DE3883750T2 - Aufzeichnungs-wiedergabemagnetkopf mit antiverschleissschicht und verfahren zu seiner herstellung. - Google Patents
Aufzeichnungs-wiedergabemagnetkopf mit antiverschleissschicht und verfahren zu seiner herstellung.Info
- Publication number
- DE3883750T2 DE3883750T2 DE88909545T DE3883750T DE3883750T2 DE 3883750 T2 DE3883750 T2 DE 3883750T2 DE 88909545 T DE88909545 T DE 88909545T DE 3883750 T DE3883750 T DE 3883750T DE 3883750 T2 DE3883750 T2 DE 3883750T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- magnetic
- layer
- magnetic material
- layers
- reading head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 5
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 43
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 claims description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 claims description 10
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 claims description 2
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 85
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910018404 Al2 O3 Inorganic materials 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical class [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/255—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features comprising means for protection against wear
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
- G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
- Die Erfindung betrifft einen magnetischen Aufzeichnungs/Lesekopf mit einer abriebfesten Schicht und insbesondere einen Magnetkopf, der auf seiner Oberfläche, die mit dem magnetischen Aufzeichnungsträger in Kontakt ist, eine verschleißfeste Schicht aufweist. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung einer solchen abriebfesten Schicht.
- Die mit einem Ferritsubstrat verwirklichten Magnetköpfe wie die derzeitigen Heimvideo-Köpfe (VHS) sehr hoher Auflösung, bei denen ein Band mit 5 ms&supmin;¹ vorbeigeführt wird, oder die derzeitigen digitalen Köpfe (3,32 ms&supmin;¹), die unter der Bezeichung RDAT (Rotary Digital Audio Tape) bekannt sind, sind einer langsamen Erosion ausgesetzt, die sie am Ende einer Betriebszeit von 2000 Stunden unbrauchbar machen. Nach einer solchen Betriebsdauer kann der Kopf nämlich um 20 Micrometer Höhe abgenutzt sein.
- Eine Lösung des Problems der Abnutzung besteht darin, eine abriebfeste Schicht auf dem Kopf aufzubringen. In dem Dokument EP-A-0 241 371 findet man diese Idee der VerwirMichung einer Schutzschicht auf der Oberfläche eines Magnetkopfes. Leider ist die Befestigung von Materialien wie Kohlenstoff auf Ferrit sehr schwierig, und hinsichtlich der Heterogenität der Materialien, die einen Magnetkopf bilden können, wie Ferrit, Aluminiumoxide, Glas, stellt es sich heraus, daß die Kohlenstoffschicht schwierig aufzubringen ist.
- Die Erfindung ermöglicht die Lösung dieses Problems des Aufbringens einer abriebfesten Schicht auf einem Magnetkopf und insbesondere auf der Oberfläche des Kopfes, die mit einem magnetischen Aufzeichnungsträger in Kontakt ist.
- Die Erfindung betrifft daher einen magnetischen Aufzeichnungs/Lese-Kopf mit zwei Magnetpolen, die durch einen Spalt aus nichtmagnetischem Material voneinander getrennt sind, wobei dieser Kopf dadurch gekennzeichnet ist, daß er auch folgendes enthält:
- - auf jedem Magnetpol eine Schicht aus einem magnetischen Material, die einen guten Koeffizienten einer Klebung auf den Magnetpolen besitzt und auf der eine Schicht auf der Basis von Kohlenstoff einen guten Klebekoeffizienten aufweist, wobei diese Schicht nur die Magnetpole bedeckt, und
- - auf der Einheit von Schichten aus magnetischem Material und dem Spalt eine abriebfeste Schicht aus einem Material auf der Basis von Kohlenstoff.
