DE69116270T3 - Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der position von mindestens einer anschlussfahne eines elektronischen bauelements - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der position von mindestens einer anschlussfahne eines elektronischen bauelementsInfo
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Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung der Position mindestens eines Anschlusses eines elektronischen Bauelements, insbesondere eines Halbleiterbauelements, bezüglich einer Referenzebene, wobei der Anschlug von einer ersten, seitlich und außerhalb einer Ebene, in, der das Bauelement angeordnet ist, gelegenen Position angeleuchtet wird, und wobei ein erstes Schattenbild von mindestens einem Teil des Anschlusses in einer Bildebene gebildet wird. Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
- Ein solches Verfahren ist aus der PCT/US88/01181 (Veröffentlichungsnummer WO 88/08512) bekannt, die eine Vorrichtung zur optischen Detektierung der Position einer Kante eines Werkstücks in einer Meßebene, insbesondere von sich von einem Körper eines Werkstücks weg erstreckenden Anschlüssen, offenbart. Das bekannte Verfahren umfaßt die Emission elektromagnetischer Energie von einem Quellbereich in der Meßebene derart, daß die Kante einen Schatten mit einem Halbschatten in der Meßebene erzeugt. Die Positionsinformation kann bestimmt werden, indem eine detektierte Intensität eines Lichts, das einen bekannten Bereich in dem Halbschatten erreicht, mit der Intensität, die besteht, wenn die Kante nicht vorhanden ist, oder mit der Intensität, die detektiert wird, wenn sich die Kante an einer bekannten Position bezüglich einer Referenzposition befindet, verglichen wird.
- Es gibt verschiedene Gründe, aus denen die Anschlüsse eines elektrischen Bauelements nicht immer richtig ausgerichtet sind. Jedoch ist es für das Montieren eines Chips auf einer Karte wichtig, daß die Anschlüsse bezüglich der Lötbereiche richtig positioniert sind.
- Eine Abweichung zwischen einem Anschluß und einem Lötbereich kann dazu führen, daß kein mechanischer Kontakt zwischen dem Lötbereich und dem Anschluß vorhanden ist, und daß dadurch kein elektronischer Kontakt erreicht werden wird, so daß die ganze Karte unbrauchbar werden kann. Da die Anschlüsse jedoch häufig bezüglich des gewünschten Abstandes verbogen sind, ist es notwendig zu prüfen, in welchem. Umfang dieses Verbiegen zu einer nicht betriebsfähigen Karte führen kann. Das bekannte Verfahren gestattet durch eine Positionsbestimmung nachzuprüfen, ob die Anschlüsse korrekt angeordnet sind.
- Das bekannte Verfahren mißt Intensitäten und erfordert daher genaue Mittel, um eine genaue Positionsinformation liefern zu können.
- Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung der Position mindestens eines Anschlusses eines elektronischen Bauelements zu schaffen, wobei Gebrauch von einfacheren und daher billigeren Mitteln ohne Verlust an Genauigkeit des Meßergebnisses gemacht wird.
- Zu diesem Zweck ist ein Verfahren gemäß der Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß der Anschluß von einer zweiten Position angeleuchtet wird, die von der ersten Position abweicht, um ein zweites Schattenbild in der Bildebene zu bilden, und wobei eine dritte bzw. eine vierte Position innerhalb des ersten bzw. des zweiten Schattenbildes gewählt wird, wobei die Position des mindestens einen An schlusses aus der dritten und vierten Position bestimmt wird. Aufgrund der Verwendung der Schattenbilder ist es nicht notwendig, eine kohärente Lichtquelle, wie einen Laser, zu verwenden, und es ist deshalb auch nicht notwendig, die Vorrichtung gegen Licht zu hoher Intensität abzuschirmen. Durch Bestimmung zweier weiterer Schattenbilder ist es möglich, die Position des Anschlusses eindeutig festzulegen. Tatsächlich führt jede Abweichung von einer Standardposition zwangsweise dazu, daß beide Schattenbilder in einer Position lokalisiert werden, die von der Position der Standardbilder abweicht, so daß die Position des Anschlusses immer eindeutig und verläßlich aus der Position des Satzes der Schattenbilder bestimmt werden kann.
- Eine erste bevorzugte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Verfahrens zeichnet sich dadurch aus, daß die dritte und bzw. vierte Position im wesentlichen in der Mitte des ersten und bzw. zweiten Schattenbildes lokalisiert ist. Infolgedessen sind die dritte und vierte Position einfach zu lokalisieren.
- Das Anleuchten von der ersten und zweiten Position erfolgt vorteilhafterweise von im wesentlichen gegenüberliegenden Positionen. Infolgedessen sind die Schattenbilder entlang der gleichen Achse gelegen, was die Positionsbestimmung vereinfacht.
- Eine Vorrichtung gemäß der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Anleuchtmittel weiter eine zweite Lichtquelle aufweisen, die zum Anleuchten des Anschlusses von einer zweiten Position, die von der ersten Position abweicht, vorgesehen ist, und das Abbildungsteil weiter zur Bildung eines zweiten Schattenbildes von mindestens einem Teil des von der zweiten Position angeleuchteten Anschlusses vorgesehen ist, und daß ein mit dem Abbildungsteil verbundenes Positionsbestimmungsteil zur Auswahl einer dritten bzw. einer vierten Position innerhalb des ersten bzw. des zweiten Schattenbildes und zur Bestimmung des mindestens einen Anschlusses aus der dritten und vierten Position vorgesehen ist.
- Eine erste bevorzugte Ausführungsform einer Vorrichtung gemäß der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Positionsbestimmungsmittel zur Bestimmung der Position aus der Differenz zwischen der dritten und der vierten Position vorgesehen sind. Infolgedessen kann die Bestimmung der Position einfach und schnell ausgeführt werden.
- Eine zweite bevorzugte. Ausführungsform einer Vorrichtung gemäß der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung eine Mattglasplatte umfaßt, die im Strahlengang zwischen dem Anschluß und dem Abbildungsteil angeordnet ist. Eine Mattglasplatte erlaubt die Bildung eines deutlichen Schattenbildes.
- Die Erfindung wird nun detaillierter auf der Basis einer in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsform beschrieben werden. In den Zeichnungen:
- Fig. 1 zeigt schematisch eine Ausführungsform einer Vorrichtung gemäß der Erfindung;
- Fig. 2 zeigt die Bildung des ersten und zweiten Schattenbildes;
- Fig. 3 zeigt die Abbildung für zwei in einer Richtung senkrecht zur Projektionsebene abweichende Positionen eines Anschlusses;
- Fig. 4 zeigt die Abbildung für zwei in einer Richtung parallel zur Projektionsebene abweichende. Positionen eines Anschlusses;
- Fig. 5 zeigt ein Blockdiagramm von in einer Vorrichtung gemäß der Erfindung verwendbaren Datenverarbeitungsmitteln.
- In den Zeichnungen hat das gleiche oder ein ähnliches Element das gleiche Bezugszeichen.
- Die schematisch in Fig. 1 dargestellte Ausführungsform einer Vorrichtung gemäß der Erfindung umfaßt vier Halter 1, 3, 5 und 7, die jeweils eine Lichtquelle 2, 4, 6 und 8 aufweisen. Das von jeder Lichtquelle emittierte Licht fällt seitwärts auf eine oder mehrere Anschlüsse 15 eines elektronischen Bauelements 14, insbesondere eines Halbleiterbauelements. Das elektronische Bauelement ist auf oder unmittelbar über einer matten Platte 9 angeordnet, die ein Bestandteil eines Abbildungsteils ist. Da das Licht reflektiert wird, wird ein Schatten auf und hinter der Mattglasplatte jeweils nahe bei einem der angeleuchteten Anschlüsse gebildet. Durch Verwendung einer Mattglasplatte wird ein Schattenbild des Anschlusses oder der Anschlüsse auf dem Niveau einer Bildebene erhalten, die hinter der Mattglasplatte angeordnet ist. Diese Bildebene wird z. B. durch eine Projektionsebene gebildet, auf die das durch die Mattglasplatte hindurchtretende Licht projiziert wird. Das Abbildungsteil umfaßt ferner ein Linsensystem 10 und eine Kamera 11, z. B. eine CCD-Kamera. Die Kamera 11 ist mit einem Datenverarbeitungssystem 12 verbunden, das sowohl die Kamerasteuerung als auch die Verarbeitung der von der Kamera aufgezeichneten Daten übernimmt. Das Datenverarbeitungssystem ist ferner mit einer Schnittstelle 13 verbunden, die weiter mit den Lichtquellen 2, 4, 6 und 8 verbunden ist, um auf diese Weise das An- und Ausschalten der Lichtquellen zu steuern.
- Der schräge bzw. spitze Winkel, unter dem das emittierte Licht einfällt, beträgt vorzugsweise 45º, was zur Bildung von Schattenbildern mit scharfen Konturen, die klar und eindeutig lokalisiert und positioniert werden können, vorteilhaft ist. Außerdem ist bei einem Winkel von 45º die Verschiebung in der z-Richtung gleich der Verschiebung in der x-Richtung. Jedoch ist es offensichtlich, daß neben 45º andere Werte auch möglich sind. Eine Kombination eines unter einem 90º-Winkel einfallenden Lichtstrahls und eines anderen unter einem Winkel von 0º einfallenden Lichtstrahls ist auszuschließen, da diese Kombination keine brauchbare Information liefert.
- Es ist offensichtlich, daß die in Fig. 1 schematisch dargestellte Ausführungsform nur eine mögliche Ausführungsform betrifft und daß verschiedene alternative Ausführungsformen möglich sind. So ist es z. B. möglich, als Anleuchtmittel nicht vier, sondern nur zwei Lampen zu verwenden, die im wesentlichen einander gegenüberliegend angeordnet sind, so wie z. B. die Lampen 2 und 4, wobei die Lampen die Anschlüsse des elektronischen Bauelements vorzugsweise unter einem schrägen Winkel anleuchten. Außerdem müssen die Lampen nicht notwendigerweise in der gleichen Höhe angeordnet sein und können sowohl in der Höhe (z- Richtung) als auch in der y-Richtung relativ zueinander verschoben sein. Ihre Anordnung an einer korrespondierenden y-Position vereinfacht die Bestimmung der Position des betrachteten Anschlusses basierend auf der Position der Schattenbilder.
- In einer weiteren Ausführungsform wird von nur einer Lichtquelle Gebrauch gemacht, die an einem beweglichen Arm befestigt ist. Auf diese Weise kann die Lichtquelle an verschiedenen Positionen plaziert werden, und sie kann die Anschlüsse eines elektronischen Bauelements von jeder dieser verschiedenen Positionen anleuchten. Dieser bewegliche Arm kann z. B. von der Datenverarbeitungseinheit 12 gesteuert werden.
- Es ist jedoch wichtig, daß die Lichtquellen seitlich bezüglich des elektronischen Bauelements und außerhalb der Ebene angeordnet sind, in der das elektronische Bauelement angeordnet ist, andernfalls werden keine brauchbaren Schattenbilder gebildet werden.
- Vorzugsweise ist das elektronische Bauelement etwas oberhalb der Mattglasplatte 9 mit seinem Anschluß zu der Platte hin gerichtet aufgehängt bzw. gehalten. Dies verhindert, daß die Anschlüsse beschädigt oder verbogen werden. Das elektronische Bauelement wird in dieser Position z. B. mittels eines Greifers oder eines Saugers gehalten, die auch geeignet sind, jedes Mal das nächste Bauelement in jene Position, in der die Messung stattfindet, zu bringen. Jedoch ist es offensichtlich, daß das elektronische Bauelement auf die Mattglasplatte selbst gelegt werden kann, wenn vorsichtig verfahren wird.
- Anstatt eine Mattglasplatte zu verwenden, ist es natürlich auch möglich, eine beschichtete Glasplatte zu verwenden. Natürlich kann die Kamera 11 durch andere Abbildungsmittel, wie z. B. einen Photodetektor bzw. Lichtempfänger, ersetzt werden.
- Die Lichtquelle 2, 4, 6 und 8 ist durch eine Punktquelle gebildet. Hierfür wird von einer kleinen Glühlampe, z. B. einer Fahrradlampe, Gebrauch gemacht. Da Schattenbilder verwendet werden, braucht die Lichtquelle keine hohen Ansprüche zu erfüllen, und einfache Mittel können ausreichend sein.
- Es ist auch möglich, eine Blitzlampe zu verwenden. Die letztere bietet den Vorteil eines kurzzeitigen Anleuchtens, während dem jedoch eine ausreichende Lichtintensität, um ein deutliches Schattenbild zu bilden, erreicht wird. Außerdem erlauben Blitzlampen ein schnelles Schalten, das die Meßzykluszeit beträchtlich verkürzt und die Effizienz der Vorrichtung steigert.
- Fig. 2 zeigt die gemäß dem Verfahren nach der Erfindung resultierende Schattenabbildung. Dieses Beispiel beginnt mit der Situation, daß der Anschluß 15 mittels der Lichtquelle 2 bzw. 4 von einer ersten bzw. zweiten Position, die durch eine Höhe h&sub1; bzw. hr und einen Abstand d&sub1; bzw. dr bezüglich des Ursprungs O eines Koordinatensystems festgelegt ist, angeleuchtet wird. Nun müssen die Höhe h (z-Richtung) und der Abstand d (x-Richtung) bestimmt werden, um die Position des Anschlusses 15 zu bestimmen. Die y-Koordinate wird durch Verwendung eines Meßfensters, wie nachfolgend beschrieben werden wird, bestimmt. Die Position ist dann räumlich bestimmt.
- Der von Lichtquelle 2 bzw. 4 ausgehende Lichtstrahl wird nun ein erstes 17 bzw. ein zweites Schattenbild 18 in der Projektionsebene P bilden, das an einer dritten x&sub1;- bzw. einer vierten xr-Position gelegen ist. Zur Vereinfachung werden die Punkte xr bzw. x&sub1; in der Mitte des Schattenbildes gewählt, aber es wäre auch möglich, eine andere Referenz, wie z. B. eine Grenzlinie des Schattenbildes, zu wählen.
- Die Bestimmung der Position der Punkte xr und x&sub1; zur Lokalisierung der Schattenbilder wird nun durch Bestimmung des Abstands xr bzw. x&sub1; bezüglich des Ursprungs O in der x- Richtung verwirklicht. Dies kann z. B. durch Zählen von Bildpunkten des von der Kamera aufgenommenen Bildes oder mittels einer Grauwertbestimmung erfolgen. Da h&sub1;, hr, d&sub1; und dr bekannt sind, können die Abstände h und d mittels der folgenden Gleichungen berechnet werden:
- Diese Berechnung wird z. B. durch die Datenverarbeitungseinheit ausgeführt, die auch das An- und Ausschalten der Lichtquelle steuert. Beim Bestimmen einer Position eines Anschlusses wird die Datenverarbeitungseinheit die Lichtquellen folglich sukzessiv an- und ausschalten, um jedes Mal eine Position des Schattenbildes zu bestimmen, das mittels der Lichtquelle, die als einzige für die Messung angeschaltet ist, gebildet wird.
- Die Tatsache, daß verschiedene Anschlußpositionen auch zu verschiedenen Positionen der Schattenbilder führen, wird mittels der Fig. 3 und 4 veranschaulicht. Fig. 3 veranschaulicht die Schattenbilder eines Punkts M und M', wobei der letztere bezüglich M in der z-Richtung verschoben ist. Die Schattenbilder von M' sind an Positionen x'r und x'&sub1; gelegen, die sich deutlich von den Positionen xr und x&sub1; unterscheiden. Dasselbe gilt für die Schattenbilder an den Positionen x"r und x"&sub1;, die durch ein Element in Position M", wie in Fig. 4 dargestellt, gebildet werden, wobei die Position M" bezüglich M in der x-Richtung verschoben ist. Daher ergeben die Fig. 3 und 4 klar, daß jeder Satz von Schattenbildern einer Anschlußposition klar entspricht. Die Position des Anschlusses kann daher eindeutig und genau aus diesen Schattenbildern bestimmt werden.
- Bei der in Fig. 2 gezeigten Ausführungsform wird die Höhe h bezüglich der Projektionsebene, die mit der X-Achse zusammenfällt, bestimmt. Jedoch kann die Höhe h bezüglich jeder anderen Referenzebene, wie z. B. der durch die untere Oberfläche des elektronischen Bauelements gebildeten Ebene, bestimmt werden. Jedoch ist es in dem letzteren Fall außerdem notwendig, zuerst die Position dieser Referenzebene zu bestimmen, was auch mittels Schattenbildern verwirklicht werden kann, wie vorstehend beschrieben.
- Fig. 5 zeigt eine Ausführungsform der Datenverarbeitungseinheit 12, die zur Steuerung der Vorrichtung und zur Berechnung der Positionen auf der Basis der gemessenen xr- und x&sub1;-Werte vorgesehen ist. Die Datenverarbeitungseinheit umfaßt einen Kommunikationsbus 21, z. B. einen VME-Bus, und einen Mikroprozessor 22 und einen ersten 23 und zweiten an den Bus angeschlossenen Speicher 24. Der erste bzw. der zweite Speicher ist z. B. ein ROM bzw. ein RAM. Weiter ist eine Ein-/Ausgabe-Schnittstelle 25 an den Bus, 21 angeschlossen. An die Ein-/Ausgabe-Schnittstelle ist ein Steuerteil 26 zur Steuerung der Vorrichtung angeschlossen. Außerdem sind eine Sensorschnittstelle 27, ein Bildabrufteil 28 und ein Videogenerator 29 an den Bus 21 angeschlossen. Die letzteren Elemente sind untereinander mittels weiterer Busse 31 und 32, z. B. SC-Busse, verbunden. Die Sensorschnittstelle ist mit der Kamera 11 verbunden, während der Videogenerator mit einer Anzeigeeinheit 30, z. B. einem Bildschirm, verbunden ist.
- Das von der Kamera 11 gebildete Bild wird durch die Sensorschnittstelle 27 gescannt und in ein Digitalbild umgewandelt, welches in einem Speicher der Schnittstelle 27 gespeichert wird. Das Abrufteil 28 ruft die Bilddaten aus dem Speicher ab und verarbeitet diese, z. B. mittels Meßfenstern, die in dem gebildeten Bild festgelegt werden. Dann erzeugt der Videogenerator ein Bild aus den Bilddaten, das auf dem Bildschirm der Anzeigeeinheit dargestellt wird. Die Datenverarbeitung wird unter der Steuerung des Mikroprozessors 22 mittels eines im ROM 23 gespeicherten Programms ausgeführt.
- Zur Bestimmung der Position jedes Anschlusses des elektronischen Bauelements wird ein Fenster um jeden Anschluß festgelegt. Hierfür wird von dem an sich bekannten Abstand zwischen den aufeinanderfolgenden Anschlüssen Gebrauch gemacht. Auf der Basis der Position des Fensters in dem durch die Kamera gebildeten Bild wird jedes Mal ein erwar teter Wert bestimmt, um den Bereich abzugrenzen, in dem die Schattenbilder gelegen sind. Dies vereinfacht die Suche nach der Position der Schattenbilder. Heim Bestimmen des Fensters wird die Länge des Anschlusses berücksichtigt.
- Wenn ein Fenster um jeden der zu betrachtenden Anschlüsse festgelegt ist, werden zwei Profile für jedes Fenster bestimmt, nämlich ein Anschlußprofil und ein Schwerpunktprofil. Das Anschlußprofil wird in der Richtung des Anschlusses bestimmt und stellt die Position der einzelnen Anschlüsse dar. Das Schwerpunktprofil wird über den Anschluß hinweg bestimmt und stellt die Mitte des Anschlusses dar.
- Nach Bestimmung der Anschlußprofile wird der Grauwert jedes Anschlußprofils mit dem eines Standardanschlußprofils verglichen, das vorzugsweise dreieckig ist und das erhalten wird, indem eine Kalibrierbreite (Ti), ausgedrückt als eine Anzahl von Bildpunkten, genommen und eine Höhe, die das Verhältnis zwischen der Höhe des Anschlusses und der Höhe des Fensters angibt, gewählt wird. Die Verwendung eines solchen dreieckigen Standardprofils bietet den Vorteil, daß die Toleranzen niedrig gehalten werden. Dann wird das Zentrum des Anschlusses aus diesem Anschlußprofil in einer an sich bekannten Weise berechnet. Danach werden die X- bzw. Y-Positionen der horizontalen bzw. vertikalen Folgen von Anschlüssen aus den Mittelwerten dieser einzelnen Anschlußpositionen berechnet:
- Durch Verwendung des Schwerpunktprofils wird die Position der horizontalen bzw. vertikalen Serien von Anschlüssen in der Y- bzw. X-Richtung durch Berechnung der Schwerpunktzentren für jeden Anschluß bestimmt.
