DE69318417T2

DE69318417T2 - Preionisator für laser

Info

Publication number: DE69318417T2
Application number: DE69318417T
Authority: DE
Inventors: Donald G. San Diego Ca 92131 Larson
Original assignee: Cymer Inc
Current assignee: Cymer Inc
Priority date: 1992-10-09
Filing date: 1993-10-05
Publication date: 1998-11-26
Anticipated expiration: 2013-10-06
Also published as: EP0664057B1; JP2980985B2; DE69318417D1; WO1994009536A1; CA2146641A1; US5337330A; JPH08502145A; HK1004931A1; CA2146641C; SG48818A1; EP0664057A1

Description

Technisches Gebiet

Diese Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Emittieren einer kapazitiven Koronaentladung in einem Laser gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1, wie sie in der EP-A-0 426 993 offenbart ist.

Hintergrund der Erfindung

Laser werden in einer weiten und sich ausdehnenden Vielfalt von Anwendungen verwendet. Beispielsweise werden Laser bei verschiedenen medizinischen Anwendungen verwendet, wie beispielsweise um zerrissene oder abgelöste Netzhäute in Augen zu reparieren oder Ablagerungen aus Arterien zu beseitigen. Laser werden auch bei der Herstellung von Halbleitern verwendet, um elektrische Schaltkreismuster auf den Oberflächen der Halbleiterschichten zu erzeugen und Löcher an genauen Positionen in den Halbleiter zu bohren. Laser sind bei diesen und anderen Anwendungen vorteilhaft, weil sie eine kohärente Stralilung mit hoher Intensität in einem schmalen Wellenlängenband erzeugen.
Lasersysteme umfassen im allgemeinen ein Untersystem, welches das Gas in dem Laser vorionisiert, um die Ionisation und chemische Reaktion der Gase in dem Hohlraum zu erleichtern, wenn eine elektrische Entladung zwischen einer Anode und einer Kathode in dem Laser erzeugt wird (siehe auch EP-A-0 532 751). Der Vorionisator kann mindestens ein Rohr umfassen, aus dem eine Koronaentladung zu den Gasen in dem Hohlraum gerichtet wird. Die Koronaentladung tritt auf, wenn ein Spannungsimpuls vorzugsweise zwischen einem Leiter innerhalb der Rohre und mindestens emem Leiter außerhalb des Rohres angelegt wird. Nahe der Enden der Rohre sind Buchsen angeordnet, um die Rohre in einem isolierten Zusammenhang zu halten. Zu den Rohren gehören Bauelemente, um die Rohre in einer besonderen Position in dem Leser zu positionieren.
Die Vorionisatoren, die jetzt im Gebrauch sind, weisen bestimmte ihnen eigene Nachteile auf. Ein Nachteil ist es, daß die Buchsen nicht mit dem Rohr gleichartig sind, wodurch es erforderlich ist, daß die Buchsen an dem Rohr, wie durch ein Haftmittel, angebracht werden. Dies hat die Möglichkeit der Vorionisatoren, insbesondere über ausgedehnte Zeiträume begrenzt, weil das Haftmittel eine Neigung hat, sich unter der Einwirkung der Korona-Umgebung zu zersetzen. Dieses Zersetzen des Haftmittels verunreinigt die Lasergase, was häungere Gaswechsel erfordert. Das Haftmittel hat auch die Spannung begrenzt, die zwischen den Platten eines Kondensators angelegt werden kann, der das Rohr als das Dielektrikm zwischen den Kondensatorplatten umfaßt. Ein anderer Nachteil ist es, daß das Rohr nicht genau in dem Laserhohlraum angeordnet gewesen ist. Ein weiterer Nachteil ist es, daß der Leiter am Umfang des Rohres nicht immer einen sicheren Kontakt mit dem Rohr hergestellt hat. Es sind verschiedene Versuche unternommen worden, um diese Nachteile zu beseitigen. Trotz solcher Versuche haben derartige Nachteile weitehin bestanden.

Kurzbeschreibung der Erfindung

Die Erfindung schafft eine Vorrichtung nach Anspruch 1, welche die Nachteile überwindet, die in dem vorangehenden Absatz diskutiert wur den. Bei einer Ausführungsform der Erfindung sind eine Anode und eine Kathode in einem Laser in einer ersten Richtung beabstandet. Eine Spannungsdifferenz zwischen der Anode und der Kathode erzeugt eine elektrische Entladung, die Gase in dem Laser ionisiert, so daß sie chemisch reagieren und kohärente Strahlung erzeugen. Ein erstes und ein zweites Rohr, die aus dielektrischern Material hergestellt sind, sind in dem Laser in einer zweiten Richtung quer (vorzugsweise senkrecht) zur ersten Richtung beabstandet. Die Anode, die Kathode und die Rohre erstrecken sich durch den Laser in einer Richtung quer (vorzugsweise senkrecht) zu der ersten und der zweiten Richtung. Die Rohre sind vorzugsweise eine mindestens 99,9% reine polykristalline Muminiumoxidkeramik mit Spuren von anderen Metallelementen als Aluminium.
Buchsen, die aus einem Material hergestellt sind, das gleichartig wie (vorzugsweise identisch mit) dem Rohrrnaterial ist, sind einstückig mit dem Rohr an Positionen in der Nähe der entgegengesetzten Rohrenden ist. Durch die Rohre erstrecken sich erste elektrische Leiter. Zweite elektrische Leiter (die vorzugsweise elastisch sind) kontaktieren die äußeren Oberflächen der Rohre, um Kondensatoren mit den ersten Leitern und dem Rohrmaterial festzulegen. Die zweiten Leiter stellen vorzugsweise einen Linienkontakt mit den äußeren Rohroberflächen her. Elektrische Leiter stehen beweglich mit den Rohraußenflächen in der Nähe der Rohrenden in Eingriff, so daß sie mit den elastischen Bauelementen zusammenwirken, die Drei-(3)-Linien-Kontakte mit den Rohren herstellen, um die Rohre genau in dem Hohlraum anzuordnen.
Wenn ein Spannungsimpuls zwischen dem ersten Leiter innerhalb jedes Rohres und dem zweiten Leiter außerhalb eines derartigen Rohres angelegt wird, erzeugt die resultierende Koronaentladung von der Außenfläche eines derartigen Rohres ultraviolettes Licht, das die Gase in dem Hohlraum vorionisiert. Dies erleichtert die lonisierung der Gase in dem Hohlraum, wenn eine elektrische Entladung zwischen der Anode und der Kathode erzeugt wird.

Kurzbeschreibung der Figuren

Fig. 1 ist eine schematische Endaufrißzeichnung eines Bauelements in einem Laser, der einen Vorionisator umfaßt, der eine Ausführungsform der Erfindung bildet,
Fig. 2 ist ein vergrößerter bruchstückhafter Endaufriß (in Explosionsform) von bestimmten Bauelementen bei dem in Fig. 1 gezeigten Vorionisator,
Fig. 3 ist ein vergrößerter bruchstückhafter Endaufriß von bestimmten der in Fig. 2 gezeigten Bauelemente und zeigt diese Bauelemente in einem zusammengebauten Zusammenhang,
Fig. 4 ist ein Seitenaufriß eines Rohres und von Buchsen, die in dem in den Fig. 1-3 gezeigten Vorionisator eingeschlossen sind, und
Fig. 5 ist eine vergrößerte bruchstückhafte Schnittansicht des Rohres und der Buchse, die in Fig. 4 gezeigt sind, und ist im wesentlichen auf der Linie 5-5 von Fig. 4 genommen.

Detaillierte Beschreibung

Bei einer Ausführungsform der Erfindung ist ein Laser, der bei 10 gezeigt ist, innerhalb eines Hohlraums angeordnet, der in gestrichelten Linien bei 12 in Fig. 1 gezeigt ist. Der Laser 10 umfaßt eine Anode 14 und eine Kathode 16, die in dem Hohlraum 12 angeordnet sind, und die voneinander in einer ersten Richtung getrennt sind. Die Anode 14 kann elektrisch geerdet sein. Elektrisch leitende Bauelemente 17 schaffen eine elektrische Fortsetzung von der Kathode 16 zu einem elektrisch leitenden Block 21. In dem Hohlraum befinden sich Gase. Bei einem Typ von System können die Gase Krypton (Kr) und Fluor (F&sub2;) sein. Alternativ können andere Gase verwendet werden. Die Gase sind schematisch bei 18 durch Punkte innerhalb des Hohlraums 12 gezeigt. Die Gase 18 können wieder in den Kreislauf zurückgeführt werden und können während einer derartigen Rückführung gereinigt werden.
Wenn ein Spannungsimpuls von einer Quelle 19 zwischen der Anode 14 und der Kathode 16 angelegt wird (vorzugsweise mit der Hochspannung an der Kathode), wird zwischen der Anode und der Kathode eine elektrische Entladung erzeugt. Diese elektrische Entladung ionisiert die Gase 18 in dem Hohlraum 12 und bewirkt, daß eine chemische Reaktion zwischen den Gasen erzeugt wird. Beispielsweise reagieren Krypton (Kr) und Fluor (F2) in dem Hohlraum 12 chemisch, so daß Kryptonfluorid (KrF) erzeugt wird. Wenn diese chemische Reaktion auftritt, wird Energie, wie in der Form von Licht mit einer besonderen Wellenlänge, in dem Hohlraum 12 erzeugt. Die kohärente Energie wird mit hoher Intensität und in einem schmalen Strahl erzeugt. Er ist aus dem Hohlraum durch ein Fenster (nicht gezeigt) gerichtet.
Vorionisatoren, die allgemein bei 20 gezeigt sind, können in dem Hohlraum 12 angeordnet sein, um die lonisierung der Gase 18 zu erleichtern, indem ultraviolettes Licht, das von einer Koronaentladung erzeugt wird, in die Gase eingeleitet wird, gerade bevor jeder Spannungsimpuls zwischen der Anode 14 und der Kathode 16 angelegt wird. Die Richtung der von der Koronaentladung emittierten Strahlung ist schematisch in Fig. 1 durch Wellenlinien 23 mit Pfeilen an den oberen Enden der Linien gezeigt, um die Richtung der Strahlung anzuzeigen.
Die Vorionisatoren 20 können zwischen den Elektroden 14 und 16 angeordnet sein und können voneinander in einer zweiten Richtung quer (vorzugsweise senkrecht) zur ersten Richtung getrennt sein. Die Vorionisatoren 20 erstrecken sich in dem Hohlraum 12 in einer dritten Richtung quer (vorzugsweise senkrecht) zu der ersten und der zweiten Richtung. Die Elektroden 14 und 16 erstrecken sich auch in dem Hohlraum in der dritten Richtung. Diese dritte Richtung kann so betrachtet werden, daß sie in der Papierebene in Fig. 1 liegt und in der Fig. 4 gezeigten Richtung liegt.
Jeder der Vorionisatoren 20 umfaßt ein hohles Rohr 22, das aus einem geeigneten Material hergestellt ist, das eine hohe Dielektrizitätskonstante und eine hohe dielektrische Festigkeit liefert. Die Rohre 20 sind vorzugsweise aus einem Keramikniaterial hergestellt, wie dasjenige, das von der General Elektric Cornpany unter dem Handelsnamen "Lucalox" hergestellt und verkauft wird. Dieses Material bildet ein polykristallines durchsichtiges Aluminiumoxid mit einer 99,9 %-igen Reinheit und mit Spuren der folgenden Metallelernente (andere als Aluminium) in näherungsweise der folgenden Anzahl Teile pro Million:
Dieses Material verhindert, daß irgendeine Koronaentladung an den Außenflächen der Rohre 22 in die Rohre eintritt.
"Lucalox"-Keramik ist im wesentlichen ein Einphasenmaterial, das hergestellt wird, indem Aluminiumoxidkörner (Korngröße = 30 Mikrons im Durchschnitt) direkt miteinander verbunden werden. Das feinkörnige, hochreine Aluminiumoxid wird bei Raumtemperatur verarbeitet und dann bei Temperaturen gebrannt, die höher als für Keramiken üblich sind. Die resultierende glasfreie Struktur liefert eine hohe Dichte (mindestens 3,97 gm/cm³) und eine hohe Temperaturstabilität (Schmelzpunkt = 2040ºC), die bei den meisten herkömmlichen Keramiken nicht gefunden werden.
