DE69412710T2 - Elektronenmikroskop zur Analyse der Zusammensetzung und der Beanspruchung einer Probe und Beobachtungsverfahren - Google Patents
Elektronenmikroskop zur Analyse der Zusammensetzung und der Beanspruchung einer Probe und BeobachtungsverfahrenInfo
- Publication number
- DE69412710T2 DE69412710T2 DE69412710T DE69412710T DE69412710T2 DE 69412710 T2 DE69412710 T2 DE 69412710T2 DE 69412710 T DE69412710 T DE 69412710T DE 69412710 T DE69412710 T DE 69412710T DE 69412710 T2 DE69412710 T2 DE 69412710T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- analyzing
- stress
- sample
- composition
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14885393A JP3422045B2 (ja) | 1993-06-21 | 1993-06-21 | 組成及び格子歪測定用電子顕微鏡及びその観察方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69412710D1 DE69412710D1 (de) | 1998-10-01 |
DE69412710T2 true DE69412710T2 (de) | 1999-05-06 |
Family
ID=15462206
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69412710T Expired - Fee Related DE69412710T2 (de) | 1993-06-21 | 1994-06-20 | Elektronenmikroskop zur Analyse der Zusammensetzung und der Beanspruchung einer Probe und Beobachtungsverfahren |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5453617A (de) |
EP (2) | EP0630040B1 (de) |
JP (1) | JP3422045B2 (de) |
DE (1) | DE69412710T2 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112015006453B4 (de) | 2015-04-14 | 2023-02-23 | Hitachi High-Tech Corporation | Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen und Probenbeobachtungsverfahren |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5650621A (en) * | 1993-06-21 | 1997-07-22 | Hitachi, Ltd. | Electron microscope |
US5576543A (en) * | 1995-08-21 | 1996-11-19 | Texsem Laboratories, Inc. | Method and apparatus for determining crystallographic characteristics |
JP3134852B2 (ja) * | 1998-08-25 | 2001-02-13 | 日本電気株式会社 | 結晶歪み測定装置および結晶歪み測定方法 |
CN100399014C (zh) * | 2001-06-29 | 2008-07-02 | 中国科学院物理研究所 | 一种具有高时间分辨的电子显微镜 |
GB2403616A (en) * | 2003-06-30 | 2005-01-05 | Univ Sheffield Hallam | Diffraction pattern imaging using moving aperture. |
JP4199629B2 (ja) * | 2003-09-18 | 2008-12-17 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 内部構造観察方法とその装置 |
DE10358036B4 (de) * | 2003-12-11 | 2011-05-26 | Qimonda Ag | Verfahren zum Charakterisieren einer Tiefenstruktur in einem Substrat |
JP4704776B2 (ja) * | 2005-03-07 | 2011-06-22 | 富士通株式会社 | 結晶材料の格子歪みの評価方法及びその評価装置 |
CN101461026B (zh) * | 2006-06-07 | 2012-01-18 | Fei公司 | 与包含真空室的装置一起使用的滑动轴承 |
JP5033873B2 (ja) * | 2006-06-07 | 2012-09-26 | エフ イー アイ カンパニ | 真空チャンバを有する機器とともに使用されるスライダベアリング |
JP4920370B2 (ja) * | 2006-10-30 | 2012-04-18 | 株式会社日立製作所 | 透過型電子顕微鏡の情報伝達限界測定法およびこの測定法が適用された透過型電子顕微鏡 |
JP2009110788A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-21 | Jeol Ltd | 透過形電子顕微鏡及びその動作方法 |
JP5309552B2 (ja) * | 2007-12-21 | 2013-10-09 | 富士通株式会社 | 電子線トモグラフィ法及び電子線トモグラフィ装置 |
DE102008052006B4 (de) * | 2008-10-10 | 2018-12-20 | 3D-Micromac Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Proben für die Transmissionselektronenmikroskopie |
JP5296578B2 (ja) * | 2009-03-10 | 2013-09-25 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡の自動試料傾斜装置 |
JP5380366B2 (ja) * | 2010-05-28 | 2014-01-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 透過型干渉顕微鏡 |
DE102010032894B4 (de) * | 2010-07-30 | 2013-08-22 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Tem-Lamelle, Verfahren zu ihrer Herstellung und Vorrichtung zum Ausführen des Verfahrens |
DE102012007868A1 (de) * | 2012-04-19 | 2013-10-24 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Transmissionselektronenmikroskopiesystem |
CN105308949B (zh) * | 2013-06-06 | 2018-11-09 | 松下知识产权经营株式会社 | 图像获取装置、图像获取方法以及记录介质 |
KR101499339B1 (ko) * | 2013-08-30 | 2015-03-05 | 현대제철 주식회사 | 현미경의 시편 정렬장치 |
JP5703404B2 (ja) * | 2014-03-07 | 2015-04-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線を用いた測長方法 |
GB201609995D0 (en) * | 2016-06-08 | 2016-07-20 | Aquasium Technology Ltd | Shaped welding head |
JP7042071B2 (ja) | 2016-12-20 | 2022-03-25 | エフ・イ-・アイ・カンパニー | eビーム操作用の局部的に排気された容積を用いる集積回路解析システムおよび方法 |
CN110998780B (zh) * | 2017-05-31 | 2022-07-01 | 日本制铁株式会社 | 倾斜角度量计算装置、样品台、带电粒子射线装置和程序 |
JP7168777B2 (ja) * | 2019-05-23 | 2022-11-09 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の制御方法 |