- Diese Berechnungen werden alle durch Verwendung des Datenverarbeitungssystems mit seinen entsprechenden Programmen ausgeführt.
Claims (11)
1. Verfahren zur Bestimmung in einem Koordinatensystem von den
Koordinaten einer Position mindestens eines Anschlusses (15)
eines elektronischen Bauelements (14), insbesondere eines
Halbleiterbauelements, bezüglich einer Referenzebene, wobei der
Anschluß (15) von einer ersten Position angeleuchtet wird, die
seitlich und außerhalb, einer Ebene gelegen ist, in der, das
elektronische Bauelement (14) angeordnet ist, und wobei ein erstes
Schattenbild (17) von mindestens einem Teil des Anschlusses (15)
in einer Bildebene gebildet wird,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Anschluß (15) von einer zweiten, von der ersten Position
abweichenden Position zur Bildung eines zweiten Schattenbildes
(18) in der Bildebene angeleuchtet wird, und wobei eine drille bzw.
eine vierte Position innerhalb des ersten (17) bzw. des zweiten
Schattenbildes (18) gewählt wird, wobei die Position des
mindestens einen Anschlusses (15) aus der dritten und vierten
Position bestimmt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die dritte
bzw. vierte Position im wesentlichen in der Mitte des ersten bzw.
zweiten Schattenbildes lokalisiert ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß
das Anleuchten von der ersten und zweiten Position aus im
wesentlichen gegenüberliegenden Positionen erfolgt.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1, 2 oder 3, dadurch
gekennzeichnet, daß eine fünfte Position bestimmt wird, die zu der
einen, in der die Referenzebene gelegen ist, korrespondiert.
5. Vorrichtung zur Bestimmung in einem Koordinatensystem von den
Koordinaten einer Position mindestens eines. Anschlusses (15)
eines elektronischen Bauelements (14), insbesondere eines
Halbleiterbauelements, bezüglich einer Referenzebene, wobei die
Vorrichtung Anleuchtmittel mit einer ersten Lichtquelle (2) umfaßt,
die zum Anleuchten des Anschlusses (15) von einer ersten Position
aus vorgesehen ist, welche seitlich und außerhalb der Ebene, in der
das elektronische Bauelement (14) angeordnet ist, gelegen ist, und
die Vorrichtung ein Abbildungsteil zur Bildung eines, ersten
Schattenbildes (17) von mindestens einem Teil des angeleuchteten
Anschlusses umfaßt;
dadurch gekennzeichnet,
daß die Anleuchtmittel weiter eine zweite Lichtquelle (4) aufweisen,
die zum Anleuchten des Anschlusses von einer zweiten Position,
welche von der ersten Position abweicht, vorgesehen ist, und das
Abbildungsteil weiter zur Bildung eines zweiten Schattenbildes (18)
von, mindestens einem Teil des Anschlusses vorgesehen ist, der
von der zweiten Position angeleuchtet ist, und daß ein an das
Abbildungsteil angeschlossenes Positionsbestimmungsteil
vorgesehen ist, um eine dritte bzw. eine vierte Position innerhalb
des ersten(17) bzw. des zweiten (18) Schattenbildes auszuwählen
und um den mindestens einen Anschluß aus der dritten und vierten
Position zu bestimmen.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die
erste und zweite Position im wesentlichen einander
gegenüberliegend angeordnet sind.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die
Positionsbestimmungsmittel zur Bestimmung der Position aus der
Differenz zwischen der dritten und vierten Position vorgesehen sind.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß die Vorrichtung eine Mattglasplatte (9) umfaßt,
die in dem Strahlengang zwischen dem Anschluß (15) und dem
Abbildungsteil angeordnet ist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß das Abbildungsteil eine Kamera (11) umfaßt.
10. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die
Lichtquelle (2, 4) eiste Punktquelle ist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die
Punktquelle durch eine Fahrradlampe gebildet ist.
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