DE69825876D1 - Elektronische/elektrische bauteile zur verwendung in reinraum und vorrichtung zum behandeln von substraten - Google Patents
Elektronische/elektrische bauteile zur verwendung in reinraum und vorrichtung zum behandeln von substratenInfo
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- Packaging Frangible Articles (AREA)
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7120197 | 1997-03-25 | ||
JP7120197 | 1997-03-25 | ||
PCT/JP1998/001296 WO1998042783A1 (fr) | 1997-03-25 | 1998-03-25 | Composants electroniques et/ou electriques utilises en salle blanche et appareil de traitement de substrat |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69825876D1 true DE69825876D1 (de) | 2004-09-30 |
DE69825876T2 DE69825876T2 (de) | 2005-08-11 |
Family
ID=13453834
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69825876T Expired - Lifetime DE69825876T2 (de) | 1997-03-25 | 1998-03-25 | Elektronische/elektrische bauteile zur verwendung in reinraum und vorrichtung zum behandeln von substraten |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6337365B1 (de) |
EP (1) | EP0971000B1 (de) |
JP (1) | JP3587532B2 (de) |
KR (1) | KR100493752B1 (de) |
DE (1) | DE69825876T2 (de) |
TW (1) | TW392200B (de) |
WO (1) | WO1998042783A1 (de) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3967094B2 (ja) * | 2001-05-29 | 2007-08-29 | 日立電線株式会社 | ポリ塩化ビニル系樹脂組成物被覆電線及びケーブル |
JP4511773B2 (ja) * | 2001-09-25 | 2010-07-28 | パナソニック環境エンジニアリング株式会社 | クリーンストッカー |
JP4410452B2 (ja) * | 2001-10-12 | 2010-02-03 | 信越化学工業株式会社 | 室温硬化性オルガノポリシロキサン組成物 |
JP2004059834A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-02-26 | Yazaki Corp | アウトガス抑制粘着テープ |
US7781555B2 (en) * | 2007-09-03 | 2010-08-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Microcontact printing stamp |
JP2009138149A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Sumitomo Chemical Co Ltd | ポリエーテルスルホン系樹脂組成物及びその成形体 |
JP6167459B2 (ja) * | 2013-11-01 | 2017-07-26 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンスデバイス |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61261316A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-19 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体封止用樹脂 |
JPS61283640A (ja) | 1985-06-11 | 1986-12-13 | Showa Denko Kk | スチレン系重合体の帯電防止方法 |
JPS6219453A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-28 | 三菱化成ビニル株式会社 | 農業用積層フイルム |
JPH0781044B2 (ja) * | 1986-10-16 | 1995-08-30 | 三菱化学株式会社 | 帯電防止フイルム |
JPH01252667A (ja) * | 1988-04-01 | 1989-10-09 | Toshiba Chem Corp | 帯電防止性組成物 |
JP2816864B2 (ja) * | 1989-07-07 | 1998-10-27 | 大塚化学株式会社 | 搬送用ウエーハバスケット及び収納ケース |
JPH03217467A (ja) | 1990-01-24 | 1991-09-25 | Fujitsu Ltd | クリーンルーム用シール材料 |
JP2901216B2 (ja) | 1992-02-19 | 1999-06-07 | 株式会社クラレ | 白色成形品用ポリエステル系樹脂組成物 |
JPH06220274A (ja) | 1992-08-11 | 1994-08-09 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | 熱可塑性樹脂組成物 |
JP3432906B2 (ja) | 1994-08-18 | 2003-08-04 | テクノポリマー株式会社 | 帯電防止性に優れたabs樹脂組成物 |
JP3476046B2 (ja) | 1995-07-27 | 2003-12-10 | 大成建設株式会社 | 乾式シール材、その製造方法、クリーンルーム、および局所設備 |
JP3288579B2 (ja) | 1995-07-27 | 2002-06-04 | 大成建設株式会社 | 建築部材、その製造方法、およびクリーンルーム |
JP3471981B2 (ja) | 1995-08-10 | 2003-12-02 | 電気化学工業株式会社 | スチレン系重合体組成物 |
-
1998
- 1998-03-24 TW TW087104378A patent/TW392200B/zh not_active IP Right Cessation
- 1998-03-25 US US09/381,667 patent/US6337365B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-03-25 JP JP54543798A patent/JP3587532B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1998-03-25 DE DE69825876T patent/DE69825876T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-03-25 WO PCT/JP1998/001296 patent/WO1998042783A1/ja active IP Right Grant
- 1998-03-25 KR KR10-1999-7008770A patent/KR100493752B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-03-25 EP EP98910973A patent/EP0971000B1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0971000A4 (de) | 2000-07-19 |
TW392200B (en) | 2000-06-01 |
DE69825876T2 (de) | 2005-08-11 |
JP3587532B2 (ja) | 2004-11-10 |
EP0971000A1 (de) | 2000-01-12 |
KR20010005702A (ko) | 2001-01-15 |
US6337365B1 (en) | 2002-01-08 |
EP0971000B1 (de) | 2004-08-25 |
KR100493752B1 (ko) | 2005-06-07 |
WO1998042783A1 (fr) | 1998-10-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition |