JPS63217677A - パルスガスレ−ザ装置 - Google Patents
パルスガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS63217677A JPS63217677A JP5018487A JP5018487A JPS63217677A JP S63217677 A JPS63217677 A JP S63217677A JP 5018487 A JP5018487 A JP 5018487A JP 5018487 A JP5018487 A JP 5018487A JP S63217677 A JPS63217677 A JP S63217677A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- rays
- cold cathode
- electron beam
- hot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
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- 241000218645 Cedrus Species 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔＠１男の目的〕
（産業上の利用分野）
この発明はガスレーザの中のパルスガスレーザ１１ｆｔ
ＶＣ係わり、特にレーザガスをＸ線照射して予０！１功
起する装置に関する。
ＶＣ係わり、特にレーザガスをＸ線照射して予０！１功
起する装置に関する。
（従来の技術）
従来のＸ線予漏励起法ではＸ線発生裟宜としては通常の
熱ｍ甑を用いたＸ線管か、冷陰極を用いた方法である。
熱ｍ甑を用いたＸ線管か、冷陰極を用いた方法である。
パルスレーザのｘ４予備励起法では１通常パルス巾１μ
ｓ 程度の張力なパルスＸ線像が必要となる。
ｓ 程度の張力なパルスＸ線像が必要となる。
熱陰＠Ｘ線管では、熱陰極の７ＪＯ熱の応答時間の関係
から、パルス的に強力なＸ線の放射することは出来ず線
量が不足する。
から、パルス的に強力なＸ線の放射することは出来ず線
量が不足する。
一方冷陰極方式は熱陰極を必要とせず、構収要素が少な
（てすむが、＠極先場を鋭利な形状としかつ高い印卯電
圧を必要とする。しかも動作が安定しに（いので、特殊
な用途を除いては利用出来ない。
（てすむが、＠極先場を鋭利な形状としかつ高い印卯電
圧を必要とする。しかも動作が安定しに（いので、特殊
な用途を除いては利用出来ない。
（宅間が解決しようとする間娼点）
パルス的に強力なＸ線を得るには、Ｘ線宅生装置の雲隠
から、大′！！流の電子ビームを優ることが必要である
。このため、熱陰極方式では陰極温度を高（する必要が
あるが高い句作温度は陰極の寿命を短（する欠点がある
。
から、大′！！流の電子ビームを優ることが必要である
。このため、熱陰極方式では陰極温度を高（する必要が
あるが高い句作温度は陰極の寿命を短（する欠点がある
。
一方、冷陰極方式では陰極先端を鋭利な形状とし、かつ
高電圧を印７ＪＱシ、陰極先端に強い電界を発生する必
要がある。このため電子放出は陰極先端の形状に影響さ
れやすい。また高電圧を印７ＪＯするので、レーザガス
の励起に適した波長のＸ線より短い波長のＸ線が多くな
り、励起効率が低下する。
高電圧を印７ＪＱシ、陰極先端に強い電界を発生する必
要がある。このため電子放出は陰極先端の形状に影響さ
れやすい。また高電圧を印７ＪＯするので、レーザガス
の励起に適した波長のＸ線より短い波長のＸ線が多くな
り、励起効率が低下する。
＄：伯明の目的は熱陰極の上記欠点を除いに間拳な横置
のパルス犬′区流電子ビームの得られる複合力ノードを
利用したＸ線発生方式を用いたパルスガスレーザＶ７ｃ
ｌｊｔを災供することにある。
のパルス犬′区流電子ビームの得られる複合力ノードを
利用したＸ線発生方式を用いたパルスガスレーザＶ７ｃ
ｌｊｔを災供することにある。
（間辿点を解決するための手段）
本発明は熱陰極と冷陰極とを互に突返させて設けた複沖
陰極に関するものである。更に大きな′１子ビームが必
要な１合は陰極近傍で放電プラズマを生成するプラズマ
カンードとしての動作に関しても示す。このためのガス
を供給する手段とガスを排気する手段とを設ける。
陰極に関するものである。更に大きな′１子ビームが必
要な１合は陰極近傍で放電プラズマを生成するプラズマ
カンードとしての動作に関しても示す。このためのガス
を供給する手段とガスを排気する手段とを設ける。
（１／ｌ：用）
熱陰極の動作の安定性と冷陰蝋の堅牢さを兼ね設えた電
子ビーム源を提供する。
子ビーム源を提供する。
熱陰極は常時０口熱されているので電子ビームは電圧印
ｖ口と同時ＶＣＣ先生る。一方冷陰甑は堅牢ではあるが
、長い陰極にわたりて一様な電子ビームを得るのは難し
い。本発明は熱［へ極と冷陰極とを突返して設けること