Mechanisch ist die "Lucalox"-Keramik sehr hart und zeigt eine hohe Druckfestigkeit (2,24 × 10&sup9; Pa) und einen hohen Bruchmodul (2,75 × 10&sup8; Pa). Es ist in der Lage, bis zu 25000 psi bei 1800ºC bei einachsigern Druck standzuhalten. Elektrische zeigt die "Lucalox"-Keramik eine hohe dielektrische Festigkeit (1700 Volt/mil) (1 mil = 25,4 um), eine hohe Dielektrizitätskonstante (10,1 bei 1 Gigahertz), eine niedrige Dissipation (7,5 × 10&supmin;&sup4; und einen niedrigeren Verlustfaktor (7,6 × 10&supmin;³). All diese elektrischen Eigenschaften gelten bei 20ºC bei einer Dicke von 0,020" (1 Inch = 2,54 cm). Das Material transmittiert Wellenlängen aus dem nahen ultravioletten Spektrum durch das sichtbare Spektrum und in das infrarote Spektrum hinein.
An den Rohren 22 nahe bei den entgegengesetzten Enden der Rohre sind Buchsen 24 (Fig. 4 und 5) angeordnet. Das Material der Buchsen 24 ist vorzugsweise gleichartig wie das Material der Rohre 22. Insbesondere bevorzugt ist das Material der Buchsen 24 identisch mit dem Material der Rohre 22. Wenn die Buchsen 24 und die Rohre 22 aus der "Lucalox"- Keramik hergestellt sind, sind die Buchsen 24 und die Rohre 22 vorzugsweise hergestellt, indem sie aus einem einzigen integralen Materialstück bearbeitet sind. Dies beseitigt die Notwendigkeit für irgendein Haftmittel zwischen den Buchsen 24 und den Rohren 22 und liefert die Kombination aus den Buchsen und den Rohren mit den gleichen hohen dielektrischen Eigenschaften, wie sie das Material der Buchsen und der Rohre individuell aufweisen, wenn die Buchsen und die Rohre getrennt sind. Die Buchsen 24 und die Rohre 22 können auch aus mehreren Teilen in einem Formungs- und Brennvorgang hergestellt sein, bei dem die resultierende Kombination aus einem Rohr und Buchsen eine gleichartige monolithische Struktur ohne Grenzen und ohne Abdichtungskomponente wird, wie durch Festkörperdiffusionsbonden.
Ein elektrischer Leiter 30 ist in jedem der Rohre 22 entlang der Länge des Rohres angeordnet. Der elektrische Leiter 30 ist vorzugsweise an einem Gehäuse 31 (Fig. 4) lür den Laser 10 angebracht, um den elektrischen Leiter elektrisch zu erden. Ein elektrischer Leiter 32 ist an der Oberfläche des Rohres 22 in einem Linienkontakt mit der Außenfläche von jedem der Rohre 22 entlang der Länge des Rohres angeordnet. Der elektrische Leiter 32 kann die Form einer elastischen Feder aufweisen, die derart eingespannt ist, daß sie mit einer mäßigen Kraft auf der Oberfläche des zugehörigen Rohres 22 angeordnet ist. Der elektrische Leiter 32 erstreckt sich zwischen den Buchsen an den Rohren, wie es in Fig. 4 gezeigt ist. Der elektrische Leiter 32 kann aus einem geeigneten Material, wie Messing, hergestellt sein.
Die Positionierelemente 36 kontaktieren die Außenflächen der Rohre 22, wie bei 38 und 39, an den Enden der Rohre bei zwei beabstandeten Linien-Positionen um die Umfänge der Rohre herum. Die Positionierelemente 36 arbeiten mit den elektrischen Leitern 32 zusammen, um einen Drei-(3)- Linien-Kontakt mit den dazugehörigen Rohren 22 um die Umfänge der Rohre herum herzustellen. Die Positionierelemente 36 können vorzugsweise aus einem geeigneten Material, wie Messing, hergestellt sein. Alternativ können die Positionierelemente 36 aus einem elektrisch isolierenden Material hergestellt sein.
Die Positionierelemente 36 sind mit Schlitzen 40 versehen, die in Stiften 42 in dem Block 21 ruhen, wenn die Positionierelemente richtig in Kontakt mit den Rohren 22 angeordnet sind. Die Stifte 42 halten auch die elektrischen Leiter 32 in einer fixierten Position, so daß die Leiter die Außenflächen der Rohre 22 kontaktieren können. Dies stellt sicher, daß gleichmäßige Kräfte auf die Rohre 22 durch die 3-Linien-Kontakte hergestellt werden, die durch die Leiter 32 und die Positionierelemente 36 festgelegt sind. Die Positionierelemente 36 sind vorzugsweise in beabstandeten Positionen zwischen den Buchsen 24 angeordnet. Jedoch können sie sich entlang der vollen Entfernung zwischen den Buchsen 24 erstrecken. Die Leiter 32 und die Positionierelemente 36 empfangen vorzugsweise die gleiche Hochspannung, wie sie an der Kathode 16 geliefert wird.
