestellt werden.
Das zweite magnetooptische Plattengerät gemäß der Erfindung,
das im wesentlichen denselben Aufbau wie das erste magneto
optische Plattengerät aufweist, ist mit zwei Sätzen jeweils
eines Paars Magnete 10 und 10′ versehen, und die zwei Sätze
von Magneten 10 und 10′ sind symmetrisch zur Achse angeord
net, die durch den vom Lichtstrahl beleuchteten Bereich geht
und die rechtwinklig zur magnetooptischen Platte 11 steht.
Zusätzlich zu den Funktionen und Wirkungen des ersten magne
tooptischen Plattengeräts legt diese Anordnung durch die
zwei Sätze von Magneten 10 und 10′ ein kombiniertes Magnet
feld als Schreibmagnetfeld an die magnetooptische Platte 11
an, wodurch es möglich ist, die Magnete 10 und 10′ zu minia
turisieren und wodurch die Magnete 10 und 10′ entfernt vom
durch den Lichtstrahl beleuchteten Bereich liegen können.
Daher kann ein magnetooptisches Plattengerät, das Über
schreiben durch Lichtmodulation ermöglicht, kompakt, insbe
sondere flach ausgebildet werden. Ferner hat das Streumag
netfeld von den Magneten 10 und 10′ in der Nähe der Objek
tivlinse 9 gleichmäßige Verteilung, weswegen selbst dann,
wenn ein Stellglied vorhanden ist, das die Objektivlinse 9
zur Spurführung und Fokussierung magnetisch verstellt, das
Streumagnetfeld kaum nachteilige Auswirkungen auf das Stell
glied hat.
Das dritte magnetooptische Plattengerät gemäß der Erfindung
ist mit folgendem versehen: einer Objektivlinse 9 zum Fokus
sieren eines Lichtstrahls auf eine magnetooptische Platte
11; einem Paar Magnete 10 und 10′, die an den jeweiligen
Seiten der magnetooptischen Platte 11 angeordnet sind und
ein Schreibmagnetfeld und ein Löschmagnetfeld im vom Licht
strahl beleuchteten Bereich der magnetooptischen Platte 11
anlegen; und einer Verschiebeeinrichtung zum verschieben der
Magnete 10 und 10′ parallel zur magnetooptischen Platte 11,
um zwischen dem Schreibmagnetfeld und dem Löschmagnetfeld
umzuschalten. Hierbei ist das Paar Magnete 10 und 10′ so an
geordnet, daß jede vom N- zum S-Pol gehende Linie praktisch
parallel zum magnetooptischen Aufzeichnungsmedium ist und
die Linien, die in den jeweiligen Magneten vom N- zum S-Pol
gehen, antiparallel zueinander sind.
Durch diese Anordnung wird es möglich, da das Paar Magnete
10 und 10′ praktisch einen geschlossenen magnetischen Kreis
bildet, den magnetischen Fluß der Magnete 10 und 10′ wir
kungsvoll zu nutzen. Dies ermöglicht es, die Magnete 10 und
10′ zu miniaturisieren. Daher kann ein magnetooptisches
Plattengerät, das Überschreiben durch Lichtmodulation ermög
licht und bei dem eine üblicherweise verwendete magnetoopti
sche Platte 11 ohne jede Hilfsschicht verwendet wird, kom
pakt, insbesondere flach hergestellt werden.
Claims (8)
1. Magnetooptisches Aufzeichnungsgerät mit:
- - einer Objektivlinse (9) zum Fokussieren eines Lichtstrahls auf ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium (11) und
- - einer Magneteinrichtung (10, 10′) für ein statisches Mag netfeld zum Anlegen eines Schreib- und eines Löschmagnet felds an den vom Lichtstrahl beleuchteten Bereich des magne tooptischen Aufzeichnungsmediums und zum Anlegen eines Ini tialisierungsmagnetfelds an einen anderen Bereich;
dadurch gekennzeichnet, daß die Magneteinrichtung für das
stationäre Magnetfeld ein Paar Magnete (10, 10′) aufweist,
die:
- a) jeweils auf einer Seite des magnetooptischen Aufzeich nungsmediums angeordnet sind; und
- b) so ausgerichtet sind, daß ihre Magnetisierungsrichtungen praktisch parallel zum magnetooptischen Aufzeichnungsmedium stehen, aber einander entgegengerichtet sind.
2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein
zweites Paar Magnete symmetrisch in bezug zum mit
Licht bestrahlten Bereich entlang der Bewegungsrichtung des
Mediums vorhanden ist.
3. Gerät nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Ver
schiebeeinrichtung der Magnete parallel zum magnetooptischen
Aufzeichnungsmedium entlang der Bewegungsrichtung, um im
beleuchteten Bereich des Mediums zwischen dem Schreibfeld
und dem Löschfeld umzuschalten.
4. Gerät nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß die Magnete (10, 10′; 20, 20′) blattför
mig ausgebildete Magnete sind.
5. Gerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnete
Permanentmagnete aus einem Nd enthaltenden magnetischen Ma
terial sind.
6. Gerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das
magnetische Material eine magnetische Restflußdichte von
nicht weniger als 1,2 T aufweist.
7. Gerät nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Magnete Elektromagnete sind.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5277097A JP2916071B2 (ja) | 1993-11-05 | 1993-11-05 | 光磁気記録装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4439322A1 DE4439322A1 (de) | 1995-05-11 |
DE4439322C2 true DE4439322C2 (de) | 1996-08-29 |
Family
ID=17578739
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4439322A Expired - Fee Related DE4439322C2 (de) | 1993-11-05 | 1994-11-03 | Magnetooptisches Aufzeichnungsgerät |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5530685A (de) |
JP (1) | JP2916071B2 (de) |
DE (1) | DE4439322C2 (de) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2955174B2 (ja) * | 1993-12-20 | 1999-10-04 | シャープ株式会社 | 光磁気記録媒体用カートリッジ |
JPH1079149A (ja) * | 1996-08-30 | 1998-03-24 | Pioneer Electron Corp | 光学式ピックアップ装置 |
DE19756458A1 (de) * | 1997-12-18 | 1999-06-24 | Thomson Brandt Gmbh | Magneto-optisches Aufzeichnungs- oder Wiedergabegerät |
US6590836B1 (en) * | 1999-09-29 | 2003-07-08 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Magneto optical recording medium capable of preventing a reproduction layer from having a degraded characteristic |
US6950260B2 (en) | 2001-06-04 | 2005-09-27 | Hitachi Global Technologies Netherlands B.V. | Thermally assisted magnetic recording system and method of writing using magnetic and thermal gradients |
EP1774521B1 (de) * | 2004-06-30 | 2012-12-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Verfahren und vorrichtung zur wiedergabe von daten auf einem superauflösenden informationsspeichermedium |
CA3220441A1 (en) * | 2013-03-15 | 2015-09-17 | Boston Scientific Medical Device Limited | Electrosurgical device having a distal aperture |
WO2014141077A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Baylis Medical Company Inc. | Electrosurgical device having a distal aperture |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0630183B2 (ja) * | 1985-02-20 | 1994-04-20 | 日本電気株式会社 | 光磁気記録再生消去方法及びその装置 |
JPS63249953A (ja) * | 1987-04-03 | 1988-10-17 | Mitsubishi Electric Corp | 光磁気記録再生装置 |
JPH01184645A (ja) * | 1988-01-12 | 1989-07-24 | Sony Corp | 光磁気記録装置 |
US5434844A (en) * | 1992-04-10 | 1995-07-18 | Hitachi, Ltd. | Magneto-optical recording media and magneto-optical recording device using the same |
-
1993
- 1993-11-05 JP JP5277097A patent/JP2916071B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-10-28 US US08/330,744 patent/US5530685A/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-11-03 DE DE4439322A patent/DE4439322C2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07130027A (ja) | 1995-05-19 |
DE4439322A1 (de) | 1995-05-11 |
US5530685A (en) | 1996-06-25 |
JP2916071B2 (ja) | 1999-07-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69018544T2 (de) | Wiedergabemethode für magneto-optische Aufzeichnung. | |
DE19516983C2 (de) | Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium | |
DE4430222B4 (de) | Magnetooptisches Speicherelement | |
DE69423793T2 (de) | Vorrichtung zur magnetooptischen Aufzeichnung und Wiedergabe | |
DE69331926T2 (de) | Magnetooptischer Aufzeichungsträger, Aufzeichnungs- und Wiedergabemethode sowie für diesen magnetooptischen Aufzeichnungsträger entworfener optischer Abtastkopf | |
DE69426366T2 (de) | Magnetooptischer Aufzeichnungsträger und diesen benutzendes Verfahren zur Aufzeichnung und/oder Wiedergabe | |
DE69836571T2 (de) | Magnetooptisches Speichermedium und dazugehöriges Wiedergabeverfahren | |
DE19831593A1 (de) | Magnetooptischer Aufzeichnungsträger | |
DE69222962T2 (de) | System und Verfahren zur Wiedergabe von Signalen aufgezeichnet auf einem magnetooptischer Aufzeichnungsmedium | |
DE69325352T2 (de) | Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium | |
DE69024747T2 (de) | Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium | |
DE69631743T2 (de) | Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium und Verfahren zur Wiedergabe davon | |
DE69934455T2 (de) | Magnetooptisches Speichermedium | |
DE4439322C2 (de) | Magnetooptisches Aufzeichnungsgerät | |
DE69032931T2 (de) | Magneto-optischer Aufzeichnungsträger | |
DE69224502T2 (de) | Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium und magnetooptisches Aufzeichnungs-/Wiedergabeverfahren | |
DE19706483B4 (de) | Magnetooptischer Aufzeichnungsträger | |
DE19535994C2 (de) | Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium und Herstellverfahren für dieses | |
DE19747405A1 (de) | Magnetooptischer Aufzeichnungsträger und magnetooptisches Aufzeichnungsverfahren | |
DE69421299T2 (de) | Magneto-optisches Aufzeichnungsmedium | |
DE4421528C2 (de) | Durch Lichtintensitätsmodulation überschreibbares magneto-optisches Aufzeichnungsmedium und dafür geeignete Aufzeichnungs- und Wiedergabevorrichtung | |
DE19707020B4 (de) | Magnetooptischer Aufzeichnungsträger | |
DE4405850C2 (de) | Magneto-optisches Aufzeichnungsmedium | |
DE19652446B4 (de) | Magnetooptisches Aufzeichnungsschichtsystem | |
DE69221659T2 (de) | Überschreibbares, magnetooptisches Aufzeichnungsmedium mit Rille, die eine Tiefe in dem Bereich von 30nm bis 80nm hat |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8328 | Change in the person/name/address of the agent |
Free format text: PATENTANWAELTE MUELLER & HOFFMANN, 81667 MUENCHEN |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |