DE69324621T2 - Vorrichtung mit Substratisolation - Google Patents

Vorrichtung mit Substratisolation

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Substratisolierungsanordnung.
  • Wie bekannt ist, gibt es in integrierten elektronischen Schaltungen, die technisch als Chips bekannt sind, einen als Substrat bekannten Abschnitt, auf den aktive und passive Elemente mit möglichst entgegengesetzt unterschiedlichen Eigenschaften hergestellt werden. Diese Elemente sind durch Trennelemente voneinander getrennt, die aus einem Material bestehen, das ähnlich dem elektrisch und physikalisch verbundenen Isoliersubstrat ist. Das Substrat jeder integrierten Schaltung ist an diejenige negative Spannung angeschlossen, die den höchsten absoluten Wert besitzt. Auf diese Weise wirken die Trennelemente als Isolatoren zwischen verschiedenen aktiven und passiven Elementen der integrierten Schaltung, wodurch ein Betrieb der verschiedenen Elemente möglich wird.
  • Es gibt Anwendungen, wie nachfolgend beschrieben, bei welchen aufgrund der anwendbaren gesetzlichen Vorschriften oder anderer Probleme negative elektrische Spannungen, deren Modul größer als die negative Spannung des Substrates ist, an die integrierten Schaltungen angelegt werden.
  • Diese Umstände führen beispielsweise dazu, daß die entstehenden Ströme extrem klein sein müssen, und zwar ähnlich im Betrag wie der sogenannte Leckstrom, sogar wenn sich die Aktivelemente auf einer niedrigeren Spannung als auf Substrat befinden. Um dieses Problem zu lösen, ist es möglich, Hochspannungskondensatoren sowie Anordnungen für die Hauptanwendungen zu verwenden, welche einen einzigen Chip oder integrierte Dual-Schaltungen benutzen, auf denen die meisten, wenn nicht sogar alle aktiven Komponenten, die die diskrete gedruckte Schaltung bilden, integriert sind, wodurch sämtliche Funktionen auf einem einzigen Substrat kombiniert werden.
  • Das Ziel der vorliegenden Erfindung besteht darin, die zuvor beschriebenen Probleme zu beseitigen oder im wesentlichen zu reduzieren, indem eine Substratisolierungsanordnung geschaffen wird, die das Problem des Vorhandenseins von negativen Spannungen löst, deren Modul größer als die Bezugsspannung des Substrates der integrierten Schaltung ist.
  • Im Hinblick auf diese Zielsetzung ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Anordnung zu schaffen, welche die durch eine besondere Anwendung erforderlichen Funktionen behalten kann, sogar wenn Spannungen niedriger als die Substratbezugspannung angelegt werden.
  • Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Anordnung zu schaffen, die äußerst zuverlässig, relativ leicht herzustellen und preiswert ist.
  • Diese Zielsetzung, die zuvor erwähnten Aufgaben u. dgl., die nachfolgend deutlich werden, werden von einer Substratisolierungsanordnung gemäß der Erfindung, wie in Anspruch 1 definiert, realisiert.
  • Weitere Eigenschaften und Vorteile der Erfindung werden aus der Beschreibung einer bevorzugten, nicht jedoch ausschließlichen Ausführung einer erfindungsgemäßen Substratisolierungsanordnung deutlich, welche nur durch ein nicht beschränkendes Beispiel in den beiliegenden Zeichnungen illustriert wird, wobei
  • Fig. 1 eine Querschnittsansicht der parasitären Verbindungen zwischen den verschiedenen Senken einer reellen integrierten elektronischen Komponente ist;
  • Fig. 2 ein bekanntes Beispiel einer Anwendung zeigt, bei welcher die in Fig. 1 gezeigten integrierten Komponenten versendet werden;
  • Fig. 3 ein anderes bekanntes Beispiel einer Anwendung ist, bei welcher die in Fig. 1 gezeigten Komponenten eingesetzt werden, die jedoch in kompakterer Form ausgeführt sind;
  • Fig. 4 eine elektrische Schaltung eines bekannten Telefons ist;
  • Fig. 5 eine elektrische Schaltung eines weiteren bekannten Beispiels einer Anwendung ist, bei welcher die in Fig. 1 gezeigten Komponenten eingesetzt werden;
  • Fig. 6 ein anderes elektrisches Schaltbild einer bekannten Anwendung ist, bei welcher die in Fig. 1 gezeigten Komponenten eingesetzt werden;
  • Fig. 7a eine Querschnittsansicht eines DMOS-Transistors ist, und zwar unter Darstellung der realen Verbindungen, unabhängig davon, ob sie parasitär sind oder nicht, gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • Fig. 7b eine Querschnittsansichtt einer Zener-Diode ist, und zwar unter Darstellung deren realer Anschlüsse, und zwar unabhängig davon, ob sie parasitär sind oder nicht, gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • Fig. 8a ein Konzeptschaltbild einer Ausführung der vorliegenden Erfindung ist; und
  • Fig. 8b eine schematische Darstellung der Schaltungsdetails der vorliegenden Erfindung ist.
  • Das Dokument EP-A 05454488 offenbart einen doppelt diffundierten DMOS-Transistor, der in der Lage ist, hohe Spannungen auszuhalten, und fällt unter Artikel 54 (3) EPÜ.
  • Gemäß Fig. 1, die eine herkömmliche integrierte Schaltung zeigt, nimmt ein Substrat 1 Aktivelement 2 auf, die voneinander isoliert sind durch Trennbereiche, die aus einem Material bestehen, das ähnlich dem Substrat ist, und gewöhnlich mit Verunreinigungen dotiert sind, deren Polarität entgegengesetzt zu der derjenigen Verunreinigungen ist, mit denen die aktiven Elemente zwei dotiert sind. Das Substrat 1 ist an Masse 4 oder die negative Spannung von einem Modul angeschlossen, wie in einer integrierten Schaltung jeder Art vorhanden, was nicht gezeigt ist. Übergänge, die in Fig. 1 durch parasitäre Dioden 5, 6 und 7 schematisch angedeutet sind, sind zwischen den Trennbereichen 3 und den aktiven Abschnitten 2 sowie zwischen dem Substrat 1 und den aktiven Abschnitten 2 gebildet.
  • Wenn das Substrat 1 auf die niedrige negative Spannung in bezug auf die Spannungen der elektronischen Schaltung vorgespannt ist, wirken die Trennbereiche 3 als perfekte Isolatoren zwischen den verschiedenen aktiven Bereichen 2, in dem die Dioden 5, 6 und 7 in entgegengesetzter Richtung vorgespannt sind. Falls demgegenüber negative Spannungen, deren Modul höher als die Substratvorspannung ist, an die aktiven Bereiche 2 angelegt werden, beginnen die Dioden 5, 6 und 7 im Hinblick auf ihren Standard-Umkehrspannungszustand zu leiten, in dem sie sein müssen, um eine gegenseitige Isolierung zwischen den aktiven Bereichen 2 zu gewährleisten.
  • Anwendungen, bei denen typischerweise dieses Problem besteht, sind in den Fig. 2 bis 6 gezeigt, d. h., herkömmliche Telefonanwendungen, bei denen die Polarität der Telefonleitung nicht voreingestellt ist.
  • In diesem sowie in anderen Beispielen, die im einzelnen hier nicht erläutert werden, wenn eine negative Spannung, deren Modul höher als die Vorspannung des Substrats 1 ist, an die aktiven Komponenten zwar angelegt wird, wobei dadurch die Dioden 5, 6 und 7 leitend werden, führt dieses zum Verlust der gegenseitigen Isolierung.
  • In Fig. 2, die eine herkömmliche Telefonschaltung zeigt, ist die Telefonleitung mit den Anschlüssen 8 und 9 durch eine Austauschbatterie mit einer Gleichspannung vorgespannt. Die Polarität ist nicht vorgegeben und es ist somit notwendig, im Telefon eine Vorspannungsbrücke 10 für die Sprechschaltung 11 und für die Signalisierungsschaltung 12 vorzusehen.
  • Die Schaltungen 11 und 12, die aktiviert werden, wenn der Hörer durch Schließen des Schalters abgenommen wird, werden in integrierter Weise hergestellt, und jede Schaltung besitzt ihr eigenes Substrat.
  • Die Klingelschaltung 14 muß gleichspannungsentkoppelt sein, d. h., kein Gleichstrom darf auf der Telefonleitung bei aufgelegtem Hörer oder in Klingelzuständen fließen, und ein Hochkondensator 15 wird für diesen Zweck eingesetzt. Ein Vollwellengleichrichter 16 wird für die Klingel benutzt, und ein diskreter Kondensator oder Filter 19 ist zur integrierten Schaltung 14 zwischen der Schaltung 14 und dem Gleichrichter 16, der die integrierte Schaltung 14 mit dem entsprechenden Substrat versorgt, parallel geschaltet.
  • Mit Aufkommen von elektronischen Monochip-Schaltungen, die auf einem einzigen gemeinsamen Substrat die Funktionen von drei unterschiedlichen Schaltungen vereinen, d. h., Signalisierung 12, Sprechen 11 und Klingeln 14, bildet das Substrat ein gemeinsames Substrat. Wie in Fig. 3 gezeigt ist, wo der Monochip mit dem Bezugzeichen 17 bezeichnet ist, ist es beispielsweise unvermeidlich, einen weiteren Schalter 18 vorzusehen, der das gemeinsame Substrat des Monochip 17 vom negativen Anschluß der Vorspannungsbrücke 10 trennt.
  • Um außerdem sowohl den nationalen als auch den internationalen anwendbaren gesetzlichen Vorschriften zu entsprechen, ist es notwendig, Layouts zu verwenden, die entweder mechanische Schalter, wie in Fig. 4 gezeigt ist, oder direkrete Schalter, wie in Fig. 5 gezeigt ist, oder einen zweiten Hochspannungsentkopplungskondensator 20, wie in Fig. 6 gezeigt ist, enthalten, von denen es sich bei allen um betätigbare elektronische Komponenten handelt.
  • Um auf den Kondensator 20 ohne Verwendung eines weiteren (externen) integrierbaren Schalters zur Handhabung von Spannungen, die gegenüber dem Masse- Substrat, d. h. gegenüber der herkömmlichen Masse der Schaltung negativ sind, ist es somit wesentlich, im einzelnen sämtliche realen, beabsichtigten oder parasitären Pfade zu kennen, durch die die Spannungen und Ströme innerhalb einer integrierten Komponente verteilt werden.
  • Die Isolierungsanordnung gemäß der vorliegenden Erfindung ist im Anspruch 1 angegeben.
  • In den Fig. 7a und 7b repräsentieren die Schaltungen, die über dem schematisch dargestellten Substrat angeordnet sind, die realen und parasitären Verbindungen zwischen der aktiven integrierten Komponente und dem Substrat, welches diese einschließt.
  • Das aktiv integrierte Element weist einen DMOS-Transistor auf, der im allgemeinen mit dem Bezugszeichen (100) bezeichnet ist und dessen Source-Anschluß (101) mit dem Körper (Diffusion PA) verbunden und über eine erste parasitäre Diode (103) mit dem Drain-Anschluß (102) gekoppelt. Der Drain-Anschluß (102) ist über eine zweite parasitäre Diode (105) mit einem Abschnitt (104) des Isoliersubstrates gekoppelt, und der Gate-Anschluß (106) ist an eine (nicht dargestellte) Spannungsversorgung angeschlossen.
  • Eine parasitäre Diode (103), die eine umgekehrt vorgespannte Grenzschicht aufweist, ist über ihren Kathoden-Anschluß mit dem Drain-Anschluß (102) und über ihren Anoden-Anschluß mit dem Source-Anschluß (101) verbunden; der Source- Anschluß ist mit dem Körper (Diffusion der PA) des DMOS-Transistors 100 verbunden.
  • Eine Schutz-Zener-Diode 107 ist, wie in Fig. 7b gezeigt ist, parallel zum Gate- Anschluß 106 integriert und über eine dritte parasitäre Diode (108) mit dem Substrat (104) und über eine vierte parasitäre Diode (1 10) mit einem aktiven Bereich (109) gekoppelt. Die Zener-Diode 107 schützt den Gate-Anschluß 106 aufgrund ihrer eigenen Durchschlagspannung, die kleiner als die maximale Gate- Source-Durchschlagspannung sein muß.
  • Fig. 8a zeigt schematisch den Transistor und das Substrat 100, die dazwischen befindliche Schaltung und Anschlüsse an die Spannungsversorgung.
  • Um den ausgeschalteten Zustand des DMOS 100 aufrechtzuerhalten, wenn der Einschaltbefehl nicht vorliegt, wie in Fig. 8a gezeigt ist, ist ein integrierter Widerstand 11, der auf dem Substrat (104) durch ein hoch resistives Polysilicium mit einem Widerstand von 2 kΩ/mm² oder durch einen diffundierten Widerstand, der technisch als "Drain Extension" bekannt ist, mit einem Widerstand von 20 kΩ/mm² unter Verwendung besonderer Layout-Lösungen gebildet sein kann, parallel zur Zener-Diode (107) eingesetzt.
  • Der DMOS Transistor (100) wird durch Schließen eines Schalters (112) eingeschaltet, der einen zweiten Widerstand (113) mit dem Gate-Anschluß (106) verbindet. Dadurch wird ein Spannungsteiler zwischen den Widerständen (111) und (113) geschaffen, der die Mindestbetriebsspannung begrenzt, während der Absorptionsstrom nicht konstant ist.
  • Vorzugsweise wird der Gate-Anschluß (106) von einer Spannungsquelle getrieben, die beispielsweise einen ersten Dioden-gekoppelten bipolaren Transistor (114) und einen zweiten bipolaren Transistor (115) aufweist. Der erste bipolare Transistor (114) ist mit seinem Emitteranschluß an einen Spannungsversorgungsanschluß (116) angeschlossen, und seine Basis- und Kollektor-Anschlüsse sind zusammen am Basisanschluß des zweiten Transistors angeschlossen. Der zweite bipolare Transistor (115) ist mit seinem Emitter-Anschluß am Anschluß (116) der Spannungsquelle und mit seinem Kollektor-Anschluß am Gate-Anschluß (106) DMOS- Transistors (100) angeschlossen.
  • Die Stromquelle weist ebenfalls einen Schalter (112) auf, der am anderen Anschluß (112) der Spannungsquelle angeschlossen ist; ein dritter Widerstand (118) und der Kathoden-Anschluß einer ersten Diode (119) sind am Ausgangsanschluß der Stromquelle angeschlossen. Eine zweite Diode (120) ist in Reihe zur ersten Diode (1 19) geschaltet, und ihr Anoden-Anschluß ist an einen vierten Widerstand (122), der am Anschluß 116 der Spannungsquelle angeschlossen ist, und am Basis- Anschluß eines dritten bipolaren Transistors 121 angeschlossen.
  • Der dritte Transistor (121) ist mit seinem Emitter-Anschluß am dritten Widerstand (118) und mit seinem Kollektor-Anschluß an den Kollektor- und Basis-Anschlüssen des ersten bipolaren Transistors 114 und am Basis-Anschluß des zweiten bipolaren Transistors (115) angeschlossen. Die Stromquelle kann ebenfalls mit gleichwertigen MOSFET-Transistoren verwirklicht werden, wie der einschlägige Fachmann erkennen kann. Falls die zuvor beschriebene Stromquelle integriert ist, bildet sie eine Schnittstelle zum Gate-Anschluß (106) über eine P-dotierte Schicht, um parasitäre Pfade zum Substrat zu beseitigen, falls eine Spannung anliegt, die gegenüber der Vorspannung des Substrates negativ ist. Im Falle von niedrigen Spannungen auf den Telefonleitungsspannungsversorgungsanschlüssen (116 und 117) kann die Spannung über der Stromquelle, die eine Schnittstelle zum Gate- Anschluß (106) bildet, praktisch nur sein, wodurch man eine minimale Betriebsspannung erhält.
  • Praktische Tests haben gezeigt, daß man mit der vorliegenden Erfindung die beabsichtigte Zielsetzung und Aufgaben verwirklicht, und zwar in vorteilhafter Weise durch vollständige Integration von Funktionen und folglich von Komponenten, die in der Vergangenheit sowohl als elektronische als auch als mechanische diskrete Komponenten vorgesehen waren.
  • Die erfindungsgemäße Anordnung erlaubt in bequemer Weise eine Integration von Komponenten, die sämtliche Funktionen auf einem einzigen Chip vorsehen, d. h. auf einem einzigen gemeinsamen Substrat, und zwar unter einer weiteren Reduzierung von diskreten Komponenten.
  • Eine solche Integration ermöglicht eine Reduktion von Herstellungskosten auf zwei unterschiedlichen Wegen:
  • Als erstes durch Vereinfachung der Telefonschaltung und somit durch Vereinfachung des Zusammenbaus und der Produktion der gedruckten Schaltung, der Analyse der Schaltung und des daraus hergestellten Gerätes; und zweitens im Managementbereich, d. h. Reduzierung der Lagerhaltung, wodurch die Verwaltung u. dgl. vereinfacht wird. Zusätzlich bewirkt die Reduzierung der Komponenten durch Einsatz des Monochips eine Verringerung der konstruktiven Komplexität, d. h., eine Verringerung an Lötstellen, Verbindungen u. dgl.
  • Die so vorgestellte Erfindung ist für zahlreiche Modifikationen und Veränderungen offen, von denen alle innerhalb des erfindungsgemäßen Konzeptes liegen.
  • In der Praxis können die eingesetzten Materialien sowie die Abmessungen in Abhängigkeit von den Erfordernissen für die besondere Anwendung beliebig sein.
  • Nachdem somit eine besondere Ausführungsform der Erfindung beschrieben wurde, sind verschiedene Änderungen, Modifikationen und Verbesserungen für den Fachmann erkennbar. Solche Änderungen, Modifikationen und Verbesserungen, soweit sie durch diese Offenbarung erkennbar sind, sollen Gegenstand dieser Offenbarung sein, obwohl sie hier nicht ausdrücklich erwähnt sind und innerhalb des Umfanges der Erfindung liegen. Dementsprechend handelt es sich bei der vorangegangenen Beschreibung nur um ein Beispiel, das nicht beschränkend ist. Die Erfindung wird nur durch die nachfolgenden Ansprüche beschränkt.
  • Wo in den Ansprüchen erwähnte technische Merkmale von Bezugszeichen gefolgt sind, sind solche Bezugszeichen nur für den einzigen Zweck der Erhöhung der Verständlichkeit der Ansprüche eingesetzt, und dementsprechend haben solche Bezugszeichen keine beschränkende Wirkung auf die Bedeutung jedes Elementes, das beispielhaft durch solche Bezugszeichen identifiziert wird.

Claims (6)

1. Substratisolierungsanordnung mit einer Spannungsversorgungseinrichtung, die an den Gate-Anschluß (106) eines DMOS-Transistors (100) geschaltet ist, welcher in bezug auf ein Substrat (104), auf dem er gebildet ist, eine erste parasitäre Diode (103), die eine umgekehrt vorgespannte Sperrschicht aufweist, wobei der DMOS-Transistor (100) mit seinem Source-Anschluß (101) an den Körperbereich geschaltet ist, welcher mit dem Drain-Anschluß (102) die erste parasitäre Diode (103) bildet, eine zweite parasitäre Diode (105), die zwischen dem Drain- Anschluß des DMOS-Transistors (100) und dem Substrat (104) ausgebildet ist, eine Schutz-Zener-Diode (107), die zwischen dem Source-Anschluß und dem Gate- Anschluß geschaltet ist, eine dritte parasitäre Diode (108), die zwischen dem Substrat (104) und einem aktiven Gebiet (109) ausgebildet ist, eine vierte parasitäre Diode (110), die zwischen dem aktiven Gebiet und der Schutz-Zener-Diode ausgebildet ist, einen Widerstand (111) besitzt, der parallel zur Schutz-Zener-Diode (107) geschaltet ist, wobei die ersten und zweiten parasitären Dioden gegeneinander geschaltet und die dritten und vierten parasitären Dioden gegeneinander geschaltet sind, um die Isolierung des Substrats bei an die Anordnung angelegten Negativspannungen aufrechtzuerhalten, deren Modul größer als die Referenzspannung des Substrates ist.
2. Anordnung nach Anspruch 1, bei welcher der Widerstand (111) aus Polysilizium mit einem hohen Widerstandswert besteht.
3. Anordnung nach Anspruch 1, bei welcher die erste parasitäre Diode (103) mit ihrem Anoden-Anschluß an den Source-Anschluß (101) und mit ihrem Kathoden-Anschluß an den Drain-Anschluß (102) des DMOS-Transistors (100) geschaltet ist.
4. Anordnung nach Anspruch 1, bei welcher die Versorgungsspannungseinrichtung eine Stromquelle aufweist, die einen ersten mit einer Diode verbundenen Transistor (114) und einen zweiten Transistor (115) aufweist.
5. Anordnung nach Anspruch 4, bei welcher die ersten und zweiten Transistoren (114, 115) bipolar sind und beim ersten biopolaren Transistor der Emitter- Anschluß an eine Spannungsquelle (116) geschaltet ist und die Basis- und Kollektor-Anschlüsse zusammengeschaltet und an den Basis-Anschluß des zweiten Transistors (115) geschaltet sind, wobei der zweite bipolare Transistor (115) mit seinem Emitter-Anschluß an die Spannungsquelle (116) und mit seinem Kollektor- Anschluß an den Gate-Anschluß (106) des DMOS-Transistors (100) geschaltet ist.
6. Anordnung nach Anspruch 4, bei welcher der erste Transistor (114) und der zweite Transistor (115) MOSFET-Transistoren sind und beim ersten MOSFET- Transistor (114) der Source-Anschluß an eine Spannungsquelle (116) geschaltet ist und die Gate- und Drain-Anschlüsse zusammengeschaltet und an den Gate-Anschluß des zweiten MOSFET-Transistors (115) geschaltet sind, wobei der zweite MOSFET-Transistor (115) mit seinem Source-Anschluß an die Spannungsquelle (116) und mit seinem Drain-Anschluß an den Gate-Anschluß (106) des DMOS- Transistors (100) geschaltet ist.
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