- Die Erfindung betrifft auch einen magnetischen Aufzeichnungs/Lese-Kopf mit zwei Magnetpolen, die durch einen Spalt aus nichtmagnetischem Material voneinander getrennt sind, wobei dieser Kopf dadurch gekennzeichnet ist, daß er auch Befestigungsschichten aus einem magnetischen Material enthält, die einen guten Koeffizienten einer Klebung auf den Magnetpolen besitzen, wobei sie nur die Magnetpole bedecken, wobei die nichtbedeckten Zonen durch ein nichtmagnetisches Material belegt sind, und wobei die Einheit von Befestigungsschichten und des nichtmagnetischen Materials von einer abriebfesten Schicht bedeckt sind, die einen guten Koeffizienten einer Klebung auf dem Material der Befestigungsschichten besitzt.
- Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungs/Lese-Kopfes nach einem der vorhergehenden Ansprüche, das dadurch gekennzeichnet ist, daß es die folgenden Schritte enthält:
- - einen ersten Schritt der Herstellung einer ersten Befestigungsschicht auf der aktiven Seite des einen der Magnetpole des Magnetkopfes,
- - einen zweiten Schritt der Herstellung einer Schicht aus nichtmagnetischem Material auf der ersten Befestigungsschicht, auf dem Spalt und auf dem zweiten Magnetpol,
- - einen dritten Schritt der Herstellung einer zweiten Befestigungsschicht auf der Schicht aus nichtmagnetischem Material,
- - einen vierten Schritt der Bearbeitung der zweiten Befestigungsschicht und der Schicht aus nichtmagnetischem Material bis zum Erreichen der ersten Befestigungsschicht und
- - einen fünften Schritt der Herstellung einer Schicht aus einem abriebfesten Material auf den beiden Befestigungsschichten und auf dem Teil der Schicht aus nichtmagnetischem Material, der zwischen den beiden Befestigungsschichten verbleibt, bis zum Erreichen der ersten Befestigungsschicht.
- Die verschiedenen Ziele und Merkmale der Erfindung ergeben sich deutlicher aus der folgenden Beschreibung, in der auf die Zeichnung Bezug genommen wird; in dieser zeigen:
- Fig. 1 ein Ausführungsbeipiel eines Magnetkopfes gemäß der Erfindung,
- Fig. 2 eine Ausführungsvariante des Magnetkopfes der Fig. 1,
- Fig. 3 eine Draufsicht eines flachen Magnetkopfes gemäß der Erfindung,
- Fig. 4 eine Schnittansicht eines Magnetkopfes aus dünnen Schichten, und
- Figuren 5 bis 7 unterschiedliche Schritte eines erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens.
- Anhand von Fig. 1 wird nun zunächst ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Magnetkopfes beschrieben.
- Dieser Magnetkopf enthält zwei Magnetpole P1 und P2 aus magnetischem Material auf der Basis von Ferrit. Die beiden Magnetpole P1, P2 sind durch einen Spalt E1 aus nichtmagnetischem Material auf der Basis von Alurniniumoxid (Al&sub2; O&sub3;) oder Siliziumoxid (Si O&sub2;) voneinander getrennt.
- Ein solcher Magnetkopf muß von einer Schicht aus hartem, abriebfestem Material bedeckt sein. Eine solche Schicht wird vorzugsweise eine Zusammensetzung auf der Basis von Kohlenstoff sein. Es stellt sich jedoch heraus, daß sich Kohlenstoff schlecht an dem Feriit befestigen läßt.
- Gemäß der Erfindung und wie in Fig. 1 dargestellt, sieht man auf jedem Magnetpol P1, P2 eine Befestigungsschicht S1, S2 aus magnetischem Material vor. Das die Schichten S1, S2 bildende Material ist von einer solchen Zusammen-Setzung, daß es sich gut an dem Ferrit der Magnetpole S1, S2 befestigen läßt und daß sich auch die abriebfeste Schicht C1 gut an diesem Material befestigen läßt.
- Auf die Schichten S1, S2 ist eine abriebfeste Schicht C1 wie eine Schicht auf der Basis von Kohlenstoff aufgebracht.
- Ein wesentliches Merkmal der Erfindung besteht darin, daß die Schichten S1, S2 aus magnetischem Material bestehen, um zu vermeiden, daß sie zusätzliche Spalte bilden. Sie müssen die Eigenschaft besitzen, wirksam auf die Magnetpole aufklebbar zu sein, und eine abriebfeste Schicht auf der Basis von Kohlenstoff muß ebenfalls wirksam auf die Schichten S1, S2 aufklebbar Sein.
- Gemäß der Erfindung werden die Schichten S1, S2 auf der Basis eines Materials der Art bestehen, die in der Technik unter der Bezeichnung Sendust bekannt ist. Sendust ist ein magnetisches Material von der allgemeinen Formel:
- Fex Siy Alz,
- in der beispielsweise:
- - x zwischen 70 und 85 (z.B. bei 80) liegt
- - y zwischen 5 und 15 (z.B. bei 10) liegt
- - z zwischen 5 und 15 (z.B. bei 10) liegt.
- Es wurde festgestellt und experimentell nachgewiesen, daß sich Sendust sehr gut an Ferrit befestigen läßt, so wie Kohlenstoff an Sendust. Bei den oben angegebenen Zusammensetzungen besitzt es die magnetischen Eigenschaften von Ferrit. Es ist jedoch jede dazwischenliegende Zusammensetzung möglich. So ist es insbesondere möglich, ein viertes Element wie Kohlenstoff hinzuzufügen, was die folgende allgemeine Formel ergibt:
- Fex Siy Alz Ct,
- in der: x + y + z + t = 100,
- und bei denen die ZusammenSetzungen aus Eisen, Silizium und Aluminium im wesentlichen die gleichen wie zuvor sind und t zwischen 0 und 15 liegt.
- Die Schichten S1, S2 können auch aus einem anderen magnetischen Material bestehen, das die zuvor beschriebenen Klebeeigenschaften besitzt. Z.B. kann dieses Material eine Legierung NiFe aus Nickel und Eisen sein, wie sie in der technischen Literatur derzeit unter der Bezeichnung Permalloy angegeben wird.
- Bei den Magnetpolen P1, P2 aus Ferrit, die von Befestigungsschlchten S1, S2 bedeckt sind, schützt eine die Schichten S1 und S2 bedeckende abriebfeste Schicht C1 den Magnetkopf vor der Abnutzung durch einen magnetischen Aufzeichnungsträger wie ein Magnetband B1, das vor dem Kopf vorbeigeführt wird und an der abriebfesten Schicht C1 reibt.
- Zu Fig. 1 ist festzustellen, daß die Befestigungsschichten S1, S2 an der Stelle des Spaltes E1 durch einen Zwischenraum voneinander getrennt sind, der einen Spalt E2 bildet. Die abriebfeste Schicht C1 füllt somit diesen Spalt aus.
- Um, wie dies in Fig. 1 gezeigt ist, zu vermeiden, däß die Oberfläche der abriebfesten Schicht C1 einen Hohlraum in Höhe des Spaltes E2 aufweist, ist vorgesehen, die abriebfeste Schicht C1 zu polieren. Gemäß der Ausführungsvariante der Fig. 2 ist auch vorgesehen, daß der Spalt E2 ein nichtmagnetisches Material wie Aluminiumoxid Al&sub2; O&sub3; oder Siliziumoxid (Si O&sub2;) oder ein Material auf der Basis einer dieser Zusammensetzungen enthält. Die Oberfläche der abriebfesten Schicht C1 ist nun eine gleichmäßige Oberfläche.
- Fig. 3 zeigt eine Draufsicht eines ebenen Magnetkopfes.
- Zwei auf einem Substrat angeordnete Magnetpole P1, P2 liegen einander gegenüber, und sie sind durch einen Spalt E1 voneinander getrennt. Wie zuvor sind die Magnetpole von Befestigungsschichten S1, S2 bedeckt. Diese Schichten sind durch einen Spalt E2 voneinander getrennt, und die Einheit ist von einer abriebfesten Schicht bedeckt.
- Ein solcher ebener Kopf muß jedoch eine gegenüber dem Substrat verringerte Spaltbreite L (1 bis 3 Micrometer) besitzen. Die Magnetpole weisen damit in der Umgebung des Spaltes Verengungen auf, wie dies in Fig. 3 dargestellt ist. Die Befestigungsschichten S1, S2 dürfen nur die Magnetpole bedecken, und sie dürfen sich nicht auf das die Pole tragende Substrat ausdehnen, um zu vermeiden, daß diese aus magnetischem Material bestehenden Befestigungsschichten S1, S2 die Breite L des Spaltes El vergrößern oder den Spalt E1 kurzschließen.
- Die nicht von den Magnetpolen P1, P2 bedeckten Zonen beiderseits der Verengungen sind daher von einem nichtmagnetischen Material V1, V2 wie einem Material auf der Basis von Siliziumoxid (Si O&sub2;) oder Muminiumoxid (Al&sub2; O&sub3;) belegt. Dieses Material fluchtet so mit dem oberen Teil der Befestigungsschichten S1, S2, daß eine einheitliche Oberfläche gebildet wird.
- Die Einheit aus den Befestigungsschichten S1, S2 und dem nichtmagnetischen Material (V1, V2) ist von der abriebfesten Schicht C1 (in Fig. 3 nicht gezeigt) bedeckt, wie dies in Fig. 2 dargestellt ist. Man erhält eine ebene Magnetkopfoberfläche, die vollständig glatt ist und gegenüber jeglicher Abnutzung infolge einer Reibung gegenüber dem Aufzeichnungsträger in hohem Maße resistent ist.
- Die Magnetköpfe der Figuren 1 und 2 können von der Art sein, die auf jeder Seite des Spaltes der Art MIG (Metal in Gap) Metallschichten enthält. Die Erfindung ist gleichermaßen bei solchen Magnetköpfen verwendbar.
- Die Erfindung ist auch bei einem Magnetkopf aus dünnen Schicht wie dem verwendbar, der durch die Fig. 4 dargestellt ist. Der Magnetkopf der Figur 4 enthält zwei Schichten P1, P2 aus magnetischem Material, die die Magnetpole bilden. Diesen Schichten P1, P2 sind fest mit Trägermaterialien A1, A2 wie Aluminiumoxid verbunden und durch einen Spalt E1 voneinander getrennt. Der aktive Teil des Magnetkopfes trägt zwei Befestigungsschichten S1, S2 z.B. aus Sendust, die durch einen Spalt E2 voneinander getrennt sind. Die Einheit aus den Schichten S1 und S2 und dem Spalt E2 ist von einer abriebfesten Schicht C1 bedeckt.
- Anhand der Figuren 5 bis 7 wird ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Herstellung der Befestigungsschichten S1, S2 und der abriebfesten Schicht C1 beschrieben.
- Das Verfahren der Erfindung wird in der folgenden Beschreibung auf irgendeinen der zuvor beschriebenen Magnetköpfe angewandt.
- Im Verlauf eines ersten Schrittes wird auf der aktiven Oberfläche eines Magnetkopfes mit zwei Magnetpolen P1 und P2, die durch einen Spalt E1 voneinander getrennt sind, und insbesondere auf der aktiven Seite des Poles P1 eine Befestigungsschicht S1 verwirklicht, deren Zusammensetzung von der zuvor beschriebenen Art ist.
- Im Verlauf eines zweiten Schrittes werden die Schicht S1 und der Magnetpol P2 von einer Schicht E3 aus einem nichtmagnetischen Material bedeckt. Man erhält so einen Aufbau, wie er in Fig. 5 dargestellt ist.
- Im Verlauf eines dritten Schrittes wird die Schicht E3 von einer Schicht S2 aus einem Material gleich dem der Schicht 2 bedeckt, wie dies in Fig. 6 dargestellt ist.
- Im Verlauf eines vierten Schrittes werden die Schichten E3 und S2 bearbeitet, bis die Schicht S1 erreicht wird. Es verbleibt demnach kein Material der Schicht E3 mehr auf dem Magnetpol S1. Dagegen verbleibt zwischen den Schichten S1 und S2 ein Teil der Schicht E3, der einen Spalt E2 zwischen den Schichten S1 und S2 verwirklicht.
- Im Verlauf eines fünften Schrittes wird das ganze von einer abriebfesten Schicht C1 bedeckt. Man erhält nun einen Aufbau, wie er in Fig. 7 dargestellt ist.
- Gemäß einer Ausführungsvariante des erfindungsgemäßen Verfahrens ist dann, wenn man vermeiden will, däß auf dem Magnetpol P2 Material der Schicht E3 zurückbleibt, nach dem zweiten Schritt der Herstellung der Schicht E3 eine Phase eines Abtragens der Schicht E3 vorgesehen, bei der nur das Material beibehalten wird, das zur Herstellung des Spaltes E2 erforderlich ist, so däß eine Ausführungsform erhalten wird, die z.B. den Figuren 2 und 4 entspricht.
- Z.B. kann die Dicke der Befestigungsschicht auf der Basis von Sendust 100 Angstroem und die der abriebfesten Schicht auf der Basis von Kohlenstoff gleichfalls 10 Nanometer (100 Angstroem) betragen.
Claims (13)
1. Magnetischer Aufzeichnungs/Lese-Kopf mit zwei Magnetpolen
(P1, P2), die durch einen Spalt (E1) aus nichtmagnetischem
Material voneinander getrennt sind, dadurch gekennzeichnet,
daß er auch folgendes enthält:
- auf jedem Magnetpol (P1, P2) eine Schicht (S1, S2) aus
einem magnetischen Material, die einen guten Koeffizienten
einer Klebung auf den Magnetpolen (P1, P2) besitzt und auf
der eine Schicht auf der Basis von Kohlenstoff einen guten
Klebekoeffizienten aufweist, wobei diese Schicht nur die
Magnetpole bedeckt, und
- auf der Einheit von Schichten (S1, S2) aus magnetischem
Material und dem Spalt (E1) eine abriebfeste Schicht (C1)
aus einem Material auf der Basis von Kohlenstoff.
2. Magnetischer Aufzeichnungs/Lese-Kopf nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetpole aus Ferrit
bestehen.
3. Magnetischer Auf zeichnungs/Lese-Kopf nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus magnetischem
Material auf der Basis von Fex Siy Alz besteht.
4. Magnetischer Aufzeichnungs/Lese-Kopf nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus magnetischem
Material auf der Basis von Permalloy (Ni Fe) besteht.
5. Magnetischer Aufzeichnungs/Lese-Kopf nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß das magnetische Material auf der
Basis von Fex Siy Alz Ct besteht, wobei die folgenden
Verhältnisse vorliegen:
- x = 70 bis 85 Prozent Eisen
- y = 5 bis 15 Prozent Silizium
- z = 5 bis 15 Prozent Aluminium
- t = 0 bis 15 Prozent Kohlenstoff,
wobei die Summe x + y + z + t gleich 100 ist.
6. Magnetischer Aufzeichnungs/Lese-Kopf, der eine flache
Form aufweist, nach Anspruch 1, wobei der Kopf zwei
Magnetpole (P1, P2) aus dünnen Schichten enthält, die auf ein
Substrat (1) aufgebracht und durch einen Spalt (E1) voneinander
getrennt sind, dadurch gekennzeichnet, daß die abriebfeste
Schicht (C1) auch die Substratzone oder die Substratzonen
(1) bedeckt, die nicht von den Magnetpolen (P1, P2) und von
dem Spalt (E1) bedeckt sind.
7. Magnetischer Aufzeichnungs/Lese-Kopf nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Schichten (S1, S2) aus
magnetischem Material, die jeden Magnetpol (P1, P2) bedecken,
durch ein nichtmagnetisches Material (E2) untereinander
getrennt sind.
8. Magnetischer Aufzeichnungs/Lese-Kopf nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, daß das nichtmagnetische Material (E2)
ein Material auf der Basis von Siliziumdioxid ist.
9. Magnetischer Aufzeichnungs/Lese-Kopf nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, daß das nichtmagnetische Material (E2)
ein Material auf der Basis von Aluminiumoxid ist.
10. Verfahren zur Herstellung eines magnetischen
Aufzeichnungs/Lese-Kopfes nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß es die folgenden Schritte
enthält:
- einen ersten Schritt der Herstellung einer ersten
Befestigungsschicht (S1) auf der aktiven Seite des einen der
Magnetpole (P1) des Magnetkopfes,
- einen zweiten Schritt der Herstellung einer Schicht (E3)
aus nichtmagnetischem Material auf der ersten
Befestigungsschicht (S1), auf dem Spalt (E1) und auf dem zweiten
Magnetpol (P2),
- einen dritten Schritt der Herstellung einer zweiten
Befestigungsschicht (S2) auf der Schicht (E3) aus
nichtmagnetischem Material,
- einen vierten Schritt der Bearbeitung der zweiten
Befestigungsschicht (S2) und der Schicht (E3) aus nichtmagnetischem
Material bis zum Erreichen der ersten Befestigungsschicht
(S1), und
- einen fünften Schritt der Herstellung einer Schicht (C1)
aus einem abriebf esten Material auf den beiden Bef
estigungsschichten (S1, S2) und auf dem Teil (E2) der Schicht aus
nichtmagnetischem Material, der zwischen den beiden
Befestigungsschichten (S1, S2) verbleibt.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß
es zwischen dem zweiten und dem dritten Schritt eine Phase
eines solchen Abtragens der Schicht (E3) aus
nichtmagnetischem Material enthält, daß von dieser Schicht nur der Teil
(E2) erhalten bleibt, der zwischen den beiden
Befestigungsschichten (S1, S2) beibehalten werden muß.
12. Magnetischer Aufzeichnungs/Lese-Kopf mit zwei
Magnetpolen (P1, P2), die durch einen Spalt (E1) aus
nichtmagnetischem Material voneinander getrennt sind, dadurch
gekennzeichnet, daß er auch Befestigungsschichten (S1, S2) aus
einem magnetischen Material enthält, die einen guten
Koeffizienten einer Klebung auf den Magnetpolen besitzen, wobei
sie nur die Magnetpole (P1, P2) bedecken, wobei die
nichtbedeckten
Zonen durch ein nichtmagnetisches Material (V1, V2)
belegt sind, und wobei die Einheit von Befestigungsschichten
(S1, S2) und des nichtmagnetischen Materials (V1, V2) von
einer abriebf esten Schicht (C1) bedeckt sind, die einen
guten Koeffizienten einer Klebung auf dem Material der
Befestigungsschichten besitzt.
13. Magnetischer Auf zeichnungs/Lese-Kopf nach Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet, daß die obere Fläche des
nichtmagnetischen Materials (V1, V2) mit der oberen Fläche der
Befestigungsschichten (S1, S2) fluchtet, um eine ebene
Oberfläche zu bilden.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8714823A FR2622338B1 (fr) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | Tete magnetique d'enregistrement-lecture a couche anti-abrasion et procede de realisation |
| SG153694A SG153694G (en) | 1987-10-27 | 1994-10-21 | Magnetic read/write head wit abrasion-resistant layer and process for making it |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3883750D1 DE3883750D1 (de) | 1993-10-07 |
| DE3883750T2 true DE3883750T2 (de) | 1993-12-16 |
Family
ID=26226288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE88909545T Expired - Fee Related DE3883750T2 (de) | 1987-10-27 | 1988-10-21 | Aufzeichnungs-wiedergabemagnetkopf mit antiverschleissschicht und verfahren zu seiner herstellung. |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5050027A (de) |
| EP (1) | EP0339070B1 (de) |
| JP (1) | JP2778071B2 (de) |
| DE (1) | DE3883750T2 (de) |
| FR (1) | FR2622338B1 (de) |
| HK (1) | HK143294A (de) |
| SG (1) | SG153694G (de) |
| WO (1) | WO1989004039A1 (de) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2648607B1 (fr) * | 1989-06-16 | 1995-12-15 | Thomson Csf | Tete magnetique integree d'enregistrement |
| NL9101270A (nl) * | 1991-07-19 | 1993-02-16 | Philips Nv | Magneetkopeenheid, magneetkop ten gebruike in de magneetkopeenheid en magneetkopstructuur ten gebruike in de magneetkop. |
| US5331493A (en) * | 1992-08-21 | 1994-07-19 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Bidirectional thin-film magnetoresistive tape head assembly |
| US5609948A (en) * | 1992-08-21 | 1997-03-11 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Laminate containing diamond-like carbon and thin-film magnetic head assembly formed thereon |
| US5734519A (en) * | 1993-03-25 | 1998-03-31 | International Business Machines Corporation | Contact magnetic recording disk file with improved head assembly |
| US6031694A (en) * | 1994-02-28 | 2000-02-29 | Hitachi, Ltd. | Magnetic head with protective film comprising amorphous CaMgSi2 b. O.su6, Mg2 SiO4 and/or MgAl2 O4 |
| FR2723243B1 (fr) * | 1994-07-26 | 1996-09-06 | Thomson Csf | Dispositif d'enregistrement et/ou de lecture de tetes magnetiques et son procede de realisation |
| FR2723242B1 (fr) * | 1994-07-26 | 1996-08-30 | Thomson Csf | Tete magnetique a element saturable et dispositif matriciel comportant un ensemble de tetes magnetiques |
| US5684661A (en) * | 1995-04-13 | 1997-11-04 | Eastman Kodak Company | Magnetic head assembly and method for reading and/or writing data onto a thin magnetic layer placed on a photographic element |
| US5920538A (en) * | 1998-06-11 | 1999-07-06 | Tandberg Data Asa | Magneto-optical readout method and magneto-optical readout head and method for making same |
| FR2786345B1 (fr) | 1998-11-24 | 2001-02-09 | Thomson Csf | Dispositif de cryptage quantique |
| US7149173B2 (en) * | 2000-10-17 | 2006-12-12 | Thales | Medium for recording optically readable data, method for making same and optical system reproducing said data |
| FR2824905B1 (fr) * | 2001-05-15 | 2003-08-29 | Thomson Csf | Gyrometre a fibre optique |
| US8824100B2 (en) * | 2011-05-20 | 2014-09-02 | Seagate Technology Llc | Overcoats that include magnetic materials |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5683829A (en) * | 1979-12-11 | 1981-07-08 | Mitsubishi Electric Corp | Magnetic head |
| FR2474219A1 (fr) * | 1980-01-21 | 1981-07-24 | Eurofarad | Tete magnetique en ferrite avec enduit protecteur |
| JPS6028012A (ja) * | 1983-07-27 | 1985-02-13 | Seiko Epson Corp | 複合磁気ヘツド |
| JPS60119609A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-27 | Kao Corp | 垂直磁気記録方式の磁気ヘツド |
| JPS60191407A (ja) * | 1984-03-12 | 1985-09-28 | Hitachi Ltd | 磁気ヘツド |
| JPS6129409A (ja) * | 1984-07-20 | 1986-02-10 | Canon Electronics Inc | 磁気ヘツド及びその製造方法 |
| FR2597247B1 (fr) * | 1986-04-11 | 1995-01-27 | Thomson Csf | Procede de realisation d'une couche de protection mecanique pour tete magnetique d'enregistrement/lecture et tete magnetique d'enregistrement/lecture mettant en oeuvre ce procede |
-
1987
- 1987-10-27 FR FR8714823A patent/FR2622338B1/fr not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-10-21 JP JP63508827A patent/JP2778071B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1988-10-21 US US07/377,831 patent/US5050027A/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-10-21 WO PCT/FR1988/000516 patent/WO1989004039A1/fr active IP Right Grant
- 1988-10-21 EP EP88909545A patent/EP0339070B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-10-21 DE DE88909545T patent/DE3883750T2/de not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-10-21 SG SG153694A patent/SG153694G/en unknown
- 1994-12-15 HK HK143294A patent/HK143294A/xx not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0339070A1 (de) | 1989-11-02 |
| JP2778071B2 (ja) | 1998-07-23 |
| EP0339070B1 (de) | 1993-09-01 |
| DE3883750D1 (de) | 1993-10-07 |
| HK143294A (en) | 1994-12-23 |
| FR2622338A1 (fr) | 1989-04-28 |
| US5050027A (en) | 1991-09-17 |
| WO1989004039A1 (fr) | 1989-05-05 |
| JPH02501782A (ja) | 1990-06-14 |
| SG153694G (en) | 1995-03-17 |
| FR2622338B1 (fr) | 1990-01-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3883750T2 (de) | Aufzeichnungs-wiedergabemagnetkopf mit antiverschleissschicht und verfahren zu seiner herstellung. | |
| DE2807456C2 (de) | Korrosionsbeständige, abriebgeschützte Magnetkopfanordnung in Dünnschichttechnik | |
| DE2333813C3 (de) | Ebene Magnetkopfanordnung mit mehreren flachen Magnetkopfstrukturen | |
| DE3007175A1 (de) | Magnetwandlerkopf und verfahren zu seiner herstellung | |
| DE2950943A1 (de) | Mehrkanal-magnetwandlerkopf und verfahren zu dessen herstellung | |
| EP0200015B1 (de) | Verfahren zur Herstellung mindestens eines Magnetkopfes in Dünnfilmtechnik | |
| DE69314178T2 (de) | Zusammengesetzter metall- und ferritwandlerkopf und herstellungsverfahren dafür | |
| DE68923083T2 (de) | Herstellungsverfahren eines aufnahme-/wiedergabekopfes und nach diesem verfahren erhaltener kopf. | |
| DE1774321A1 (de) | Magnetkopf | |
| DE3852031T2 (de) | Dünnfilmmagnetischer kopf und verfahren zur herstellung. | |
| DE1931003C3 (de) | Magnetkopf für ein Magnetspeichergerät | |
| DE69307982T2 (de) | Magnetkopf mit verschleissbeständiger Schicht und dessen Herstellungsverfahren | |
| DE69014787T2 (de) | Herstellungsverfahren von polaren Stücken und der Spalte von Dünnschicht-Magnetköpfen zur Informationsverarbeitungs-, Audio- oder Videoverwendung. | |
| DE3302695C2 (de) | ||
| DE1499819C3 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Mehrfach-Magnetkopfeinheit und danach hergestellte Mehrfach-Magnetkopfeinheit | |
| DE69213837T2 (de) | Dünnfilm-Lese-/Schreibkopf ohne Pol-Umgreifeffekt | |
| EP0223933A2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Magnetköpfen | |
| DE3390321C2 (de) | ||
| DE69518097T2 (de) | Vertikaler Magnetkopf und Herstellungsverfahren | |
| DE2160970A1 (de) | Mehrspurmagnetkopf und Verfahren zu dessen Herstellung | |
| DE2318322A1 (de) | Verfahren zur herstellung von magnetischen wandlerkoepfen | |
| DE3421083A1 (de) | Magnetkopf zur vertikalaufzeichnung | |
| DE3322859A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines zusammengesetzten magnetkopfes und derartiger magnetkopf | |
| DE3872513T2 (de) | Aufzeichnungs-wiedergabemagnetkopf und verfahren zu seiner herstellung. | |
| DE3206058A1 (de) | Duennschicht-magnetkopf und verfahren zu seiner herstellung |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |