DE69631223T2

DE69631223T2 - Matrix von 2-dimensionales organischen Leuchtdioden

Info

Publication number: DE69631223T2
Application number: DE69631223T
Authority: DE
Inventors: Franky Tempe So; Song Q. Phoenix Shi; Thomas B. Scottsdale Harvey III
Original assignee: Motorola Inc
Current assignee: Universal Display Corp
Priority date: 1995-03-22
Filing date: 1996-03-18
Publication date: 2004-06-09
Anticipated expiration: 2016-03-19
Also published as: KR100419548B1; EP0734082A3; JP3785217B2; EP0734082A2; DE69631223D1; EP0734082B1; CN1083160C; JPH08262998A; TW318284B; US5656508A; US5587589A; KR960036161A; CN1138751A

Description

Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft organische Leuchtdioden ("light emitting diode (LED)")-Anordnungen und ein neuartiges Verfahren zum Herstellen von organischen LED-Anordnungen für Anwendungen auf Informations-Bildanzeigevorrichtungen mit hoher Dichte.
Hintergrund der Erfindung
Eine zweidimensionale organische LED-Anordnung für Bildanzeigevorrichtungs-Anwendungen ist aus einer in Reihen und Kolonnen angeordneten Mehrzahl von organischen LEDs (wovon eine oder mehrere ein Pixel bildet) zusammengesetzt. Im Allgemeinen ist jede einzelne organische LED in der Anordnung mit einer lichtdurchlässigen ersten Elektrode, einem auf der ersten Elektrode abgelagerten organischen elektrolumineszierenden Medium und einer metallischen Elekt rode oben auf dem organischen elektrolumineszierenden Medium konstruiert. Die Elektroden der LEDs sind miteinander verbunden, um ein zweidimensionales X-Y Adressierungsmuster zu bilden. In der Praxis wird das X-Y Adressierungsmuster durch Mustern der lichtdurchlässigen Elektroden in eine X-Richtung und Mustern der metallischen Elektroden in eine Y-Richtung (oder umgekehrt, falls erwünscht) erzielt, wobei die X- und Y-Richtungen senkrecht zueinander sind. Normalerweise wird das Mustern der Elektroden entweder durch Lochmasken- oder Ätztechniken bewerkstelligt. Aufgrund der technischen Beschränkungen von Lochmasken werden für Informationsanzeigen mit hoher Dichte, die Pixelabstände von weniger als 0,1 mm aufweisen, lediglich Ätzverfahren angewendet.
Abhängig von dem in den Ätzverfahren verwendeten Medium kann die Ätztechnik in zwei Kategorien aufgeteilt werden: nass und trocken. Während Nassätzen in einem säurehaltigen FlüssigMedium durchgeführt wird, wird Trockenätzen normalerweise in einer Plasmaatmosphäre durchgeführt.
Ein organisches elektrolumineszierendes Element und die Herstellung von diesem wird in den Patentkurzzusammenfassungen von Japan, Band 16, Nr. 246 (E-1212), 5. Juni 1992, Veröffentlichung Nr. 4051494, veröffentlicht am 19.02.1992, offenbart.
Die für Kathodenkontakte in organischen LEDs verwendeten metallischen Elektroden enthalten normalerweise ein stabiles Metall und ein hoch reaktives Metall mit einer Austrittsarbeit von weniger als 4 eV. Das Vorhandensein des hoch reaktiven Metalls in der metallischen Elektrode macht Nassätzen auf Säurebasis nicht wünschenswert. Jedoch sind die Trockenätzungsverfahren wegen der in dem Verfahren er forderlichen hohen Temperatur (>200°C) und reaktiven Innenatmosphäre, die die Intaktheit der organischen Materialien als auch der aktives Metall enthaltenden metallischen Elektroden in einem zweidimensionalen organischen LED-Anordnung beeinflussen können, ebenfalls problematisch.
Zur Überwindung des Ätzdilemmas ist von Tang in einer Patentanmeldung, EP92 122113.1, veröffentlicht am 7. Juli 1993 vom Europäischen Patentamt, ein Schattenwandverfahren zum Herstellen der zweidimensionalen Anordnung offenbart worden. Das Schattenwandverfahren enthält: das Mustern der transparenten Elektrode zuerst; das Errichten von zu den transparenten Elektroden orthogonalen dielektrischen Wänden, die zum Beschatten eines angrenzenden Pixelbereichs fähig sind und eine die Dicke des organischen Mediums übersteigende Höhe aufweisen; das Ablagern eines organischen elektrolumineszierenden Mediums; und das Ablagern des Kathodenmetalls aus einem Winkel von 15° bis 45° in Bezug auf die Ablagerungsfläche. Da die Höhe der dielektrischen Wände die Dicke des organischen Mediums übersteigt, sind isolierte parallele Metallstreifen ausgebildet. Somit wird eine X-Y adressierbare Anordnung erzielt, ohne dass Metallätzen erforderlich wäre. Obwohl dieses Verfahren für das Metallmustern brauchbar zu sein scheint, ist es auf bestimmte Abstandsabmessungen beschränkt und könnte potentiell in Pixeln in der Anordnung Fehler einführen.
Dementsprechend wäre es höchst vorteilhaft, eine neue LED-Anordnung und ein neues Herstellungsverfahren zur Verfügung zu stellen, die diese Probleme bewältigten.
Ein Zweck dieser Erfindung ist die Bereitstellung eines neuartigen Verfahrens zum Herstellen einer zweidimensi onalen organischen LED-Anordnung für Anwendungen auf Informations-Bildanzeigevorrichtungen mit hoher Dichte.
Ein weiterer Zweck dieser Erfindung ist die Bereitstellung einer organischen LED-Vorrichtungsstruktur, an der Metallätzen durchgeführt werden kann.
Noch ein weiterer Zweck dieser Erfindung ist die Bereitstellung einer passivierten zweidimensionalen organischen LED-Anordnung für Anwendungen auf Informations-Bildanzeigevorrichtungen mit hoher Dichte mit verbesserter Zuverlässigkeit.
Ein weiterer Zweck dieser Erfindung ist die Bereitstellung einer neuen Vorrichtungsstruktur zur Verwendung in LED-Anordnungen, die verhältnismäßig leicht und kostengünstig herzustellen ist.
Zusammenfassung der Erfindung
Die obigen und weitere Probleme werden zumindest teilweise gelöst und die obigen und weitere Zwecke werden in einer neuen und neuartigen zweidimensionalen organischen LED-Anordnung für Anwendungen auf Informations-Bildanzeigevorrichtungen mit hoher Dichte erfüllt, wie in den beigefügten Ansprüchen vorgetragen.
Ein neuartiges Verfahren zur Herstellung einer zweidimensionalen organischen LED-Anordnung für Anwendungen auf Informations-Bildanzeigevorrichtungen mit hoher Dichte wird ebenfalls offenbart.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 ist ein Grundriss einer typischen Grabenstruktur und einer typischen Schachtstruktur, die zur Veranschaulichung ihrer maßlichen Unterschiede auf demselben Substrat dargestellt sind;
2 ist eine Querschnittsansicht einer LED in einer zweidimensionalen Anordnung gemäß der vorliegenden Erfindung; und
3 ist ein Grundriss einer zweidimensionalen organischen LED-Anordnung mit Schachtstrukturen gemäß der vorliegenden Erfindung mit zur erleichterten Veranschaulichung weggebrochenen Bereichen.
Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform
Da sich die Abmessungen der Vorrichtungsmerkmale oft in den Submikrometerbereichen befinden, sind die Zeichnungen anstatt für Maßhaltigkeit für eine erleichterte Veranschaulichung skaliert. Mit spezieller Bezugnahme auf 1 wird ein Grundriss typischer Graben- 11 und Schachtstrukturen 12 auf demselben Substrat dargestellt, um ihre maßlichen Unterschiede zu veranschaulichen. Sowohl die Gräben 11 als auch die Schächte 12 werden im Allgemeinen durch fotolithografisches Mustern einer dielektrischen Schicht 13 ausgebildet, die oben auf lichtdurchlässigen, leitfähigen Streifen (nicht gezeigt) abgelagert worden sind, die wiederum durch ein tiefer liegendes transparentes Substrat getragen werden.
