DE4108472C2 - Vorrichtung zum Vorionisieren von Gas in einem gepulsten Gaslaser - Google Patents
Vorrichtung zum Vorionisieren von Gas in einem gepulsten GaslaserInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Vorionisieren von
Gas in einem gepulsten Gaslaser mittels Röntgenstrahlung.
Gepulste Gaslaser sind in unterschiedlichsten Ausgestaltungen
bekannt, insbesondere als CO₂-Laser, Excimer-Laser oder N₂-La
ser etc. Weit verbreitet ist bei gepulsten Gaslasern eine soge
nannte transversale Anregung des Lasergases in Form einer Gas
entladung (auch Haupt- oder Plasmaentladung genannt).
Ebenfalls bekannt ist es, das Lasergas vor der Hauptentladung
einer sogenannten Vorionisierung zu unterziehen, bei der vor
der eigentlichen Hauptentladung eine möglichst homogene Vertei
lung von freien Elektronen (ca. 10⁷ Elektronen/cm³) im Entla
dungsraum erzeugt wird. Eine solche Vorionisierung des Gases
dient insbesondere dazu, zu vermeiden, daß die Hauptentladung
als Bogenentladung erfolgt. Nach der Vorionisierung setzt dann
zwischen den Hauptelektroden des Lasers die genannte Hauptent
ladung ein, bei der sich die Elektronenkonzentration in der so
genannten Avalanche-Phase um mehrere Größenordnungen verviel
facht, z. B. auch 10¹⁴ bis 10¹⁵ Elektronen/cm³.
Für die Vorionisierung werden im Stand der Technik in der Regel
externe, d. h. von der eigentlichen Hauptentladung gesonderte,
Energiequellen verwendet, z. B. UV-Licht. Solche UV-Strahlung
kann z. B. von Funkenstrecken oder auch von Koronaentladungen
emittiert werden.
Funkenstrecken sind zwar höchst wirksam, weisen jedoch den
Nachteil auf, daß sie eine Verunreinigungsquelle für das Laser
gas und auch für die optischen Komponenten des Laser-Resonators
bilden. Der Wirkungsgrad einer Vorionisierung mittels uv-Strah
lung ist insbesondere dadurch eingeschränkt, daß die Reichweite
der ionisierenden UV-Strahlung auf wenige Zentimeter beschränkt
ist (vgl. MIDORIKAWA, K., OBARA, M., FUJIOKAM, T.: X-Ray Pre
ionization of Rare-Gas-Halide Lasers, in US-Z.: IEEE JOURNAL OF
QUANTUM ELECTRONICS, Vol. Qe-20, No. 3, March 1984,
S. 198-205).
Die vorliegende Erfindung geht aus von der Erkenntnis, daß eine
Vorionisierung mit weicher Röntgenstrahlung besonders vorteil
haft ist und die oben genannten Nachteile überwindet. Obwohl
schon seit längerem bekannt (SUMIDA, S., OBARA, M., FUJIOKA, T.
in: APPL. PHYS. LETT. Vol. 33, 1978, S. 913), hat die weiche
Röntgenstrahlung bis heute keine nennenswerte Anwendung bei
Gasentladungslasern gefunden. Dies könnte daran liegen, daß
angenommen worden ist, weiche Röntgenstrahlung erfordere einen
beträchtlichen Zusatzaufwand, insbesondere hinsichtlich der
Röntgenquelle des Hochspannungs-Impulsgenerators mit 80 bis 100
KV Spitzenspannung, der Zeit-Synchronisationselektronik sowie
der Abschirmung. Es besteht deshalb seit längerem ein Bedarf an
einer zuverlässigen, kostengünstig herstellbaren und einfach zu
betreibenden Röntgenröhre, welche die erforderliche Dosislei
stung für die Vorionisierung in einem gepulsten Gaslaser
erbringen kann und welche auch eine lange Lebensdauer aufweist.
