DE69833960T2 - Integrierte elektroische schaltung mit einem oszillator und passiven schaltungsbauteilen - Google Patents

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Description

  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die Erfindung betrifft einen integrierten elektronischen Schaltkreis mit mindestens einem aktiven elektronischen Bauteil sowie einem Verzögerungselement gemäß dem Einleitungsabschnitt von Anspruch 1.
  • STAND DER TECHNIK
  • In vielen unterschiedlichen Arten von elektronischen Schaltkreisen werden Bauteile oder Konfigurationen mit einer gewissen Zeitkonstanten oder Verzögerung verwendet. In elektronischen Schaltkreisen, die in integrierter Form realisiert sind, sind Verzögerungsbauteile von den anderen Bauteilen getrennt angeordnet. Ein Beispiel für einen derartigen elektronischen Schaltkreis ist der Oszillator.
  • Eine gut bekannte Art und Weise für die Einrichtung eines Oszillators ist die Rückkopplung eines Steuer- oder Gate-Schalt kreises mit einer Inverterfunktion, wie beispielsweise einen einfachen Inverter, über eine beliebige Form einer Zeitverzögerung. Die Zeitverzögerung kann auf unterschiedliche Art und Weise implementiert werden, beispielsweise durch spezielle Verzögerungsschaltkreise.
  • In Anwendungen, in denen hohe Arbeitsfrequenzen eingesetzt werden, und insbesondere dort, wo die Anforderungen an einen frequenzstabilen Oszillator hoch sind, wird als Ersatz ein Quarz- oder Kristalloszillator eingesetzt. Ein exakt ausgeführter Kristall schwingt mechanisch auf einer eindeutig definierten und stabilen Frequenz, und die mechanische Schwingung oder Oszillation wird in eine elektrische Schwingung umgewandelt.
  • Ein Problem bei der Verwendung von Kristalloszillatoren liegt darin, dass sie relativ große Abmessungen aufweisen. In Verbindung mit bestimmten Arten von integrierten Schaltkreisen stellt dies insofern ein Problem dar, dass ein spezieller Schaltkreis zusammen mit dem Oszillator verwendet werden muss oder dass ein Schwingquarz von außerhalb des integrierten Schaltkreises angeschlossen werden muss.
  • Bei bekannten Oszillatoren wird normalerweise die Verzögerung verwendet, die in RC-Netzen oder RC-Zweipolen entsteht, d.h. in elektrischen Netzen, welche sowohl Widerstand als auch Kapazität aufweisen.
  • Innerhalb höherer Frequenzbereiche werden Antennen für die Übertragung und für den Empfang von elektromagnetischen Signalen zusammen mit einer speziellen Ausführungsform zur Ausnutzung von Signalen für starke Richtwirkungen verwendet. Die gegenwärtig am häufigsten verwendete Art von Antennen in diesem Zusammenhang ist die Parabolantenne. Sogenannte elektronisch gesteuerte Antennen oder Gruppenantennen (Phased Array Antennen) nehmen an Häufigkeit zu.
  • Eine Phased Array Antenne oder Gruppenantenne setzt sich aus einer Gruppe identischer Strahlungselemente zusammen. Durch gesteuertes Speisen der Elemente mit Hilfe eines Leiternetzes, so dass sie phasengleich wirken, kann ein elektromagnetischer Strahl mit einer guten Bündelung erzielt werden. Das Leiternetz kann zudem elektronisch gesteuerte Phaseninverter und möglicherweise Verstärker, einen für jedes Element, aufweisen, mit deren Hilfe die Richtung des Strahls verändert werden kann, ohne dass mechanisch bewegliche Bauteile erforderlich sind.
  • Bei den elektronisch gesteuerten Phaseninvertern handelt es sich um komplizierte und teuere Instrumente, und aus diesem Grund erzielte diese Art von Antenne keinen großen wirtschaftlichen Erfolg. Ein weiterer Faktor, der die Verwendung dieser Art von Antenne einschränkt, ist die Frequenzabhängigkeit der Phaseninverter. Der häufigste Einsatzbereich für die Phased Array Antenne oder Gruppenantenne liegt im Radarbereich.
