JPH08502145A

JPH08502145A - レーザー用のプレ・イオン化装置

Info

Publication number: JPH08502145A
Application number: JP6510089A
Authority: JP
Inventors: ラーソン，ドナルド，ジー
Original assignee: サイマーレーザーテクノロジーズ
Priority date: 1992-10-09
Filing date: 1993-10-05
Publication date: 1996-03-05
Anticipated expiration: 2014-11-22
Also published as: CA2146641A1; WO1994009536A1; SG48818A1; HK1004931A1; EP0664057B1; US5337330A; EP0664057A1; JP2980985B2; DE69318417T2; CA2146641C; DE69318417D1

Abstract

(57)【要約】レーザ（１０）のアノード（１４）及びカソード（１６）を第１の方向に離隔して配置する。これらの部材間の電位差によって放電が生じ、レーザ（１０）内の気体（１８）をイオン化し、化学的に反応させるとともに、コヒレーント放射を発生させる。誘電体材料からなる第１及び第２チューブ（２２）を、前記第１の方向と交差（好ましくは、直交）する第２の方向に、レーザ（１０）内に離隔して配置する。アノード（１４）、カソード（１６）及びチューブ（２２）は、前記第１及び第２の方向と交差（好ましくは、直交）する方向に、レーザ（１０）内を延在する。チューブ（２２）は、アルミニウム以外の金属元素のこん跡量を有する少なくとも純度が９９．９パーセントの多結晶酸化アルミニウムセラミックとすることが好ましい。前記チューブ材料と同質（好ましくは、同一）の材料からなるブッシュ（２４）を、前記チューブの対向する端部付近で前記チューブ（２２）と一体化する。第１導体（３０）は、前記チューブ（２２）内を延在する。第２導体（３２）は、前記チューブの外面と（好ましくは、弾性）接触（好ましくは、線接触）し、前記第１導体（３０）及び前記チューブ材料とともにコンデンサを形成する。位置決め部材（３６）は、前記弾性部材と関連して動作し、前記チューブ端部付近で前記チューブの外面と移動可能な状態で係合し、前記チューブ（２２）と３つの線接触を構成し、前記チューブ（２２）を前記キャビティ（１２）内に正確に位置決めする。電圧パルスが、各チューブ（２２）内の第１導体（３０）と、チューブ（２２）条の導体（３２）との間に印可されると、その結果生じるチューブの外面からのコロナ放電によって、紫外線光が発生し、キャビティ（１２）内の気体（１８）をプレ・イオン化する。このことによって、アノード（１４）とカソード（１６）との間に放電が発生した際に、キャビティ（１２）内の気体（１８）のイオン化を容易にすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】レーザ用のプレ・イオン化装置技術分野本発明は、放電パルスをレーザシステムに供給することによって、レーザシステム内の気体をプレ・イオン化（pre-ionize）し、このような気体のイオン化を容易にするための装置に関するものである。特に、本発明は、従来の装置よりも更に精度が高く信頼性の高いプレ・イオン化装置を提供する。発明の背景レーザは、いろいろな用途に使用される。例えば、レーザは、眼の破れた若しくは剥離した網膜の治療、又は動脈からのプラクの除去などの種々の医療目的にも使用される。また、レーザは、半導体の製造にも使用され、半導体層の表面に電気回路のパターンを作るとともに、半導体の正確な位置に穴をあけるのにも使用される。レーザは、狭い波長帯域に高強度のコヒーレント放射を出力するので、これらの用途及び他の用途において有利である。一般的に、レーザシステムは、レーザ内の気体をプレ・イオン化し、レーザのアノードとカソードとの間に放電が生じた際に、キャビティ内の気体のイオン化及び化学反応を容易にするためのサブ・システムを備えている。プレ・イオン化装置は、コロナ放電をキャビティ内の気体に放出するためのチューブを少なくとも一つ備えている。コロナ放電は、チューブ内の導体とチューブ外の少なくとも一つの導体との間に電圧パルスが好適に供給された場合に発生する。ブッシュをチューブの端部付近に配置し、チューブの絶縁状態を保持する。チューブをレーザ内の適切な位置に配置するために、部材をチューブに対して配置する。しかしながら、プレ・イオン化装置の使用には、種々の固有の欠点を有していた。第一の欠点は、ブッシュがチューブと同質なものでなかった。このため、接着剤を使用するなどしてブッシュをチューブに取り付けなければならなった。このため、長期に渡り、プレ・イオン化装置の用途が制限されていた。その理由は、接着剤がコロナ放電の作用によって劣化し易いからである。この接着剤の劣化によって、レーザ内の気体が適切に作用しなくなり、更に頻繁に気体を交換しなければならなくなる。また、この接着剤は、コンデンサの極板間の誘電体としてのチューブを有しているコンデンサの極板間に供給される電圧を制限することにもなる。他の欠点は、チューブを正確にキャビティ内に位置決めできなかったということである。更に他の欠点は、チューブの周囲の導体が必ずしも確実にチューブと接触していなかったということである。これらの欠点を解消するために種々の試みがなされた。このような試みにもかかわらず、依然として上記のような欠点が残っていた。本発明の概要本発明は、前段落にて説明した欠点を克服するための一例を提供するものである。本発明の一例では、レーザ内のアノードとカソードとが第１の方向に離隔している。アノードとカソードの間の電位差によって放電が生じ、レーザ内の気体をイオン化し、化学反応し、コヒーレント放射を出力する。誘電体材料からなる第１及び第２チューブを、第１の方向と交差（好ましくは直交）する第２の方向に離隔して配置する。レーザ内において、アノード、カソード及びチューブは、第１及び第２の方向と交差（好ましくは直交）する方向に延在しているチューブを、アルミニウム以外の他の金属元素のこん跡量を有する少なくとも９９．９パーセントの純度の多結晶酸化アルミニウムセラミックとすることが好ましい。チューブ材料と均質（好ましくは同一）な材料からなるブッシュを、チューブの両端付近の位置でチューブと一体化する。第１導体はチューブ内を延在している。第２導体（好ましくは弾性体）は、チューブの外面と接触し、第１導体及びチューブ材料と共にコンデンサを形成する。第２導体は、チューブの外面と線接触することが好ましい。導体は、チューブ端部付近でチューブ外面と移動可能な状態で係合して、弾性部材と関連して動作し、チューブとの間に３つの線接触を形成し、チューブをキャビティ内に正確に位置決めする。各チューブ内の第１導体と当該チューブ外の第２導体との間に、電圧パルスが供給されると、結果的にこのようなチューブの外面からコロナ放電が生じることによって紫外線光が発生し、キャビティ内の気体をプレ・イオン化する。このことによって、アノードとカソードとの間に放電が生じた際の、キャビティ内の気体のイオン化を容易にすることができる。図面の簡単な説明図１は、本発明の一実施例であるプレ・イオン化装置を備えるレーザの構成部材を示す略端面図であり、図２は、図１に示すプレ・イオン化装置の所定の構成部材を（分解した状態で）示す拡大部分断面図であり、図３は、図２に示す構成部材の一部の拡大部分断面図であり、これらの構成部材の組み立てられた関係を示し、図４は、図１〜３に示すプレ・イオン化装置に設けられているチューブ及びブッシュの側断面図であり、図５は、図４のライン５−５におけるチューブ及びブッシュの拡大部分断面図である。本発明の詳細な説明図１に示す本発明の一実施例においては、参照番号１０にて示されるレーザ装置を、参照番号１２の破線で示されるキャビティ（空洞：cavity）内に配置する。レーザ１０は、前記キャビティ１２内にアノード１４とカソード１６とを備えている。アノード１４とカソード１６とは、互いに第１の方向に離隔している。アノード１４を電気的に接地することもできる。導電性部材１７を設け、カソード１６を導電性ブロック２１に電気的に接続している。気体を前記キャビティ内に入れる。ある種のシステムでは、この気体をクリプトン（Ｋｒ）及びフッ素（Ｆ₂）とすることができる。これらの代わりに、他の気体を使用することもできる。気体は、参照番号１８を用いて、キャビティ１２内のドットで略式的に示される。気体１８を、再び循環させ、そして、当該循環の間に浄化させることもできる。電圧パルスが電源１９からアノード１４とカソード１６との間に供給されると（カソードを高電圧にすることが好ましい。）、アノードとカソードとの間に放電現象が生じる。この放電によってキャビティ１２内の気体１８をイオン化し、気体間の化学反応を起こさせる。例えば、クリプトン（Ｋｒ）とフッ素（Ｆ₂）とがキャビティ１２内で化学的に反応し、フッ化クリプトン（ＫｒＦ）を生成する。この化学的な反応が発生すると、光としてのエネルギーが、キャビティ１２内に所定の波長で生成される。コヒーレントなエネルギーが、高強度の細いビームとして生成される。当該ビームは、キャビティから窓（図示せず）を介して供給される。参照番号２０にて示されるプレ・イオン化装置をキャビティ１２内に配置し、気体１８のイオン化を容易にすることができる。これは、各電圧パルスがアノード１４とカソード１６との間に供給される直前にコロナ放電によって生じる紫外線光を気体に照射することによって行われる。コロナ放電によって放出される放射方向を、図１の波線２３にて略図的に示す。なお、当該波線の上端部の矢印は、放射方向を示している。プレ・イオン化装置２０を、電極１４と電極１６との間に配置し、互いに第１の方向と交差する（好ましくは、直交する）第２の方向に離隔することができる。プレ・イオン化装置２０は、キャビティ１２内に前記第１及び第２の方向と交差する（好ましくは、直交する）第３の方向に延在する。電極１４及び１６も、キャビティ内に第３の方向に延在する。当該第３の方向は、図１の紙面に入り込んでいると考えられ、図４に示される方向である。各プレ・イオン化装置２０は、高い誘電率及び大きな絶縁耐力を有する好適な材料からなる中空のチューブ２２を備えている。チューブ２０は、商標「ルカロックス（Lucalox）」でジェネラル・エレクトリック・カンパニー（General Ele ctric Company）により製造販売されているセラミック材料から作られることが好ましい。この材料は、９９．９パーセントの純度を有し、ほぼ以下の１００万分率で（アルミニウム以外の）以下の金属元素のこん跡量を有する多結晶半透明酸化アルミニウムを構成する。金属元素１００万分率シリコン（Si）５０鉄（Fe）４カルシウム（Ca）７マグネシウム（Mg）１８０カリウム（K）５０ナトリウム（Na）８０リチウム（Li）＜１モリブデン（Mo）１０クロム（Cr）２銅（Cu）４当該材料は、チューブ２２の外面におけるコロナ放電が当該チューブ内に入ることを防ぐことができる。「ルカロックス」セラミックは本質的には、（粒子サイズが、平均３０ミクロンの）酸化アルミニウム粒子を直接互いに接着することによって製造される単相材料である。微細粒子である高純度酸化アルミニウムは室温で処理され、その後、セラミックにおいて一般的な温度よりも高い温度で焼成される。最終的に構成されるガラス遊離構造によって、多くの慣用のセラミックにおいて実現することのできない、高密度（少なくとも３．９７ｇｍ／ｃｍ³）及び高い温度安定性（融点が２０４０℃）を実現することができる。機械的には、「ルカロックス」セラミックは、極めて硬く、高い圧縮力（２．２４×１０⁹Ｐａ）及び高い曲け強度（２．７５×１０⁸Ｐａ）を呈する。一軸方向における圧縮の場合、１８００℃で２５，０００ポンド／平方インチ絶対圧力まで耐えることができる。電気的には、「ルカロックス」セラミックは、大きな絶縁耐力（１７００ボルト／ミル）、高い誘電率（１ギガヘルツにおいて１０．１）、低損失（７．５×１０^-4）及び低い損失率（７．６×１０^-3）を呈する。これらの電気的特性はすべて、厚さ０．０２０”、２０℃におけるものである。この材料は、近紫外スペクトルから可視スペクトルを介して赤外スペクトルまでの波長を伝達する。ブッシュ２４（図４及び５）は、チューブ２２の対向する端部付近に配置される。ブッシュ２４の材料は、チューブ２２の材料と同質であることが好ましい。また、ブッシュ２４の材料は、チューブ２２の材料と同一であることが更に好ましい。ブッシュ２４及びチューブ２２を「ルカロックス」セラミックから作る場合には、ブッシュ２４及びチューブ２２は、一つの一体的な部材を加工することによって作ることが好ましい。このことによって、ブッシュ２４とチューブ２２との間を接着する必要がなくなる。また、ブッシュ及びチューブを別個に構成した場合にはブッシュ及びチューブの誘電特性はそれぞれ固有のものであるが、一体的に加工することによって、同一の高い誘電特性（高い誘電率及び大きな絶縁耐力）を有するブッシュ及びチューブの結合体を提供することができる。チューブとブッシュとの最終的な結合体が、固相拡散結合によってシール成分を用いずに境界のない、一つの一様なモノリシック構造となる形成焼成動作の場合には、複数のパーツからブッシュ２４及びチューブ２２を製造することもできる。導体３０を、チューブ２２の長手方向に沿って、各チューブ２２内に配置する。導体３０を、レーザ１０のハウジング３１（図４）に取り付け、導体を電気的にアースすることが好ましい。導体３２は、チューブ２２の表面に配置され、チューブの長手方向に沿って、各チューブ２２の外面と線接触している。導体３２を固定された弾性バネとし、適切な力で関連するチューブ２２の表面に対向して配置することもできる。図４に示すように、導体３２は、ブッシュ間のチューブ上に延在している。導体３２を、しんちゅう等の好適な材料とすることもできる。位置決め部材３６は、チューブの円周回りの一対の離隔した位置であるチューブの端部３８及び３９で、チューブ２２の外面と線接触している。位置決め部材３６と導体３２とは関連して動作し、チューブの円周回りにおいて、関連するチューブと３箇所で線接触している。位置決め部材３６を、しんちゅう等の好適な材料から作ることが好ましい。しんちゅうの代わりに、位置決め部材３６を、電気絶縁材料から作ることもできる。位置決め部材３６は溝４０を備え、当該位置決め部材３６が適切に位置決めされチューブ２２と接触した際に、前記溝４０がブロック２１のピン４２に留まるように構成されている。ピン４２も、導体３２を固定された位置に保持し、導体がチューブ２２の外面と接触できるようにしている。このようにして、３つの線接触によって導体３２と位置決め部材３６が画定され、均一な力がチューブ２２に対して作用する。位置決め部材３６を、ブッシュ２４間の離隔した位置に配置することが好ましい。しかしながら、位置決め部材３６を、ブッシュ２４間の全長に沿って設けることもできる。導体３２及び位置決め部材３６が、カソード１６に供給される電圧と同一の高電圧を受信することが好ましい。導体３０は、コンデンサの第１極板を構成し、導体３２及び位置決め部材３６が、コンデンサの対向する（第２の）極板を構成する。チューブ２２は、コンデンサの極板間の誘電体材料として機能する。高電圧を導体３２及び位置決め部材３６に供給し、且つ導体３０を接地することが好ましい。チューブ２２の誘電体材料は、絶縁破壊を起こすことなく、容量性コロナ放電を維持できるような特性を有している。第１コンデンサ極板としての導体３０と、第２コンデンサ極板としての導体３２及び位置決め部材３６との間に電圧源１９から電圧パルスが供給されると、このようなコンデンサに生じる電荷によって、（図１の波線２３によって示される）コロナ放電がチューブの表面から発生する。