Die elektrischen Leiter 30 legen erste Kondensatorplatten fest, und die elektrischen Leiter 32 und das Positionierelement 36 legen gegenüberliegende Kondensatorplatten fest. Die Rohre 22 dienen als das dielektrische Material zwischen den Platten der Kondensatoren. Eine Hochspannung wird vorzugsweise an die elektrischen Leiter 32 und die Positionierelemente 36 angelegt, und die elektrischen Leiter 30 sind geerdet. Das dielektrische Material des Rohres 22 weist derartige Eigenschaften auf, daß es eine kapazitive Koronaentladung ohne dielektrischen Durchbruch unterstützt.
Wenn ein Spannungsimpuls von der Quelle 19 zwischen den elektrischen Leitern 30 als eine Kondensatorplatte und den elektrischen Leitern 32 und dem Positionierelement 36 als eine zweite Kondensatorplatte angelegt wird, bewirken die elektrischen Ladungen, die in derartigen Kondensatoren erzeugt werden, daß Koronaentladungen (die durch die Wellenlinien 23 in Fig. 1 gezeigt sind) von den Oberflächen der Rohre erzeugt werden. Diese Koronaentladungen emittieren Strahlung, die sich durch den Raum bewegt, wo sich die Gase 18 befinden. Die Strahlungen vorionisieren die Gase 18 in dem Raum zwischen den Anoden 14 und der Kathode 16, so daß die lonisierung der Gase erleichtert wird, wenn ein Spannungsimpuls zwischen der Anode 14 und der Kathode 16 erzeugt wird.
Wie es in Fig. 4 gezeigt ist, sind die elektrischen Leiter 32 auf einer Seite der Buchsen 24 angeordnet, und die Erde der elektrischen Leiter 30 zu dem Gehäuse 31 ist auf der anderen Seite der Buchsen angeordnet. Die Buchsen 24 wirken entsprechend, indem sie die Entfernung zwischen der angelegten Hochspannung zu Erde von den elektrischen Leitern 32 und den Positionierelernenten 36 beträchtlich verlängern. Dies verhindert jegliche elektrische Entladung zu Erde von den elektrischen Leitern 32 und den Positionierelernenten 36. Der einstückige Zusammenhang zwischen den Rohren 22 und den Buchsen 24 erleichtert diese elektrische Isolierung. Dies steht in Kontrast mit dem Stand der Technik, weil es im Stand der Technik die Tendenz gab, daß eine elektrische Entladung durch das Haftmittel zwischen den Rohren und den Buchsen stattfand, insbesondere während sich das Haftmittel zersetzte.
Die Vorionisatoren 20, die diese Erfindung bilden, haben bestimmte wichtige Vorteile. Weil die Rohre 22 und die Buchsen 24 gleichartig und einstückig sind, sind die Rohre und die Buchsen in der Lage, größeren Spannungen als im Stand der Technik standzuhalten. Dieser einstückige Zusammenhang verhindert auch, daß die Gase in dem Laser durch irgendwelches Haftmittel zwischen den Rohren und den Buchsen verunreinigt wird, wie im Stand der Technik. Außerdem stellt die Verwendung von elastischen Elementen als die elektrischen Leiter 32 sicher, daß richtige Kontakte zwischen den elektrischen Leitern und den Rohren 22 hergestellt werden. Die Zusammenwirkung der elastischen elektrischen Leiter 32 und der Positionierelemente 36 beim Herstellen von Drei-(3)-Linien-Kontakten mit den Rohren 22 stellt sicher, daß die Rohre ohne irgendeine ungüristige Kraft auf die Rohre richtig angeordnet und in dieser richtigen Position gehalten werden. Die Bewegung der Positionierelernente 36 in die Position, um den gewünschten Drei-(3)-Punkt-Kontakt mit den Rohren 22 in Zusammenwirkung mit den elastischen elektrischen Leitern 32 herzustellen, ist auch durch die sperrende Zusammenwirkung zwischen den Schlitzen 40 und den Stiften 42 sichergestellt.
Obwohl diese Erfindung in bezug auf besondere Ausführungsformen offenbart und veranschaulicht worden ist, sind die enthaltenen Prinzipien lür eine Verwendung in zahlreichen anderen Ausfü]ngsformen zugänglich, die Fachleuten ersichtlich sein werden. Die Erfindung ist deshalb nur begrenzt, wie dies durch den Schutzbereich der beigefügten Ansprüche angezeigt ist.

