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Diese
Erfindung betrifft ein neues Polyimid und einen Polyimid-Vorläufer (Polyamsäure, polyamic
acid) als dessen Vorläufer,
das z.B. als Schutzfilm und als Isolierfilm für Flüssigkristall-Displays und als
Halbleitervorrichtungen sowie als optische Lichtleiter-Materialien
für die
optische Kommunikation nützlich
sind und hervorragende Transparenz, nicht nur im sichtbaren Bereich,
sondern auch im ultravioletten Bereich aufweisen, sogar wenn sie
bei hoher Temperatur von 270 bis 350°C gebacken wurden. Ferner haben
sie eine niedrige Dielektrizitätskonstante,
eine geringe Doppelbrechung und eine hohe Hitzebeständigkeit.
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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Vollständig aromatische
Polyimide sind üblicherweise
in Lösungsmitteln
unlöslich.
Indem ein Polyimid-Vorläufer
auf ein Substrat z.B. durch Gießen
oder Rotationsbeschickten (spin coating) aufgebracht wird, gefolgt
von Erhitzen auf eine hohe Temperatur, kann ein gewünschtes
Polyimid erhalten werden. Alle diese hitzebeständigen aromatischen Polyimide
haben eine tiefgelbe Farbe und sind im allgemeinen gefärbt.
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Polyimide
werden viel als Schutzmaterialien oder Isoliermaterialien für Flüssigkristall-Displays
und Halbleitervorrichtungen wegen ihrer hohen mechanischen Festigkeit,
Hitzebeständigkeit,
Isoliereigenschaften und Lösungsmittelbeständigkeit
verwendet. Sie werden auch als optische Lichtleiter für die optische
Kommunikation verwendet. Die Entwicklungen auf diesen Gebieten waren
in den vergangenen Jahren beträchtlich, und
die Anforderungen an die Eigenschaften dieser Materialien zur Verwendung
auf diesen Gebieten sind gewachsen. Sie sollen nicht nur eine hervorragende
Hitzebeständigkeit
aufweisen, sondern auch, je nach Anwendung, weitere Eigenschaften
haben.
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Seit
einigen Jahren müssen
Schutzmaterialien und Isoliermaterialien für Flüssigkristall-Displays und Halbleitervorrichtungen
nicht nur eine gute Hitzebeständigkeit
aufweisen, sondern auch transparent sein, nicht nur im sichtbaren
Bereich, sondern auch im ultravioletten Gebiet, nachdem sie bei
hoher Temperatur von 270 bis 350°C
gebacken wurden. Alternativ sollen sie eine geringe Doppelbrechung
und eine niedrige Dielektrizitätskonstante
aufweisen, wenn sie als Beschichtungsfilm verwendet werden.
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Zum
Beispiel werden in Materialien für
Zwischenbeschichtungen (buffer coating material), die als Schutzfilm
für bestimmte
Halbleiter-Bauteile verwendet werden, mittels Lithographie Löcher angebracht,
um Speicherfehler, die bei der Herstellung des Elements entstanden
sind, zu beheben, was das Verfahren verkompliziert. Wenn das Material
für Zwischenbeschichtungen
für ultraviolettes
Licht transparent ist, ist optisches Radieren alleine durch UV-Bestrahlung
möglich,
ohne dass durchgehende Löcher
(through-holes) entstehen, was das Verfahren vereinfacht. In einem
solchen Fall ist eine starke Absorption von ultraviolettem Licht
fatal. Auf dem Gebiet der optischen Lichtleiter werden Materialien
gewünscht,
die nicht nur eine hohe Hitzebeständigkeit, sondern auch eine
geringe Doppelbrechung und eine hohe Transparenz im ultravioletten
Bereich aufweisen.
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Als
Methode zur Erreichung von Transparenz im sichtbaren Bereich ist
es bekannt, einen Polyimid-Vorläufer
durch Polykondensation eines aliphatischen Tetracarbonsäuredianhydrids
mit einem Diamin herzustellen, gefolgt von der Imidierung des Vorläufers, um
das Polyimid zu erhalten, wodurch ein weniger stark gefärbtes Polyimid
mit hervorragender Transparenz erhalten werden kann (JP-B-2-24294, JP-A-58-208322).
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Wenn
ein Polyimid mittels eines bekannten Verfahrens aus einem aromatischen
Diamin als Diamin hergestellt wird, wird ein Polyimid mit hervorragender
Transparenz im sichtbaren Bereich in der Nähe von 400 nm erhalten, jedoch
tritt üblicherweise
eine hohe Absorption im ultraviolettem Bereich in der Nähe von 300
nm auf, wo Absorption infolge elektronischer Übergänge des aromatischen Rings
auftritt. Ferner haben viele aliphatische Tetracarbonsäuredianhydride
eine geringe Reaktivität,
wodurch es schwierig wird, ein Polymer mit hohem Polymerisationsgrad
zu erhalten, wenn nicht ein strukturell geeignetes ausgewählt wird.
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Als
Methode, die Absorption nicht nur im sichtbaren Bereich, sondern
auch im ultraviolettem Bereich zu vermindern, und um einen Beschichtungsfilm
mit geringer Doppelbrechung zu erhalten, wurde ein Polyimid aus
einer Kombination eines aliphatischen Tetracarbonsäuredianhydrids
mit einem spezifischen aliphatischen Diamin vorgeschlagen (W. Folksen
et al., Reactive & Functional
Polymer, Bd. 30, Seite 61, 1996). Ein Polyimid aus dieser Kombination
weist eine hervorragende Transparenz nicht nur im sichtbaren Bereich,
sondern auch im ultravioletten Bereich auf, jedoch wird ein Beschichtungsfilm
tendenziell gelb, wenn er bei hoher Temperatur um 300°C gebacken
wird, und weist eine schlechte Hitzebeständigkeit auf. Ferner ist die
Basizität
eines aliphatischen Diamins hoch im Vergleich zu derjenigen eines
aromatischen Diamins. Daher bildet das aliphatische Diamin tendenziell
ein Salz mit einer bei der Polymerisation gebildeten Carbonsäure, wodurch
die Löslichkeit
schlecht kontrolliert werden kann und die Polymerisation schlecht
abläuft.
Daher ist diese Methode nicht sehr gebräuchlich.
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BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
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Diese
Erfindung stellt ein neues Polyimid bereit, das eine hervorragende
Transparenz nicht nur im sichtbaren Bereich, sondern auch im ultravioletten
Bereich nach Backen bei hoher Temperatur von 270 bis 350°C aufweist
und hervorragende Eigenschaften, wie eine niedrige Dielektrizitätskonstante,
eine geringe Doppelbrechung und eine hohe Hitzebeständigkeit
aufweist.
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Die
Erfinder dieser Erfindung haben umfangreiche Untersuchungen vorgenommen,
um die obigen Probleme zu lösen,
und haben gefunden, dass ein Polyimid, das durch Imidierung eines
Polyimid-Vorläufers, der
ein spezifisches Diamin mit Cyclobutantetracarbonsäuredianhydrid
und einer Hexafluorpropylidengruppe im Molekül aufweist, erhalten wird,
die obige Aufgabe löst.
