JPS60191407A - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS60191407A JPS60191407A JP4543884A JP4543884A JPS60191407A JP S60191407 A JPS60191407 A JP S60191407A JP 4543884 A JP4543884 A JP 4543884A JP 4543884 A JP4543884 A JP 4543884A JP S60191407 A JPS60191407 A JP S60191407A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- layer
- substrate
- magnetic gap
- gap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/23—Gap features
- G11B5/232—Manufacture of gap
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3176—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps
- G11B5/3179—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes
- G11B5/3183—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes intersecting the gap plane, e.g. "horizontal head structure"
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は磁気ヘッドとその製造方法により、特に、ＶＴ
Ｊ磁気ディスク装置などに使用するのに好適な磁気ヘッ
ドとその製造方法に関する。
Ｊ磁気ディスク装置などに使用するのに好適な磁気ヘッ
ドとその製造方法に関する。
従来の磁気ヘッドの製造方法の代表例は実公昭４５−１
５２５５ 号公報に示されるもので、第１図に示す非磁
性基板１上に矛２図に示すようへ磁気ギャップ形成面２
ａをもつ矛１の磁性層２を形成する。次に、１−３図に
示すように非磁性基板１、磁性層２、磁気ギャップ形成
面の上に非磁性層３を形成する。最後に、矛４図に示す
ように、牙２の磁性層４を形成し、非磁性層３が磁気ギ
ャップとなる。この場合、記録媒体の走行面は、非磁性
基板面に垂直となる。
５２５５ 号公報に示されるもので、第１図に示す非磁
性基板１上に矛２図に示すようへ磁気ギャップ形成面２
ａをもつ矛１の磁性層２を形成する。次に、１−３図に
示すように非磁性基板１、磁性層２、磁気ギャップ形成
面の上に非磁性層３を形成する。最後に、矛４図に示す
ように、牙２の磁性層４を形成し、非磁性層３が磁気ギ
ャップとなる。この場合、記録媒体の走行面は、非磁性
基板面に垂直となる。
上記方法で問題となるのは、矛２図の磁気ギャップ形成
面２ａの加工である。この面を直線に仕上げる方法とし
ては、ダイヤモンド刃等による機械加工、あるいは、化
学エツチング等があるが、必ずしも、まっすぐには仕上
らず、電磁変換特性が劣化すると。
面２ａの加工である。この面を直線に仕上げる方法とし
ては、ダイヤモンド刃等による機械加工、あるいは、化
学エツチング等があるが、必ずしも、まっすぐには仕上
らず、電磁変換特性が劣化すると。
また、矛６図に示す非磁性層の形成も、蒸着あるいはス
パッタで行なうと牙５図に示すように、矛２の磁性層４
のギャップ付形の形状がＸ、）びりになったり、不要な
界面が生じたりする場合があり、電磁変換特性を劣化さ
せる。
パッタで行なうと牙５図に示すように、矛２の磁性層４
のギャップ付形の形状がＸ、）びりになったり、不要な
界面が生じたりする場合があり、電磁変換特性を劣化さ
せる。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をな（シ、安
定で、かつ、精度が高い磁気ギャップをもった磁気ヘッ
ドを提供することにある。
定で、かつ、精度が高い磁気ギャップをもった磁気ヘッ
ドを提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明にお℃・て＆ム記録媒
体の走行面が基板面と平行となるような磁気ヘッドの磁
気ギャップ形成面の新し℃１形状を提供する。
体の走行面が基板面と平行となるような磁気ヘッドの磁
気ギャップ形成面の新し℃１形状を提供する。
すなわち、牙６図に示すように、記録媒体の走行面が基
板面と平行となると、基板面と記録媒体走行面との両方
に垂直な面での磁気ギャップ形成面の断面は、直線であ
る必要がな（，２本以上の直線あるいは曲線となっても
問題ではない。なお、この場合、磁気ギャップ形成面の
記録媒体走行面と平行な面での断面は直線である。
板面と平行となると、基板面と記録媒体走行面との両方
に垂直な面での磁気ギャップ形成面の断面は、直線であ
る必要がな（，２本以上の直線あるいは曲線となっても
問題ではない。なお、この場合、磁気ギャップ形成面の
記録媒体走行面と平行な面での断面は直線である。
このように、磁気ギャップ形成面が２つ以上の面あるい
は、曲面で構成されると、ステップカバレッジが改善さ
れるため磁気ギャップとなる非磁性層３は非常に容易に
しかも均一な膜形成が可能となり、電磁変換特性が向上
する。
は、曲面で構成されると、ステップカバレッジが改善さ
れるため磁気ギャップとなる非磁性層３は非常に容易に
しかも均一な膜形成が可能となり、電磁変換特性が向上
する。
曲線は無限の直線に出来るため、曲線も２つ以上の直線
に含めて考えてさしつかえない。
に含めて考えてさしつかえない。
以下、本発明の一実施例を矛７〜，１−１１図により説
明する。
明する。
矛７図で磁性基板６は、厚さ１脇のＭｎＺｎフェライト
で、まず、厚さ０．２μｍのＳｉｎ、からなる絶縁層７
−１をスパッタで形成し、さらに厚さ５岬のＡｔかしな
る導電層５を蒸着した後、パターニングし、もう一度、
厚さ０．２μｍのＳｉｎ、からなる絶縁層７−２を形成
、パターニングする。次に、矛８図に示すように、スノ
くツタに上り厚さ１０μｍ（Ｄパーマロイの、１？１の
磁性層２を形成し矛９図に示すようにダイヤモンド刃に
よる機械加工により２つの面からなる磁気ギャップ形成
面２−８を作る。次に、矛１０図に示すように厚さ０．
３μｍの８１０２からなる非磁性層６を形成しこの非磁
性層Ｓが磁気ギャップとなる。さらへ厚さ１０μｍのパ
ーマロイの矛２の磁性層４をスパッタで形成した後、パ
ターニングを行なう。
で、まず、厚さ０．２μｍのＳｉｎ、からなる絶縁層７
−１をスパッタで形成し、さらに厚さ５岬のＡｔかしな
る導電層５を蒸着した後、パターニングし、もう一度、
厚さ０．２μｍのＳｉｎ、からなる絶縁層７−２を形成
、パターニングする。次に、矛８図に示すように、スノ
くツタに上り厚さ１０μｍ（Ｄパーマロイの、１？１の
磁性層２を形成し矛９図に示すようにダイヤモンド刃に
よる機械加工により２つの面からなる磁気ギャップ形成
面２−８を作る。次に、矛１０図に示すように厚さ０．
３μｍの８１０２からなる非磁性層６を形成しこの非磁
性層Ｓが磁気ギャップとなる。さらへ厚さ１０μｍのパ
ーマロイの矛２の磁性層４をスパッタで形成した後、パ
ターニングを行なう。
最後に、磁性基板面に平行に研磨を行ない矛１１図に示
すように安定で精度の良い磁性ギャップを得る。
すように安定で精度の良い磁性ギャップを得る。
なお、磁気ギャップ形成面は磁性基板面の法。
線から３０度の面と６０度の面からなる。
ヘッドは、ダイ７ングによりチップ化し、導体層５とコ
イル材５−１．５−２とをビームリード法により接続し
ている。
イル材５−１．５−２とをビームリード法により接続し
ている。
ヘッド形状は、ギャップ長が０．６μｍ、）ラック幅が
５０μｍ、ギャップ深さが５μｍで、チップ寸法は、ト
ラック幅方向の長さカ０．３ｍ 、テープ走行方向の長
さが２簾、厚さがｉｍである。
５０μｍ、ギャップ深さが５μｍで、チップ寸法は、ト
ラック幅方向の長さカ０．３ｍ 、テープ走行方向の長
さが２簾、厚さがｉｍである。
なお、コイルは、基板にスルホールな設け、裏面から接
続する方法でも形成出来る。
続する方法でも形成出来る。
矛１２図に本発明による磁気ヘッドの斜視図を示す。コ
イルは１ターンである。
イルは１ターンである。
牙１３図に３つの面からなる磁気ギャップ形成面とした
本発明の他の実施例の断面図を示す。
本発明の他の実施例の断面図を示す。
オ・１４図に４つの面からなる磁気ギャップ形成面とし
た本発明の他の実施例の断面図を示す。
た本発明の他の実施例の断面図を示す。
矛１５図に磁気ギャップ形成面を曲面にした本発明の他
の実施例の断面図を示す。
の実施例の断面図を示す。
本発明によれば、磁気ギャップを形成する非磁性層の深
さ方向の厚さの不均一の影響を受けないため、安定で精
度の高い磁気ギャップをもつ磁気ヘッドを量産性よ（提
供することが出来る。
さ方向の厚さの不均一の影響を受けないため、安定で精
度の高い磁気ギャップをもつ磁気ヘッドを量産性よ（提
供することが出来る。
第１図〜１７４図は代表的な従来技術による磁気ヘッド
の製造方法を示す斜視図、嶺・５図は、磁気ギャップを
形成する非母性層が厚さに不均一を生じることを示す断
面図、矛６図は、本発明の磁気ヘッドの基本構造を説明
する斜視図、才・７図〜矛１５図は、本発明の磁気ヘッ
ド製造方法を説明する断面図、斜視図及び平面図である
。 １・・・非磁性基板 ２・・・磁性層 ３・・・磁気ギャップとなる非磁性層 ４・・・母性層 ５・・・コイル、導電層６・・・磁性
基板 ７・・・絶縁層 １図 第４６ ￥！７タ図 第６図 弔７図 ７ｆ７ｇ図 第化 第１ｂ図 第１図 第／２１Ｄ −１ ターＺ ′ 第１３図 第１５図 第１４図
の製造方法を示す斜視図、嶺・５図は、磁気ギャップを
形成する非母性層が厚さに不均一を生じることを示す断
面図、矛６図は、本発明の磁気ヘッドの基本構造を説明
する斜視図、才・７図〜矛１５図は、本発明の磁気ヘッ
ド製造方法を説明する断面図、斜視図及び平面図である
。 １・・・非磁性基板 ２・・・磁性層 ３・・・磁気ギャップとなる非磁性層 ４・・・母性層 ５・・・コイル、導電層６・・・磁性
基板 ７・・・絶縁層 １図 第４６ ￥！７タ図 第６図 弔７図 ７ｆ７ｇ図 第化 第１ｂ図 第１図 第／２１Ｄ −１ ターＺ ′ 第１３図 第１５図 第１４図
Claims (1)
- １、 磁性基板とこの磁性基板上の一部に形成した導電
層と、この磁性基板に垂直な面内の断面が少なくとも２
つの直線となる磁気ギャップ形成面を、前記導電層の上
に持つように前記磁性基板上と前記導電層上に形成した
矛１の磁性層と、この矛１の磁性層の磁気ギャップ形成
面との間に非磁性層を介して結合するように、前記磁性
基板上ならびに導電層上に形成した矛２の磁性層を備え
、前記磁性ギャップ形成面上の非出性層が磁気ギャップ
となり、かつ、磁気記録媒体の走行面が前記磁性基板面
と平行の位置にあることを特徴とする磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4543884A JPS60191407A (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | 磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4543884A JPS60191407A (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | 磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60191407A true JPS60191407A (ja) | 1985-09-28 |
Family
ID=12719318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4543884A Pending JPS60191407A (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | 磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60191407A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2605783A1 (fr) * | 1986-10-28 | 1988-04-29 | Thomson Csf | T ete magnetique d'enregistrement/lecture en couches minces et son procede de realisation |
| FR2622338A1 (fr) * | 1987-10-27 | 1989-04-28 | Thomson Csf | Tete magnetique d'enregistrement-lecture a couche anti-abrasion et procede de realisation |
-
1984
- 1984-03-12 JP JP4543884A patent/JPS60191407A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2605783A1 (fr) * | 1986-10-28 | 1988-04-29 | Thomson Csf | T ete magnetique d'enregistrement/lecture en couches minces et son procede de realisation |
| EP0618568A2 (fr) * | 1986-10-28 | 1994-10-05 | Thomson-Csf | Tête magnetique d'enregistrement/lecture en couches minces et son procédé de réalisation |
| EP0618568A3 (fr) * | 1986-10-28 | 1995-05-10 | Thomson Csf | Tête magnetique d'enregistrement/lecture en couches minces et son procédé de réalisation. |
| FR2622338A1 (fr) * | 1987-10-27 | 1989-04-28 | Thomson Csf | Tete magnetique d'enregistrement-lecture a couche anti-abrasion et procede de realisation |
| US5050027A (en) * | 1987-10-27 | 1991-09-17 | Thomson-Csf | Magnetic recording/playback head with abrasion-resisting layer |
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