DE69307982T2 - Magnetkopf mit verschleissbeständiger Schicht und dessen Herstellungsverfahren - Google Patents

Magnetkopf mit verschleissbeständiger Schicht und dessen Herstellungsverfahren

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Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf einen Magnetkopf mit einer Kopffläche und mit einer Kopfstruktur aus dünnen Schichten und mit einem Übertragungselement, wobei in der Kopffläche in verschiedene Gebieten verschiedene Werkstoffe vorhanden sind.
  • Ein Magnetkopf dieser Art ist aus JP-A 63-37811 (durch Bezeichnung als hierin aufgenommen betrachtet) bekannt. Der bekannte Magnetkopf ist mit einer auf einem Träger angebrachten Dünnfilmstruktur versehen, die ein Magnetjoch mit einem Magnetwiderstandselement und einen Übertragungsspalt aufweist. Der Magnetkopf ist weiterhin mit einer Kopffläche versehen, in der der Übertragungsspalt sowie magnetische Flußleiter zum Leiten magnetischer Information zu dem Magnetwiderstandselement enden. Die Kopffläche des bekannten Magnetkopfes dient zum Führen eines magnetischen Informationsträgers, insbesondere eines Magnetbandes.
  • Bei Magnetköpfen, die mit einer Schichtstruktur versehen sind, gibt es relativ weiche Werkstoffe, namentlich weichmagnetische Werkstoffe der Flußleiter, beispielsweise Permalloy, sowie relativ harte Werkstoffe, namentlich Trägerwerkstoffe, beispielsweise Al&sub2;O&sub3;/TiC. Durch die Reibewirkung des im Betrieb über die Kopffläche gleitenden Informationsträgers können die relativ weichen Werkstoffe an der Kopffläche verschleißen, was zu einer Aushöhlung der Schichtenstruktur der Kopffläche führt. Eine derartige Aushöhlung bedeutet eine Vergrößerung des Abstandes des Informationsträgers von der Schichtenstruktur und folglich eine verringerte Informationsübertragung vom Informationsträger zum Magnetkopf. Für den bekannten Magnetkopf, dessen Kopffläche zugleich als Kontaktfläche wirksam ist, läßt sich daher keine lange Lebensdauer gewährleisten.
  • Es ist an sich bekannt, auf der Kopffläche von Magnetköpfen verschleißfeste Schichten anzubringen, damit Verschleiß vermieden wird. In EP-A 0 123 826 (durch Bezeichnung als hierin aufgenommen betrachtet) wurde nämlich vorgeschlagen, die Kopffläche eines Magnetkopfes mit einer im Zerstäubungsverfahren aufgetragenen Schicht aus Titankarbid, Chromkarbid oder Titannitrid zu versehen, die dünner ist als 0,2 µm. Magnetköpfe, deren Kopffläche mit einer verschleißfesten Schicht versehen ist, haben aber das Problem, daß die Informationsübertragung vom Informationsträger zum Magnetkopf schlechter ist als bei entsprechenden Magnetköpfen ohne verschleißfeste Schicht auf der Kopffläche Damit im Betrieb noch günstigere Äusgangssignale erzielt werden können, ist es eine Anforderung, die verschleißfeste Schicht nicht dicker zu machen als wegen der verschleißhemmenden Wirkung unbedingt notwendig ist. Dünne verschleißfeste Schichten, namentlich dünner als 100 nm sind im allgemeinen nicht gas- und wasserdicht, wodurch korrosiv reagierende Stoffe, namentlich vom Informationsträger herrührend durch Poren in der verschleißfesten Schicht bis in die Kopffläche eindringen können. Namentlich weichmagnetische Werkstoffe, wie NiFe-Legierungen werden leicht durch korrosiv reagierende Stoffe angegriffen, mit der Folge, daß die Informationsübertragung vom Magnetband zu dem Übertragungselement abnimmt. Es hat sich herausgestellt, daß viele Magnetbänder u.a. Chlor enthalten und daß beim Abtasten dieser Bänder Cl-Ionen aus dem Band in die Kopffläche der Magnetköpfe diffundieren und dort örtlich Korrosion verursachen.
