DE69318674T2 - Vakuumpumpe mit einem ölgeregelten Einlass-Absperrventil - Google Patents

Vakuumpumpe mit einem ölgeregelten Einlass-Absperrventil

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Description

  • Die Erfindung betrifft Vakuumpumpen, insbesondere umlaufende Pumpen der ölabgedichteten Bauart, und mehr im einzelnen Mechanismen, in diesen Pumpen, welche dem Pumpeneinlaß von der zu evakuierenden Kammer (oder dgl.) durch Vorsehen einer bestimmten Konstruktion des Einlaßventils trennt.
  • Umlaufende Vakuumpumpen dieser Bauart mit einem in einer Pumpenkammer umlaufenden und mittels Dichtflüssigkeiten, normalerweise Ölen, abgedichtetem Flügelrotor sind bekannt; diese Flüssigkeiten dienen auch als Schmiermittel und Kühlmittel für die Pumpe. Jedoch besteht die Möglichkeit, daß, wenn diese Pumpen abgeschaltet werden, das Öl (oder Prozeßgas) die Vakuumkammer bzw. das der Pumpe zugeordnete Vakuumsystem verunreinigen.
  • Bei solchen Pumpen besteht daher die Gefahr, daß das Öl (oder seine Dämpfe) oder das Prozeßgas in das der Pumpe zugeordnete Vakuumsystem zurückgesaugt werden, wenn die Pumpe abgeschaltet wird. Obwohl diese Gefahr dadurch ausgeschaltet werden kann, daß sichergestellt wird, daß sämtliche möglichen Pfade in die Pumpe leckdicht sind, ist es oftmals schwierig, dies tatsächlich zu erreichen. Bekannt ist die Verwendung eines Einlaßventils für die Pumpe, wenn es den Einlaß verschließt, wenn die Pumpe abgeschaltet wird, um zu verhindern, daß das Öl (oder seine Dämpfe) oder das Prozeßgas aus dem Einlaß durch "Rücksaugung" in das Vakuumsystem zurückgelangt.
  • Ein Einlaßventil, das den Pumpeneinlaß verschließt, ist die direkteste Art des Abtrennens des Einlasses. Jedoch sind diese Ventile gewöhnlich unzuverlässig, insbesondere wenn das Öl durch Bestandteile der gepumpten Substanz verunreinigt sind, da sie im allgemeinen mittels einer kontinuierlichen Ölströmung durch abgedichtete diametrale Spalte im Ventilmechanismus betrieben werden, die als Sieb dienen und Schmutzteilchen sammeln, was zu einer Verschmutzung des Ventilkolbens oder zur Verhinderung eines vollständigen Schließens des Ventils führen kann. Des weiteren sind solche Ventile auch verhältnismäßig kompliziert und deshalb im Einbau in solche Pumpen teuer.
  • Beispielsweise beschreibt die EP-A-0 355 260 eine Vakuumpumpe der Schraubenbauart, bei welcher ein Dreiwege-Steuerventil den Austritt von Öl aus dem Einlaßventil ermöglicht, wenn die Pumpe abgeschaltet wird. Die Verbindung zwischen der Ölzufuhr und dem Einlaßventil wird deshalb nur hergestellt, wenn die Vakuumpumpe läuft.
  • Der notwendig Öldruck in der Pumpe, der für einen effizienten Betrieb erforderlich ist, wird durch eine der Vakuumpumpe zugeordnete Ölpumpe erzeugt.
  • Üblicherweise ist die Ölpumpe in dem Vakuumpumpengehäuse untergebracht und kann durch den gleichen Motor (und oftmals auch durch die gleiche vom Motor angetriebene Welle) angetrieben werden, der auch zum Antrieb der Vakuumpumpe dient.
  • Die vorliegende Erfindung befaßt sich mit der Schaffung einer neuen Konstruktion eines Einlaßventilmechanismus für eine Vakuumpumpe, der grundsätzlich zuverlässig, schnellwirkend, insbesondere beim Abschalten der Pumpe, und von einfacher Konstruktion ist. Der Mechanismus wird grundsätzlich so betrieben, daß das Einlaßventil mittels einer Feder geschlossen gehalten wird und durch den Öldruck im System geöffnet wird, also einen Mechanismus mit positiver Betätigung bildet.
  • Gemäß der Erfindung ist eine Vakuumpumpe vorgesehen, mit einer Ölpumpe zum Anheben des Öldrucks in der Vakuumpumpe während des Betriebs der Vakuumpumpe, und mit einem Einlaßventil zum Abtrennen des Vakuumpumpeneinlasses bei Nichtbetrieb der Vakuumpumpe, wobei die Vakuumpumpe ein Arbeitsventil aufweist, das sowohl in einer Ölleitung zwischen der Ölpumpe und dem Einlaßventil als auch in einer Ölleitung zwischen dem Einlaßventil und einem Ölbehälter wirkt und durch Öldruck zwischen einer dem Vakuumpumpenbetrieb zugeordneten zweiten Position, in welcher die Ölleitung zwischen dem Einlaßventil geschlossen ist, und einer dem Vakuumpumpen-Nichtbetrieb zugeordneten ersten Position beweglich ist, in welcher die Ölleitung zwischem dem Einlaßventil und dem Ölbehälter offen ist, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel vorgesehen sind, durch welche Öl aus der Ölpumpe sowohl in der ersten Position als auch in der zweiten Position mit dem Einlaßventil kommunizieren kann.
  • Die Verbindung zwischen dem Hochdrucköl aus der Ölpumpe und dem Einlaßventil kann dadurch bewirkt werden, daß Öl an dem Arbeitsventil vorbeisickern kann, wenn sich dieses in der zweiten Position befindet, und vorzugsweise auch in der ersten Position des Arbeitsventils. Alternativ dazu, insbesondere bei einem Membranarbeitsventil, kann eine gesonderte Form der Verbindung eingesetzt werden, beispielsweise durch eine separate Umgehungsleitung, vorzugsweise mit einer eingebauten Strömungsdrossel.
  • Grundsätzlich ist die Erfindung besonders zum Einsatz bei Öl abgedichteten Vakuumpumpen geeignet, und die Ölpumpe ist so ausgelegt, daß sie in Betrieb ist, wenn die Vakuumpumpe eingeschaltet ist, und nicht in Betrieb ist, wenn die Vakuumpumpe ausgeschaltet ist, und daß der Öldifferenzdruck die Ventilbetätigung bewirkt.
  • Bei bevorzugten Ausführungsformen ist das Arbeitsventil so ausgelegt, daß in seiner zweiten Position, in welcher die Ölleitung zwischen der Ölpumpe und dem Einlaßventil geöffnet ist, der Öldurchtrittspfad an dem Arbeitsventilkörper vorbei gedrosselt ist, so daß im Betrieb das Öl an den Ventilkörper vorbei sickert. Vorzugsweise ist der Arbeitsventilkörper auch in Richtung seiner ersten Position vorgespannt, so daß die erste Position automatisch eingenommen wird, wenn die Ölpumpe abgeschaltet ist.
  • Die Arbeitsventilkonstruktion kann so variiert werden, daß sie den Bedürfnissen irgendeiner bestimmten Vakuumpumpe gerecht wird. Beispielsweise könnte sie einen Zylinder oder ein innerhalb einer Kammer verschiebbares fächerförmiges Bauteil haben, von welchem ein Ende mit der Ölleitung von der Ölpumpe kommunizieren und diese verschließen kann, und von welchem das andere Ende mit der Ölleitung zum Ölbehälter kommunizieren und diese verschließen kann.
  • Alternativ dazu könnte der Arbeitsventilkörper eine Membran sein, die in der Leitung von der Ölpumpe arbeitet; jedoch würde diese Alternative im allgemeinen notwendigerweise eine gesonderte Umgehungsleitung zwischen der Ölpumpe und dem Einlaßventil erfordern, die vorzugsweise aufgrund ihrer Größe stark gedrosselt ist oder eine eingebaute Drossel enthält, um den Ölpumpenhochdruck zum Einlaßventil zu leiten, wenn die Membran sich in der zweiten Position befindet.