Claims

1.Vorrichtung zum Emittieren einer kapazitiven Koronaentladung in einem Laser von dem Typ, der einen Laserhohiraum (12), eine Anode (14), die in dem Hohlraum (12) angeordnet ist, eine Kathode (16), die in dem Hohlraum (12) angeordnet ist, und Gase (18) in dem Hohlraum (12) zur Ionisation und chemischen Reaktion aufweist, wobei die Vorrichtung umfaßt:

ein Rohr (22), das aus einem dielektrischen Material hergestellt ist und geeignete Eigenschaften aufweist, um die kapazitive Koronaentladung ohne dielektrischen Durchschlag zu unterstützen, wobei das Rohr (22) relativ zu dem Hohlraum (12) so angeordnet ist, daß es eine Strahlung (21), die durch die Koronaentladung emittiert wird, in den Hohlraum (12) einleitet, um die Gase (18) in dem Laserhohlraum (12) zu ionisieren;

einen ersten elektrischen Leiter (30), der in dem Rohr (22) angeordnet ist und sich entlang der Länge des Rohres (22) erstreckt, um eine erste Platte eines Kondensators festzulegen, wobei das Rohr (22) als das Dielektrikum des Kondensators dient;

einen zweiten elektrischen Leiter (32), der als die zweite Platte des Kondensators dient;

eine Spannungsquelle (19), um eine Spannung zwischen dem ersten elektrischer Leiter (30) und dem zweiten elektrischen Leiter (32) einzuführen und somit durch Koronaentladung von der Außenfläche des Rohres (22) Strahlung (21) zu erzeugen;