これらのコロナ放電によって放射が出力され、当該放射が気体１８の存在する空間を伝わる。この放射によって、アノード１４とカソード１６との間の空間内の気体１８が予めイオン化（プレ・イオン化：pre-ionize）され、アノード１４とカソード１６との間に電圧パルスが供給された際に気体のイオン化を容易にすることができる。図４に示すように、導体３２をブッシュ２４の一方の側に配置し、導体３０のハウジング３１への接地をブッシュの他方の側に設ける。したがって、ブッシュ２４は、高電圧のかかる導体３２及び位置決め部材３６からアースまでの距離をかなり長くするように作用する。このことによって、導体３２及び位置決め部材３６からアースへの放電を防ぐことができる。チューブ２２とブッシュ２４との間の一体的な関係によって、この電気的絶縁を容易にすることができる。このことは、従来技術とは異なるものである。その理由は、従来技術においては、チューブとブッシュとの間の接着部を介して放電が生じる傾向にあったからである。このことは、接着部が劣化している場合には特に顕著であった。本発明を構成するプレ・イオン化装置は、いくつかの重要な利点を有している。チューブ２２とブッシュ２４とが同質で且つ一体的であるために、チューブ及びブッシュは、従来よりも高い電圧に耐えることができる。また、この一体的な関係によって、レーザ内の気体が、従来技術のようにチューブとブッシュとの間の接着によって作用しなくなることを防ぐことができる。更に、導体３２として弾性部材を使用することによって、導体とチューブ２２とを好適に接触させることができる。弾性導体３２と位置決め部材３６とが関連して作用し、チューブ２２とともに３つの線接触を形成することによって、不必要な力をチューブにかけることなく、チューブを適切に位置決めし、この適切な位置に保持することができる。また、弾性導体３２と関連して動作し、チューブ２２と所望の３つの線接触を形成する位置に、位置決め部材３６を移動させることは、溝４０とピン４２との間の戻り止め作用によって保証される。本発明を特定の実施例につき説明したが、本発明を当業者にとって明かな他の数々の実施例に適用することができる。したがって、本発明は、添付された請求の範囲に記載された事項のみに限定されるものではない。

───────────────────────────────────────────────────── 【要約の続き】は、線接触）し、前記第１導体（３０）及び前記チューブ材料とともにコンデンサを形成する。位置決め部材（３６）は、前記弾性部材と関連して動作し、前記チューブ端部付近で前記チューブの外面と移動可能な状態で係合し、前記チューブ（２２）と３つの線接触を構成し、前記チューブ（２２）を前記キャビティ（１２）内に正確に位置決めする。電圧パルスが、各チューブ（２２）内の第１導体（３０）と、チューブ（２２）条の導体（３２）との間に印可されると、その結果生じるチューブの外面からのコロナ放電によって、紫外線光が発生し、キャビティ（１２）内の気体（１８）をプレ・イオン化する。このことによって、アノード（１４）とカソード（１６）との間に放電が発生した際に、キャビティ（１２）内の気体（１８）のイオン化を容易にすることができる。

Claims

【特許請求の範囲】１．絶縁破壊を起こすことなく、容量性コロナ放電を維持することのできる特性を有している絶縁材料からなるチューブと、当該チューブ内に配置され、第１コンデンサ極板を形成するための手段と、前記チューブと係合してチューブ外に配置され、第２コンデンサ極板を形成するための手段と、前記チューブの端部付近に配置され、前記チューブと一体化されているブッシュと、前記第１コンデンサ極板と前記第２コンデンサ極板との間に電圧を供給し、コンデンサを充電し、前記チューブからコロナ放電を発生させるための手段と、を備えているレーザに使用される装置。２．レーザのアノードと、レーザのカソードと、前記アノードとカソードとを備えているキャビティと、当該キャビティ内の気体と、を更に備え、前記コロナ放電によって放出される放射が、アノードとカソードとの間のキャビティ内の空間に発生し、アノードとカソードとの間の放電が生じた場合にキャビティ内のイオン化を容易にできるように構成された請求項１に記載の装置。３．前記第２コンデンサ極板を形成する手段が、前記チューブの外面に対向して配置され、チューブに沿って延在する弾性素子を備え、前記チューブと線接触を形成する請求項１に記載の装置。４．前記弾性素子と関連して動作する関係に配置され、チューブの長さ方向に沿って、チューブを固定された状態に保持するための手段を更に備えている請求項３に記載の装置。５．