  • Die Vakuumpumpe weist vorzugsweise auch ein Rückschlagventil auf, um den Öldruck in der Vakuumpumpe innerhalb vorgegebener Grenzen zu regulieren. Dieses Rückschlagventil kann vorzugsweise in einer Ölleitung zwischen der Ölpumpe und dem Ölbehälter angeordnet sein, so daß es in einer ersten Position die Verbindung zwischen der Ölpumpe und dem Behälter sperrt, daß aber, wenn ein vorgegebener höherer Druck von der Ölpumpe erreicht worden ist, es sich in eine zweite Position bewegt und eine solche Verbindung ermöglicht, bis der vorgegebene Druck erreicht worden ist. In der Praxis neigt der Rückschlagventilkörper im Betrieb der Vakuumpumpe anfänglich dazu, nahe seiner zweiten Position hin und her zu schwingen und danach sich in einer im wesentlichen festen Stellung nahe der zweiten Position einzustellen, so daß der geforderte Druck erreicht wird.
  • Bei bevorzugten Ausführungsformen können das Arbeisventil und die Rückschlagventile miteinander vereinigt werden. Bei gewissen Konstruktionen ist der Rückschlagventilkörper vorzugsweise gleitend verschiebbar innerhalb des Arbeitsventils enthalten.
  • Es hat sich gezeigt, daß bei den Vakuumpumpen nach der Erfindung, insbesondere bei einer gedrosselten Strömung am Arbeitsventil vorbei, der Ventileinlaß sehr schnell aus seiner Offenstellung (im Betrieb) in seine Schließstellung bewegt wird, sobald die Vakuumpumpe und folglich die Ölpumpe zum Stillstand gekommen sind.
  • Für ein besseres Verständnis der Erfindung wird nun lediglich beispielshalber auf die anliegenden Zeichnungen Bezug genommen, in welchen zeigt:
  • Fig. 1 eine schematische Schnittdarstellung desjenigen Teils einer Vakuumpumpe nach der Erfindung, welches das Einlaßventil und ein Arbeitsventil umfaßt,
  • Fig. 2 eine ähnliche Schnittdarstellung wie Fig. 1, welche den gleichen Teil einer Vakuumpumpe nach der Erfindung zeigt, wobei das Einlaßventil und gesonderte Arbeits- und Rückschlagventile vorgesehen sind,
  • Fig. 3 eine ähnliche Schnittdarstellung durch denjenigen Teil einer Vakuumpumpe nach der Erfindung, der das Einlaßventil und kombinierte Arbeits/Rückschlagventile umfaßt,
  • Fig. 4 eine ähnliche Schnittdarstellung wie die Fig. 1, 2 und 3, die denselben Teil einer Vakuumpumpe zeigt, jedoch mit einem Membranarbeitsventil und einer Umgehungsdrossel.
  • Die Zeichnungen und insbesondere Fig. 1 zeigen eine umlaufende Vakuumpumpe mit einem Gehäuse 1, das dicht mit einem Pumpeneinlaßteil 2 verbunden ist, der einen Einlaß 3 bildet, der im Betrieb der Vakuumpumpe mittels eines kreisförmigen Flansches 4 an ein Vakuumsystem angeschlossen ist.
  • Im normalen Betrieb der Vakuumpumpe gelangt aus dem Vakuumsystem, an welches die Vakuumpumpe angeschlossen ist, evakuiertes Material durch den Einlaß 3 in die Pumpe und tritt durch einen Auslaß (nicht dargestellt) aus der Pumpe aus. Ein allgemein mit 5 bezeichnetes Einlaßventil dient zum Abtrennen des Einlasses 3 im Nichtbetrieb der Vakuumpumpe. Das Einlaßventil 5 weist einen Ventilkörper 6 mit einem kreisrunden Ventilkopfteil 7 auf, der daran mittels eines Kugelgelenks 8 befestigt ist.
  • Ein weiteres Bauteil 9 mit etwa zylindrischer Form ist innerhalb des Gehäuses 1 fixiert und mittels O-Ringen 10, 11 eingedichtet. Das Bauteil 9 weist eine mittig angeordnete Öffnung zur Aufnahme des Ventilkörpers 6 auf. Der Ventilkörper 6 ist in dem Bauteil 9 gleitend verschiebbar und dichtet in Form a) einer U-Gleitdichtung 12 (alternativ könnte eine Membran verwendet werden) welche das Bauteil 9 und den Ventilkörper 6 verbindet, und b) einer O-Ringdichtung 13, die eine Kammer 14 zwischen dem Bauteil 9 und dem Ventilkörper 6 bildet.
  • Der Ventilkopfteil 7 ist so ausgebildet, daß er sich an einem ringförmigen Sitz 15 anlegt, der an der (in der Darstellung) unteren Fläche des Einlaßteils 2 gebildet ist; der genaue Sitz zwischen dem Kopfteil 7 und dem Sitz 15 wird durch die Kugelverbindung 8 unterstützt, die eine Relativbewegung zwischen dem Ventilkörper 6 und dem Kopfteil 7 ermöglicht.
  • In Fig. 1 ist das Einlaßventil in der Schließstellung dargestellt. Das Einlaßventil wird grundsätzlich mittels einer Feder 16 in seine Schließstellung vorgespannt.
  • Die Betätigung des Einlaßventils 5 wird mittels eines Arbeitsventils 17 bewirkt, das in eine Ölpumpe OP, eine Leitung 18 zum Einlaßventil und einen Ölbehälter bzw. - Sumpf (OR) verbindenden Ölleitungen positioniert ist.
  • Das Arbeitsventil in seiner in Fig. 1 dargestellten einfachen Form umfaßt einen im Querschnitt kreisförmigen becherförmigen Ventilkörper 19, der gleitend verschiebbar in einer zylindrischen Kammer 20 angeordnet ist, die in Pumpengehäuse gebildet ist. Der Ventilkörper 19 weist an der ringförmigen oberen Lippe des Bechers eine Ringdichtung 21 auf, jedoch kann Öl aus der Leitung OP aus der Basis 22 und der Seitenwand des Bechers vorbei sickern; und einer zweiten Position des Ventilkörpers 19 die den Pumpenbetrieb zugeordnet ist, legt sich die Dichtung 21 um die Ölleitung OR und trennt den Ölbehälter (nicht dargestellt) von der Einlaßventilleitung 18 ab, und in einer ersten Position des Ventilkörpers 19 (wie in Fig. 1 dargestellt) läßt die Basis 22 immer noch Öl aus der Ölleitung OP grundsätzlich an sich und dem Becher vorbei gelangen, aber in dieser ersten Position kann Öl vom Einlaßventil über die Leitung 18 und die Ölleitung OR leicht in den Ölbehälter strömen.
  • Grundsätzlich ermöglichen die relativen Abmessungen und die Form des Ventilkörpers 19 und der Kammer 20 den Druchtritt einer gedrosselten Ölmenge zu jeder Zeit. Eine Feder 23 dient zum Vorspannen des Ventilkörpers 19 in Richtung der ersten Position, die dem Nichtbetrieb der Pumpe zugeordnet ist.
  • Der umlaufende Pumpenmechanismus ist in den Zeichnungen nicht dargestellt. Wie es jedoch bei Pumpen dieser Bauart üblich ist, werden die Vakuumpumpe und ihre Ölpumpe durch denselben Antrieb betätigt, so daß die Ölpumpe eingeschaltet ist, wenn auch die Vakuumpumpe eingeschaltet ist. Wenn die Vakuumpumpe und folglich die Ölpumpe ausgeschaltet ist, herrscht in der Leitung OP kein hoher Druck, und der Ventilkörper 19 nimmt seine erste Stellung (wie in Fig. 1 dargestellt) aufgrund der von der Feder 23 auf ihn ausgeübten Kraft ein. Irgendwelches Öl in der Leitung 18 kann über die Leitung OR in den Ölbehälter abfließen. Die Feder 16 übt einen Druck auf den Ventilkörper 6 aus und hält dadurch das Einlaßventil 5 am Sitz 15 geschlossen und trennt so das Vakuumsystem, an welches die Vakuumpumpe angeschlossen ist, von dem Vakuumpumpenmechanismus ab.
  • Wenn die Vakuumpume und folglich die Ölpumpe eingeschaltet wird, wirkt ein hoher Öldruck in der Leitung OP auf den Ventilkörper 19 und überwindet die von der Feder 23 ausgeübte Kraft, und der Ventilkörper 19 nimmt seine zweite Position ein, in welcher die Dichtung 21 sich um die Ölleitung OR legt und dadurch die Leitung OR verschließt.
  • Der hohe Öldruck aus der Leitung OP gelangt dann am Ventilkörper 19 vorbei und beaufschlagt die Leitung 18 und die Kammer 14 mit diesem Druck und übt dadurch einen (in der Darstellung) abwärts gerichteten Druck auf den Ventilkörper 6 aus und überwindet die von der Feder 16 erzeugte Kraft. Das Einlaßventil 15 öffnet deshalb.
  • Wenn die Vakuumpumpe/Ölpumpe abgeschaltet wird, fällt der Druck in der Leitung OP ab und der Ventilkörper 19 bewegt sich aus seiner zweiten in seine erste Position. Die Verbindung zwischen der Leitung OR und der Leitung 18 öffnet, so daß ein sehr schneller Ölabfluß aus dem Einlaßventil erfolgen kann, was das Schließen des Einlaßventils unter dem von der Feder 16 auf den Ventilkörper 6 ausgeübten Druck bewirkt.
  • Im allgemeinen sind bei Vakuumpumen dieser Bauart Mittel vorgesehen, um den Öldruck in der Vakuumpumpe insgesamt zu regeln. Bei bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung sind solche Mittel dem Arbeitsventil zugeordnet und haben vorteilhafter Weise die Form eines Rückschlagventils.
  • Eine Anordnung mit einem solchen Rückschlagventil ist in Fig. 2 dargestellt. Das Rückschlagventil 30 weist einen Ventilkörper 31 mit etwa zylindrischer Form und einer Ringdichtung am einen Ende und einer kreisförmigen Dichtfläche 33 am anderen Ende auf. Der Ventilkörper ist in einer zylindrischen Kammer 34 im Vakuumpumpengehäuse gleitend verschiebbar, und die Kammer 34 steht über eine Ölleitung 35 mit der Ölleitung OP von der Ölpumpe und über eine Ölleitung 36 mit der Ölleitung OR und folglich mit dem Ölbehälter in Verbindung. Die Größe des Ventilkörpers 31 relativ zur Kammer 34 ist so gewählt, daß Öl an dem Ventilkörper vorbei gelangen kann, wenn kein Ende des Ventilkörpers abdichtet.
  • Eine Feder 37 spannt den Ventilkörper 31 im Sinne des Anliegens der Dichtung 32 um die Leitung 35 vor. Wenn die Vakuumpumpe/Ölpumpe eingeschaltet wird und die Leitungen OP und 35 allmählich druckbeaufschlagt werden, verschließt die Dichtung 32 des Ventilkörpers 31 weiterhin die Leitung 35, bis der Öldruck die von der Feder 37 ausgeübte Kraft überwindet. Wenn dieser Druck erreicht wird (der durch die Federkraft vorgegeben ist), bewegt sich der Ventilkörper 31 derart, daß die Dichtung 32 die Leitung 35 nicht mehr verschließt und überschüssiger Öldruck oberhalb des vorgegebenen Schwellenwerts abgelassen werden kann, indem Öl an dem Ventilkörper 31 vorbei und in die Leitung 36 und von da aus in die Leitung OR zum Ölbehälter gelangen kann. Wenn der überschüssige Öldruck in der Vakuumpumpe abgeleitet worden ist, kann der Ventilkörper 31 in seine ursprüngliche Position zurückkehren und die Leitung 35 verschließen.