  • Ein integrierter elektronischer Schaltkreis gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1 ist aus der Druckschrift US-A-5652549 bekannt.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Es ist eine Aufgabe der Erfindung, einen elektronischen Schaltkreis bereitzustellen, der auf einfache Art und Weise ausgeführt werden kann und der mit anderen Schaltkreisen in integrierter Form kombiniert werden kann.
  • Diese Aufgabe wird durch die in Anspruch 1 dargelegten Merkmale erreicht.
  • Gemäß einem Aspekt der Erfindung wurde ein Oszillator erzielt, der in allen Bauteilen in integrierter Form realisierbar ist.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wurde eine elektronisch gesteuerte Antenne geschaffen, welche die Nachteile der Phaseninverter nicht aufweist. Der Zweck wird durch die Tatsache erfüllt, dass elektronische Signale von individuellen Antennenelementen abhängig von der Position der Antennenelemente im Verhältnis zu den auftreffenden elektromagnetischen Wellenfronten unterschiedlich verzögert werden. Ausgehend von einer Matrix der sich über eine Fläche verteilender Antennenelemente, können die Signale von individuellen Antennenelementen selektiv verzögert werden und beeinflussen somit die Richtung, in welche die Antenne feinfühlig ist oder auf welche die Antenne anspricht. Die Verzögerung wird vorzugsweise in integrierten Schaltkreisen erzeugt, die in Verbindung mit den Antennenelementen bereitgestellt sind. Gemäß einer Ausführungsform ist eine Installation von Leitern unterschiedlicher Länge zwischen den Antennenelementen und einer Empfangseinheit vorgesehen. Ein Leiter mit einer bestimmten Länge wird mit Hilfe einer Steuerung abhängig von der Position des Antennenelements mit Bezug auf eine auftreffende Wellenfront einer elektromagnetischen Welle eingeschaltet. Die vorgegebene Position beeinflusst die erfassbaren Eigenschaften der elektrischen Signale, die empfangen werden. Die Installation der Leiter und der Steuereinheit erfolgt zusammen mit anderen elektronischen Bauteilen in einer Zelleneinheit.
  • Die nachfolgende Beschreibung, die Zeichnungen sowie die anliegenden Patentansprüche verdeutlichen weitere Vorteile und spezielle Merkmale der Erfindung.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die Erfindung wird nun ausführlicher mit Hilfe der Ausführungsbeispiele mit Bezug auf die anliegenden Zeichnungen beschrieben, welche zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung einer erfindungemäßen Ausführungsform eines elektronischen Schaltkreises in Form eines Oszillators;
  • 2 eine schematische Darstellung der Verteilung von Widerstand und Kapazität eines Leiters;
  • 3 ein Diagramm der Verzögerung in einem Leiter als Funktion der Länge des Leiters;
  • 4 ein grundsätzliches Blockdiagramm, welches eine alternative erfindungsgemäße Ausführungsform eines elektronischen Schaltkreises in Form einer Zelleneinheit mit Antennen-Peripheriegeräten zeigt;
  • 5 ein grundsätzliche Darstellung, wie mehrere Zelleneinheiten auf einem Abschnitt der Oberfläche einer Antenne bereitgestellt sind; und
  • 6 eine schematische Darstellung eines Verzögerungselements in Form eines Leiters, welches einen Teil der Erfindung bildet.
  • DIE ERFINDUNG
  • In der Ausführungsform gemäß 1 ist eine Inverterkopplung 10 schematisch dargestellt, deren Eingang 11 über einen langen Leiter 13 mit ihrem Ausgang 12 verbunden ist. Für einen Leiter mit der Länge l, ergibt sich eine Zeitperiode T durch die folgende Formel, wobei vc die Geschwindigkeit der elektomagnetischen Ausbreitung in dem Leiter ist.
  • Figure 00050001
  • Bei einer Geschwindigkeit von vc = 200,000 km/s und einer vorgegebenen Länge l von 0,5 m beträgt die Frequenz 200 MHz. Dies ergibt sich unter der Voraussetzung, dass die Verzögerung in der Inverterkopplung selbst in der Größenordnung einiger Picosekunden liegt. Bei einer langsamen Ausbreitung in der Verzögerung der Inverterkopplung, beispielsweise 10%, liegt die Ungenauigkeit in derselben Größenklasse wie die des Kristalloszillators. Die Länge, die für das Erreichen der gewünschten Verzögerung erforderlich ist, wirkt in vielen Fällen abschreckend. Die tatsächliche Verzögerung in dem Leiter ist zudem abhängig von dem verteilten Widerstand des Leiters sowie der verteilten Kapazität des Leiters.
  • Im Idealfall hängen in einem Leiter alle Veränderungen der Zeitperiode und somit der Frequenz lediglich von Leistungsmerkmalen in der Inverterkopplung ab. Falls die Verzögerung in der Inverterkopplung 10 im Verhältnis zu der Verzögerung im Leiter 13 gering ist, wobei die Verzögerung hauptsächlich von der Länge des Leiters abhängt, beeinflusst die Inverterkopplung die Genauigkeit nur sehr gering. Der Leiter ist als Metallleiter in einem integrierten Prozess, beispielsweise in einem CMOS-Prozess ausgeführt.
  • Der Leiter 13 ist mit einer Breite w ausgeführt und ist auf einer Art von Isolierschicht 14 angeordnet. Die Isolierschicht enthält sowohl Metalloxid als auch Feldoxid und weist eine Dicke b auf. Ein Halbleiterwerkstoff 15, beispielsweise Silizium, umgibt den den Leiter haltenden Abschnitt. Die Inverterkopplung 10 und andere Halbleiterschaltkreise können in Halbleiterwerkstoffen verwirklicht sein, wobei diese einen Zugriff zu dem Oszillator aufweisen.
  • In einer Ausführungsform setzt sich die Isolierschicht aus Siliziumoxid zusammen. Die Isolierschicht kann auch aus Glas oder einem anderen keramischen Werkstoff ausgeführt werden. Als Alternative kann die Isolierschicht als Luftschicht aus geführt sein. In einer derartigen Ausführungsform ruht der Leiter auf säulenförmigen Gebilden, die sich aus dem verwendeten Halbleiter- oder Grundwerkstoff erstrecken.
  • Der Leiter ist derart beschaffen, dass er den induktiven Widerstand so gering wie möglich ansteigen lässt. Der Leiter verläuft in einer Schleife mit mehreren parallelen Leiterabschnitten, so dass die Richtungen des Stroms in benachbarten Leiterabschnitten gegensätzlich zueinander sind. Es ist auch möglich, zwei parallele Schleifen entgegengesetzt zueinander oder in Doppelschleife bereitzustellen.
  • In einem tatsächlichen Leiter tritt eine Zeitverzögerung als Ergebnis des verteilten Widerstands des Leiters sowie der verteilten Kapazität des Leiters gemäß der nachstehenden Gleichung auf. Die verteilten Merkmale oder Kennlinien können gemäß 2 veranschaulicht werden. Die Gesamtlänge des Leiters ist l. In 2 ist c die Gesamtkapazität des Leiters, und R ist der Gesamtwiderstand des Leiters. Der Widerstand ergibt sich im Allgemeinen aus der folgenden Formel:
    Figure 00070001
  • Für die Formeln gilt:
    • ε
    = die Dielektrizitätskonstante für die isolierte (Oxid-) Schicht;
    ρ
    = der Widerstand in dem Leiterwerkstoff;
    a
    = die Dicke des Leiters;
    b
    = die Dicke der Isolier-(Oxid-)Schicht; und
    w
    = die schmalste Breite des Leiters.
  • Aus den vorstehenden Assoziationen ergibt sich für die Zeitverzögerung:
    Figure 00080001
  • Die Zeitverzögerung kann als Zeitverzögerung in kleinen Zeitsegmenten neu dargestellt werden, wobei die Gleichung folgendermaßen lautet:
    Figure 00080002
  • Die Konstanten, welche vorher eingesetzt wurden, sind hier in einer neuen Konstanten Kcr vereinigt, welche sich folgendermaßen ergibt:
    Figure 00080003
  • Diese Konstante hängt stark von der Temperatur und der Spannung ab, weswegen sie auf ein Minimum reduziert werden sollte. Nach dem Übergang in unendlich kleine Zeitsegmente ergibt sich die folgende Formel:
    Figure 00090001
  • Das Diagramm in 3 mit der Kurve tA zeigt die Verzögerung, welche von der Ausbreitungsgeschwindigkeit in dem Leiter abhängig ist. Die Kurve tRC zeigt die Verzögerung, welche vom Widerstand R des Leiters und der Kapazität C abhängig ist. Die Ausbreitungsgeschwindigketi in dem Leiter kann nicht in bedeutendem Maße beeinflusst werden.
  • Wie aus den vorstehenden Formeln hervorgeht, ist die Wirkung von tRC geringer, je dicker die Isolierschicht und je dicker der verwendete Leiter ist. Die gestrichelte Linie in 3 zeigt, wie die Kurve tRC beeinflusst wird, wenn die Isolierschicht und der Leiter dicker hergestellt werden. Durch Verwendung der Fläche, in der die Wirkung von tRC gering ist, kann der Oszillator eine gute Stabilität erreichen und seine Schwingungsfrequenz wird im Wesentlichen vollständig durch die Länge des Leiters gesteuert. Die Isolierschicht 14 ist vorzugsweise mit einer erheblich größeren Dicke b ausgeführt als die auftretende Oxidschicht. Eine geeignete Dicke überschreitet 10μm und liegt vorzugsweise im Bereich von 10 bis 100μm, falls der Oszillator für Frequenzen um 1 GHz eingesetzt werden soll. Die Dicke w des Leiters 13 liegt in häufig auftretenden Prozessen bei ungefähr 1μm, und eine Zunahme der Dicke, jedoch nicht der Breite, verbessert die Eigenschaften und die Leistung des Oszillators.
  • Induktive Eigenschaften bedürfen zudem einer speziellen Aufmerksamkeit, was die Länge des Leiters anbetrifft. Es ist da her nicht geeignet, den Leiter spiralförmig oder in ähnlicher Form auszuführen. Die Länge sollte zudem an die gewünschte Wellenlänge des Oszillators angepasst werden. Die Länge des Leiters beläuft sich vorzugsweise auf ein Vielfaches der halben Wellenlänge, oder noch bevorzugter, die halbe Wellenlänge.
  • In der Ausführungform gemäß 4 umfasst die Erfindung Antennenelemente 16, die mit einer Zelleneinheit 22 verbunden sind. Die Zelleneinheit 22, welche in 4 durch gestrichelte Linien angezeigt ist, weist eine Installation individuell schaltbarer Verzögerungselemente 18 auf, mit deren Hilfe ein Signal, das in dem Antennenelement 16 empfangen wird, zu einem Empfänger 17 gelenkt wird, der für eine Reihe von Zelleneinheiten 22 gemeinsam wirkt. Das empfangene Signal wird im Verstärker 23 verstärkt.
  • Das Schalten der Verzögerungselemente 18 wird in der Ausführungsform gemäß 4 mit Hilfe eines Demultiplexers 19 und eines Multiplexers 21 bewerkstelligt. Verzögerungselemente in Form von Leitern verbinden Demultiplexer 19 und Multiplexer 21, und ein individuelles Verzögerungselement 18 wird mit Hilfe einer Einstellung des Demultiplexers 19 und/oder des Multiplexers 21 geschaltet. Eine Einstellung erfolgt mit Hilfe einer Steuereinheit 20, welche mit einer zentralen Verarbeitungseinheit (CPU) 24 für mehrere Zelleneinheiten 22 zusammengeschaltet ist.
  • Zur Verringerung von Problemen bei der andauernden kapazitiven und induktiven Kopplung, bei der das ankommende Signal eine Frequenz in der Größenordnung von 12 GHz aufweisen kann, wird das ankommende Signal unter anderem vorzugsweise mit einem Signal von einem lokalen Oszillator 25 gemischt und an einen Mischer 26 gesendet. Aus dem Mischer 26 weist das Signal geeigneterweise eine Frequenz in der Größenordnung von einigen GHz auf.
  • Die unterschiedlichen Steuereinheiten 20 und möglicherweise auch die lokalten Oszillatoren 25 sind an eine CPU 24 angeschlossen, vorzugsweise über eine Bus- oder Sammelschienenverbindung 27. Es kann sich als geeignet erweisen, in der CPU 24 eine Vorrichtung für die Synchronisation der unterschiedlichen Oszillatoren 25 vorzusehen. Eine Synchronisation kann auch über eine Steuereinheit 20 erfolgen. Gemäß einer alternativen Ausführungsform (nicht gezeigt) ist der Oszillator nicht in der Zelleneinheit enthalten. Anstelle dessen ist vorzugsweise ein herkömmlicher Oszillator in der CPU angeordnet. Die verwendete Ausführungsform des Oszillators sollte für verschiedene Frequenzbänder anpassbar sein.
  • Alle Bauteile, die in der Zelleneinheit 22 enthalten sind, können integriert in Halbleiterwerkstoffe realisiert sein. Der verwendete Halbleiterprozess sollte im Hinblick auf die Hochfrequenz-Eigenschaften ausgewählt werden, inbesondere was den Verstärker 23 anbetrifft, und im Hinblick auf die Leiter beeinflussende Eigenschaften, welche in die Verzögerungselemente eingeschlossen werden können. Der Rauschabstand sollte in der Größenordnung von 0,5 dBu liegen. Sehr niedrige Kapazitätsschalter sollten bevorzugt werden. Der Leiter ist als Metallleiter in einem integrierten Prozess, beispielsweise einem CMOS-Prozess, ausgeführt.
  • Ein Empfänger 17 kann auf herkömmliche Art und Weise als Satellitenempfänger realisiert sein. Es kann der Fall auftreten, dass Satellitenempfänger Steuerinstrumente für eine motorisierte Steuerung einer herkömmlichen Parabolantenne aufweisen. Der Empfänger 17 weist ähnliche Steuerinstrumente auf, und ein Steuerausgang 28 überträgt Steuerinformatioen an die CPU 24. Die Steuerinformationen können Instruktionen enthalten, mit der elektrisch gesteuerten Antenne einen bestimmten Bogen abzusuchen, um auf diese Weise einen neuen Sender zu finden. Wenn ein Sender gefunden ist, steuern die Steuerinformationen kontinuierlich die Einstellung der Antenne derart, dass dem Sender gefolgt werden kann, wenn die Antenne physikalisch abgewinkelt oder im Verhältnis zu dem Sender versetzt wird. Ein Signalleiter 29, vorzugsweise von jeder der Zelleneinheiten 22, leitet ein empfangenes Signal von der Antenne zum Empfänger 17. Die Qualität und gewisse Eigenschaften des Signals von der Antenne beeinflussen wiederum die Art und Weise, wie die CPU 24 gesteuert wird, um die unterschiedlichen Steuereinheiten 20 in den Zelleneinheiten 22 zu beeinflussen. Die Anzahl der Verzögerungselemente 18, die erforderlich ist, damit die erwünschten Möglichkeiten für eine Feinabstimmung oder einen Feinabgleich der Antenne erzielt werden können, variiert bei der vorliegenden Erfindung. Bei einer normalen Satellitenempfänger-Anwendung sollten einige Hunderte von Verzögerungselementen 18 ausreichend sein. Die Eigenschaften des Verstärkers 23 haben auch einen Einfluss darauf, wieviele Verzögerungselemente 18 erforderlich sind. Durch sehr gute Verstärkungseigenschaften und einen sehr guten Signal-Rauschabstand in dem Verstärker kann die Anzahl von richtungsangleichenden Verzögerungselementen 18 niedrig gehalten werden.