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Diese
Erfindung betrifft einen Polyimid-Vorläufer mit einer sich wiederholenden
Einheit der folgenden allgemeinen Formel (1):
worin
R
1 eine bivalente organische Gruppe ist,
die ein Diamin ergibt, wobei R
1 eine bivalente
organische Gruppe enthält,
die ein Diamin ergibt, das eine Hexafluorpropylidengruppe der folgenden
algemeinen Formel (2) im Molekül
enthält:
worin
A ein Wasserstoffatom, eine lineare Alkylgruppe einschließlich einer
Methylgruppe oder eine Trifluormethylgruppe ist, und n die Anzahl
eines Substituenten eines aromatischen Rings angibt und eine ganze
Zahl von 1 bis 4 ist, und wobei die reduzierte Viskosität 0,05 bis
5,0 dl/g in N-Methylpyrrolidon bei einer Temperatur von 30°C bei einer
Konzentration von 0.5 g/dl beträgt.
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Diese
Erfindung betrifft ferner ein Polyimid mit einer sich wiederholenden
Einheit der allgemeinen Formel (3):
worin
R
1 der Definition von Formel (2) entspricht,
wobei das Polyimid durch Imidierung des Polyimid-Vorläufers erhalten
wird.
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Im
folgenden wird die Erfindung im Detail beschrieben.
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Eine
Tetracarbonsäure-Komponente
zur Verwendung bei der Herstellung des Polyimid-Vorläufers der obigen
allgemeinen Formel (1) dieser Erfindung ist Cyclobutantetracarbonsäure, dessen
Dianhydrid und dessen Dicarbonsäuredihalid.
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Die
Diamin-Komponente kann z.B. sein: 2,2-Bis(3-aminophenyl)hexafluorpropan,
2,2-Bis(4-methyl-3-aminophenyl)hexafluorpropan,
2,2-Bis(4,5-dimethyl-3-aminophenyl)hexafluorpropan, 2,2-Bis(4-trifluormethyl-3-aminophenyl)hexafluorpropan,
2,2-Bis(4,5-bistrifluormethyl-3-aminophenyl)hexafluorpropan, 2,2-Bis(3-methyl-4-aminophenyl)hexafluorpropan,
2,2-Bis(2,3-dimethyl-4-aminophenyl)hexafluorpropan, 2,2-Bis(3-trifluormethyl-4-aminophenyl)hexafluorpropan
oder 2,2-Bis(2,3-bistrifluormethyl-4-aminophenyl)hexafluorpropan.
Diese können
alleine oder in Kombination als Mischung zweier oder mehrerer verwendet
werden.
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Um
die erfindungsgemäßen Wirkungen
zu erhalten, werden vorzugsweise 70 bis 100 mol% eines Polyimid-Vorläufers, bestehend
aus der obigen Kombination, verwendet.
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Als
die anderen Tetracarbonsäuredianhydrid-Komponenten
können
problemlos Tetracarbonsäuredianhydride
und deren Derivate, die üblicherweise
für die
Synthese eines Polyimids verwendet werden, eingesetzt werden.
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Beispiele
hierfür
sind u.a. alicyclische Tetracarbonsäuren, wie 1,2,3,4-Cyclopentantetracarbonsäure, 2,3,4,5-Tetrahydrofurantetracarbonsäure, 1,2,4,5-Cyclohexantetraacarbonsäure, 3,4-Dicarboxy-1-cyclohexylbernsteinsäure und
3,4-Dicarboxy-1,2,3,4-tetrahydro-1-naphthalinbernsteinsäure, deren
Dianhydride und deren Dicarbonsäuredihalide.
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Ferner
können
als Beispiele die folgenden genannt werden: aromatische Tetracarbonsäuren, wie
Pyromellitsäure,
2,3,6,7-Naphthalintetracarbonsäure,
1,2,5,6-Naphthalintetracarbonsäure,
1,4,5,8-Naphthalintetracarbonsäure,
2,3,6,7-Anthracentetracarbonsäure, 1,2,5,6-Anthracentetracarbonsäure, 3,3',4,4'-Biphenyltetracarbonsäure, 2,3,3',4-Biphenyltetracarbonsäure, Bis(3,4-dicarboxyphenyl)ether,
3,3',4,4'-Benzophenontetracarbonsäure, Bis(3,4-dicarboxyphenyl)sulfon,
Bis(3,4-dicarboxyphenyl)methan, 2,2-Bis(3,4-dicarboxyphenyl)propan,
1,1,1,3,3,3-Hexafluor-2,2-bis(3,4-dicarboxyphenyl)propan,
Bis(3,4-dicarboxyphenyl)dimethylsilan, Bis(3,4-dicarboxyphenyl)diphenylsilan, 2,3,4,5-Pyridintetracarbonsäure und
2,6-Bis(3,4-dicarboxyphenyl)pyridin und ihre Dianhydride und ihre
Dicarbonsäuredisäurehalide;
und aliphatische Tetracarbonsäuren,
wie 1,2,3,4-Butantetracarbonsäure und
ihre Dianhydride und ihre Dicarbonsäuredisäurehalide, können z.B.
erwähnt
werden.
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Ferner
können
ein oder mehrere dieser Tetracarbonsäuren und deren Derivate in
Mischung verwendet werden.
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Als
die anderen Diamin-Komponenten kann ein primäres Diamin, wie es üblicherweise
für die
Synthese eines Polyimids verwendet wird, genannt werden.
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Spezifische
Beispiele sind u.a. aromatische Diamine, wie p-Phenylendiamin, m-Phenylendiamin, 2,5-Diaminotoluol,
2,6-Diaminotoluol, 4,4'-Diaminobiphenyl,
3,3'-Dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl,
3,3'-Dimethoxy-4,4'-diaminobiphenyl,
Diaminodiphenylmethan, Diaminodiphenylether, 2,2'-Diaminodiphenylpropan, Bis(3,5-diethyl-4-aminophenyl)methan,
Diaminodiphenylsulfon, Diaminobenzophenon, Diaminonaphthalin, 1,4-Bis(4-aminophenoxy)benzol,
1,4-Bis(4-aminophenyl)benzol, 9,10-Bis(4-aminophenyl)anthracen, 1,3-Bis(4-aminophenoxy)benzol,
4,4'-Bis(4-aminophenoxy)diphenylsulfon,
2,2-Bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propan, 2,2'-Trifluormethyl-4,4'-diaminobiphenyl
und 4,4'-Bis(4-diaminophenoxy)octafluorbiphenyl;
alicyclische Diamine, wie Bis(4-aminocyclohexyl)methan und Bis(4-amino-3-methylcyclohexyl)methan
und aliphatische Diamine, wie Tetramethylendiamin und Hexamethylendiamin;
sowie Diaminosiloxane, wie

(worin
m eine Ganze Zahl von 1 bis 10 ist). Diese Diamine können alleine
oder in Kombination als Mischung zweier oder mehrerer verwendet
werden.