絶縁破壊を起こすことなく、容量性コロナ放電を維持することのできる特性を有している絶縁材料からなるチューブと、当該チューブ内に配置され、当該チューブの長さに沿って延在し、コンデンサの第１極板を形成する第１導体と、前記コンデンサの誘電体としての役割を果たすチューブと、導電性材料からなり、前記チューブの外面に配置され、前記チューブのほぼ全長にわたって前記チューブと係合し、前記チューブと線接触を構成すると共に前記コンデンサの第２極板を形成する弾性素子と、前記チューブの長さに沿って配置され、前記弾性素子と関連して動作し、前記チューブの円周回りの複数の位置で前記チューブを支持し、前記チューブを前記弾性素子と係合させて特定の配置にするための手段と、前記第１導体と前記弾性素子との間に電圧を供給し、前記チューブの外面からのコロナ放電によって放出される放射を発生させるための手段と、アノードと、カソードと、当該アノードとカソードとを包囲するレーザ・キャビティを形成するための手段と、を備え、当該レーザ・キャビティ内に気体が存在し、コロナ放電によって放出される放射を前記レーザ・キャビティ内に誘導し、前記レーザ・キャビティ内の気体をイオン化できるように、前記チューブを前記レーザ・キャビティに対して配置しているレーザに使用される装置。６．絶縁破壊を起こすことなく、容量性コロナ放電を維持することのできる特性を有している絶縁材料からなるチューブと、当該チューブ内に配置され、当該チューブの長さに沿って延在し、コンデンサの第１極板を形成する第１導体と、前記コンデンサの誘電体としての役割を果たすチューブと、導電性材料からなり、前記チューブの外面に配置され、前記チューブのほぼ全長にわたって前記チューブと係合し、前記チューブと線接触を構成すると共に前記コンデンサの第２極板を形成する弾性素子と、前記チューブの長さに沿って配置され、前記弾性素子と関連して動作し、前記チューブを支持し、前記チューブを前記弾性素子と係合させて固定された位置に保持するための手段と、前記第１導体と前記弾性素子との間に電圧を供給し、前記チューブの外面からのコロナ放電によって放出される放射を発生させるための手段と、アノードと、カソードと、当該アノードとカソードとを包囲するレーザ・キャビティを形成するための手段と、を備え、当該レーザ・キャビティ内に気体が存在し、コロナ放電によって放出される放射を前記レーザ・キャビティ内に誘導し、前記レーザ・キャビティ内の気体をイオン化できるように、前記チューブを前記レーザ・キャビティに対して配置し、前記チューブの支持手段を前記チューブの円周に接触させるように構成し、前記弾性素子によって提供される線接触と関連して動作し、チューブを正確に位置決めし、前記弾性素子を導電性とするとともに、前記第１導体の電圧とは異なる電圧とするレーザに使用される装置。７．絶縁破壊を起こすことなく、容量性コロナ放電を維持することのできる特性を有している絶縁材料からなるチューブと、当該チューブ内に配置され、当該チューブの長さに沿って延在し、コンデンサの第１極板を形成する第１導体と、前記コンデンサの誘電体としての役割を果たすチューブと、導電性材料からなり、前記チューブの外面に配置され、前記チューブのほぼ全長にわたって前記チューブと係合し、前記チューブと線接触を構成すると共に前記コンデンサの第２極板を形成する弾性素子と、前記チューブの長さに沿って配置され、前記弾性素子と関連して動作し、前記チューブを支持し、前記チューブを前記弾性素子と係合させて固定された位置に保持するための手段と、前記第１導体と前記弾性素子との間に電圧を供給し、前記チューブの外面からのコロナ放電によって放出される放射を発生させるための手段と、アノードと、カソードと、当該アノードとカソードとを包囲するレーザ・キャビティを形成するための手段と、を備え、当該レーザ・キャビティ内に気体が存在し、コロナ放電によって放出される放射を前記レーザ・キャビティ内に誘導し、前記レーザ・キャビティ内の気体をイオン化できるように、前記チューブを前記レーザ・キャビティに対して配置し、一対の誘電体部材を、チューブ端部の付近に配置すると共に、チューブと一体化し、前記チューブと同質な材料から製造するレーザに使用される装置。８．前記支持部材及び前記弾性素子とともに関連して動作する位置に配置され、前記支持部材及び前記弾性素子を前記チューブに対して固定された位置に保持するための手段と、前記チューブの端部付近に前記チューブと一体的に配置され、前記チューブと同質の材料からなる一対の誘電体部材と、を備えている請求項６に記載の装置。９．誘電体材料からなり、アルミニウム以外の他の金属元素のこん跡量とともに、前記誘電体材料内で９９パーセントよりも高い純度を有する多結晶酸化アルミニウムを構成するチューブと、前記チューブ内に配置され、第１コンデンサ極板を形成する第１導体と、前記チューブの外面に配置され、第２コンデンサ極板を形成する第２導体と、前記第１極板と第２極板との間に電圧を供給し、コロナ放電が前記チューブ内を貫通せずに、チューブの表面からのコロナ放電によって放出される放射を発生させるための手段と、を備えているレーザに使用される装置。１０．前記チューブの両端付近にチューブと一体的に配置され、チューブと同質の特性を有している絶縁部材を更に備えている請求項９に記載の装置。１１．前記絶縁部材が、前記チューブの材料と同一の材料からなる請求項１０に記載の装置。１２．キャビティを形成し、レーザを保持するための手段と、前記キャビティ内のアノードと、前記アノードと離隔して配置されているキャビティ内のカソードと、前記アノードと前記カソードとの間の放電時にイオン化するための、キャビティ内の気体と、を備え、且つ前記チューブからのコロナ放電によって放出される放射が、キャビティ内に至り、当該キャビティ内の前記気体をプレ・イオン化する請求項１０に記載の装置。１３．