  • Eine Antenne, die mit Bauteilen gemäß vorstehender Beschreibung ausgeführt ist, kann gemäß Darstellung in 5 realisiert werden. Auf einer Oberfläche ist eine Reihe von Zelleneinheiten 22 bereitgestellt. Jede Zelleneinheit 22 ist mit vier Antennenelementen 16A bis 16D verbunden, welche paarweise angebracht sind. Zwei gegenüberliegende erste Antennenelemente 16A und 16B sind für den Empfang von horizontal polarisierten Signalen ausgelegt und zwei gegenüberliegende zweite Antennenelemente 16C und 16D sind für den Empfang von vertikal polarisierten Signalen ausgelegt. Andere Konfigurationen können ebenfalls für den Empfang unterschiedlicher Arten von Signalen verwendet werden. Jedes Antennenelement 16A bis 16D kann einige Millimeter lang und breit sein, und es können unterschiedliche Formen auftreten. Die Außenabmessungen der Antenne mit einer geeigneten Anzahl an Antennenelementen können derart ausgelegt sein, dass die Oberfläche der Antenne in der Größen ordnung von 0,1 bis 1,0 m2 liegt.
  • Eine Busverbindung 27 verläuft vorzugsweise durch jede Zelleneinheit 22 oder an dieser vorbei. Die unterschiedlichen Antennenelemente 16A bis 16D können an einem Verstärker 23 direkt oder über einen Multiplexer befestigt werden, wobei der Multiplexer mit Hilfe einer Steuereinheit 20 geeignet gesteuert wird.
  • 6 zeigt im Prinzip, wie die Leiter 18 ausgeführt sein können. Jeder Leiter 18 weist eine Breite w auf und ist auf einer Form von Isolierschicht 14 angeordnet. Die Isolierschicht setzt sich normalerweise sowohl aus Metalloxid als auch Feldoxid zusammen und weist eine Dicke b auf. Ein Halbleiterwerkstoff 15, beispielsweise Silizium, umgibt den Abschnitt, welcher den Leiter stützt. In dem Halbleiterwerkstoff können der Verstärker 23 und weitere Halbleiterschaltkreise ausgeführt sein.
  • In einer Ausführungsform ist die Isolierschicht aus Siliziumoxid hergestellt. Die Isolierschicht kann auch aus Glas gebildet sein. Als Alternative kann die Isolierschicht als Luftschicht realisiert sein. In einer derartigen Ausführungsform ist der Leiter auf säulenförmigen Gebilden angeordnet, die sich aus dem verwendeten Halbleiter- und Grundwerkstoff erstrecken.
  • Eine geeignete Dicke überschreitet 10 μm und liegt vorzugsweise im Bereich von 10 bis 100μm, falls die Vorrichtung bei Frequenzen um einige GHz verwendet werden soll. Die Dicke des Leiters liegt bei normal auftretenden Prozessen bei etwa 1μm, und ein Anstieg der Dicke, jedoch nicht der Breite, verbessert die Eigenschaften und die Leistung der Verzögerungselemente.

Claims (17)

  1. Integrierter Elektronikschaltkreis mit einem von einem elektrischen Leiter (13, 18) gebildeten Verzögerungselement und mit mindestens einem aktiven elektronischen Bauteil (10, 21), das mit dem elektrischen Leiter (13, 18) verbunden ist, wobei der Leiter (13, 18) derart ausgebildet ist, dass seine Induktivität auf ein Minimum reduziert wird, d.h. in einer Schleife mit parallelen Leiterabschnitten, so dass die Richtungen des Stroms in angrenzenden Leiterabschnitten entgegengesetzt zueinander sind, und der Leiter (13, 18) aus einem leitfähigen Werkstoff auf einer Isolierschicht (14) gebildet wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Isolierschicht (14) von Halbleiterwerkstoff (15) umgeben ist und die Dicke der Isolierschicht (14) 10μm überschreitet, so dass eine geringe kapazitive Kopplung zwischen dem Leiter (13, 18) und dem umgebenden Halbleiterwerkstoff geschaffen wird.