  • Es ist nun u.a. eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, den Magnetkopf der eingangs beschriebenen Art derart zu verbessern, daß dieser eine verschleißfeste sowie korrosionsfeste Kopffläche hat.
  • Der erfindungsgemäße Magnetkopf weist das Kennzeichen auf, daß sich auf der Kopffläche eine erste Schicht aus einem gegenüber den genannten Werkstoffen in der Kopffläche korrosionsempfindlicheren Material hauptsächlich mit einem Metall aus der Gruppe von Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Al, Zn befindet, auf der eine zweite Schicht aus einem verschleißfesten und gegenüber dem Material der ersten Schicht korrosionsunempfindlicheren Material aus der Gruppe Chromoxid, Chromnitrid, Hafniumnitrid, Titannitrid, Chromkarbid, Titankarbid, Wolframkarbid, Diamant angebracht ist.
  • Ein anderer erfindungsgemäßer Magnetkopf weist das Kennzeichen auf, daß die Kopffläche mit einer ersten Schicht aus Ti versehen ist, die empfindlicher für Korrosion ist als die in der Kopffläche vorhandenen Werkstoffe, und daß die erste Schicht mit einer zweiten Schicht aus einem verschleißfesten Material aus der Gruppe Chromoxid, Chromnitrid, Hafniumnitrid, Titannitrid, Chromkarbid, Titankarbid, Wolframkarbid versehen ist, wobei dieses Material korrosionsempfindlicher ist als Ti der ersten Schicht.
  • Die zweite Schicht, die eine Kontaktfläche bildet zum Zusammenarbeiten mit einem Informationsträger, schützt den erfmdungsgemäßen Magnetkopf vor Reibungs- und Korrosionsverschleiß, während die zwischen der Kopffläche und der zweiten Schicht befindliche erste Schicht den Magnetkopf gegen korrosiv reagierende Stoffe, wie Chlor, herrührend ais dem Informationsträger, schützt. Alle nichtmagnetische Metalle der ersten Schicht haben niedrigere Standard-Reduktions- Potentialwerte, -Eº Werte nach der US-Definition- als Fe; sie sind also weniger edel als Fe, so daß weichmagnetische Flußleiter aus beispielsweise einer NiFe-Legierung - Permalloy - die in der Kopffläche enden, durch material der ersten Schicht gegen Korrosion geschützt sind. Die Metalle können mit Hilfe bekannter Niederschlagmethoden, insbesondere physikalische oder dampthiederschlagtechniken wie Zerstäubung oder CVD, auf der Kopffläche angebracht.Es hat sich weiterhin herausgestellt, daß die Haftkraft verschleißfester Werkstoffe an Stoffen, die in der Kopffläche vorhanden sind, durch eine geeignete Wahl des Materials der ersten Schicht verbessert werden kann; mit anderen Worten, die erste Schicht kann ebenfalls als Haftschicht wirksam sein. Alle Werkstoffe der zweiten Schicht haben gute verschleißfeste Eigenschaften und haften ausgezeichnet an den Metallen der ersten Schicht. Die Stoffe können mit Hilfe bekannter Techniken wie Zerstäubung, Aufdampfverfahren oder CVD aufgetragen werden. Aus prozeßtechnischen Gründen werden die nachfolgenden Kombinationen von Stoffen bevorzugt: Titan und Titannitrid oder Titankarbid; Hafnium und Hafniumnitrid; Chrom und Chromoxid oder Chromnitrid oder aber Chromkarbid.
  • Es sei bemerkt, daß EP-A 0 350 412 einen magnetkopf beschreibt, dessen Kopffläche mit einer Haftschicht aus Ti versehen ist, die mit einer verschleißfesten Schicht aus Diamantkohlenstoff bedeckt ist.
  • Damit eine günstige Signalübertragung vom Informationsträger zu dem Übertragungselement und/oder von dem Übertragungselement zu dem Informationsträger gewährleistet wird, sollen die Schichtdicken der genannten Schichten möglichst klein sein. Günstige Resultate wurden erreicht mit erfindungsgemäßen Magnetköpfen, deren erste Schicht eine zwischen 1 und 20 nm liegende Dicke hatte und deren zweite Schicht eine zwischen 10 und 100 nm liegende Dicke hatte. Bevorzugt wird aber ein Magnetkopf, dessen erste Schicht eine Dicke von weniger als 5 nm hat und dessen zweite Schicht eine Dicke von weniger als 60 nm hat, da in dem Fall nur sehr beschränkte Ausgangsverluste auftreten.
  • Eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Magnetkopfes weist das Kennzeichen auf, daß das Chromoxid hauptsächlich Cr&sub2;O&sub3; ist, wobei das Material der ersten Schicht Cr ist.
  • Der erfindungsgemäße Magnetkopf hat eine verschleißfeste Kontaktfläche, die durch die Schicht gebildt ist, die hauptsächlich Cr&sub2;O&sub3; enthält zum Zusammenarbeiten mit einem Informationsträger, insbesondere einem Magnetband. Bei einer Schichtdicke von 10 nm bis 100 nm ist eine bevorzugte Signalübertragung zwischen dem Aufzichnungsträger und dem Übertragungselement gewährleistet. Es wurde gelunden, daß die Kontaktfläche eine gute Verschleißfestigkeit hat, nicht nur in dem Temperaturbereich zwischen 5ºC und 85ºC, sondern auch bei Temperaturen in dem bereich zwischen 5ºC und -20ºC. Dies ist insbesondere von Bedeutung für Magnetköpfe, die in tragbarer Apparatur und in magnetischen Abtastanordnungen verwendet werden, die für Gebrauch draußen bestimmt sind, wie Autokassettengeräte.
  • Es wurde versuchsweise festgestellt, daß eine ausgezeichnete im wesentlichen Cr&sub2;O&sub3;-haltige Schicht auf der Kontaktfläche erhalten werden kann, indem diese Schicht im Zerstäubungsverfahren angebracht wird. Bereits bei Schichtdicken kleiner als 60 nm stellt es sich heraus, daß im Zerstäubungsverfahren hohe Verschleißfestigkeitswerte erzielbar sind. Ein Vorteil der im Zerstäubungsverfahren hergestellten im wesentlichen Cr&sub2;O&sub3;-haltigen verschleißfesten Schicht ist weiterhin, daß diese bei Temperaturen unter 300ºC hergestellt werden kann. Dadurch werden die magnetischen Eigenschaften der in der schichtweise aufgebauten Kopfstruktur vorhandenen magentischen Werkstoffe beim Bilden der genannten Schicht nicht angegriffen. Eine im Zerstäubungsverfanren auf der Kopffläche angebrachte im wesentlichen Cr&sub2;O&sub3;-haltige verschleißfeste Schicht ergibt einen erfindungsgemäßen Magnetkopf, der im Betrieb günstige Ausgangssignale liefert und zum Gebrauch bei relativ niedrigen Temperaturen geeignet ist und der außerdem eine lange Lebensdauer hat.
  • Versuchsweise wurde festgestellt, daß eine vorzugsweise im Zerstäubungsverfahren angebrachte, im wesentlichen Cr-haltige Schicht mit einer Dicke von etwa 5 nm ausreicht um eine gute Haftkraft zwischen der im wesentlichen Cr&sub2;O&sub3;- haltigen Schicht und der Kopffläche zu gewährleisten.
  • Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf ein Verfahren zum Herstellen eines erfindungsgemäßen Magnetkopfes, dessen erste Schicht im wesentlichen Cr und dessen zweite Schicht im wesentlichen Cr&sub2;O&sub3; aufweist. In diesem Zusammenhang hat die Erfindung zur Aufgabe, ein möglichst einfaches Verfahren zu schaffen zum Herstellen eines derartigen verschleißfesten Magnetkopfes.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren weist das Kennzeichen auf, daß durch Anwendung des Zerstäubungsverfahren auf der Kopffläche wenigstens an der Kopfstruktur eine im wesentlichen Cr-haltige erste Schicht und im Zerstäubungsverfahren auf der ersten Schicht eine im wesentlichen Cr&sub2;O&sub3;-haltige zweite Schicht gebildet wird.
  • Eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens weist das Kennzeichen auf, daß mit einem Chromtarget ohne Sauerstoffhinzufügung zerstäubt wird, bis die erste Schicht gebildet ist, wonach zum Bilden der zweiten Schicht Sauerstoff hinzugefügt wird. Es hat sich herausgestellt, daß der Sauerstoff bereits hinzugefügt werden kann, nachdem die gebildete im wesentlichen Cr-haltige Schicht eine Dicke von einigen nm hat. Es hat sich herausgestellt, daß der Druck des Sauerstoffs, sofern dieser nicht extrem niedrig gewählt wird, nahezu keinen Einfluß auf die Zusammensetzung der gebildeten im wesentlichen Cr&sub2;O&sub3;-haltigen verschleißfesten Schicht hat, was die Eigenschaften dieser verschleißfesten Schicht unabhängig von kleinen Prozeßschwankungen macht. Wegen der Zuverlässigkeit des Verfahrens braucht in der Praxis nur zerstäubt zu werden, bis die gebildete, im wesentlichen Cr&sub2;O&sub3;-haltige Schicht eine Dicke von etwa 60 nm hat.
  • Es sei bemerkt, daß es aus "IBM Technical Disclosure Bulletin" Heft 11, Nr. 10, März 1969, Seite 1199 (durch Bezeichnung als hierin aufgenommen betrachtet) bekannt ist, durch "Flame Plating" Cr&sub2;O&sub3; auf hitzefesten Magnetköpfen anzubringen, und zwar zum Bilden verschleißfester Schichten. In JP-A 66-73917 (durch Bezeichnung als hierin aufgenommen betrachtet) wurde vorgeschlagen, Kernteile auch Cr-haltigen Permalloy mit einer Schicht aus Cr-Oxid mit einer Dicke von 0,5 µm zu versehen und um auf Kernteilen aus Permalloy ohne Cr, eine Schicht aus Cr-Oxid im Zerstäubungsverfahren anzubringen.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigen:
  • Fig. 1ein "Lay-Out" einer ersten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Magnetkopfes,
  • Fig. 2 einen schematischen Schnitt gemäß der Linie II-II durch einen Übertragungsspalt des in Fig. 1 dargestellten Magnetkopfes,
  • Fig. 3 eine schaubildliche Ansicht des in Fig. 1 dargestellten Magnetkopfes, und
  • Fig. 4 eine schaubildliche Ansicht des in Fig. 1 dargestellten Magnetkopfes in einer Herstellungsphase, in der der Magnetkopf noch eine unbedeckte Kopffläche hat.
  • Der in den Fig. 1, 2 und 3 dargestellte erfindungsgemäße Dünnfilm magnetkopf umfaßt einen Träger 1, in diesem Beispiel aus einem magnetischen Material, und zwar NiZn-Ferrit, worauf eine Kopfstruktur 2, aufgebaut aus magnetischen Schichten, elektrischen Schichten und Isolierschichten, angebracht ist. Die in Dünnfilmtechnik aufgebaute Kopfstruktur 2 ist durch einen Gegenblock 3 aus einem nicht-magnetischen Material, beispielsweise Al&sub2;O&sub3;/TiC, geschützt. Der Magnetkopf ist mit einer Kopffläche 5 mit in diesem Beispiel elf Übertragungsspalten versehen. Von den elf Übertragungsspalten ist eine Gruppe von neun Spalten S1 bis einschließlich S9 bestimmt zum Auslesen von Information in digitaler Form und ein Spaltepaar S10 und S11 ist bestimmt zum Auslesen von Information in anloger Form eines Informationsträgers 7, der in einer Richtung x am Magnetkopf entlang geführt wird. Die Spalte S1 bis S9 für digitalen Gebrauch haben im allgemeinen eine geringere Spaltlänge als die Spalte S10 und S11 für den anlogen Gebrauch. Übrigens kann auch eine derartige Spaltlänge gewählt werden, daß analoge sowie digitale Information von ein und demselben Spalt ausgelesen werden kann.
  • Der erfindungsgemäße Magnetkopf umfaßt eine auf dem Träger 1 angebrachte Isolierschicht 9, auf der sich in diesem Beispiel drei elektrische Leiter C1, C2 und C3 befinden, die sich bis in die Übertragungsspalte erstrecken können. Der Magnetkopf umfaßt weiterhin elf Magnetwiderstandelemente E1 bis E11, ferner als MR-Elemente bezeichnet, die beispielsweise eine NiFe-Schicht aufweisen, auf der ein oder mehrere Äquipotentialstreifen, beispielsweise aus Au, angebracht sein können. Die MR-Elemente E1 bis E11 sind mit je einem Paar erster Ahschlußspuren 11a und 11b versehen, die in ersten Anschlußflächen 13 bzw. 13b enden. Die ersten Anschlußspuren sowie die ersten Anschlußflächen bestehen vorzugsweise aus Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigen: Es sei bemerkt, daß ein MR-Element mit Äquipotentialstreifen an sich bekannt ist und u.a. in UA-A 4.052.748 (durch Bezeichnung als hierin aufgenommen betrachtet) beschrieben ist.
  • Die genannten elektrischen Leiter C1, C2 und C3 dienen zum Ansteuern der MR-Elemente E1 bis E9, E10 bzw. E11 und sind mit je einem Paar zweiter Anschlußspuren 15a und 15b versehen, die in zweiten Anschlußflächen 17a bzw. 17b enden.
  • Der Magnetkopf umfaßt weiterhin elf Paar Flußleiter aus einem weichmagnetischen Material, beispielsweise Permalloy, wobei jedes Paar einen ersten oder vorderen Flußleiter 19a und einen in einem Abstand davon liegenden zweiten oder hinteren Flußleiter 19b aufweist. Der vordere Flußleiter 19a erstreckt sich bis an die Kopffläche 5 zum Zusammenarbeiten mit dem magnetischen Informationsträger 7. Die MR-Elemente E1 bis E11 befinden sich zwischen dem Träger 1 und den Flußleitern, wobei jedes MR-Element eine Brücke zwischen einem ersten und einem zweiten Flußleiter 19a und 19b bildet. In bestimmten Konstruktionen und für bestimmte Anwendungsbereiche ist es möglich, die hinteren Flußleiter fortzulassen. Zugleich ist es möglich, von einem nicht-magnetischen Träger auszugehen und einen zusätzlichen Flußleiter vorzusehen.
  • Die elektrischen Leiter, die MR-Elemente und die Flußleiter sind durch eine Anzahl Isolierschichten aus einem elektrisch und magnetisch isolierenden Material, beispielsweise ein Oxid oder ein Polymer, gegenüber einander elektrisch isoliert. Die Isolierschichten sind in Fig. 2 durch die Bezugszeichen 21 und 23 Basis-Elektrodezeichnet. Zwischen den gemeinsamen Flußleitern 19a und 19b und dem Gegenblock 3 befindet sich eine weitere Isolierschicht 25, beispielsweise in Form einer Klebeschicht.
  • Um die Kopffläche 5 des erfindungsgemäßen Magnetkopfes herum ist eine erste Schicht 31 aus im wesentlichen Cr angebracht, auf der eine zweite Schicht 33 aus im wesentlichen Cr&sub2;O&sub3; angebracht ist zum Bilden eines verschleißfesten Kontaktfläche 35 zum Zusammenarbeiten mit dem bandförmigen Informationsträger 7. Die erste Schicht 31 sorgt einerseits für eine gute Haftung der zweiten Schicht auf dem Magnetkopf und schützt anderseits die Werkstoffe der Kopfstruktur, insbesondere die weichmagnetischen Werkstoffe, vor Angriff durch von außen her einwirkende agressive Stoffe.
  • Unter Hinweis auf Fig. 4 wird untenstehend das Anbringen der Schichten 31 und 33 auf der Kopffläche näher erläutert.. Nachdem das Gebilde aus dem Träger 1, der Kopfstruktur 2 und dem gegenblock 3 mit der Lauffläche 5 versehen ist, beispielsweise durch eine Schleif- und/oder Polierbehandlung wird das Gebilde in eine an sich bekannte Zerstäubungsvorrichtung gegeben, in der sich ein Chrom-Target befindet. In einem reaktiven RF-Zerstäubungsverfahren, beispielsweise einem RF-Dioden-Zerstäubungsverfahren bei 1,33 Pa (10 mTott Ar), wird auf der Kopffläche 5 an den Übertragungsspalten S1-S11 und auf beiden Seiten derselben im wesentlichen Cr aufgetragen.
  • Nachdem durch Auftragung con Cr eine bestimmte Schichtdicke, beispielsweise 5 nm, gebildet ist, wird der Zerstäubungsvorrichtung Sauerstoff zugeführt, wobei bei beispielsweise 0,13 Pa (1 mTorr) die hauptsächlich Cr&sub2;O&sub3;-haltige Schicht gebildet wird. Ein Vorteil dieses Verfahrens ist, daß die beiden Schichten gleich nacheinander und in derselben Zerstäubungsvorrichtung angebracht werden können.
  • Es sei bemerkt, daß die Erfindung sich nicht auf die oben beschriebene Ausführungsform beschränkt. So kann der erfindungsgemäße Magnetkopf statt oder außer Magnetwiderstandübertragungselemente ein oder mehrere induktive Übertragungselemente umfassen zum Aufzeichnen von Information auf einem Informationsträger. Weiterhin kann statt einer verschleißfesten Schicht aus Cr&sub2;O&sub3; eine Schicht aus einem anderen Material aus der Gruppe, die durch Chromoxid, Chromnitrid, Hafniumnitrid, Titannitrid, Chromkarbid, Titankarbid, Wolframkarbid und Diamant besteht, als verschleißfeste Schicht verwendet werden. Weiterhin kann zum Bilden einer sich zwischen der Kopffläche und der verschleißfesten Schicht erstreckenden Zwischenschicht statt Chrom ein Metall aus der Gruppe verwendet werden, die durch Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Al und Zn gebildet ist.

Claims (6)

1. Magnetkopf mit einer Kopffläche (5) und mit einer Kopfstruktur aus dünnen Schichten und mit einem Übertragungselement (E1-E11), wobei in der Kopffläche in verschiedenen Gebieten verschiedene Werkstoffe vorhanden sind, dadurch gekennzeichnet, daß sich auf der Kopffläche (5) eine erste Schicht (31) aus einem gegenüber den genannten Werkstoffen in der Kopffläche korrosionsempfindlicheren Material hauptsächlich mit einem Metall aus der Gruppe von Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Al, Zn befindet, auf der eine zweite Schicht (33) aus einem verschleißfesten und gegenüber dem Material der ersten Schicht korrosionsunempfindlicheren Material aus der Gruppe Chromoxid, Chromnitrid, Hafniumnitrid, Titannitrid, Chromkarbid, Titankarbid, Wolframkarbid, Diamant angebracht ist.
2. Magnetkopf mit einer Kopffläche (5) und mit einer Kopfstruktur aus dünnen Schichten und mit einem Übertragungselement (E1-E11), wobei in der Kopffläche (5) in verschiedenen Gebieten verschiedene Werkstoffe vorhanden sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Kopffläche mit einer ersten Schicht (31) aus Ti versehen ist, die empfindlicher für Korrosion ist als die in der Kopffläche vorhandenen genannten Werkstoffe, und daß die erste Schicht mit einer zweiten Schicht (33) aus einem verschleißfesten Material aus der Gruppe Chromoxid, Chromnitrid, Hafniumnitrid, Titannitrid, Chromkarbid, Titankarbid, Wolframkarbid versehen ist, wobei dieses Material korrosionsempfindlicher ist als Ti der ersten Schicht.
3. Magnetkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Schicht (31) eine Dicke zwischen 1 nm und 20 nm hat und die zweite Schicht eine Dicke zwischen 10 nm und 100 nm hat.
4. Magnetkopf nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Chromoxid hauptsächlich Cr&sub2;O&sub3; ist, wobei das Material der ersten Schicht Cr ist.
5. Verfahren zum Herstellen eines Magnetkopfes nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine erste Schicht (31), die hauptsächlich Cr aufweist, im Zerstäubungsverfahren auf der Kopffläche (5), wenigstens auf der Kopfstruktur, agebracht wird und eine zweite Schicht (33), die hauptsächlich Cr&sub2;O&sub3; aufweist, im Zerstäubungsverfahren auf der ersten Schicht gebildet wird.
6. Verfahren nach Anspruchs, dadurch gekennzeichnet, daß das Zerstäubungsverfahren mit einem Chrom-Target ohne Hinzufügung von Sauerstoff durchgeführt wird bis die erste Schicht (31) gebildet ist, wonach dann zum Bilden der zweiten Schicht (33) Sauerstoff hinzugefügt wird.
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