Für die Vorionisierung von Excimer-Gasgemischen ist darüber
hinaus auch zu beachten, daß in diesen Gasgemischen auch
elektronegative Gase, wie HCl oder F₂, vorhanden sind, welche
die Lebensdauer der freien Elektronen stark reduzieren, z. B.
auf wenige Nanosekunden (die freien Elektronen werden von den
elektronegativen Gasen "eingefangen"). Deshalb muß hier die
Vorionisierung ebenfalls in einem sehr kurzen Zeitpuls von we
nigen Nanosekunden erfolgen. Um in dieser kurzen Zeitspanne die
für eine gute Vorionisierung benötigte Elektronenkonzentration
von z. B. 10 cm-3 zu erreichen, muß die Röntgenstrahlungsquelle
eine sehr hohe Spitzenintensität in dieser kurzen Zeitspanne
besitzen. Umgerechnet auf den Anodenstrom einer Röntgenröhre
bedingt dieses Erfordernis Anodenströme von 500 bis 1000 A.
Herkömmliche Röntgenröhren besitzen hingegen Emissionsströme
von maximal einigen Ampere.
In der EP 0 336 282 A1 wird eine Plasmakathode beschrieben, die
jedoch zu ihrem Betrieb einen exakt einzuhaltenden Gasdruck und
zusätzliche Spannungsimpulse für diverse Steuergitter und
Steuerelektroden benötigt.
Die JP 63-217 678 (A) beschreibt eine Röntgenstrahlenquelle zum
Vorionisieren in einem gepulsten Gaslaser, bei der ein Heiz
draht in bezug auf eine Anode auf Hochspannung gelegt wird, so
daß aus dem Draht emittierte Elektronen zur Anode beschleunigt
werden. Die Anode ist winkelförmig und hinter einer Hauptent
ladungselektrode des Lasers angeordnet. Erzeugte Röntgenstrah
lung tritt von hinten durch eine der Hauptelektroden des Lasers
hindurch. Die Anordnung aus geheizter Kathode und Anode ist in
einem Gehäuse untergebracht, das fest mit einer der Hauptelek
troden des Lasers verbunden ist.
In der JP 63-217 677 (A) ist eine Röntgenstrahlquelle zum Vor
ionisieren in einem gepulsten Gaslaser beschrieben, bei der
eine heiße Kathode und eine kalte Kathode hinter einer der
Hauptelektroden des Lasers angeordnet sind. Diese Hauptelektro
de bildet zugleich auch die Anode für die Röntgenerzeugung, wo
bei von den Kathoden emittierte Elektronen in bezug auf die
Hauptelektrode beschleunigt werden, um Röntgenstrahlung zu
erzeugen, welche zwischen die beiden Hauptelektroden des Lasers
gelangt.
In CRONIN, J.L.: Modern Dispenser Cathodes, in GB-Z.: IEE
PROC., Vol. 128, Pt. 1, Mo.l, February 1981, S. 19-32 sind
allgemeine Grundsätze für Kathodenmaterialien bei Dispenser
kathoden beschrieben.
In der JP 1-128 482 (A) wird eine Heizwendel als Glühkathode
beschrieben, d. h. die Heizwendel emittiert direkt Elektronen,
die gegen einen Körper beschleunigt werden und beim Auftreffen
auf den Körper Röntgenstrahlung erzeugen. Die Bauteile zum Er
zeugen der Röntgenstrahlung sind in eine der Hauptelektroden
des Lasers integriert.
Die US-Patentschrift 4 592 065 beschreibt ebenfalls eine Vor
richtung zum Erzeugen von Röntgenstrahlen für einen gepulsten
Gaslaser, bei der die Röntgenstrahlerzeugungseinrichtung in
eine der Hauptelektroden des Lasers integriert ist. Von einer
Elektrode emittierte Elektronen werden direkt auf die Haupt
elektrode des Lasers beschleunigt, um Röntgenstrahlung für die
Vorionisierung zu erzeugen.
Im Aufsatz SCOTT, S.J.: Experimental investigations on an x-ray
preoinizer test bed, in US-Z: J. APPL. PHYS., Vol. 64, No. 2,
15 July 1988, S. 537-543 ist eine Vorrichtung zum Vorionisieren
von Gas in einem Gaslaser mittels Röntgenstrahlung beschrieben,
die eine langgestreckte Kathode und eine Anode aufweist, wobei
die Kathode als wendelförmig aufgewickelter Draht in einer
röhrenförmigen geerdeten Abschirmung zur Elektronenfokussierung
angeordnet ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum
Vorionisieren von Lasergas in einem gepulsten Gaslaser mittels
Röntgenstrahlung, insbesonderer weicher Röntgenstrahlung, zu
schaffen, die kostengünstig herstellbar ist, zuverlässig funk
tioniert, eine lange Lebensdauer aufweist, einfach zu betreiben
ist und welche die für eine gute und homogene Vorionisierung in
einem relativ großen Entladungsquerschnitt erforderliche Dosis
leistung erbringt.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst durch eine Vorrich
tung zum Vorionisieren von Gas in einem gepulsten Gaslaser
mittels Röntgenstrahlung, mit einer langgestreckten Kathode,
die durch Heizstrahlung oder Elektronenbeschuß auf eine Tempe
ratur geheizt wird, bei der sie Elektronen emittiert, und mit
zumindest einer langgestreckten, parallel zur Kathode angeord
neten Anode, wobei die Kathode und die Anode in einem evakuier
ten Gehäuse untergebracht sind, das zumindest in einem Ab
schnitt für die Röntgenstrahlung durchlässig ist, und die
Kathode rohrförmig mit einem inneren Hohlraum ausgebildet ist,
in dem eine Heizwendel oder ein Heizdraht angeordnet sind.
Bevorzugt ist die Kathode rohrförmig und besteht im wesentli
chen aus Wolfram. Besonders bevorzugt wird poröses, imprägnier
tes Wolfram, das als solches bekannt ist (IEE Proc. Vol. 128,
Pt. I, Nr. 1, 5.19), welches sich durch relativ niedrige Ar
beitstemperaturen von 1000 bis 1100°C auszeichnet und hohe
Emissionsströme erreicht (sogenannte Dispenserkathoden).
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung der Erfindung
ist vorgesehen, daß die Kathode mittels einer Heizwendel
geheizt wird, die in einem Hohlraum in der Kathode angeordnet
ist.
Alternativ kann die Kathode auch durch als solches bekanntes
Elektronenbombardement aufgeheizt werden.
Bevorzugt werden die langgestreckt, parallel zueinander ausge
richteten Kathoden und Anoden axial beidseitig abgestützt, um
möglichst lange Isolationsstrecken in der Röhre zu erhalten und
damit Überschläge zu vermeiden. Die erfindungsgemäße Röntgen
röhre kann aufgrund ihrer kompakten Bauweise in unmittelbarer
Nähe der Hauptelektroden positioniert werden, so daß die
Strahlung mit hohem Wirkungsgrad in das einer Vorionisierung zu
unterziehende Medium eingekoppelt werden kann.
Gemäß einer anderen bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist
vorgesehen, daß die Anode innen hohl ist und daß ihr Hohlraum
über einen Durchlaß mit einem Flüssigkeitsreservoir außerhalb
des Gehäuses kommuniziert.
Mit dem erfindungsgemäßen Aufbau der Vorrichtung zum Vorioni
sieren wird die Röntgenstrahlung nicht durch die Hauptelektro
den des Lasers in den Raum, in dem das Gas vorionisiert werden
soll, eingestrahlt (wie großteils beim vorstehend diskutierten
Stand der Technik), sondern die erfindungsgemäße Vorrichtung
ist aufgrund ihres Aufbaus nicht in die Entladungselektroden
des Lasers integriert oder mit diesem verbunden, sondern
entfernt von diesen positionierbar. Die erfindungsgemäße
Vorrichtung kann sogar außerhalb der Laserkammer angeordnet
werden, was die Verwendung beliebiger Elektrodenwerkstoffe
ermöglicht. Dies wiederum wirkt sich positiv auf die Elektro
denlebensdauer des Lasers aus.
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand
der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 einen Axialschnitt durch eine Röntgenröhre;
Fig. 2 einen Axialschnitt durch ein gegenüber Fig. 1 abge
wandeltes Ausführungsbeispiel einer Röntgenröhre;
Fig. 3 einen Radialschnitt durch eine Röntgenröhre gemäß
Fig. 1; und
Fig. 4 einen Radialschnitt durch ein abgewandeltes Ausfüh
rungsbeispiel einer Röntgenröhre.
Die erfindungsgemäße, nachfolgend näher beschriebene Röntgen
quelle ist eine Vakuumröhre im ursprünglichen Sinn dieses
Wortes. Um sie zu betreiben, sind also keine Vakuumpumpen er
forderlich und auch keine Gasdosiereinrichtungen. Auch sind
keine zusätzlichen Spannungsimpulse für Steuergitter und
Steuerelektroden erforderlich. An Betriebsspannungen werden
lediglich eine Heizspannung zum Aufheizen der Kathode und eine
pulsförmige Beschleunigungsspannung an der Anode benötigt.
Gemäß Fig. 1 und dem entsprechenden Radialschnitt gemäß Fig. 3
weist die Röntgenröhre 10 eine Grundplatte 12 auf, die auch als
Montageflansch dient und ein Gehäuse 14 trägt. Beim dargestell
ten Ausführungsbeispiel ist das Gehäuse 14 ein Glasrohr, wel
ches für die erzeugte weiche Röntgenstrahlung durchlässig ist.
Auf der Grundplatte 12 ist ein Anodenhalter 16 befestigt, der
die langgestreckte, rohr- oder stabförmige Anode 18 abstützt.
Auf der der Grundplatte 12 gegenüberliegenden Seite des lang
gestreckten, rohrförmigen Gehäuses 14 aus elektrisch isolieren
dem Material ist eine Gegenplatte 20 befestigt, so daß das
Innere des Gehäuses 14 vakuumdicht abgeschlossen ist.
Bei der Herstellung der Röntgenröhre 10 wird diese, ggf. bei
entsprechendem Ausheizen im Betriebszustand, evakuiert und an
einem Glasstutzen 22 abgeschmolzen. Danach ist die Röntgenröhre
ohne weitere Evakuierungsmaßnahmen betriebsfertig.
Die Grundplatte 12 trägt eine elektrische Durchführung 24, über
welche der Heizstrom in das Innere der Röntgenröhre übertragbar
ist.
Beim dargestellten Ausführungsbeispiel ist eine Kathode 26 vor
gesehen, die rohrförmig ausgebildet ist. Die Länge der Kathode
und entsprechend die Länge der Anode sind so gewählt, daß diese
Abmessungen dem Lasergas-Entladungsvolumen angepaßt sind.
Die rohrförmige Kathode 26 besteht zur Erzielung hoher Emis
sionsströme aus porösem Wolfram (sog. Dispenserkathode). Dieses
Material zeichnet sich durch eine sehr niedrige Arbeitstempe
ratur von 1000 bis 1100°C aus und ist als solches bekannt
(s. o.).
Eine besonders einfache, betriebssichere und eine lange Lebens
dauer aufweisende Ausführungsform ergibt sich dann, wenn die
Rohrkathode mit Hilfe einer Heizwendel 30 (elektrische Wider
standsheizung) auf die erforderlichen Temperaturen erhitzt
wird. Die Kathode 26 ist innen hohl und ein Keramikröhrchen 28
trennt die Kathode 26 von der Heizwendel 30.
Entsprechend der Anode 18 ist auch die Kathode 26 beidseitig
axial abgestützt, und zwar durch isolierende Kathodenhalter 32,
34.
Auf die aus Keramik geformten Kathodenhalter 32, 34 sind
Metallhülsen 36, 38 aufgeschrumpft, so daß die Kathode 26 elek
trisch und thermisch isoliert abgestützt ist.
Über einen elektrischen Leiter 40 liegt die Kathode 26 auf
Massepotential (ebenso wie die Grundplatte 12). Es ist also
eine elektrische Isolation zur Anode 18 hin erforderlich. An
die Anode 18 wird eine gepulste Hochspannung (nicht im ein
zelnen dargestellt) angelegt.