Die Gräben 11 sind lange, schmale, gerade, tiefe Eintiefungen, wobei jeder durch vier in der dielektrischen Schicht 13 ausgebildete relativ steile Seiten definiert wird. Typischerweise nehmen die Gräben 11 die Form eines rechtwinkligen Parallelepipeds ein, wie in 1 gezeigt. Ferner erstrecken sich die Gräben 11 allgemein quer über das Substrat entweder in einer zu den tiefer liegenden lichtdurchlässigen, leitfähigen Streifen senkrechten Richtung oder parallel zu und oben auf den tiefer liegenden lichtdurchlässigen, leitfähigen Streifen. In einem einzelnen Graben 11 kann eine Anzahl von LEDs oder Pixel angelegt sein.
Die Schächte 12 werden jeder durch ein in der dielektrischen Schicht 13 ausgebildetes Loch mit einer rechtwinkligen, quadratischen oder kreisrunden Öffnungsform und steilen Seitenwänden definiert. Die Schächte 12 sind durch eine geringe Merkmalsgröße und eine annähernd isotropische Öffnungsform gekennzeichnet. Eine Anzahl von Schächten 12 ist in einer Reihe quer über das Substrat oben auf den lichtdurchlässigen, leitfähigen Streifen angelegt. Jeder Schacht 12 definiert die Form eines LED oder Pixels in einer zweidimensionalen Anordnung. Sowohl Gräben 11 als auch Schächte 12, die hiernach insgesamt als Ausnehmungen bezeichnet werden, können in der Herstellung einer zweidimensionalen Anordnung für eine Informations-Bildanzeigevorrichtung verwendet werden.
Mit spezieller Bezugnahme auf 2 wird nun eine Querschnittsansicht eines einzelnen LED 20 aus einer zweidimensionalen LED-Anordnung gemäß der vorliegenden Erfindung dargestellt. Der Aufbau des LED 20 beginnt mit einem lichtdurchlässigen, vorzugsweise transparenten und elektrisch isolierenden Substrat 21. Im Allgemeinen werden aus Glas- und Polymermaterialien bestehende Substrate bevor zugt. Auf der Oberseite des Substrats 21 wird eine Schicht 22 aus lichtdurchlässigem, elektrisch leitfähigem Material abgelagert, das aus einer Vielfalt von organischen oder anorganischen Leitern, wie leitfähigem Polyanilin (PANI) oder Indium-Zinnoxid (ITO), ausgewählt wird. Dann wird die Schicht 22 Mediums einer herkömmlichen lithografischen Technik gemustert, um einen ersten parallelen leitfähigen Streifen 23 auszubilden, der fähig ist, in einer Reihenform adressiert zu werden und der in der endgültigen Anordnung als anodische Elektrode dienen wird.
Auf der Oberseite der gemusterten Schicht 22 wird eine Schicht 24 aus einem dielektrischen Medium Mediums thermischer Verdampfungs-, Zerstäubungs- oder plasmaangereicherter chemischer Aufdampfungstechniken abgelagert. Die Schicht 24 wird dann durch herkömmliche Nass- oder Trockenätztechniken gemustert, um eine Ausnehmungsstruktur (Schacht oder Graben) auszubilden. In der Ausnehmung und auf der Oberseite der Schicht 23 (der anodischen Elektrode) wird ein elektrolumineszierendes Medium 25 abgelagert, das insgesamt aus einer Schicht aus lochtransportierendem Material, einer Schicht aus aktivem Emittermaterial, einer Schicht aus elektronentransportierendem Material und einer Schicht aus einem austrittsarbeitsarmen Metall besteht. Fachleuten in der Technik wird selbstverständlich klar sein, dass in einigen Anwendungen eine von beiden oder beide Schichten aus lochtransportierendem Material und elektronentransportierendem Material beseitigt werden können, in den meisten Fällen mit einem etwas schlechteren Betriebsergebnis.
