DE69614215T2 - Verfahren zum Belichten der Randbereiche eines Halbleiterwafers zum Entfernen von nicht benötigten Resist, und Gerät zur Ausführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zum Belichten der Randbereiche eines Halbleiterwafers zum Entfernen von nicht benötigten Resist, und Gerät zur Ausführung des Verfahrens

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    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
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