Es hat sich gezeigt, daß zur Erzielung bester Vorionisierungs
ergebnisse und einer langen Lebensdauer der Kathode besondere
Abmessungen vorteilhaft sind. Günstige Werte ergaben sich bei
einem Kathodeninnendurchmesser von 6 mm, einem Kathodenaußen
durchmesser von 8 mm, einem Außendurchmesser der Heizwendel von
4,5 mm und einer Steigung der Heizwendel von 1,5 mm pro Windung
sowie einem Drahtdurchmesser der Heizwendel von 0,7 mm. Abwei
chungen von diesen Werten von bis zu 30% liefern ebenfalls
noch gute Ergebnisse.
Die Rückführung des Heizstromes kann über die Kathode selbst
erfolgen, vgl. den Leiter 48 gemäß Fig. 1.
Wichtig ist eine gleichmäßige Wendelsteigung der Heizwendel 30,
um eine für den Betrieb der Röntgenröhre wichtige Voraussetzung
zu erzielen, nämlich eine homogene Temperaturverteilung über
die gesamte Kathodenlänge. Die benötigte Heizleistung liegt bei
den oben angegebenen Werten bei ca. 25 W pro cm Kathodenlänge
und der Heizstrom beträgt etwa 12 A.
In Abwandlung des vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispie
les kann die Kathodenheizung auch durch Elektronenbombardement
erfolgen. Ein zum Kathodenrohr konzentrisch aufgespannter Heiz
draht müßte in diesem Fall mit einigen KV negativ bezüglich der
Kathode betrieben werden.
Die Anode 18 in ihrer einfachsten Ausgestaltung gemäß Fig. 1
besteht aus einem Metallstab mit einem Durchmesser von 6 mm
(mit Abweichungen von 30%) und ist in etwa 13 mm Entfernung
von der Kathode 26 aufgespannt. Der Anodenhalter 16 ist aus
einem elektrisch isolierenden Material, z. B. Keramik. Für eine
hohe Röntgenausbeute ist ein möglichst schweres Anodenmaterial
zu wählen. Bewährt haben sich Wolfram und Tantal. Bewährt hat
sich ein Betrieb der Röntgenröhre 10 mit 70 KV Anodenspitzen
spannung, einer Pulsbreite von 30 ns und einer Wiederholrate
von bis zu 500 Hz.
Werden noch höhere Pulswiederholraten gewünscht, so kann die
Anode zur Vermeidung zu hoher Betriebstemperaturen gekühlt
werden. Eine solche Kühlung ist in der Abwandlung des Ausfüh
rungsbeispiels von Fig. 1 in Fig. 2 dargestellt. Fig. 2 zeigt
entsprechend Fig. 1 ebenfalls einen Axialschnitt durch eine
Röntgenröhre 10, wobei die Kathode und die ihr zugeordneten
Bauteile entsprechend Fig. 1 ausgebildet und deshalb nicht noch
einmal dargestellt sind. Die Abwandlung betrifft die Anode 18′,
welche beim Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2 innen hohl ausge
bildet ist. Der Hohlraum 46 der Anode 18′ ist über einen
Durchlaß 42 mit einem Reservoir für Kühlflüssigkeit verbindbar,
das außerhalb des Gehäuses 14 angeordnet ist. Die Kühlung kann
z. B. mit Öl erfolgen. Das elektrische Potential der Anode ist
durch das Potential der Gegenplatten 20 bzw. 20′ gegeben, mit
denen die Anode leitend verbunden ist.
Die elektrische Aussteuerung der Anode erfolgt über die Gegen
platte 20 bzw. 20′, mit der sie leitend verbunden ist.
Mit den obigen Abmessungen kann die Röntgenröhre bei 70 KV
Anodenspitzenspannung nahe an der Raumladungsgrenze von ca. 20
A pro cm Diodenlänge betrieben werden. Der Betrieb im Bereich
dieses Sättigungswertes hat den Vorteil, daß der Röntgen-Emis
sionsstrom nicht mehr sehr empfindlich abhängt von der Katho
dentemperatur, so daß stabile Betriebsbedingungen ohne eine
empfindliche Einstellung der Parameter erreichbar sind.