Die Oberseite der Ausnehmung wird dann durch Verdampfen einer dicken Schicht 27 aus stabilem Metall wie Alumi nium, Silber, Kupfer oder Gold als Ausnehmungsabdeckung abgedichtet. Die Schicht 27 wird ausgewählt, um einen guten elektrischen Kontakt mit der Schicht aus austrittsarbeitsarmem Material in dem elektrolumineszierenden Medium 25 zu bilden und bildet in Verbindung mit der Schicht aus austrittsarbeitsarmem Material des elektrolumineszierenden Mediums 25 die Kathodenelektrode für die LED 20. Die Schicht 27 wird dann lithografisch gemustert, um zur Bereitstellung der LED-Adressierung einen isolierten Metallstreifen auszubilden, wie vorher beschrieben.
Das in dem Aufbau der Ausnehmungsstruktur verwendete dielektrische Medium 24 ist irgendein geeignetes organisches Polymer oder anorganisches Material. Jedoch wird die Verwendung eines anorganischen dielektrischen Materials, wie Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Aluminiumoxid etc., bevorzugt, was normalerweise eine bessere Barriere gegen Sauerstoff und Feuchtigkeit ist als organische Polymermaterialien. Die Dicke des dielektrischen Mediums 24, die die Tiefe der Ausnehmungsstrukturen bestimmt, kann von 10 μm bis 0,1 μm variieren und zur Bearbeitungserleichterung wird eine Dicke von weniger als 1 μm bevorzugt.
Die in der zweidimensionalen Anordnung dieser Erfindung als elektrolumineszierendes Medium 25 verwendeten Materialien können irgendwelche der Materialien der in dem Stand der Technik offenbarten organischen EL-Vorrichtungen einschließen. Wie vorstehend angeführt, besteht das elektrolumineszierende Medium 25 allgemein aus einer Schicht aus lochtransportierendem Material, einer Schicht aus aktivem Emittermaterial, einer Schicht aus elektronentransportierendem Material und einer Schicht aus einem austrittsarbeitsarmen Metall. Polymere, organische Moleküle und orga nometallische Komplexe können als lochtransportierende Materialien, aktive Emitter und elektronentransportierende Materialien verwendet werden. Ferner kann in die aktive Emitterschicht ein für die Verbesserung des Wirkungsgrades der Vorrichtung verwendeter fluoreszierender Dopant integriert werden. Im Großen und Ganzen können irgendwelche Metalle mit einer Austrittsarbeit von weniger als ungefähr 4,0 eV als Kathodenmaterial, d. h. Lithium, Magnesium, Indium, Kalzium etc., verwendet werden.
Das organische elektrolumineszierende Medium kann durch Vakuumverdampfung abgelagert werden. Organische elektrolumineszierende Medium können auch Mediums anderer Techniken, wie Injektionsfüllen, Rotationsbeschichten, Walzbeschichten, Tauchbeschichten oder Rakeln aus einer geeigneten Lösung abgelagert werden, wenn Polymermaterialien verwendet werden. In Fällen, wo eine sowohl aus Materialien mit kleinen organischen Molekülen als auch Polymeren zusammengesetzte Heterostruktur-Anordnung aufgebaut werden soll, kann es sein, dass eine Mischung der oben erwähnten Techniken benötigt wird.
Mit Bezugnahme auf 3 wird nun ein Grundriss einer die vorliegende Erfindung verwirklichende zweidimensionalen Anordnung 30 von LED-Schachtstrukturen mit zur erleichterten Visualisierung weg gebrochenen Bereichen veranschaulicht. In 3 von links nach rechts schreitend ist ein Bereich 35 ein Grundriss der Anordnung 30 in einem Stadium, in dem gemusterte durchlässige, leitfähige, Reihen (Anoden) -Elektroden bildende Streifen 37 in einem lichtdurchlässigen, elektrisch isolierenden Substrat 38 positioniert sind.
Ein zentraler Bereich 40 in 3 veranschaulicht ein Stadium, in dem einzelne LEDs 42 durch Schächte definiert werden, die als N-Kontakt (Kathode) ein organisches elektrolumineszierendes Medium und ein austrittsarbeitsarmes (weniger als 4,0 eV) Metall enthalten. Zur Ausbildung der Schachtstrukturen werden die Schächte in der Anordnung nach dem Ablagern einer Schicht aus dielektrischem Medium 45 oben auf den gemusterten Streifen 37 und dem Substrat 38 und fotolithografischem Mustern des dielektrischen Mediums 45 ausgebildet, wie in dem Bereich 40 veranschaulicht.
Ein Bereich 47 ist ein Grundriss der Anordnung, nachdem eine Schicht aus einer umgebenden Abdeckung aus stabilem Metall oben auf dem dielektrischen Medium 45 abgelagert worden ist, wobei in dieser die Schachtstrukturen ausgebildet (Bereich 40) und in Metallstreifen 48 als Kolonnenelektroden gemustert werden.
Eine Grabenstrukturen tragende Anordnung kann auf dieselbe Weise hergestellt werden wie die Schachtstrukturen tragende Anordnung, mit der Ausnahme, dass die Ausrichtung der Grabenstrukturen entweder parallel zu und oben auf den leitfähigen Streifen 37 oder senkrecht zu den und quer über alle leitfähigen Streifen 37 werden kann. Wenn die Grabenstrukturen parallel zu und oben auf den leitfähigen Streifen 37 ausgerichtet werden, werden von jedem Pixel zwei Seiten freigelegt, nachdem die Metallstreifen 48 zur Ausbildung einer X-Y Matrix orthogonal zu den leitfähigen Streifen 37 gemustert sind. Jedoch würden die freigelegten Bereiche der Anordnung 30 die Intaktheit des organischen elektrolumineszierenden Mediums und des austrittsarbeitsarmen Metall während dem Mustern des Kappenmetalls nachteilig beeinflussen. Folglich wird vorgezogen, dass die Graben- Strukturen senkrecht zu den und quer über alle leitfähigen Streifen 37 in der Anordnung 30 ausgerichtet werden.
Die Anzahl von LEDs und der LED-Abstand, das heißt der Durchmesser eines Schachtes oder die Breite eines Grabens in einer Anordnung, die für eine Informations-Bildanzeigevorrichtung mit hoher Dicht benötigt werden, sind von der Auflösung und Größe der für eine spezifische Anwendung erforderlichen Bildanzeigevorrichtung abhängig. Beispielsweise werden für eine Bildanzeigevorrichtung des 10 Zoll diagonal Monochrom-VGA-Typs 640 × 480 LEDs mit einem LED-Abstand um 0,3 mm benötigt werden. Der LED-Abstand wird nur durch die Beschränkung der Lithografietechnologie begrenzt.
Die zweidimensionale Anordnung 30 weist gegenüber im Stand der Technik offenbarten Anordnungen eine höhere Stabilität auf. Das organische elektrolumineszierende Medium, einschließlich des N-Kontakts aus austrittsarbeitsarmem Metall, in den LEDs 42 (Schachtstrukturen) oder eine Reihe von LEDs (Grabenstrukturen) wird durch lichtdurchlässige leitfähige Streifen 37 am Boden, das dielektrische Medium 45 an den Seiten und eine stabile Metallabdeckung (Metallstreifen 48) auf der Oberseite in einer Ausnehmung eingeschlossen. Die offenbarten Ausnehmungsstrukturen verringern signifikant die Verschlechterung der Anordnung durch Umgebungsbedingungen (Sauerstoff und Feuchtigkeit).
In Betrieb kann durch entsprechende Adressierung und Steuerung/Regelung der Anordnung 30 auf eine wohlbekannte Weise an der Bodenfläche des transparenten Substrats 38 ein Muster von Lichtausstrahlung von der Anordnung 30 betrachtet werden. Die Anordnung 30 wird zum Ausstrahlen von Licht durch einen programmierten elektronischen Treiber (nicht gezeigt) gesteuert, der sequentiell eine Pixelreihe einzeln adressiert und die Adressierungsfolge bei einer derartigen Rate wiederholt, dass das Intervall zwischen der wiederholten Adressierung derselben Reihe geringer ist, als die Erfassungsbeschränkung des menschlichen Auges, typischerweise geringer als 1/60-tel einer Sekunde. Der Betrachter sieht ein durch die Lichtausstrahlung von den sämtlichen adressierten Reihen erzeugtes Bild, obwohl die Vorrichtung in irgendeinem Moment nur von einer Reihe ausstrahlt.