により、冷陰極の動作の安定性向上させることが可能と
なりた。
ｖ口と同時ＶＣＣ先生る。一方冷陰甑は堅牢ではあるが
、長い陰極にわたりて一様な電子ビームを得るのは難し
い。本発明は熱［へ極と冷陰極とを突返して設けること
により、冷陰極の動作の安定性向上させることが可能と
なりた。
さらにこの熱陰極と冷陰極との成立を異なる状態で運転
し、特に熱陰極から放出される電子を冷陰極に入射する
ようにすると冷陰極から二次電子の放射が起り、冷陰極
からの電子放射が促進される。このため安定した犬戒流
の１子ビーム源が得られるので強力なＸ線源が簡単な１
．Ｉｔ造で得られる。
し、特に熱陰極から放出される電子を冷陰極に入射する
ようにすると冷陰極から二次電子の放射が起り、冷陰極
からの電子放射が促進される。このため安定した犬戒流
の１子ビーム源が得られるので強力なＸ線源が簡単な１
．Ｉｔ造で得られる。
さらにより強力（大きなｆｌｕｘ）のＸ線、原を得るた
めには冷陰極に微小な孔を設け、向えば多孔實金Ａを利
用する、ここからガスを供給する。このガスを冷陰極先
端の強電界、又は熱陰極から放出された電子により１離
しプラズマを生成する。このプラズマより電子を引出す
こと（プラズマ陰極）により、より強い電子流を得るこ
とが出来るので。
めには冷陰極に微小な孔を設け、向えば多孔實金Ａを利
用する、ここからガスを供給する。このガスを冷陰極先
端の強電界、又は熱陰極から放出された電子により１離
しプラズマを生成する。このプラズマより電子を引出す
こと（プラズマ陰極）により、より強い電子流を得るこ
とが出来るので。
強力なＸ線源が得られる。Ｘ線発生室に放出されたガス
は適当な排気表置で外部に排出する。
は適当な排気表置で外部に排出する。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例を示す構成図である。
主放電ｆｉｉ １ 、１’間にレーザガス２を供給し、
これを電源３で枚重励起する。これによジ或極間４に一
様なグロー放電を励起しようとするとき、電源３の印υ
口とほぼ同時か、あるいはそれに先立ち間＠４にＸ線を
入射しレーザガスを予備勃起することがレーザの性能の
向上につながる。Ｘ線沼生用電子ビーム源は熱陰極５の
近傍に冷陰極６を設け、この陰極とＸ線色主用ｌＶｈ極
１′ との間に電ｔＡ７を印υ口し電子ビーム８を発生
させる。この１子ビームをターゲク） （ｍｍ ） １
’ ｖｃ衝突減運させＸ線を得る。このＸ線はｉ１極
１′ を透過し間隙４に入射する。電子ビーム８は熱陰
極５と冷陰極６との双方より宅生じ安定な１咋が得られ
る。
これを電源３で枚重励起する。これによジ或極間４に一
様なグロー放電を励起しようとするとき、電源３の印υ
口とほぼ同時か、あるいはそれに先立ち間＠４にＸ線を
入射しレーザガスを予備勃起することがレーザの性能の
向上につながる。Ｘ線沼生用電子ビーム源は熱陰極５の
近傍に冷陰極６を設け、この陰極とＸ線色主用ｌＶｈ極
１′ との間に電ｔＡ７を印υ口し電子ビーム８を発生
させる。この１子ビームをターゲク） （ｍｍ ） １
’ ｖｃ衝突減運させＸ線を得る。このＸ線はｉ１極
１′ を透過し間隙４に入射する。電子ビーム８は熱陰
極５と冷陰極６との双方より宅生じ安定な１咋が得られ
る。
第２図は宅間の他の実施例を示す構成図でＸａ伯生部の
みを記す。熱陰極５と冷陰極６とは異なる１を位で運転
される。本実施列では主加速電源７と副卯速ｉ源７′
を用いている。熱陰極５から放出された電子の一部は冷
陰極６に衝突し、これにより冷陰極６より二次電子放出
が起る。この二次電子と冷隘極枚射電子、熱直子を生り
■求′ｔ！Ｌ源７でＶ目速し、ターゲット（陽極）１′
に衝突させる。
みを記す。熱陰極５と冷陰極６とは異なる１を位で運転
される。本実施列では主加速電源７と副卯速ｉ源７′
を用いている。熱陰極５から放出された電子の一部は冷
陰極６に衝突し、これにより冷陰極６より二次電子放出
が起る。この二次電子と冷隘極枚射電子、熱直子を生り
■求′ｔ！Ｌ源７でＶ目速し、ターゲット（陽極）１′
に衝突させる。
＠３図は池の変形例で、冷陰極６の先端部にガス供給孔
１１を設け、ここに外部に設けたガスノース１２よりガ
スを導入する。Ｘ線宅生用陰甑５゜６ ｉｆ（０１１速
電圧を印クロするとガスは熱陰極からの電子、冷陰甑先
瑞の強電界によりｉｎされプラズマを生成する。このプ
ラズマから′電子を引出す杉のプラズマ＃に極となり大
量の電子が引出せる。こ几により強力なＸ線源が得られ
る。小孔１１は多孔質金属？用いると良いｅＸ線宅生部
ＶＣ放出されたガスは排気側１３により外部へ排気され
る。
１１を設け、ここに外部に設けたガスノース１２よりガ
スを導入する。Ｘ線宅生用陰甑５゜６ ｉｆ（０１１速
電圧を印クロするとガスは熱陰極からの電子、冷陰甑先
瑞の強電界によりｉｎされプラズマを生成する。このプ
ラズマから′電子を引出す杉のプラズマ＃に極となり大
量の電子が引出せる。こ几により強力なＸ線源が得られ
る。小孔１１は多孔質金属？用いると良いｅＸ線宅生部
ＶＣ放出されたガスは排気側１３により外部へ排気され
る。
また４子ビームターゲツト（ｌ陽極）は必ずしも王政′
ｔ１１１′を利用することに限定させず、別のＩＩ極（
９−ゲット）でも良い。
ｔ１１１′を利用することに限定させず、別のＩＩ極（
９−ゲット）でも良い。
熱陰極の近傍に冷陰極を設けることにより動作の安定し
た強力なＸ線源が得られる。またこの方式にプラズマＩ
ｓ ｆｆｌ方式を付υ口することによりさらに雀力なＸ
線源が得られる。
た強力なＸ線源が得られる。またこの方式にプラズマＩ
ｓ ｆｆｌ方式を付υ口することによりさらに雀力なＸ
線源が得られる。
第１図は本倦明の一実施例を示す構成図、第２図は池の
実施列のＸ・、施色生部の構成図５遍３図は池の長悔列
のＸ線宅生用陰極都の（構成図である。 １．１′・・・主成１″電極、３・・・主放１１Ｅｍ、
５・・・熱電（返、６・・・冷＠極、７・・・成子υ口
速用′Ｔｌｌ源。 代理人 斤連士 則 近 Ｍ 右 同 竹 花 喜久男第１図 第２図 ３図
実施列のＸ・、施色生部の構成図５遍３図は池の長悔列
のＸ線宅生用陰極都の（構成図である。 １．１′・・・主成１″電極、３・・・主放１１Ｅｍ、
５・・・熱電（返、６・・・冷＠極、７・・・成子υ口
速用′Ｔｌｌ源。 代理人 斤連士 則 近 Ｍ 右 同 竹 花 喜久男第１図 第２図 ３図
Claims (3)
- （１）レーザガスをＸ線によって予備励起するパルスガ
スレーザ装置において、Ｘ線発生用電子ビーム発生源（
電子ビーム用陰極）が、熱陰極と冷陰極とからなること
を特徴とするパルスガスレーザ装置。 - （２）熱陰極と冷陰極のそれぞれに異なった電位を印加
してなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
パルスガスレーザ装置。 - （３）冷陰極に微小な孔を設け、かつ、この小孔よりガ
スを供給する手段を具備してなることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のパルスガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5018487A JPS63217677A (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | パルスガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5018487A JPS63217677A (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | パルスガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63217677A true JPS63217677A (ja) | 1988-09-09 |
Family
ID=12852101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5018487A Pending JPS63217677A (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | パルスガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63217677A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4108472A1 (de) * | 1991-03-15 | 1992-09-17 | Lambda Physik Forschung | Vorrichtung zum vorionisieren von gas in einem gepulsten gaslaser |
-
1987
- 1987-03-06 JP JP5018487A patent/JPS63217677A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4108472A1 (de) * | 1991-03-15 | 1992-09-17 | Lambda Physik Forschung | Vorrichtung zum vorionisieren von gas in einem gepulsten gaslaser |
| US5247535A (en) * | 1991-03-15 | 1993-09-21 | Lambda Physik Forschungsgesellschaft Mbh | Apparatus for preionization of gas in a pulsed gas laser |
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