Fig. 4 zeigt eine Abwandlung des Ausführungsbeispieles, wobei
einer Kathode 26 zwei Anoden 18a, 18b dreieckförmig gegenüber
liegend angeordnet sind. Diese Anordnung empfiehlt sich z. B.
dann, wenn die Röntgenröhre 10 vor allem nach oben (in Richtung
der Figuren gesehen) abstrahlen soll. Der Emissionsstrom ist
bei dieser Anordnung nicht mehr raumladungsbegrenzt, sondern
ergibt sich vielmehr aus dem Emissionsvermögen der Kathode bei
der eingestellten Betriebstemperatur oder aus der Impedanz des
Hochspannungs-Impulsgenerators.
Es ist möglich, die Beständigkeit des Vakuums durch ein soge
nanntes Gettermaterial zu verbessern.
Nach der Montage der vorstehend beschriebenen Bauteile wird die
Röntgenröhre 10 zunächst evakuiert, ausgeheizt und dann ent
sprechend den Empfehlungen des Kathodenherstellers aktiviert,
wobei die Kathode für kurze Zeit über ihre normale Betriebstem
peratur aufgeheizt wird. Danach wird das Gehäuse 14 vakuumdicht
abgeschlossen, beispielsweise durch Abschmelzen des Glas-Stut
zens 22, an dem zuvor die Vakuumpumpe angeschlossen war.
Anschließend ist ein jahrelanger Betrieb der Röntgenröhre ohne
zusätzliche Evakuierungsmaßnahmen möglich. Der beschriebene
Aufbau der Röntgenröhre hat sich als robust und langlebig
erwiesen. Die kompakte Ausgestaltung mit den gegebenen Dimen
sionierungen macht eine Positionierung der Röntgenquelle in un
mittelbarer Nähe des vorzuionisierenden Entladungsraumes
möglich.
Claims (6)
1. Vorrichtung zum Vorionisieren von Gas in einem gepulsten
Gaslaser mittels Röntgenstrahlung, mit einer langgestreckten
Kathode (26), die durch Heizstrahlung oder Elektronenbeschuß
auf eine Temperatur geheizt wird, bei der sie Elektronen
emittiert, und mit zumindest einer langgestreckten, parallel
zur Kathode (26) angeordneten Anode (18; 18′; 18a, 18b), wobei
die Kathode und die Anode in einem evakuierten Gehäuse (14)
untergebracht sind, das zumindest in einem Abschnitt für die
Röntgenstrahlung durchlässig ist,
dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode (26)
rohrförmig mit einem inneren Hohlraum ausgebildet ist, in dem
eine Heizwendel (30) angeordnet ist.
2. Vorrichtung zum Vorionisieren von Gas in einem gepulsten
Gaslaser mittels Röntgenstrahlung, mit einer langgestreckten
Kathode (26), die durch Heizstrahlung oder Elektronenbeschuß
auf eine Temperatur geheizt wird, bei der sie Elektronen
emittiert, und mit zumindest einer langgestreckten, parallel
zur Kathode (26) angeordneten Anode (18; 18′; 18a, 18b), wobei
die Kathode und die Anode in einem evakuierten Gehäuse (14)
untergebracht sind, das zumindest in einem Abschnitt für die
Röntgenstrahlung durchlässig ist,
dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode (26)
rohrförmig mit einem inneren Hohlraum ausgebildet ist, in dem
ein langgestreckter Heizdraht angeordnet ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der
Heizwendel (30) und der Kathode (26) ein mit der rohrförmigen
Kathode (26) konzentrisches Keramikröhrchen (28) angeordnet
ist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode (26)
aus Wolfram, insbesondere porösem imprägnierten Wolfram, be
steht.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode (26)
und/oder die Anode (18; 18′; 18a, 18b) im Gehäuse (14) axial
beidseitig abgestützt ist bzw. sind.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Anode (18′)
innen hohl ist und daß ihr Hohlraum (46) über einen Durchlaß
(42) mit einem Flüssigkeitsreservoir außerhalb des Gehäuses
(14) kommuniziert.
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