dadurch gekennzeichnet,

daß der zweite elektrische Leiter ein elastisches Element (32) ist, das aus einem elektrisch leitenden Material hergestellt und außerhalb von dem Rohr (22) angeordnet ist und mit dem Rohr (22) in Eingriff steht, um einen Linienkontakt mit dem Rohr (22) zu schaffen; und

daß ein Trägerelement (36) entlang der Länge des Rohres (22) angeordnet ist, um mit dem elastischen Element (32) zusammenzuarbeiten und somit eine Unterstützung für das Rohr (22) vorzusehen und das Rohr (22) in einer festgelegten Position in Eingriff mit dem elastischen Element (32) zu halten.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Trägerelement (36) so geformt ist, daß es am Umfang des Rohres (22) Kontakte aufweist, um eüne genaue Positionierung des Rohres (22) in Zusammenarbeit mit dem Linienkontakt vorzusehen, der von dem elastischen Bauelement (32) geschaffen wird.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Trägerelement (36) und das elastische Element (32) einen Drei-Linien-Kontakt mit dem Rohr (22) herstellen, um das Rohr (22) in einer besonderen Beziehung zur Anode (14) und zur Kathode (16) zu positionieren.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das elastische Element (32) auf einer Spannung liegt, die sich von der Spannung an dem ersten elektrischen Leiter (30) unterscheidet.

5. Vorrichtung nach Anspruch 1, die ferner zwei dielektrische Elemente (24) umfaßt, die an dem Rohr (22) nahe bei den Enden des Rohres (22) angeordnet und integral mit dem Rohr (22) sind und Eigenschaften aufweisen, die mit jenen des Rohres (22) gleichartig sind.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die beiden dielektrischen Elemente aus dem gleichen Material wie das Rohr (22) hergestellt sind.

7. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das dielektrische Material des Rohres (22) eine polykristaline Aluminiumoxidkeramik mit Spuren von anderen Metallelementen als Aluminium ist, wobei das Aluminiumoxid eine Reinheit in dem dielektrischen Material aufweist, die größer als neunundneunzig Prozent (99 %) ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 1, ferner umfassend:

ein zweites Rohr (22), das aus dem gleichen Material wie das erste Rohr (22) hergestellt und in einer ersten Richtung von dem ersten Rohr (22) beabstandet ist, wobei das zweite Rohr (22) relativ zu dem Hohlraum (12) so angeordnet ist, daß es Strahlung (23), die durch Koronaentladung emittiert wird, in den Hohlraum (12) einleitet;

einen zweiten elektrischen Leiter (30), der in dem zweiten Rohr (22) angeordnet ist und sich entlang der Länge des zweiten Rohres (22) erstreckt, um eine erste Platte eines zweiten Kondensators festzulegen, wobei das Rohr (22) als das Dielektrikum des zweiten Kondensators dient;

ein zweites elastisches Element (32), das aus einem elektrisch leitenden Material hergestellt und außerhalb des zweiten Rohres (22) angeordnet ist und mit dem zweiten Rohr (22) in Eingriff steht, um einen Linienkontakt mit dem zweiten Rohr (22) vorzusehen und eine zweite Platte des zweiten Kondensators festzulegen; und

ein zweites Trägerelement (36), das entlang der Länge des zweiten Rohres (22) angeordnet ist, um mit dem zweiten elastischen Element (32) zusammenzuarbeiten und somit eine Unterstützung für das zweite Rohr (22) vorzusehen und das zweite Rohr (22) in einer festgelegten Position in Eingriff mit dem zweiten elastischen Element (32) zu halten, wobei die Spannungsquelle (19) eine Spannung zwischen dem zweiten elektrischen Leiter (30) und dem zweiten elastischen Bauelement (32) einführt, um durch Koronaentladung von der Außenfläche des zweiten Rohres (22) Strahlung (23) zu erzeugen, und wobei das erste Rohr (22) und das zweite Rohr (22) voneinander in einer zweiten Richtung quer zur ersten Richtung beabstandet sind.