US11094499B1 (en) * | 2020-10-04 | 2021-08-17 | Borries Pte. Ltd. | Apparatus of charged-particle beam such as electron microscope comprising sliding specimen table within objective lens |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4146788A (en) * | 1977-12-12 | 1979-03-27 | Mirkin Georgy R | Method and apparatus for quantitative structural analysis of solids |
JPH0665019B2 (ja) * | 1985-07-26 | 1994-08-22 | 株式会社日立製作所 | 試料の分析方法及び装置 |
US5668136A (en) * | 1990-09-25 | 1997-09-16 | Eisai Co., Ltd. | Trisubstituted benzene derivatives, composition and methods of treatment |
US5209930A (en) * | 1990-12-10 | 1993-05-11 | Rohm And Haas Company | Preparation and use of n-iodopropargyl oxycarbonyl amino acid esters and derivatives as antimicrobial agents |
-
1993
- 1993-06-21 JP JP14885393A patent/JP3422045B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-06-20 EP EP94304482A patent/EP0630040B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1994-06-20 DE DE69412710T patent/DE69412710T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-06-20 US US08/262,540 patent/US5453617A/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-06-20 EP EP97122731A patent/EP0837488A3/de not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112015006453B4 (de) | 2015-04-14 | 2023-02-23 | Hitachi High-Tech Corporation | Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen und Probenbeobachtungsverfahren |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH076725A (ja) | 1995-01-10 |
EP0630040B1 (de) | 1998-08-26 |
DE69412710D1 (de) | 1998-10-01 |
JP3422045B2 (ja) | 2003-06-30 |
EP0837488A3 (de) | 1999-12-01 |
EP0630040A1 (de) | 1994-12-21 |
EP0837488A2 (de) | 1998-04-22 |
US5453617A (en) | 1995-09-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69412710T2 (de) | Elektronenmikroskop zur Analyse der Zusammensetzung und der Beanspruchung einer Probe und Beobachtungsverfahren | |
DE69737332D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Analyse einer Probe | |
DE69327863D1 (de) | Elektronenmikroskop zur Analyse und Verfahren zur dessen Betrieb | |
DE69531475D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur automatischen Analyse einer Probe | |
DE69504294T2 (de) | System zur Hochauflösungsbildgebung und Messung von topographischen Characteristiken und Materialcharakteristiken einer Probe | |
DE69524732T2 (de) | Verfahren und vorrichtung zur analyse einer flüssigen probe | |
DE3578824D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur untersuchung der oberflaechenbedingungen einer probe. | |
DE69434842D1 (de) | Vorrichtung zur Mehrfach-Entnahme von Biopsie-Proben | |
DE69714320D1 (de) | Sonde für Atomkraftmikroskop, Verfahren zur Herstellung der Sonde und Atomkraftmikroskop | |
DE69523693D1 (de) | Analysevorrichtung und Verfahren zur Analyse von biologischer Flüssigkeit | |
DE69619750D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung für Flammenionisation zur Analyse einer Probe | |
DE69902024T2 (de) | Verfahren zur probenentnahme einer biologischen probe | |
DE29519399U1 (de) | Testset zur Analyse von Körperflüssigkeiten | |
DE69024810T2 (de) | Verfahren zur vorbereitung einer probe für analyse | |
DE69708802D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Auswertung einer Kontaminationskarakteristik einer Bodenprobe. | |
DE69831933D1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur überwachung einer biologischen probe | |
DE69031062T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur massenspektrometrischen Analyse | |
DE69807026T2 (de) | Verfahren und Gerät zur schrittweisen Verteilung einer Blutprobe | |
DE69425656D1 (de) | Verfahren und anordnung zur entnahme einer probe | |
DE69319861T2 (de) | Sekundärionen-massenspektrometrische Analyse von Metallen und Verfahren zur Herstellung eines Probenstandards hierfür | |
DE68907625T2 (de) | Abtastelektronenmikroskop zur beobachtung und messung kleiner muster von proben. | |
DE69422227T2 (de) | Verfahren zur Untersuchung einer festen Probe | |
DE69000071D1 (de) | Vorrichtung zur dynamischen torsionspruefung einer probe. | |
DE59803165D1 (de) | Verfahren zur Analyse einer Probe | |
DE60040710D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Analyse einer flüssigen Probe |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |