KR101499339B1 - 현미경의 시편 정렬장치 - Google Patents

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현대제철 주식회사
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Abstract

본 발명에 따른 현미경의 시편 정렬장치는, 현미경의 하부에서 전후 및 좌우 방향으로 회동가능하게 설치되며, 상부에 검사 시편이 위치되는 안착부와, 상기 안착부의 회전중심에 대한 각속도를 감지하여, 상기 안착부의 전후와 좌우 방향에 대한 2축 정렬 각도를 검출하는 각속도 감지부와, 상기 각속도 감지부의 각도 감지신호를 전달받아 상기 시편의 상면이 수평을 이루도록 상기 안착부의 전후와 좌우 방향의 각도를 조정하는 구동부 및, 상기 각속도 감지부의 각도 검출 신호를 전달받아 상기 시편의 상면이 수평을 이루도록 상기 구동부의 동작을 제어하는 제어부를 포함한다.

Description

현미경의 시편 정렬장치{SPECIMEN ALIGNING DEVICE OF MICROSCOPE}
본 발명은 현미경의 시편 정렬장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 각속도 감지부의 회전각 감지를 통해 내부 홀더에 안착된 시편의 상면을 수평으로 정렬시킴으로써, 시편의 정렬 상태를 보정하는 과정 없이도 시편의 상면을 관찰할 수 있으며, 이를 통해 시편의 수평 정렬상태를 정확하게 판독할 수 있고, 시편 관찰 시간을 단축할 수 있는 현미경의 시편 정렬장치에 관한 것이다.
일반적으로, 금속 현미경으로 비금속 개재물 측정 시 가장 보편적으로 60시아(160mm2) 이상을 관찰하여 평가하는 방법을 사용하고 있다.
이때, 일정 측정 영역을 설정한 후, 영상분석기를 이용하여 자동으로 측정을 하고 있으나, 시편의 수평 정렬 상태가 정확하지 않은 경우, 현미경의 초점이 맞지 않아 측정 결과에 오차가 발생할 수 있었다.
이 경우, 측정 결과의 오차 값을 보정해야 하는데, 전체 측정 영역에 대한 초점 보정이 이루어져야 하므로, 측정 과정에 많은 시간이 소요되는 어려움이 있었다.
본 발명과 관련된 선행 문헌으로는 대한민국 공개특허 제10-2011-0096410호(2011년 08월 30일)가 있으며, 상기 선행 문헌에는 표면 검사 장치 및 이를 이용한 표면 검사 방법이 개시되어 있다.
본 발명의 목적은 각속도 감지부의 회전각 감지를 통해 외부 홀더와 시편이 안착되는 내부 홀더를 교차 방향으로 회동시켜, 현미경의 초점이 맞도록 시편의 상면을 수평으로 정렬시킴으로써, 시편의 정렬 상태를 보정하는 과정 없이도 시편의 상면을 관찰할 수 있으며, 이를 통해 시편의 수평 정렬상태를 정확하게 판독할 수 있고, 시편 관찰 시간을 단축할 수 있는 현미경의 시편 정렬장치를 제공하는데 있다.
본 발명에 따른 현미경의 시편 정렬장치는, 현미경의 하부에서 전후 및 좌우 방향으로 회동가능하게 설치되며, 상부에 검사 시편이 위치되는 안착부와, 상기 안착부의 회전중심에 대한 각속도를 감지하여, 상기 안착부의 전후와 좌우 방향에 대한 2축 정렬 각도를 검출하는 각속도 감지부와, 상기 각속도 감지부의 각도 감지신호를 전달받아 상기 시편의 상면이 수평을 이루도록 상기 안착부의 전후와 좌우 방향의 각도를 조정하는 구동부 및, 상기 각속도 감지부의 각도 검출 신호를 전달받아 상기 시편의 상면이 수평을 이루도록 상기 구동부의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 안착부는 상기 현미경의 하부에서 양 방향으로 회동가능하게 설치되며, 하면으로부터 일정 높이로 설치되는 외부 홀더 및, 상기 외부 홀더의 상부에 일정 높이로 이격 설치되고, 상부에 시편이 안착된 상태로 상기 외부 홀더와 직각 방향으로 회동가능하게 설치되는 내부 홀더를 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 외부 홀더는 상부에 상기 내부 홀더가 상부로 이격 위치되는 제1몸체 및, 상기 제1몸체의 양단에 각각 결합되어 양 방향으로의 회전중심을 형성하며, 상기 구동부로부터 회전력이 전달되는 제1샤프트를 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제1샤프트의 축 방향 양단에는 베이스 플레이트의 양단에 고정시키기 위한 한 쌍의 고정부가 더 설치되며, 상기 고정부는 상기 베이스 플레이트의 양단을 외부에서 파지할 수 있다.
또한, 상기 내부 홀더는 상기 제1몸체의 상부에 이격 위치되는 제2몸체 및, 상기 제2몸체의 양단에 각각 결합되어 상기 제1샤프트와 교차되는 방향으로 회전중심을 형성하며, 상기 구동부로부터 회전력이 전달되는 제2샤프트를 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 구동부는 상기 제1샤프트의 축 방향 일단 또는 양단에 구동축이 결합되는 제1구동모터 및, 상기 제1구동모터와 교차되는 방향에서 상기 제2샤프트의 축 방향 일단 또는 양단에 구동축이 결합되는 제2구동모터를 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 각속도 감지부는 상기 제1구동모터와 상기 제2구동모터의 엔코더 신호 값을 감지하여, 상기 제어부로 감지신호를 전달하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 내부 홀더와 상기 외부 홀더의 상부에는 상기 시편의 각 감지점들과의 거리를 감지하여, 상기 제어부로 거리 감지신호를 전달하는 다수의 거리 센서가 더 구비되며, 상기 제어부는 상기 거리 센서로부터 전달된 거리 감지신호와 기설정된 기준 거리와의 오차 값을 산출하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 거리 센서들은 상기 내부 홀더와 외부 홀더의 상부에 이격 설치되며, 상기 시편의 상면에 지정한 다수의 감지점과의 거리를 이용해 상기 시편의 상면에 대한 수평 정렬상태를 감지하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 각도 감지부는 상기 외부 홀더와 내부 홀더의 회전중심을 이루는 2축에 대한 각속도를 감지하기 위한 자이로 스코프 센서를 사용하는 것이 바람직하다.
본 발명은 각속도 감지부의 회전각 감지를 통해 외부 홀더와 시편이 안착되는 내부 홀더를 교차 방향으로 회동시켜, 시편의 상면을 수평으로 정렬시킴으로써, 시편의 정렬 상태를 보정하는 과정 없이도 시편의 상면을 관찰할 수 있어, 시편의 수평 정렬 상태를 정확하게 판독할 수 있고, 시편 관찰 시간을 단축할 수 있는 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명에 따른 현미경의 시편 정렬장치를 보여주기 위한 전단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 현미경의 시편 정렬장치를 보여주기 위한 측단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 현미경의 시편 정렬장치에 거리 센서를 설치한 상태를 보여주기 위한 전단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 현미경의 시편 정렬장치를 보여주기 위한 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 현미경의 시편 정렬장치의 구성들 간의 연결관계를 계략적으로 보여주기 위한 블럭도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것을 달성하는 방법은 첨부된 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.
그러나 본 발명은 이하에 개시되는 실시예들에 의해 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기술 등이 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있다고 판단되는 경우 그에 관한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 현미경의 시편 정렬장치를 보여주기 위한 전단면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 현미경의 시편 정렬장치를 보여주기 위한 측단면도이다.
도 1과 도 2를 참조로 하면, 본 발명 따른 시편 정렬장치는 안착부(100)와, 각속도 감지부(200) 및, 구동부(300)를 포함한다.
또한, 상기 본 발명 따른 시편 정렬장치에는 거리 센서(400)와, 제어부(500)가 더 포함될 수 있다.
상기한 구성들 중, 먼저 안착부(100)는 시편(S)을 안착 위치시키기 위한 것으로, 현미경(10)의 하부에 일정 거리로 이격 위치된다.
여기서, 상기 안착부(100)는 후술 될 구동부(300)에 의해 전후 및 좌우 방향으로 회동가능하게 설치된다.
이를 위해, 상기 안착부(100)는 외부 홀더(110) 및, 내부 홀더(120)로 구비될 수 있다.
상기 외부 홀더(110)는, 현미경(10)의 하부에서 양 방향으로 회동가능하게 설치되며, 하면으로부터 일정 높이로 설치된다.
여기서, 상기 외부 홀더(110)는 지면 또는 별도의 베이스 플레이트(20)에 설치할 수 있다.
더 상세히 설명하면, 상기 외부 홀더(110)는 제1몸체(111) 및, 제1샤프트(112)로 구비될 수 있다.
상기 제1몸체(111)는, 상부에 후술될 내부 홀더(120)의 제2몸체(121)가 상부로 이격 위치된다.
여기서, 상기 제1몸체(111)의 상부에는 홀더 안착홈(111a)이 오목하게 형성된다.
그리고, 상기 제1몸체(111)는 원형 컵 형상으로 도시하였으나, 그 형상은 필요에 따라 다양하게 변경이 가능하다.
제1샤프트(112)는, 제1몸체(111)의 회전중심을 형성하는 것으로, 제1몸체(111)의 양단에 동일 축 선으로 각각 결합된다.
이때, 상기 제1샤프트(112)는 양 방향으로의 회전중심을 형성하며, 후술될 구동부(300)로부터 회전력이 전달된다.
또한, 상기 제1샤프트(112)의 축 방향 양단에는 베이스 플레이트(20)의 양단에 고정시키기 위한 한 쌍의 고정부(113)가 더 설치되며,
상기 고정부(113)는, 수직한 판재 형상을 가질 수 있으며, 그 전면에 상기 제1샤프트(112)의 축 방향 일단이 회전가능하게 결합된다.
이와 같은 상기 고정부(113)들은, 각각의 하단이 베이스 플레이트(20)의 양단을 외부에서 파지한다.
이때, 상기 고정부(113)들은 상부에서 하부로 끼움 결합시키는 방식으로 베이스 플레이트(20)의 양단을 각각 파지할 수 있다.
여기서, 상기 고정부(113)들의 하단에는 상기 베이스 플레이트(20)의 양단에 위치시 베이스 플레이트(20)의 상단에 걸림을 방지하기 위한 경사면(113a)이 형성된다.
상기 경사면(113a)은, 고정부(113)의 전면 하단 부위에 형성되고, 상기 경사면(113a)은 하부로 갈수록 후방으로 폭이 좁아지는 형상을 갖는다.
이와 다르게, 상기 고정부(113)는 별도의 체결부재(미도시)를 관통 결합시켜 베이스 플레이트(20)의 양단에 각각 결합시킬 수도 있다.
또한, 상기 고정부(113)들의 후면에는 제1샤프트(112)로 회전력을 전달하기 위한 제1구동모터(310)가 관통 결합될 수 있다.
내부 홀더(120)는, 상기 외부 홀더(110)는, 현미경(10)의 하부에서 양 방향으로 회동가능하게 설치되며, 하면으로부터 일정 높이로 설치된다.
여기서, 상기 외부 홀더(110)는 외부 홀더(110)의 홀더 안착홈(111a) 내에 위치되며, 상기 홀더 안착홈(111a)의 바닥면으로부터 일정 높이로 이격 위치된다.
그리고, 상기 내부 홀더(120)는 상부에 시편이 안착된 상태로 외부 홀더(110)와 직각 방향으로 회동가능하게 설치된다.
더 상세히 설명하면, 상기 내부 홀더(120)는 제2몸체(121) 및, 제2샤프트(122)로 구비될 수 있다.
상기 제2몸체(121)는, 전술한 제1몸체(111)의 홀더 삽입홈(111a) 내에서 상부로 이격 위치된다.
여기서, 상기 제2몸체(121)는 상부에 시편(S)을 위치시키기 위한 시편 안착홈(121a)이 오목하게 형성된다.
그리고, 상기 제2몸체(121)는 원형 컵 형상으로 도시하였으나, 그 형상은 필요에 따라 다양하게 변경이 가능하다.
제2샤프트(122)는, 제2몸체(121)의 회전중심을 형성하는 것으로, 제2몸체(121)의 양단에 동일 축 선으로 각각 결합된다.
이때, 상기 제2샤프트(122)는 양 방향으로의 회전중심을 형성하며, 전술한 제1샤프트(112)와 직각 방향으로 회전중심을 형성한다.
그리고, 상기 제2샤프트(122)의 축 방향 양단은 제1몸체의 양측에 회동가능하게 각각 연결된다.
또한, 상기 제2샤프트(122)의 축 방향 양단에는 회전력을 전달하기 위한 제2구동모터(320)가 결합된다.
상기 제2구동모터(320)는, 제1몸체(111)의 양측에 각각 결합되어, 상기 제2샤프트(122)의 축 방향 양단에는 회전력을 전달한다.
이와 같은 상기 제2샤프트(122)와 전술한 제2몸체(121)는, 제1몸체(111)의 양측에 결합된 제2구동모터(320)의 회전력에 의해 함께 회동된다.
각속도 감지부(200)는, 제1몸체(111)와 제2몸체(121)의 회전중심에 대한 각속도를 감지한다.
이후, 상기 각속도 감지부(200)는 제1몸체(111)와 제2몸체(121)의 전후와 좌우 방향에 대한 정렬 각도를 각각 검출한다.
이와 같은 상기 각속도 감지부(200)는, 후술될 제1구동모터(310)와 제2구동모터(320)의 엔코더(Encoder) 신호 값을 감지할 수 있다.
즉, 상기 각속도 감지부(200)에서 감지한 2축에 대한 각도를 후술될 제어부로 전달하며, 제어부는 해당 각과 오차 범위를 판단하여 일정 각으로 보정 회전시킬 수 있다.
그리고, 상기 각속도 감지부(200)는 외부 홀더(110)와 내부 홀더(120)의 회전중심을 이루는 2축에 대한 각속도를 감지할 수 있다.
이와 같은 각속도 감지부(200)는, 회전체에 부착된 기어 형상의 요철이나 자석(자극)의 위치를 홀 소자, 자기 저항 소자, 픽업 코일, 위건드 와이어, 리드 스위치, 포토커플러 등에 의하여 검출하는 방식을 사용할 수 있다.
여기서, 상기 각도 감지부(200)는 각속도를 감지하기 위한 자이로 스코프 센서(Gyroscope sensor)를 사용할 수 있다.
구동부(300)는, 각속도 감지부(200)의 각속도 감지신호를 전달받아 시편(S)의 상면이 수평을 이루도록 제1몸체(111)와 제2몸체(121)의 전후와 좌우 방향의 각도를 조정한다.
이를 위해, 상기 구동부(300)는 제1구동모터(310) 및, 제2구동모터(320)로 구비될 수 있다.
상기 제1구동모터(310)는, 제1샤프트(112)의 축 방향 일단 또는 양단에 구동축이 결합된다.
이 상태에서, 상기 제1구동모터(310)는 상기 제1샤프트(112)의 축 방향 일단 또는 양단에 회전력을 전달한다.
제2구동모터(320)는, 제1구동모터(310)와 교차되는 방향에서 제2샤프트(122)의 축 방향 일단 또는 양단에 구동축이 결합된다.
이 상태에서, 상기 제2구동모터(320)는 상기 제2샤프트(122)의 축 방향 일단 또는 양단에 회전력을 전달한다.
즉, 상기 제1구동모터(310)와 제2구동모터(320)의 회전력에 의해 제1몸체(111)와 제2몸체(121)가 서로 교차되는 방향으로 회동이 가능하다.
그리고, 도 3은 본 발명에 따른 현미경의 시편 정렬장치에 거리 센서를 설치한 상태를 보여주기 위한 전단면도이다.
거리 센서(400)는, 도 3에서처럼 내부 홀더(110)와 외부 홀더(120)의 상부에 이격 설치된 상태에서 시편의 각 감지점(P)과의 거리를 감지한다.
이후, 상기 거리 센서(400)는 감지점(P)과의 거리 감지를 통해 시편(S)의 수평 정렬 상태를 감지한다.
또한, 상기 거리 센서(400)들은 내부 홀더(110)와 외부 홀더(120)의 상부에 다수로 설치할 수 있다.
이 상태에서, 상기 거리 센서(400)들은 시편(S)의 상면에 지정한 다수의 감지점(P)과의 거리를 이용해 시편(S)의 상면에 대한 수평 정렬상태를 감지할 수 있다.
여기서, 상기 감지점(P)은 시편(S)의 상면에 3개를 지정할 수 있으며, 3개의 감지점(P)을 감지하기 위한 3개의 거리 센서(400)를 사용할 수 있다.
아울러, 상기 거리 센서(400)들은 현미경(10)의 측면을 따라 동일 간격으로 설치할 수 있다.
즉, 상기 거리 센서(400)들의 감지 거리는 후술될 제어부(500)로 전달되며, 상기 제어부(500)는 감지 거리와 기설정된 기준 거리를 비교함으로써, 시편(S) 정렬 오차를 산출할 수 있다.
제어부(500)는, 거리 센서(400)로부터 전달되는 각 감지점(P)들의 거리감지 신호를 전달받으며, 기설정된 기준 거리와의 오차 값을 산출한다.
여기서, 상기 제어부(500)는 도 5에서처럼 구동부(300)의 구동을 제어할 수 있다.
그리고, 상기 제어부(500)는 거리 센서(400)로부터 전달되는 거리 감지신호와 기설정된 기준 거리와의 수평 정렬 오차 값을 산출할 수 있다.
이후, 상기 제어부(500)는 수평 정렬 오차 값만큼 제1샤프트(112)와 제2샤프트(122)를 회전시킴으로써, 시편(S)의 상면이 수평을 이루도록 정렬 상태를 보정할 수 있다.
또한, 상기 제어부(500)는 각속도 감지부(200)로부터 전달되는 각속도를 이용해 제1몸체(111)와 제2몸체(121)의 현재 각도를 전달받을 수 있다.
결과적으로, 본 발명은 각속도 감지부의 회전각 감지를 통해 외부 홀더(110)와 시편(S)이 안착되는 내부 홀더(120)를 교차 방향으로 회동시켜, 시편(S)의 상면을 수평으로 정렬시킬 수 있다.
이로써, 시편(S)의 정렬 상태를 보정하는 과정 없이도 시편(S)의 상면을 관찰할 수 있어, 시편(S)의 수평 정렬 상태를 정확하게 판독할 수 있고, 시편(S) 관찰 시간을 단축할 수 있는 효과를 갖는다.
지금까지 본 발명에 따른 현미경의 시편 정렬장치에 관한 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 실시 변형이 가능함은 자명하다.
그러므로 본 발명의 범위에는 설명된 실시예에 국한되어 전해져서는 안 되며, 후술하는 특허 청구범위뿐만 아니라 이 특허 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
즉, 전술된 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며, 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술될 특허 청구범위에 의하여 나타내어지며, 그 특허 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 현미경 20: 베이스 플레이트
100: 안착부 110: 외부 홀더
111: 제1몸체 111a: 홀더 안착홈
112: 제1샤프트 113: 고정부
113a: 경사면 120: 내부 홀더
121: 제2몸체 121a: 시편 안착홈
122: 제2샤프트 200: 각속도 감지부
300: 구동부 310: 제1구동모터
320: 제2구동모터 400: 거리 센서
500: 제어부 S: 시편

Claims (8)

  1. 현미경(10)의 하부에서 전후 및 좌우 방향으로 회동가능하게 설치되며, 상부에 검사 시편이 위치되는 안착부(100);
    상기 안착부의 회전중심에 대한 각속도를 감지하여, 상기 안착부의 전후와 좌우 방향에 대한 2축 정렬 각도를 검출하는 각속도 감지부(200);
    상기 각속도 감지부의 각도 감지신호를 전달받아 상기 시편의 상면이 수평을 이루도록 상기 안착부의 전후와 좌우 방향의 각도를 조정하는 구동부(300); 및
    상기 각속도 감지부의 각도 검출 신호를 전달받아 상기 시편의 상면이 수평을 이루도록 상기 구동부의 동작을 제어하는 제어부(500);를 포함하고,
    상기 안착부(100)는, 상기 현미경의 하부에서 양 방향으로 회동가능하게 설치되며, 하면으로부터 일정 높이로 설치되는 외부 홀더(110) 및, 상기 외부 홀더의 상부에 일정 높이로 이격 설치되고, 상부에 시편이 안착된 상태로 상기 외부 홀더와 직각 방향으로 회동가능하게 설치되는 내부 홀더(120)를 구비하고,
    상기 내부 홀더(110)와 상기 외부 홀더(120)의 상부에는, 상기 시편의 각 감지점들과의 거리를 감지하여, 상기 제어부로 거리 감지신호를 전달하는 다수의 거리 센서(400)가 더 구비되며,
    상기 제어부(500)는, 상기 거리 센서로부터 전달된 거리 감지신호와 기설정된 기준 거리와의 오차 값을 산출하는 것을 특징으로 하는 시편 정렬장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 외부 홀더(110)는,
    상부에 상기 내부 홀더가 상부로 이격 위치되는 제1몸체(111) 및,
    상기 제1몸체의 양단에 각각 결합되어 양 방향으로의 회전중심을 형성하며, 상기 구동부로부터 회전력이 전달되는 제1샤프트(112)를 구비하는 것을 특징으로 하는 현미경의 시편 정렬장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제 1몸체(111)의 하부에는 베이스 플레이트(20)가 배치되고,
    상기 제1샤프트(112)의 축 방향 양단에는,
    상기 베이스 플레이트(20)의 양단에 고정시키기 위한 한 쌍의 고정부(113)가 더 설치되며,
    상기 한 쌍의 고정부(113)는,
    상기 베이스 플레이트(20)의 양단을 외부에서 파지하는 것을 특징으로 하는 현미경의 시편 정렬장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 내부 홀더(120)는,
    상기 제1몸체(111)의 상부에 이격 위치되는 제2몸체(121) 및,
    상기 제2몸체의 양단에 각각 결합되어 상기 제1샤프트(112)와 교차되는 방향으로 회전중심을 형성하며, 상기 구동부(300)로부터 회전력이 전달되는 제2샤프트(122)를 구비하는 것을 특징으로 하는 현미경의 시편 정렬장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 구동부(300)는,
    상기 제1샤프트(112)의 축 방향 일단 또는 양단에 구동축이 결합되는 제1구동모터(310) 및,
    상기 제1구동모터와 교차되는 방향에서 상기 제2샤프트의 축 방향 일단 또는 양단에 구동축이 결합되는 제2구동모터(320)를 구비하는 것을 특징으로 하는 현미경의 시편 정렬장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 각속도 감지부(200)는,
    상기 제1구동모터(310)와 상기 제2구동모터(320)의 엔코더 신호 값을 감지하여, 상기 제어부(500)로 감지신호를 전달하는 것을 특징으로 하는 현미경의 시편 정렬장치.
  8. 삭제
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