  • Im normalen Betrieb ist es wahrscheinlich, daß der Ventilkörper 31 in der Kammer 34 "schwebt" und dort eine schließliche Einstellposition einnimmt, so daß ein vorgegebener Druckbereich in der Vakuumpumpe erreicht wird.
  • Fig. 3 zeigt nun die gleiche Anordnung des Einlaßventils wie die Fig. 1 und 2 aber mit einem kombinierten Arbeits- und Rückschlagventil, das allgemein mit 40 bezeichnet ist. Unter besonderer Bezugnahme auf die vergrößerte Darstellung der kombinierten Ventilanordnung, auf die der Pfeil E verweist, ist dort ein hohler, im wesentlicher zylindrischer Ventilkörper 41 so gesehen, der im wesentlichen in der gleichen Weise wie der becherförmige Ventilkörper 19 in den Fig. 1 und 2 arbeitet. Innerhalb des Ventilkörpers 41 ist jedoch ein Rückschlagventilkörper 42 gleitend verschiebbar und wirkt im wesentlichen in der gleichen Weise wie der Ventilkörper 31 in Fig. 2.
  • Wie zuvor, ist eine Dichtung an einem ringförmigen Ende 43 des Ventilkörpers 41 vorgesehen, und obwohl das ringförmige Ende 44 an einem Anschlag in der Leitung OP anstoßen kann, kann Öl, wie zuvor (immer noch) an dem Ventilkörper 41 vorbeilecken.
  • Im Betrieb des kombinierten Ventils befinden sich die Ventilkörper 41, 42 in den in Fig. 3 gezeigten Positionen, wenn die Vakuumpumpe/Ölpumpe abgeschaltet ist. Der Ventilkörper 42 und folglich der Ventilkörper 41 sind mittels der Feder 46 in diese Positionen vorgespannt. Wenn die Ölpumpe eingeschaltet wird, bewirkt der höhere Druck in der Leitung OP, daß beide Ventilkörper 41, 42 sich nach links (mit Bezug auf Fig. 3) verschieben und daß das Ende 44 sich von seinem Anschlag abhebt, wodurch die Leitung OR verschlossen wird und die Leitung 18 (siehe Fig. 1) druckbeaufschlagt und die Öffnung des Einlaßventils wie oben beschrieben herbeigeführt werden kann.
  • Der Ventilkörper 42 kann unabhängig als Rückschlagventil wirken und sich von seinem Sitz 45 abheben, wenn der Druck in der Leitung OP über einen vorgegebenen Maximaldruck zunimmt, so daß dann Öl am äußeren des Ventilkörpers 42 vorbei und in das innere des Ventilkörpers 41 gelangen kann.
  • Ein Vorteil der kombinierten Konstruktion liegt darin, daß die Brücke, bei denen das Arbeitsventil und das Rückschlagventil sich verschieben, durch die Geometrie der Bauteile (Ventilkörper) in einem festen Verhältnis und unabhängig von der Härte der Feder 46 gehalten werden.
  • Um nun auf Fig. 4 zu kommen, diese zeigt ein allgemein mit 50 bezeichnetes Arbeitsventil für eine Einlaßventilanordnung genau der gleichen Bauart, wie in den vorhergehenden Zeichnungen dargestellt. Das Arbeitsventil 50 weist einen Membran 51 auf, die zwischen der Leitung OP auf deren einer Seite und den Leitungen OR und 18 auf deren anderer Seite positioniert ist und die Ölströmung zwischen den betreffenden Seiten blockiert. Die Membran dient als Ventilkörper und kann in der zweiten Position die Öffnung der Leitung OR bei 52 verschließen. In der dem Nichtbetrieb der Pumpe zugeordneten ersten Position spannt eine Feder 54 die Membran gegen den Anschlag 53 vor.
  • Eine Umgehungsölleitung 55 verbindet die Leitung OP und die Leitung 18 und umgeht die die Membran 51 enthaltende Kammer im Ventilgehäuse. In der Leitung 55 ist eine Drossel 56 zur Begrenzung (aber nicht zur Verhinderung) des Öldurchgangs angeordnet. Die Drossel 56 ist verhältnismäßig lang, um den Druck im allgemeinen zu halten. Im Betrieb dieser Ausführungsform ist die Position der Membran bei abgeschalteter Vakuumpumpe/Ölpumpe wie in Fig. 4 dargestellt. Wenn die Pumpen eingeschaltet sind, wird die Membran entgegen der von der Feder 54 ausgeübten Kraft bewegt, um die Ölleitung OR bei 52 aufgrund des anfänglich höheren Drucks in der Leitung OP zu verschließen.
  • Danach verschließt die Membran in der zweiten Position die Leitung OR aufgrund einer Flächendifferenz über der Membran 51 noch weiter. Gleichzeitig strömt Hochdrucköl durch die Leitung 55 an der Drossel 56 vorbei und in die Kammer 14 und öffnet das Einlaßventil 3, wie vorstehend beschrieben.
  • Wenn die Pumpen abgeschaltet werden, bewirkt der niedrigere Druck in der Leitung OP, daß die Membran sich von ihrem Sitz 52 abhebt und ermöglicht einen sehr schnellen Abfluß von Öl aus der Kammer 14 in den Ölbehälter über die Leitung OR.

Claims (9)

1. Vakuumpumpe mit einer Ölpumpe zum Anheben des Öldrucks in der Vakuumpumpe während des Betriebs der Vakuumpumpe und mit einem Einlaßventil (5) zum Abtrennen des Vakuumpumpeneinlasses (3) bei Nichtbetrieb der Vakuumpumpe, wobei die Vakuumpumpe ein Arbeitsventil (17) aufweist, das sowohl in einer Ölleitung zwischen der Ölpumpe und dem Einlaßventil (5) als auch in einer Ölleitung (18) zwischen dem Einlaßventil (5) und einem Ölbehälter wirkt und durch Öldruck zwischen einer dem Vakuumpumpenbetrieb zugeordneten zweiten Position, in welcher die Ölleitung zwischen dem Einlaßventil und dem Ölbehälter geschlossen ist, und einer dem Vakuumpumpen-Nichtbetrieb zugeordneten ersten Position beweglich ist, in welcher die Ölleitung zwischen dem Einlaßventil (S) und dem Ölbehälter offen ist, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel vorgesehen sind, durch welche Öl aus der Ölpumpe sowohl in der ersten Position als auch in der zweiten Position mit dem Einlaßventil (5) kommunizieren kann.
2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, wobei die Verbindung zwischen dem Hochdrucköl aus der Ölpumpe und dem Einlaßventil (5) dadurch bewirkt wird, daß Öl an dem Arbeitsventil (17) vorbeisickern kann.
3. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, wobei das Arbeitsventil ein Membranventil (51) ist.
4. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 3, wobei die Verbindung zwischen dem Hochdrucköl aus der Ölpumpe und dem Einlaßventil (5) durch eine gesonderte Umgehungsleitung (55) zum Arbeitsventil bewirkt wird.
5. Vakuumpumpe nach Anspruch 4, wobei die Umgehungsleitung (55) eine Strömungsdrossel (56) enthält.
6. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei Mittel (23, 46, 54) vorgesehen sind, um das Arbeitsventil (19, 31, 51) in seine erste Position vorzuspannen.
7. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, die außerdem ein Rückschlagventil (30, 42) enthält, um den Öldruck in der Vakuumpumpe innerhalb vorgegebener Grenzen zu regulieren.
8. Vakuumpumpe nach Anspruch 7, wobei das Arbeitsventil (17, 41) und das Rückschlagventil (30, 42) baulich vereinigt sein können.
9. Vakuumpumpe nach Anspruch 8, wobei das Rückschlagventil (31, 42) verschieblich innerhalb des Arbeitsventils (17, 41) enthalten ist.
DE69318674T 1992-11-13 1993-11-12 Vakuumpumpe mit einem ölgeregelten Einlass-Absperrventil Expired - Lifetime DE69318674T2 (de)

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