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Als
Verfahren zur Herstellung des Polyimid-Vorläufers dieser Erfindung kann
das Tetracarbonsäuredianhydnd
und dessen Derivat mit dem obigen Diamin reagiert und polymerisiert
werden. Das molare Verhältnis des
Tetracarbonsäuredianhydrids
zu der molaren Gesamtmenge des Diamins und üblicher Diamine beträgt vorzugsweise
0,8 bis 1,2. Wie in einer üblichen
Polykondensationsreaktion ist der Polymerisationsgrad des erhaltenen
Polymers tendenziell groß,
wenn das molare Verhältnis
ungefähr
1 beträgt.
Wenn in einem solchen Fall der Polymerisationsgrad zu gering ist,
wird die Festigkeit des Polyimidfilms gering. Wenn andererseits
der Polymerisationsgrad zu groß ist,
ist bisweilen die Effizienz der Bildung des Polyimidfilms ungenügend. Daher beträgt der Polymerisationsgrad
des Produktes in dieser Reaktion vorzugsweise 0,05 bis 5,0 dl/g
(in N-Methylpyrrolidon bei einer Temperatur von 30°C, Konzentration:
0,5 g/dl), berechnet als reduzierte Viskosität der Polyimid-Vorläufer-Lösung.
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Die
Methode zur Reaktion und Polymerisation des Tetracarbonsäuredianhydrids
mit dem obigen Amin ist nicht besonders beschränkt, jedoch wird üblicherweise
ein Verfahren verwendet, bei dem das obige Diamin in einem polaren
Lösungsmittel,
wie N-Methylpyrrolidon, gelöst
wird, und wobei das Tetracarbonsäuredianhydrid
zu der Lösung
gegeben wird, um einen Polyimid-Vorläufer zu synthetisieren. Die
Reaktionstemperatur kann in einem Bereich von –20 bis 150°C, vorzugsweise von –5 bis 100°C, liegen.
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Als
ein Verfahren zur Polymerisation einer Polyaminsäure (polyamic acid) kann ein übliches
Lösungsverfahren
eingesetzt werden. Spezifische Beispiele für das Lösungsmittel für die Polymerisation
in Lösung
sind u.a. N,N-Dimethylforniamid,
N,N-Dimethylacetamid, N-Methyl-2-pynolidon, N-Methylcaprolactam,
Dimethylsulfoxid, Tetramethylharnstoff, Pyridin, Hexamethylphosphoramid
und Butyrolacton. Diese können
alleine oder als Mischung verwendet werden. Ferner kann ein Lösungsmittel,
das keinen Polyimid-Vorläufer
gelöst
enthält, zu
dem obigen Lösungsmittel
in einer Menge gegeben werden, bei der eine homogene Lösung erhalten
wird.
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Die
Lösung
des Polyimid-Vorläufers
kann wie sie ist oder als ein in organischen Lösungsmitteln lösliches
Polyimid verwendet werden. Ein Verfahren zur Herstellung eines in
organischen Lösungsmitteln
löslichen Polyimids
ist nicht besonders beschränkt,
jedoch kann es durch Imidierung unter Dehydratisieren und Ringschluss
eines Polyimid-Vorläufers erhalten
werden.
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Der
Polyimid-Vorläufer,
der durch Reaktion des Tetracarbonsäuredianhydrids mit dem Diamin
erhalten wurde, kann in Lösung
gehalten und imidiert werden, um eine Lösung eines Lösungsmittel-löslichen
Polyimids zu erhalten.
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Um
den Polyimid-Vorläufer
in der Lösung
in ein Polyimid umzuwandeln, wird üblicherweise eine Methode eingesetzt,
bei der durch Erhitzen eine dehydratisierende Ringschluss-Reaktion
durchgeführt
wird. Die Temperatur für
die Ringschluss-Reaktion durch Wasserabspaltung unter Erhitzen kann
im Bereich von 100 bis 350°C,
vorzugsweise 150 bis 350°C,
bevorzugter 270 bis 350°C,
betragen. Der Grund dafür,
dass die Temperatur mindestens 270°C betragen sollte, besteht darin,
dass eine Langzeit-Stabilität
des Beschichtungsfilms durch vollständige Umsetzung der Polyaminsäure (polyamic
acid) zu einem Polyimid und durch Entfernen des verbleibenden Lösungsmittels
erreicht werden soll. Ferner ist es nicht nötig, Backen bei einer Temperatur über 350°C durchzuführen, da
keine weitere Verbesserung der Wirkung durch Backen erreicht wird.
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Als
weitere Methode, den Polyimid-Vorläufer zu dem Polyimid umzusetzen,
kann der Ringschluss chemisch mittels eines bekannten Dehydratations-Ringschluss-Katalysators
durchgeführt
werden. Ferner ist es möglich,
einen gewünschten
Imidierungsgrad durch Auswahl der Temperatur oder der Zeitdauer
der Ringschluss-Reaktion durch Wasserabspaltung zu wählen. Das
Lösungsmittel
hierfür
ist nicht besonders beschränkt,
sofern es das erhaltene Polyimid lösen kann. Beispiele sind u.a.
m-Cresol, 2-Pynolidon, N-Methylpyrrolidon, N-Ethylpyrrolidon, N-Vinylpyrrolidon,
N,N-Dimethylacetamid, N-dimethylformamid und γ-Butyrolacton.
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Die
so erhaltene Polyimidlösung
kann, wie sie ist, verwendet werden, oder kann in einem schlechten Lösungsmittel,
wie Methanol oder Ethanol, ausgefällt und isoliert werden, um
ein Polyimid in Pulverform zu erhalten, oder das Polyimid kann in
einem geeigneten Lösungsmittel
erneut gelöst
werden.
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Das
Lösungsmittel
für die
erneute Auflösung
ist nicht besonders beschränkt,
sofern es das Polyimid lösen
kann. Beispiele sind u.a. 2-Pyrrolidon, N-Methylpynolidon, N-Ethylpyrrolidon,
N-Vinylpyrrolidon, N,N-Dimethylacetamid, N,N-Dimethylformamid und γ-Butyrolacton.
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Der
obige Polyimid-Vorläufer
und das lösliche
Polyimid können,
wie sie sind, verwendet werden, oder sie können mit einem oder mehreren
Polyimid-Vorläufern
oder löslichen
Polyimiden vermischt werden. Das Mischungsverhältnis kann geeignet ausgewählt werden.
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Das
Lösungsmittel
für das
lösliche
Polyimid gemäß dieser
Erfindung ist nicht besonders beschränkt, sofern es das Polyimid
lösen kann.
Beispiele sind u.a. 2-Pynolidon, N-Methylpyrrolidon, N-Ethylpynolidon, N-Vinylpyrrolidon,
N,N-Dimethylacetamid, N,N-Dimethylformamid und γ-Butyrolacton.
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Auch
ein Lösungsmittel,
das das Polymer alleine nicht lösen
kann, kann zu dem obigen Lösungsmittel gegeben
werden in einer Menge, die die Löslichkeit
nicht stört.
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Beispiele
hierfür
sind Ethylcellosolve, Butylcellosolve, Ethylcarbitol, Butylcarbitol,
Ethylcarbitolacetat (ethyl carbitol acetate) und Ethylenglykol.