高誘電特性を有する誘電体材料からなる第１チューブと、それぞれ前記第１チューブの誘電体材料と同質な誘電体材料からなり、前記第１チューブの各端部付近に前記第１チューブと一体的に配置された第１の一対のブッシュと、前記第１のチューブ内に配置され、第１コンデンサの第１極板を形成する第１導電手段と、前記第１チューブの外側に配置され、前記第１コンデンサの第２極板を形成する第２導電手段と、前記第１チューブと同一の材料からなり、前記第１のチューブから第１の方向に離隔した第２のチューブと、前記第１の一対のブッシュに対応し、前記第２チューブの各端部付近に前記第２チューブと一体的に配置された第２の一対のブッシユと、前記第２チューブ内に配置され、第２コンデンサの第１極板を形成する第３導電手段と、前記第２チューブの外側に配置され、前記第２コンデンサの第２極板を形成する第４導電手段と、前記レーザを保持するキャビティを形成する手段と、当該キャビティ内のアノードと、前記キャビティ内に配置され、前記アノードから第１の方向に離隔したカソードと、を備え、前記キャビティ内に、アノードとカソードとの間の放電によってイオン化された気体が存在し、前記第１及び第２チューブが、前記第１の方向と交差する第２の方向に互いに離隔し、前記第１及び第２チューブの外側円周からのコロナ放電によって放出される放射によって、前記キャビティ内の気体をプレ・イオン化できるように、キャビティ内の気体に対して配置されているレーザに使用される装置。１４．前記キャビティを形成する手段が、前記第１及び第２の方向と交差する第３の方向に延在し、且つ前記第１及び第２のチューブ、及び前記アノード、及び前記カソードが前記第３の方向に延在している請求項１３に記載の装置。１５．前記第２及び第４導電手段のそれぞれが、前記第１及び第２チューブの関連する一方と、第３の方向に線接触するように配置された弾性素子を備えている請求項１３に記載の装置。１６．前記第１チューブの対向する端部付近で当該第１チューブに配置され、前記第１チューブを固定して位置決めする際に前記第２導電手段と関連して動作するように、前記第１チューブ上の円周方向の離隔した２つの位置で当該第１チューブを係合するための手段と、前記第２チューブの対向する端部付近で当該第２チューブに配置され、前記第２チューブを固定して位置決めする際に前記第２導電手段と関連して動作するように、前記第２チューブ上の円周方向の離隔した２つの位置で当該第２チューブを係合するための手段と、を備えている請求項１３に記載の装置。１７．前記第２及び第４導電手段のそれぞれが、前記第１及び第２チューブの関連する一方と線接触するように配置された弾性素子を備え、且つ前記第１チューブの係合手段と固定された固定されて配置され、前記第１チューブの係合手段が前記第２導電手段と特定の位置関係にあるとき、当該第１チューブの係合手段を固定された位置にロックするための手段と、前記第２チューブの係合手段と固定された固定されて配置され、前記第２チューブの係合手段が前記第４導電手段と特定の位置関係にあるとき、当該第２チューブの係合手段を固定された位置にロックするための手段と、を更に備えている請求項１６に記載の装置。１８．アルミニウム以外の他の金属元素のこん跡量を有する純度９９．９パーセントの多結晶酸化アルミニウムからなる第１チューブと、アルミニウム以外の他の金属元素のこん跡量を有する純度９９．９パーセントの多結晶酸化アルミニウムからなる第２チューブと、前記第１のチューブと関連し、当該第１のチューブからコロナ放電を発生させるための手段と、前記第２のチューブと関連し、当該第２のチューブからコロナ放電を発生させるための手段と、前記レーザのキャビティを形成する手段と、当該キャビティ内のアノードと、前記キャビティ内に配置され、前記アノードから第１の方向に離隔したカソードと、を備え、前記第１及び第２電極間の放電の際にイオン化及び化学反応が起こるように前記キャビティ内に気体を設け、前記第１の方向と交差する第２の方向に前記第１及び第２チューブを互いに離隔し、前記キャビティ内にコロナ放電を発生させ、当該コロナ放電から放出される放射によって前記キャビティ内の気体のプレ・イオン化を行うとともに、前記キャビティ内の気体を化学反応させるレーザに使用される装置。１９．前記第１チューブの対向する端部付近に、前記第１チューブの外面に一体的に且つ前記第１チューブと同一の材料で形成された第１ブッシュ手段と、前記第２チューブの対向する端部付近に、前記第２チューブの外面に一体的に且つ前記第２チューブと同一の材料で形成された第２ブッシュ手段と、を備えている請求項１８に記載の装置。２０．前記第１チューブのコロナ放電手段が、前記第１チューブの外面と線接触して係合するように構成され、配置された第１導体弾性素子を備え、且つ前記第２チューブのコロナ放電手段が、前記第２チューブの外面と線接触して係合するように構成され、配置された第２導体弾性素子を備えている請求項１８に記載の装置。２１．前記第１導体弾性素子と関連し、３線接触を構成するための手段が、前記第１の弾性素子と接触し、前記第１のチューブを、前記アノード及びカソードに対して特定の位置に位置決めするための手段と、前記第２導体弾性素子と関連し、３線接触を構成するための手段が、前記第２の弾性素子と接触し、前記第２のチューブを、前記アノード及びカソードに対して特定の位置に位置決めするための手段と、を更に備えている請求項２０に記載の装置。２２．レーザのキャビティを形成するための手段と、前記レーザ内のアノードと、当該アノードから第１の方向に離隔してキャビティ内に配置されたカソードと、キャビティ内の気体と、前記アノードとカソードとを付勢し、前記アノードとカソードとの間の放電を発生させ、当該放電によって前記キャビティ内の気体のイオン化及び化学反応を起こさせるための手段と、前記キャビティ内に配置され、誘電体材料からなる第１チューブと、当該第１チューブ内に配置された第１導体と、前記第１チューブと線接触して第１チューブの外側に配置された第１弾性導電部材と、前記第１チューブ及び前記第１弾性導電部材と関連して、前記第１弾性導電部材と前記第１チューブとを係合させるための手段と、前記第１の方向とほぼ垂直な第２の方向に前記第１チューブから離隔して、前記キャビティ内に配置された前記誘電体材料からなる第２チューブと、前記第２チューブ内に配置された第２導電部材と、前記第２チューブと線接触して前記第２チューブの外側に配置された第２弾性導電部材と、前記第２チューブ及び前記第２導電部材と関連して、前記第２弾性導電部材と前記第２チューブとを係合させるための手段と、前記第１導体と前記第１弾性導電部材との間、及び前記第２導体と前記第２弾性導電部材との間に電圧を加え、前記第１及び第２チューブの外面からコロナ放電を発生させ、前記キャビティ内の気体をプレ・イオン化するための手段と、を備えている装置。２３．前記第１チューブと同質な材料からなり、前記第１チューブの端部付近に前記第１チューブの外面と一体的に形成された第１ブッシュと、当該第１ブッシュと同質な材料からなり、前記第２チューブの端部付近に前記第２チューブの外面と一体的に形成された第２ブッシユと、を備えている請求項２２に記載の装置。２４．前記第１及び第２チューブが、アルミニウム以外の他の金属元素のこん跡量を有する純度９９．９パーセントの多結晶酸化アルミニウムからなり、且つ前記第１及び第２ブッシュが、前記第１及び第２チューブと同一の材料からなる請求項２３に記載の装置。２５．前記アノード及びカソードと、前記第１及び第２チューブと、前記第１及び第２導体と、前記第１及び第２弾性導電部材と、前記第１及び第２係合手段とを、前記第１及び第２の方向とほぼ直交する第３の方向に前記キャビティ内に配置する請求項２４に記載の装置。２６．ハウジングと、当該ハウジング内に配置され、高い誘電率を有する材料からなるチューブと、当該チューブ内に配置され、前記ハウジングに接続された第１導体と、高い誘電率及び前記チューブと同質な特性を有する材料からなり、前記チューブの一方の端部付近で前記チューブの外面と一体的に形成されたブッシュと、当該ブッシュよりも前記ハウジングから離隔した位置に、前記チューブの外面に配置された第２導体と、前記ハウジングの固定された位置に、前記第２導体を保持する為の手段と、前記第１導体と第２導体との間に電位差を発生させ、前記チューブからコロナ放電を発生させるための手段と、を備えている装置。２７．前記チューブと前記ブッシュとが同一の材料からなる請求項２６に記載の装置。２８．前記第２導体が弾性部材を有し、且つ前記保持手段が前記弾性部材と関連して動作し、前記チューブの外面と３つの線接触を構成する請求項２７に記載の装置。２９．前記チューブが、誘電体材料からなり、アルミニウム以外の他の金属元素のこん跡量とともに、前記誘電体材料内で９９パーセントよりも高い純度を有する多結晶酸化アルミニウムを構成する請求項２６に記載の装置。３０．前記第２導体が、弾性素子を構成し、前記保持手段が、前記チューブの外面と係合し、前記弾性素子と関連して動作し、前記チューブと３つの線接触を構成するように成形された位置決め部材を備え、前記保持手段の位置決め手段が、戻り止めを備え、且つ導体手段が、前記保持手段の位置決め手段と関連して動作する戻り止めを備え、前記チューブ及び前記弾性素子に対して前記位置決め部材を位置決めし、３つの線接触を構成している請求項２９に記載の装置。３１．カソードと、当該カソードに対して、第１の方向に離隔して配置されたアノードと、誘電体材料からなる第１チューブと、誘電体材料からなり、前記第１の方向と直交する第２の方向に前記第１のチューブから離隔した第２のチューブと、前記第１のチューブに配置された第１の導体と、前記第２のチューブに配置された第２の導体と、前記第１のチューブに配置された第１の弾性素子と、前記第２のチューブに配置された、前記第１の弾性素子と導通している第２の弾性素子と、前記第１のチューブに配置され、前記第１の弾性素子と関連して動作し、前記第１の弾性素子と関連して動作する前記第１のチューブと３カ所で線接触する第１手段と、前記第２のチューブに配置され、前記第２の弾性素子と関連して動作し、前記第２の弾性素子と関連して動作する前記第２のチューブと３カ所で線接触する第２手段と、前記第１手段に対して配置され、前記第１手段との関係において戻り止めを構成し、前記第１弾性素子と関連して動作し前記第１チューブと３カ所で線接触する第３手段と、前記第２手段に対して配置され、前記第２手段との関係において戻り止めを構成し、前記第２弾性素子と関連して動作し前記第２チューブと３カ所で線接触する第４手段と、を備えているレーザに使用される装置。３２．前記第１、第２、第３及び第４手段を導電性とし、前記第３手段が前記第１手段と前記第１弾性素子と導通し、且つ前記第４手段が前記第２手段と前記第２弾性素子と導通する請求項３１に記載の装置。３３．前記第１チューブとほぼ同一の特性を有する材料からなり、前記第１チューブの各端部付近に前記第１チューブと一体的に配置された第１の一対のブッシュと、前記第２チューブとほぼ同一の特性を有する材料からなり、前記第２チューブの各端部付近に前記第２チューブと一体的に配置された第２の一対のブッシュと、を更に備えている請求項３１に記載の装置。３４．前記第１チューブと同一の材料からなり、前記第１チューブの対向する端部付近に前記第１チューブと一体的に配置された第１の一対のブッシュと、前記第２チューブと同一の材料からなり、前記第２チューブの対向する端部付近に配置され、前記第２チューブと融合している第２の一対のブッシュと、導電材料からなるハウジングと、を更に備え、前記第１及び第２チューブと、前記アノードと、前記カソードとを前記ハウジング内に配置し、且つ前記第１及び第２導体がハウジング内を延在し、ハウジングに接続されている請求項３２に記載の装置。３５．レーザ・キャビティを形成するための手段と、誘電体材料からなり、絶縁破壊を起こすことなく容量性のコロナ放電を維持できる特性を有するチューブと、チューブ内に配置され、前記チューブの長さに沿って延在し、前記チューブが誘電体として機能するコンデンサの第１極板を形成する第１の導体と、導電性材料からなり、前記チューブの外側に配置され、前記チューブのほぼ長さに沿って前記チューブと係合し、前記チューブと線接触し、前記コンデンサの第２電極を形成する弾性素子と、前記チューブの長さに沿って配置され、前記弾性素子と関連して動作し、前記チューブの円周回りの複数の位置でチューブを支持し、前記弾性素子と係合して特定に位置に前記チューブを保持するための手段と、前記第１導体と前記弾性素子との間に電圧を供給し、前記チューブの外側面からのコロナ放電によって放出される放射を発生させるための手段と、を備え、前記レーザ・キャビティ内に気体を設け、前記チューブを前記レーザ・キャビティに対して配置し、前記コロナ放電によって放出される放射を前記レーザ・キャビティ内に誘導し、前記レーザ・キャビティ内の気体をイオン化するレーザに使用される装置。３６．レーザ・キャビティを形成するための手段と、誘電体材料からなり、絶縁破壊を起こすことなく容量性のコロナ放電を維持できる特性を有するチューブと、チューブ内に配置され、前記チューブの長さに沿って延在し、前記チューブが誘電体として機能するコンデンサの第１極板を形成する第１の導体と、導電性材料からなり、前記チューブに配置され、前記チューブのほぼ長さに沿って前記チューブと係合し、前記チューブと線接触し、前記コンデンサの第２電極を形成する弾性素子と、前記チューブの長さに沿って配置され、前記弾性素子と関連して動作し、前記弾性素子と係合して固定された位置に前記チューブを保持して前記チューブを支持するための手段と、前記第１導体と前記弾性素子との間に電圧を供給し、前記チューブの外側面からのコロナ放電によって放出される放射を発生させるための手段と、を備え、前記レーザ・キャビティ内に気体を設け、前記チューブを前記レーザ・キャビティに対して配置し、前記コロナ放電によって放出される放射を前記レーザ・キャビティ内に誘導し、前記レーザ・キャビティ内の気体をイオン化し、前記チューブの支持部材を、前記チューブの周囲と接触するように成形し、前記弾性素子によって提供される線接触と関連して動作し、前記チューブを正確に位置決めし、前記弾性素子を導電性とし、且つ前記第１導体の電圧と異なる電圧としているレーザに使用される装置。３７．レーザ・キャビティを形成するための手段と、誘電体材料からなり、絶縁破壊を起こすことなく容量性のコロナ放電を維持できる特性を有するチューブと、チューブ内に配置され、前記チューブの長さに沿って延在し、前記チューブが誘電体として機能するコンデンサの第１極板を形成する第１の導体と、導電性材料からなり、前記チューブに配置され、前記チューブのほぼ長さに沿って前記チューブと係合し、前記チューブと線接触し、前記コンデンサの第２電極を形成する弾性素子と、前記チューブの長さに沿って配置され、前記弾性素子と関連して動作し、前記弾性素子と係合して固定された位置に前記チューブを保持して前記チューブを支持するための手段と、前記第１導体と前記弾性素子との間に電圧を供給し、前記チューブの外側面からのコロナ放電によって放出される放射を発生させるための手段と、前記チューブの端部付近で前記チューブに配置され、前記チューブと同質な材料からなり、前記チューブと一体に形成された一対の誘電体部材と、を備え、前記レーザ・キャビティ内に気体を設け、前記チューブを前記レーザ・キャビティに対して配置し、前記コロナ放電によって放出される放射を前記レーザ・キャビティ内に誘導し、前記レーザ・キャビティ内の気体をイオン化しているレーザに使用される装置。３８．前記支持手段及び前記弾性素子と関連して動作するように配置され、前記支持手段及び前記弾性素子を前記チューブに対して固定された位置に保持するための手段と、前記チューブの端部付近で前記チューブに配置され、前記チューブと同質な材料からなり、前記チューブと一体に形成された一対の誘電体部材と、を更に備えている請求項３６に記載の装置。