Somit werden eine zweidimensionale Anordnung von LEDs für eine Informations-Bildanzeigevorrichtung mit hoher Dichte und ein Herstellungsverfahren offenbart. Die zweidimensionale Anordnung wird mittels eines neuartigen Verfahrens hergestellt, das Ausnehmungen umfasst, in denen das organische elektrolumineszierende Medium, einschließlich des N-Kontakts aus austrittsarbeitsarmem Metall, vor Ätzflüssigkeiten, die während dem Herstellungsprozess verwendet werden, und vor Umgebungsbedingungen im Anschluss an die Herstellung geschützt wird. Somit wird eine organische LED-Vorrichtungsstruktur offenbart, auf der vorteilhafterweise ohne schädliche Folgen Metallätzen durchgeführt werden kann. Ferner stellt die Ausnehmungsstruktur eine passivierte zweidimensionale organische LED-Anordnung für Anwendungen auf Informations-Bildanzeigevorrichtungen mit hoher Dichte mit verbesserter Zuverlässigkeit zur Verfügung. Da des Weiteren die Ausnehmungsstruktur das organische elektrolumineszierende Medium, einschließlich des N-Kontakts aus austrittsarbeitsarmem Metall, vor Beschädigung durch Ätzflüssigkeiten schützt, sind die LED-Anordnungen relative einfach und kostengünstig herzustellen.

Claims

Zweidimensionale organische Leuchtdiodenanordnung, umfassend: ein elektrisch isolierendes tragendes Substrat (21, 38); eine Mehrzahl von mit seitlichem Zwischenraum angeordneten, elektrisch leitfähigen Streifen (22, 37), die auf einer Oberfläche des tragenden Substrats derart positioniert ist, dass eine Mehrzahl von ersten Elektroden definiert wird, wobei das elektrisch isolierende tragende Substrat und die elektrisch leitfähigen Streifen lichtdurchlässig sind; eine Schicht aus einem dielektrischen Medium (24, 45), das auf einer oberen Oberfläche der elektrisch leitfähigen Streifen und des tragenden Substrats positioniert ist und durch die Schicht aus dem dielektrischen Medium hindurch eine Mehrzahl von Ausnehmungen (11, 12) definiert, wobei jede einzelne der Mehrzahl von Ausnehmungen in einer überlagernden Beziehung zu einer zugeordneten ersten Elektrode aus der Mehrzahl von ersten Elektroden positioniert ist; wobei die zweidimensionale organische Leuchtdiode durch Folgendes gekennzeichnet ist: eine elektrolumineszierende Struktur (25), umfassend eine Schicht aus lochtransportierendem Material, eine Schicht aus aktivem organischem Emittermaterial, eine Schicht aus elektronentransportierendem Material und eine Schicht aus Metall mit einer Austrittsarbeit von weniger als 4,0 eV, die in jeder der Mehrzahl von Ausnehmungen auf der zugeordneten ersten Elektrode und auf einer Oberfläche des dielektrischen Mediums als eine diskontinuierliche Schicht derart positioniert ist, dass eine elektrisch isolierte Leuchtdiode (20, 42) in jeder der Mehrzahl von Ausnehmungen in Verbindung mit der zugeordneten ersten Elektrode ausgebildet wird; und eine Schicht aus umgebebungsstabilem Metall (27, 48), die abdichtend über den Ausnehmungen (11, 12) positioniert ist und eine Mehrzahl von mit seitlichem Zwischenraum angeordneten metallischen Streifen (48) orthogonal zu den elektrisch leitfähigen Streifen definiert, wobei die mit seitlichem Zwischenraum angeordneten metallischen Streifen für jede der Leuchtdioden eine zweite Elektrode definieren.
Zweidimensionale organische Leuchtdiodenanordnung nach Anspruch 1, die weiterhin dadurch gekennzeichnet ist, dass das tragende Substrat, die leitfähigen Streifen und das dielektrische Medium jeweils entweder ein organisches Polymer oder ein anorganischen Material enthalten.
Zweidimensionale organische Leuchtdiodenanordnung nach Anspruch 2, die weiterhin dadurch gekennzeichnet ist, dass das tragende Substrat aus Glas ausgebildet ist.
Zweidimensionale organische Leuchtdiodenanordnung nach Anspruch 2, die weiterhin dadurch gekennzeichnet ist, dass die ersten Elektroden aus Indium-Zinnoxid ausgebildet sind.
Zweidimensionale organische Leuchtdiodenanordnung nach Anspruch 2, die weiterhin dadurch gekennzeichnet ist, dass das dielektrische Medium aus Siliziumdioxid, Siliziumnitrid oder Aluminiumoxid ausgebildet ist.
Zweidimensionale organische Leuchtdiodenanordnung nach Anspruch 1, die weiterhin dadurch gekennzeichnet ist, dass das dielektrische Medium mit einer Dicke im Bereich von 10 μm bis 0,1 μm ausgebildet ist.
Zweidimensionale organische Leuchtdiodenanordnung nach Anspruch 1, die weiterhin dadurch gekennzeichnet ist, dass jede Ausnehmung als eine in der dielelektrischen Schicht ausgebildete Vertiefung definiert ist, mit einer rechtwinkligen, quadratischen oder kreisförmigen Öffnungsform.
Zweidimensionale organische Leuchtdiodenanordnung nach Anspruch 1, die weiterhin dadurch gekennzeichnet ist, dass die elektrolumineszierende Struktur Formen von organischem, organometallischem, polymerem oder Kombinationen dieser Materialien als eine Schicht aus lochtransportierendem Material, eine Schicht aus aktivem Emittermaterial und eine Schicht aus elektronentransportierendem Material umfasst, in der Reihenfolge ausgehend benachbart von der leitfähigen Schicht.
Verfahren zur Herstellung einer zweidimensionalen organischen Leuchtdiodenanordnung für eine Informations-Bildanzeigenvorrichtung mit hoher Dichte, das Folgendes umfasst: Bereitstellen eines elektrisch isolierenden Substrats (21, 38) mit einer planaren Oberfläche; Ablagern einer Schicht aus elektrisch leitfähigem Material auf der planaren Oberfläche des Substrats; Mustern der Schicht aus elektrisch leitfähigem Material, um eine Mehrzahl von mit seitlichem Zwischenraum angeordneten leitfähigen Streifen (22, 37) auszubilden, die erste Elektroden definieren, wobei das elektrisch isolierende Substrat und die leitfähigen Streifen lichtdurchlässig sind; Ablagern einer Schicht aus dielektrischem Medium (24, 45) auf einer Oberfläche der leitfähigen Streifen und der planaren Oberfläche des Substrats; Ablagern einer Schicht aus Fotoresist auf der Schicht aus dielektrischem Medium; Mustern des Fotoresists unter Verwendung einer Ausnehmungen definierenden Maske, um Bereiche des dielektrischen Mediums freizulegen; Wegätzen der freigelegten Bereiche des dielektrischen Mediums, um eine Mehrzahl von mit seitlichem Zwischenraum angeordneten Ausnehmungen (11, 12) auszubilden, wobei jede der Mehrzahl von Ausnehmungen auf einer zugeordneten der definierten ersten Elektroden (22, 37) positioniert ist und in sich die zugeordnete erste Elektrode freilegt. Entfernen des Fotoresists; wobei das Verfahren durch Folgendes gekennzeichnet ist. Ablagern, in jeder der Ausnehmungen und auf einer obersten Oberfläche der Schicht aus dielektrischem Medium, einer elektrolumineszierenden Struktur in einer aufeinanderfolgenden Reihenfolge benachbart zu den leitfähigen Streifen einer Schicht aus lochtransportierendem Material, einer organischen aktiven Emitterschicht, einer Schicht aus elektronentransportierendem Material und einer Schicht aus Metall mit einer Austrittsarbeit von weniger als 4,0 eV, wobei die elektrolumineszierende Schicht als eine diskontinuierliche Schicht derart ausgebildet ist, dass eine elektrisch isolierte Leuchtdiode definiert wird; Ablagern einer Schicht aus umgebungsstabilem Metall auf dem dielektrischen Medium derart, dass jede der Ausnehmungen abdichtend überlagert wird; und Mustern der Schicht aus Abdeckmetall in Metallstreifen (27, 48) in einer zu den leitfähigen Streifen (37) orthogonalen Richtung, um zweite Elektroden im Zusammenwirken mit jeder der Mehrzahl von Ausnehmungen zu definieren.