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Um
die Adhäsion
des Polyimidfilms zu einem Substrat zu verbessern, wird vorzugsweise
ein Additiv, wie ein Haftmittel, zu der erhaltenen Polyimidlösung gegeben.
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Diese
Lösung
wird auf ein Substrat beschichtet, und das Lösungsmittel wird verdampft,
wodurch ein Polyimid-Beschichtungsfilm
auf dem Substrat ausgebildet werden kann. Als die Temperatur zu
diesem Zeitpunkt ist eine Temperatur zwischen 100 und 300°C üblicherweise
ausreichend.
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BEVORZUGTE AUSFÜHRUNGSFORMEN
DER ERFINDUNG
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Im
folgenden wird die Erfindung anhand von Beispielen weiter beschrieben.
Die Erfindung ist nicht auf diese Beispiele beschränkt. Die
physikalischen Eigenschaften des erhaltenen Polyimids wurden mit
den folgenden Geräten
und Methoden ermittelt.
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1) Viskositätsmessung
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Eine
NMP-Lösung
mit einem Feststoffgehalt von 0,5 Gew.-% wurde bereitet, und die
Messung wurde mit einem Ubbellohde-Viskosimeter bei 30°C durchgeführt.
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2) Ultraviolett-Spektrum
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Ein
UV-3100PC von Shimadzu Corporation wurde verwendet.
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3) Temperatur eines 5%igen
Gewichtsverlustes
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Die
Messung wurde mit einem thermogravimetrischen Analyzer von Mac Science
bei einer Temperaturerhöhungsgeschwindigkeit
von 10°C/min
durchgeführt.
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4) Glasübergangstemperatur
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Es
wurde ein thermomechanisches Messgerät von Mac Science mit einer
Beladung von 5 g und einer Temperaturerhöhungsgeschwindigkeit von 5°C/min gemessen.
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5) Doppelbrechungsindex
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Es
wurde ein Prism-Coupler-Model 2010, hergestellt von Metricon, mit
TE- und TM-Richtungspolarisationen bei einer Wellenlänge von
633 nm bei einer Filmdicke von 2 × 103 nm
verwendet, und der Unterschied bestimmt.
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6) Dielektrizitätskonstante
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Messung
mit einem AG-4311BLCR-Meter und einer SE-70-Elektrode für Feststoffe,
hergestellt von Ando Electric Co., Ltd., bei 25°C bei 100 kHz.
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BEISPIEL 1
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In
einen Kolben mit Rührer
und Stickstoffeinlassrohr wurden 33,4 g (0,1 mol) 2,2'-Bis(3-aminophenyl)hexafluorpropan
und 299,2 g N-Methyl-2-pyrrolidon (im folgenden NMP genannt) gegeben
und aufgelöst. Zu
dieser Lösung
wurden 19,4 g (0,099 mol) Cyclobutantetracarbonsäuredianhydrid bei Raumtemperatur gegeben,
wobei auf eine Temperaturerhöhung
der Lösung
geachtet wurde, und 6 Stunden gerührt, um einen Polyimid-Vorläufer (Polyamsäure) in
Lösung
zu erhalten. Der erhaltene Polyimid-Vorläufer wies eine reduzierte Viskosität von 0,6
dl/g auf (in NMP bei 30°C,
Konzentration: 0,5 g/dl).
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Diese
Lösung
wurde auf ein Quarz-Substrat rotationsbeschichtet bei 1.500 U/min,
gefolgt von einer Hitzebehandlung bei 80°C über 5 Minuten und bei 300°C über 1 Stunde,
um einen Polyimidfilm mit einer Dicke von 1,5 × 103 nm
zu erhalten.
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Das
Ultraviolett-Spektrum des Polyimidfilms wurde gemessen, und es wurde
gefunden, dass die Transmission bei einer Wellenlänge von
300 nm 85% und bei einer Wellenlänge
von 400 nm 96% betrug. Der Film hatte sogar im ultravioletten Bereich
eine hohe Transmission.
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Der
Polyimidfilm wurde einer weiteren Hitzebehandlung in einem Ofen
bei 250°C über 1 Tag
unterzogen, und dann ein Ultraviolett-Spektrum aufgenommen. Die
Transmission bei einer Wellenlänge
von 300 nm betrug 83%, bei 400 nm 95%, so dass eine hohe Transmission
aufrechterhalten wurde.
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Dann
wurde die Lösung
des Polyimid-Vorläufers
auf ein Glassubstrat beschichtet und 1 Stunde bei 300°C gebacken,
um einen Film mit einer Filmdicke von 10 × 103 nm
zu erhalten. Die Ausgangstemperatur für einen 5%igen Gewichtsverlust
betrug 420°C,
was unter Verwendung dieses Films gemessen wurde, die Glasübergangstemperatur
betrug 350°C,
und der Film hatte eine hohe Hitzebeständigkeit.
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Ferner
wurde ein Polyimidfilm (Filmdicke: 2 × 103 nm)
auf die gleiche Weise hergestellt, und die Doppelbrechung gemessen
nach der Prism-Coupler-Methode betrug 0,0023 (TE-Richtung: 1,5384,
TM-Richtung: 1,5361).
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Dann
wurde die Lösung
des Polyimid-Vorläufers
bei 1.500 U/min auf ein Glassubstrat mit einer mittels Vapor-Deposition aufgebrachten
Aluminiumschicht rotationsbeschichtet. Dann wurde eine Hitzebehandlung über 5 Minuten
bei 80°C
und über
1 Stunde bei 300°C
durchgeführt,
um einen Polyimidfilm einer Dicke von 1,5 × 103 nm
zu erhalten. Ferner wurde eine Aluminiumelektrode mit einem Durchmesser
von 6 mm mittels Vapor-Deposition auf dem Polyimidfilm ausgebildet,
um eine Probe für
elektrische Messungen zu erhalten.
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Die
Dielektrizitätskonstante
des Polyimidfilms wurde mit dieser Probe gemessen. Sie betrug 2,77
bei einer Frequenz von 100 kHz.
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BEISPIEL 2 (Vergleichsbeispiel)
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In
einen Kolben mit Rührer
und Stickstoffeinlassrohr wurden 33,4 g (0,1 mol) 2,2'-Bis(4-aminophenyl)hexafluorpropan
und 299,2 g NMP gegeben und aufgelöst. Zu dieser Lösung wurden
19,4 g (0,099 mol) Cyclobutantetracarbonsäuredianhydrid bei Raumtemperatur
gegeben, wobei auf eine Temperaturerhöhung der Lösung geachtet wurde, gefolgt
von 6-stündigem
Rühren,
um eine Lösung
eines Polyimid-Vorläufers
(Polyamsäure)
zu erhalten. Der erhaltene Polyimid-Vorläufer wies eine reduzierte Viskosität von 0,8
dl/g auf (in NMP bei 30°C,
Konzentration: 0,5 g/dl).
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Diese
Lösung
wurde auf ein Quarz-Substrat bei 4.000 U/min rotationsbeschichtet,
gefolgt von einer Hitzebehandlung bei 80°C über 5 Minuten und bei 300°C über 1 Stunde,
um einen Polyimidfilm mit einer Dicke von 1,5 × 103 nm
zu erhalten.
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Das
Ultraviolett-Spektrum des Polyimidfilms wurde gemessen, und es wurde
gefunden, dass die Transmission bei einer Wellenlänge von
300 nm 81% und bei einer Wellenlänge
von 400 nm 95% betrug. Der Film hatte auch im ultravioletten Bereich
eine hohe Transmission.
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Der
Polyimidfilm wurde einer weiteren Hitzebehandlung in einem Ofen
bei 250°C über 1 Tag
unterzogen, und dann ein Ultraviolett-Spektrum aufgenommen. Die
Transmission bei einer Wellenlänge
von 300 nm betrug 77% (ursprünglich
70), die Transmission bei 400 nm betrug 92% (ursprünglich 89),
und eine hohe Transmission wurde aufrechterhalten.
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Dann
wurde die Lösung
des Polyimid-Vorläufers
auf ein Glassubstrat beschichtet, gefolgt von Backen für 1 Stunde
bei 300°C,
um einen Film mit einer Filmdicke von 10 × 103 nm
zu erhalten. Die Ausgangstemperatur für einen 5%igen Gewichtsverlust
betrug 430°C
(ursprünglich
420°C),
was unter Verwendung dieses Films gemessen wurde, die Glasübergangstemperatur
betrug 378°C
(ursprünglich
350°C),
und der Film wies eine hohe Hitzebeständigkeit auf. Die Doppelbrechung
nach der Prism-Coupler-Methode betrug 0,0040 (TE-Richtung: 1,5685,
TM-Richtung: 1,5645). Dann wurde die Lösung des Polyimid-Vorläufers bei
4.000 U/min auf ein Glassubstrat mit einer mittels Vapor-Deposition aufgebrachten
Aluminiumschicht rotationsbeschichtet, gefolgt von einer Hitzebehandlung über 5 Minuten
bei 80°C
und 1 Stunde bei 300°C,
um einen Polyimidfilm einer Dicke von 1,5 × 103 nm
zu bilden. Ferner wurde eine Aluminiumelektrode mit einem Durchmesser
von 6 mm mittels Vapor-Deposition auf dem Polyimidfilm ausgebildet,
um ein Probestück
für elektrische
Messungen herzustellen.
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Die
Dielektrizitätskonstante
des Polyimidfilms wurde mit diesem Probestück gemessen. Sie betrug 2,87
bei einer Frequenz von 100 kHz.
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BEISPIEL 3
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In
einen Kolben mit Rührer
und Stickstoffeinlassrohr wurden 32,5 g (0,09 mol) 2,2'-Bis(3-methyl-4-aminophenyl)hexafluorpropan
und 112 g NMP gegeben und aufgelöst.
Zu dieser Lösung
wurden 17,6 g (0,09 mol) Cyclobutantetracarbonsäuredianhydrid bei Raumtemperatur
gegeben, wobei auf eine Temperaturerhöhung der Lösung geachtet wurde, gefolgt
von Rühren über 24 Stunden,
um einen Polyimid-Vorläufer
(Polyamsäure) in
Lösung
zu erhalten. Der erhaltene Polyimid-Vorläufer wies eine reduzierte Viskosität von 0,9
dl/g auf (in NMP bei 30°C,
Konzentration: 0,5 g/dl). Dann wurde die Lösung mit NMP verdünnt, gefolgt
von einer katalysierten Imidierungsreaktion unter Verwendung von
Essigsäureanhydrid
und Pyridin. Die Reaktionsmischung wurde in einen Überschuss
von Wasser gegossen, und das abgeschiedene Pulver wurde abfiltriert
und getrocknet. Auf der Grundlage von NMR- und IR-Spektren betrug
die Imidierung 100%. Dieses Pulver wurde in γ-Butyrolacton aufgelöst und für die folgenden
Auswertungen verwendet.
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Diese
Polyimidlösung
wurde auf Quarzsubstrat bei 4.000 U/min rotationsbeschichtet, gefolgt
von einer Hitzebehandlung für
5 Minuten bei 80°C
und über
1 Stunde bei 300°C,
um einen Polyimidfilm einer Dicke von 1,5 × 103 nm
zu erhalten.
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Das
Ultraviolett-Spektrum des Polyimidfilms wurde gemessen, und es wurde
gefunden, dass die Transmission bei 300 nm 87% und bei 400 nm 98%
betrug.
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Dann
wurde die Polyimidlösung
auf ein Glassubstrat beschichtet, gefolgt von Backen bei 300°C, um einen
Film mit einer Filmdicke von 10 × 103 nm
zu erhalten. Die Ausgangstemperatur für einen 5%igen Gewichtsverlust
betrug 419°C,
die Glasübergangstemperatur
betrug 301°C,
und der Film wies eine hohe Hitzebeständigkeit auf.
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Die
Doppelbrechung nach der Prism-Coupler-Methode betrug 0,003 (TE-Richtung:
1,519, TM-Richtung: 1,516). Dann wurde die Lösung des Polyimid-Vorläufers bei
4.000 U/min auf ein Glassubstrat mit einer mittels Vapor-Deposition aufgebrachten
Aluminiumschicht rotationsbeschichtet, gefolgt von einer Hitzebehandlung über 5 Minuten bei
80°C und
1 Stunde bei 300°C,
um einen Polyimidfilm einer Dicke von 1,5 × 103 nm
zu bilden. Ferner wurde eine Aluminiumelektrode mit einem Durchmesser
von 6 mm mittels Vapor-Deposition auf den Polyimidfilm ausgebildet,
um ein Probestück
für elektrische
Messungen herzustellen.
-
Die
Dielektrizitätskonstante
des Polyimidfilms wurde mit diesem Probestück gemessen, und sie betrug 2,58
bei einer Frequenz von 100 kHz.
-
VERGLEICHSBEISPIEL 1
-
In
einen Kolben mit Rührer
und Stickstoffeinlassrohr wurden 51,8 g (0,1 mol) 2,2'-Bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]hexafluorpropan
und 403,5 g NMP gegeben und aufgelöst. Zu dieser Lösung wurden
19,4 g (0,099 mol) Cyclobutantetracarbonsäuredianhydrid bei Raumtemperatur
gegeben, wobei auf eine Temperaturerhöhung der Lösung geachtet wurde, gefolgt
von Rühren über 6 Stunden,
um eine Lösung
eines Polyimid-Vorläufers
(Polyamsäure)
zu erhalten. Der erhaltene Polyimid-Vorläufer wies eine reduzierte Viskosität von 0,6
dl/g auf (in NMP bei 30°C,
Konzentration: 0,5 g/dl).
-
Diese
Lösung
wurde auf ein Quarz-Substrat rotationsbeschichtet bei 2.000 U/min,
gefolgt von einer Hitzebehandlung bei 80°C über 5 Minuten und bei 300°C über 1 Stunde,
um einen Polyimidfilm mit einer Dicke von 1,5 × 103 nm
zu erhalten.
-
Das
Ultraviolett-Spektrum des Polyimidfilms wurde gemessen, und es wurde
gefunden, dass die Transmission bei einer Wellenlänge von
300 nm 50% und bei einer Wellenlänge
von 400 nm 94% betrug, und die Transmission im ultravioletten Bereich
war gering.
-
Der
Polyimidfilm wurde einer weiteren Hitzebehandlung in einem Ofen
bei 250°C über 1 Tag
unterzogen, und dann ein Ultraviolett-Spektrum aufgenommen. Die
Transmission bei einer Wellenlänge
von 300 nm betrug 45% und die Transmission bei 400 nm betrug 88%,
und die Transmission nahm weiter ab.
-
Dann
wurde die Lösung
des Polyimid-Vorläufers
auf ein Glassubstrat beschichtet und 1 Stunde bei 300°C gebacken,
um einen Film mit einer Filmdicke von 10 × 103 nm
zu erhalten. Die Ausgangstemperatur für einen 5%igen Gewichtsverlust
betrug 420°C,
was unter Verwendung dieses Films gemessen wurde, und die Glasübergangstemperatur
betrug 350°C.
-
Ferner
wurde die Doppelbrechung nach der Prism-Coupler-Methode gemessen.
Sie betrug 0,0218 (TE-Richtung: 1,5773, TM-Richtung: 1,555).
-
Dann
wurde die Lösung
des Polyimid-Vorläufers
bei 2000 U/min auf ein Glassubstrat mit einer mittels Vapor-Deposition aufgebrachten
Aluminiumschicht rotationsbeschichtet, gefolgt von einer Hitzebehandlung über 5 Minuten
bei 80°C
und über
1 Stunde bei 300°C,
um einen Polyimidfilm einer Dicke von 1,5 × 103 nm
zu erhalten. Ferner wurde eine Aluminiumelektrode mit einem Durchmesser
von 6 mm mittels Vapor-Deposition auf den Polyimidfilm ausgebildet,
um ein Probestück
für elektrische
Messungen zu erhalten.
-
Die
Dielektrizitätskonstante
des Polyimidfilms wurde mit diesem Probestück gemessen und betrug 2,81
bei einer Frequenz von 100 kHz.
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VERGLEICHSBEISPIEL 2A
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In
einen Kolben mit Rührer
und Stickstoffeinlassrohr wurden 33,4 g (0,1 mol) 2,2'-Bis(3-aminophenyl)hexafluorpropan
und 438,6 g NMP gegeben und aufgelöst. Zu dieser Lösung wurden
44,0 g (0,099 mol) 2,2-Bis(3,4-dicarboxyphenyl)hexafluorpropandianhydrid
bei Raumtemperatur gegeben, wobei auf eine Temperaturerhöhung der
Lösung
geachtet wurde, gefolgt von 6-stündigem
Rühren,
um eine Lösung
eines Polyimid-Vorläufer-Harzes
(Polyamsäure)
zu erhalten. Der erhaltene Polyimid-Vorläufer wies eine reduzierte Viskosität von 0,8
dl/g auf (in NMP bei 30°C,
Konzentration: 0,5 g/dl).
-
Diese
Lösung
wurde auf ein Quarz-Substrat bei 2000 U/min rotationsbeschichtet,
gefolgt von einer Hitzebehandlung bei 80°C über 5 Minuten und bei 300°C über 1 Stunde,
um einen Polyimidfilm mit einer Dicke von 1,5 × 103 nm
zu erhalten.
-
Das
Ultraviolett-Spektrum des Polyimidfilms wurde gemessen, und es wurde
gefunden, dass die Transmission bei einer Wellenlänge von
300 nm 9% und bei einer Wellenlänge
von 400 nm 97% betrug. Die Transmission im ultravioletten Bereich
war extrem gering.
-
Der
Polyimidfilm wurde einer weiteren Hitzebehandlung in einem Ofen
bei 250°C über 1 Tag
unterzogen, und dann ein Ultraviolett-Spektrum aufgenommen, woraufhin
die Transmission bei einer Wellenlänge von 300 nm 9% und die Transmission
bei 400 nm 97% betrug.
-
Dann
wurde eine Lösung
eines Polyimid-Vorläufers
auf ein Glassubstrat beschichtet, gefolgt von Backen für 1 Stunde
bei 300°C,
um einen Film mit einer Filmdicke von 10 × 103 nm
zu erhalten. Die Ausgangstemperatur für einen 5%igen Gewichtsverlust
betrug 520°C,
was unter Verwendung dieses Films gemessen wurde, die Glasübergangstemperatur
betrug 248°C.
-
Ferner
betrug die Doppelbrechung nach der Prism-Coupler-Methode 0,0034
(TE-Richtung: 1,5419, TM-Richtung: 1,5384).
-
Dann
wurde die Lösung
des Polyimid-Vorläufers
bei 2.000 U/min auf ein Glassubstrat mit einer mittels Vapor-Deposition aufgebrachten
Aluminiumschicht rotationsbeschichtet, gefolgt von einer Hitzebehandlung über 5 Minuten
bei 80°C
und 1 Stunde bei 300°C,
um einen Polyimidfilm einer Dicke von 1,5 × 103 nm
zu bilden. Ferner wurde eine Aluminiumelektrode mit einem Durchmesser
von 6 mm mittels Vapor-Deposition auf dem Polyimidfilm ausgebildet,
um ein Probestück
für elektrische
Messungen herzustellen.
-
Die
Dielektrizitätskonstante
des Polyimidfilms wurde mit diesem Probestück gemessen. Sie betrug 2,63
bei einer Frequenz von 100 kHz.
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VERGLEICHSBEISPIEL 3
-
In
einen Kolben mit Rührer
und Stickstoffeinlassrohr wurden 13,8 g (0,1 mol) Bis(4-aminocyclohexyl)methan
und 188,1 g NMP gegeben und aufgelöst. Zu dieser Lösung wurden
19,4 g (0,099 mol) Cyclobutantetracarbonsäuredianhydrid bei Raumtemperatur
gegeben, wobei auf eine Temperaturerhöhung der Lösung geachtet wurde. Wegen
der starken Basizität
des Diamins in der Reaktionslösung
bildete sich ein in NMP unlöslicher
Komplex mit der Carbonsäure,
und die Reaktionslösung
wurde für
mindestens 24 Stunden gerührt, um
den Komplex aufzulösen
und die Polymerisation durchzuführen,
wobei eine Lösung
eines Polyimid-Vorläufer
(Polyamsäure)
erhalten wurde. Der erhaltene Polyimid-Vorläufer wies eine reduzierte Viskosität von 0,8
dl/g auf (in NMP bei 30°C,
Konzentration: 0,5 g/dl).
-
Diese
Lösung
wurde mit NMP verdünnt
auf einen Feststoffgehalt von 8 Gew.-% und auf ein Quarzsubstrat
bei 2.000 U/min rotationsbeschichtet, gefolgt von einer Hitzebehandlung
für 5 Minuten
bei 80°C
und über 1
Stunde bei 250°C,
um einen Polyimidfilm einer Dicke von 1,5 × 103 nm
zu erhalten.
-
Das
Ultraviolett-Spektrum des Polyimidfilms wurde gemessen, und es wurde
gefunden, dass die Transmission bei 300 nm 82% und die Transmission
bei 400 nm 95% betrug, und der Film hatte eine hohe Transmission.
-
Ein
Ultraviolett-Spektrum wurde gemessen, nachdem der Polyimidfilm einer
Hitzebehandlung in einem Ofen bei 250°C über 1 Tag unterzogen worden
war, woraufhin die Transmission bei einer Wellenlänge von
300 nm betrug 6% und bei 400 nm 45% betrug, d.h., die Transmission
hatte stark abgenommen.
-
Dann
wurde die Polyimidlösung
auf ein Glassubstrat beschichtet, gefolgt von Backen bei 250°C über 1 Stunde,
um einen Film mit einer Filmdicke von 10 × 103 nm
zu erhalten. Die Ausgangstemperatur für einen 5%igen Gewichtsverlust
betrug 360°C
und die Glasübergangstemperatur
betrug 310°C.
-
Ferner
wurde die Doppelbrechung nach der Prism-Coupler-Methode gemessen.
Sie betrug 0,0040 (TE-Richtung: 1,5330, TM-Richtung: 1,5290).
-
Dann
wurde die Lösung
des Polyimid-Vorläufers
bei 4000 U/min auf ein Glassubstrat mit einer mittels Vapor-Deposition aufgebrachten
Aluminiumschicht rotationsbeschichtet, gefolgt von einer Hitzebehandlung über 5 Minuten
bei 80°C
und 1 Stunde bei 250°C,
um einen Polyimidfilm einer Dicke von 1,5 × 103 nm
zu bilden. Ferner wurde eine Aluminiumelektrode mit einem Durchmesser
von 6 mm mittels Vapor-Deposition auf den Polyimidfilm ausgebildet,
um ein Probestück
für elektrische
Messungen herzustellen.
-
Die
Dielektrizitätskonstante
des Polyimidfilms wurde mit diesem Probestück gemessen, und sie betrug 3,00
bei einer Frequenz von 100 kHz.
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VERGLEICHSBEISPIEL 4
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In
einen Kolben mit Rührer
und Stickstoffeinlassrohr wurden 13,8 g (0,1 mol) Bis(4-aminocyclohexyl)methan
und 329,8 g NMP gegeben und aufgelöst. Zu dieser Lösung wurden
44,4 g (0,1 mol) 2,2-Bis(3,4-dicarboxyphenyl)hexafluorpropandianhydrid
bei Raumtemperatur gegeben, wobei auf eine Temperaturerhöhung der
Lösung
geachtet wurde. Wegen der starken Basizität des Diamins in der Reaktionslösung wurde
ein in NMP unlöslicher
Komplex mit der Carbonsäure
erhalten. Daher wurde die Reaktionslösung über mindestens 24 Stunden gerührt, um
den Komplex aufzulösen
und die Polymerisation durchzuführen,
wobei eine Lösung eines
Polyimid-Vorläufers (Polyamsäure) erhalten
wurde. Der erhaltene Polyimid-Vorläufer wies eine reduzierte Viskosität von 0,6
dl/g auf (in NMP bei 30°C,
Konzentration: 0,5 g/dl).
-
Diese
Lösung
wurde mit NMP auf eine Feststoffkonzentration von 10 Gew.-% verdünnt und
bei 1.500 U/min auf ein Quarzsubstrat rotationsbeschichtet, gefolgt
von einer Hitzebehandlung bei 80°C über 5 Minuten und
bei 250°C über 1 Stunde,
um einen Polyimidfilm mit einer Dicke von 1,5 × 103 nm
zu erhalten.
-
Das
Ultraviolett-Spektrum des Polyimidfilms wurde gemessen, woraufhin
die Transmission bei einer Wellenlänge von 300 nm 9% und bei einer
Wellenlänge
von 400 nm 97% betrug. Die Transmission im ultravioletten Bereich
war extrem gering.
-
Der
Polyimidfilm wurde einer weiteren Hitzebehandlung in einem Ofen
bei 250°C über 1 Tag
unterzogen, und dann ein Ultraviolett-Spektrum aufgenommen, woraufhin
die Transmission bei einer Wellenlänge von 300 nm 5% und die Transmission
bei 400 nm 70% betrug, d.h., die Transmission hatte weiter abgenommen.
-
Dann
wurde eine Lösung
eines Polyimid-Vorläufers
auf ein Glassubstrat beschichtet, gefolgt von Backen für 1 Stunde
bei 300°C,
um einen Film mit einer Filmdicke von 10 × 103 nm
zu erhalten. Die Ausgangstemperatur für einen 5%igen Gewichtsverlust
betrug 394°C,
was unter Verwendung dieses Films gemessen wurde, die Glasübergangstemperatur
betrug 258°C.
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Ferner
betrug die Doppelbrechung nach der Prism-Coupler-Methode 0,0063
(TE-Richtung: 1,5405, TM-Richtung: 1,5342).
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Dann
wurde die Lösung
des Polyimid-Vorläufers
bei 4.000 U/min auf ein Glassubstrat mit einer mittels Vapor-Deposition aufgebrachten
Aluminiumschicht rotationsbeschichtet, gefolgt von einer Hitzebehandlung über 5 Minuten
bei 80°C
und 1 Stunde bei 250°C,
um einen Polyimidfilm einer Dicke von 1,5 × 103 nm
zu bilden. Ferner wurde eine Aluminiumelektrode mit einem Durchmesser
von 6 mm mittels Vapor-Deposition auf den Polyimidfilm ausgebildet,
um ein Probestück
für elektrische
Messungen herzustellen.
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Die
Dielektrizitätskonstante
des Polyimidfilms wurde mit diesem Probestück gemessen. Sie betrug 2,60
bei einer Frequenz von 100 kHz.
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VERGLEICHSBEISPIEL 5
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In
einen Kolben mit Rührer
und Stickstoffeinlassrohr wurden 32,0 g (0,1 mol) 2,2'-Ditrifluormethyl-4,4'-diaminobiphenyl und 291,3 g NMP gegeben
und aufgelöst.
Zu dieser Lösung
wurden 19,4 g (0,099 mol) Cyclobutantetracarbonsäuredianhydrid bei Raumtemperatur
gegeben, wobei auf eine Temperaturerhöhung der Lösung geachtet wurde, gefolgt
von 6-stündigem
Rühren,
um eine Lösung
eines Polyimid-Vorläufers (Polyamsäure) zu
erhalten. Der erhaltene Polyimid-Vorläufer wies eine reduzierte Viskosität von 0,6
dl/g auf (in NMP bei 30°C,
Konzentration: 0,5 g/dl).
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Diese
Lösung
wurde mit NMP auf einen Gesamtfeststoffgehalt von 10 Gew.-% verdünnt und
auf ein Quarz-Substrat rotationsbeschichtet bei 2.000 U/min, gefolgt
von einer Hitzebehandlung bei 80°C über 5 Minuten
und bei 300°C über 1 Stunde,
um einen Polyimidfilm mit einer Dicke von 1,5 × 103 nm
zu erhalten.
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Das
Ultraviolett-Spektrum des Polyimidfilms wurde gemessen, und es wurde
gefunden, dass die Transmission bei einer Wellenlänge von
300 nm 24% und bei einer Wellenlänge
von 400 nm 93% betrug. Die Transmission im ultravioletten Bereich
war extrem gering.
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Der
Polyimidfilm wurde einer weiteren Hitzebehandlung in einem Ofen
bei 250°C über 1 Tag
unterzogen, und dann ein Ultraviolett-Spektrum aufgenommen, woraufhin
die Transmission bei einer Wellenlänge von 300 nm 20% und die
Transmission bei 400 nm 88% betrug, und die Transmission hatte weiter
abgenommen.
-
Dann
wurde eine Lösung
eines Polyimid-Vorläufers
auf ein Glassubstrat beschichtet, gefolgt von Backen bei 300°C, um einen
Film mit einer Filmdicke von 10 × 103 nm
zu erhalten. Die Ausgangstemperatur für einen 5%igen Gewichtsverlust
betrug 440°C,
was unter Verwendung dieses Films gemessen wurde, die Glasübergangstemperatur
betrug 360°C.
-
Ferner
betrug die Doppelbrechung nach der Prism-Coupler-Methode 0,0371
(TE-Richtung: 1,5572, TM-Richtung: 1,5201).
-
Dann
wurde die Lösung
des Polyimid-Vorläufers
bei 4.000 U/min auf ein Glassubstrat mit einer mittels Vapor-Deposition aufgebrachten
Aluminiumschicht rotationsbeschichtet, gefolgt von einer Hitzebehandlung über 5 Minuten
bei 80°C
und 1 Stunde bei 250°C,
um einen Polyimidfilm einer Dicke von 1,5 × 103 nm
zu bilden. Ferner wurde eine Aluminiumelektrode mit einem Durchmesser
von 6 mm mittels Vapor-Deposition auf den Polyimidfilm ausgebildet,
um ein Probestück
für elektrische
Messungen herzustellen.
-
Die
Dielektrizitätskonstante
des Polyimidfilms wurde mit diesem Probestück gemessen. Sie betrug 3,06
bei einer Frequenz von 100 kHz.
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Die
Ergebnisse der Beispiele 1 bis 3 und Vergleichsbeispiele 1 bis 5
sind in den Tabellen 1 und 3 gezeigt. Tabelle
1 Transmission (%)
Tabelle
2 Hitzebeständigkeit,
Doppelbrechung, Dielektrizitätskonstante
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VERGLEICHSBEISPIEL 6
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In
einen Kolben mit Rührer
und Stickstoffeinlassrohr wurden 32,5 g (0,09 mol) 2,2'-Bis(3-methyl-4-aminophenyl)hexafluorpropan
und 112 g NMP gegeben und aufgelöst.
Es wurde versucht, eine Lösung
eines Polyimid-Vorläufers
(Polyamsäure)
durch Zugabe von 18,9 g (0,09 mol) Cyclopentantetracarbonsäuredianhydrid bei
Raumtemperatur zu erhalten, wobei auf eine Temperaturerhöhung der
Lösung
geachtet wurde, gefolgt von Rühren über 24 Stunden.
Jedoch wurde die Lösung
schwarz, die Polymerisation schritt nicht merklich voran, und es
wurde keine Polyamsäure
mit einer Viskosität,
die das Ausbilden eines Beschichtungsfilms erlaubt hätte, erhalten.
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VERGLEICHSBEISPIEL 7
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In
einen Kolben mit Rührer
und Stickstoffeinlassrohr wurden 32,5 g (0,09 mol) 2,2'-Bis(3-methyl-4-aminophenyl)hexafluorpropan
und 112 g NMP gegeben und aufgelöst.
Es wurde versucht, eine Lösung
eines Polyimid-Vorläufers
(Polyamsäure)
durch Zugabe von 18,0 g (0,09 mol) Cyclohexan-1,2,4,5-tetracarbonsäuredianhydrid
bei Raumtemperatur zu erhalten, wobei auf eine Temperaturerhöhung der
Lösung
geachtet wurde, gefolgt von Rühren über 24 Stunden.
Jedoch schritt Polymerisation nicht merklich voran, und es wurde
keine Polyamsäure
mit einer Viskosität,
die das Ausbilden eines Beschichtungsfilms erlaubt hätte, erhalten.
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VERGLEICHSBEISPIEL 8
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In
einen Kolben mit Rührer
und Stickstoffeinlassrohr wurden 32,5 g (0,09 mol) 2,2'-Bis(3-methyl-4-aminophenyl)hexafluorpropan
und 112 g NMP gegeben und aufgelöst.
Es wurde versucht, eine Lösung
eines Polyimid-Vorläufer-Harzes
(Polyamsäure)
durch Zugabe von 18,0 g (0,09 mol) Tetrahydrofuran-2,3,4,5-tetracarbonsäuredianhydrid
bei Raumtemperatur zu erhalten, wobei auf eine Temperaturerhöhung der
Lösung
geachtet wurde, gefolgt von Rühren über 24 Stunden.
Jedoch schritt Polymerisation nicht merklich voran, und es wurde
keine Polyamsäure
mit einer Viskosität,
die das Ausbilden eines Beschichtungsfilms erlaubt hätte, erhalten.
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VERGLEICHSBEISPIEL 9
-
In
einen Kolben mit Rührer
und Stickstoffeinlassrohr wurden 32,5 g (0,09 mol) 2,2'-Bis(3-methyl-4-aminophenyl)hexafluorpropan
und 224 g NMP gegeben und aufgelöst.
Es wurde versucht, eine Lösung
eines Polyimid-Vorläufers
(Polyamsäure)
durch Zugabe von 17,8 g (0,09 mol) 1,2,3,4-Butantetracarbonsäuredianhydrid bei
Raumtemperatur zu erhalten, wobei auf eine Temperaturerhöhung der
Lösung
geachtet wurde, gefolgt von Rühren über 24 Stunden.
Jedoch schritt Polymerisation nicht merklich voran, und es wurde
keine Polyamsäure mit
einer Viskosität,
die das Ausbilden eines Beschichtungsfilms erlaubt hätte, erhalten.
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INDUSTRIELLE ANWENDBARKEIT
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Das
Polyimid der vorliegenden Erfindung weist eine hervorragende Transparenz
nicht nur im sichtbaren Bereich, sondern auch im ultravioletten
Bereich auf, und zwar auch nach Backen bei einer hohen Temperatur
von 270 bis 350°C.
Es hat Eigenschaften wie eine niedere Dielektrizitätskonstante,
eine niedrige Doppelbrechung und eine hohe Hitzebeständigkeit
und ist nützlich
als Schutzfilm und als Isolierungsfilm für Flüssigkristall-Displays und Halbleiter
oder für
optische Lichtleiter-Materialien für die optische Kommunikation.