  2. Elektronikschaltkreis nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das elektronische Bauteil einen Inverter (10) mit einem Eingang (11) und einem Ausgang (12) aufweist, und dass der Leiter (13) dazu vorgesehen ist, den Eingang (11) mit dem Ausgang (12) zu verbinden, wodurch ein Oszillator geschaffen wird.
  3. Elektronikschaltkreis nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Isolierschicht (14) aus Oxid-Werkstoff zusammensetzt.
  4. Elektronikschaltkreis nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Inverter (10) und der Leiter (13) in einem Halbleiterverfahren mit Halbleitern/Metall auf Glas/Keramik hergestellt werden.
  5. Elektronikschaltkreis nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Isolierschicht (14) aus Luft zusammensetzt.
  6. Elektronikschaltkreis nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der Isolierschicht (14) 20μm überschreitet.
  7. Elektronikschaltkreis nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke des Leiters (13) 1μm überschreitet.
  8. Elektronikschaltkreis nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Inverter (10) aus Halbleiterwerkstoff hergestellt ist.
  9. Elektronikschaltkreis nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Inverter (10) in einem Verfahren hergestellt wird, welches Silizium auf dem Isolator aufweist.
  10. Elektronikschaltkreis nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Länge des Leiters (13) 0,2m überschreitet.
  11. Elektronikschaltkreis mit einer elektronisch gesteuerten Antenne, einem Empfänger (17) und einer Reihe von mit dem Empfänger (17) verbundenen Antennenelementen (16), dadurch gekennzeichnet, dass individuelle Antennenelemente (16) mit dem Empfänger (17) über einen integrierten Elektronikschaltkreis gemäß Anspruch 1 verbunden sind, welcher automatisch auswählbare Verzögerungselemente (18) aufweist, so dass elektrische Signale von unterschiedlichen Antennenelementen (16) abhängig von der Position der Antennenelemente im Hinblick auf die einfallenden elektromagnetischen Wellenfronten unterschiedlich verzögert werden.
  12. Elektronikschaltkreis nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Verzögerungselemente (18) elektrische Leiter unterschiedlicher Länge aufweisen.
  13. Elektronikschaltkreis nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass individuelle Antennenelemente (16) über einen Demultiplexer (19) an die Verzögerungselemente (18) angeschlossen sind, dass individuelle Antennenelemente (16) über einem Multi plexer (21) an den Empfänger (17) angeschlossen sind, und dass der Demultiplexer (19) betriebsbereit an eine Steuereinheit (20) angeschlossen ist, so dass ein individuelles Verzögerungselement (18) abhängig von den Eigenschaften der empfangenen elektrischen Signale geschaltet wird.
  14. Elektronikschaltkreis nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Demultiplexer (19), der Multiplexer (21) sowie die Steuereinheit (20) zusammen mit den Verzögerungselementen (18) in einer Zelleneinheit (22) bereitgestellt werden, wobei die Zelleneinheit als integrierter Schaltkreis ausgebildet ist, und dass ein Antennenelement (16) mit einer Zelleneinheit (22) verbunden ist.
  15. Elektronikschaltkreis nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Empfänger (17) an eine Zentraleinheit (24) zur Übertragung von Steuerinformationen zum Steuern der Antenne angeschlossen ist, und dass die Zentraleinheit (24) an die mit den Antennenelementen (16) verbundenen Steuereinheiten (20) angeschlossen ist.
  16. Elektronikschaltkreis nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass individuelle Antennenelemente (16) über einen Verstärker (23) mit dem Demultiplexer (19) verbunden sind.
  17. Elektronikschaltkreis nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass individuelle Antennenelemente (16) über einen Mischer (26) mit dem Demultiplexer (19) verbunden sind, und dass der Mischer (26) auch an einen Oszillator (25) angeschlossen ist.
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